CN101598150A - 超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀 - Google Patents
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Abstract
一种超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，属液压伺服控制技术领域。包括阀体(26)、主阀芯(5)、先导阀芯(6)、超磁致伸缩执行器、位于超磁致伸缩执行器与先导阀芯(6)之间的微位移放大器，上述超磁致伸缩执行器包括热补偿罩(12)、安装于热补偿罩内的超磁致伸缩棒(13)、位于热补偿罩(12)外侧的线圈骨架(2)，还包括依次绕于线圈骨架(2)外侧的驱动线圈(4)和偏置线圈(3)；该伺服阀具有响应快、驱动功率和控制流量大等显著特点。
Description
技术领域
本发明涉及超磁致伸缩材料的应用，属液压伺服控制技术领域。
背景技术
传统的两级电液伺服阀其前置级多为喷嘴挡板阀，喷嘴挡板的运动一般由力矩马达进行驱动，该型伺服阀具有动作灵敏，阀芯不易卡阻，线性度好，温度和压力零漂小等优点，同时有具有抗污染能力差，内泄露大，功率损失大，效率低等缺点；前置级为滑阀的两级电液伺服阀叫做滑阀式两级电液伺服阀，其前置级控制阀芯一般由动圈式力马达进行驱动，具有结构简单，磁滞小，工作行程大，抗污染能力强等优点，同时具有驱动部分和运动部分体积和惯量较大，响应较低，要求驱动功率大等缺点。提高电液伺服阀的综合性能指标，成为改善电液伺服阀控制系统控制特性的关键，并有益于更好地满足日益提高的市场需求，进而推动流体传动及控制技术的发展。
文献1(液压控制系统，吴振顺著，高等教育出版社，2008.5：102～103)介绍了一种由动圈式力马达驱动的两级滑阀式电液伺服阀结构与工作原理，该阀主要由动圈式力马达、上下固定节流口、上下控制腔、先导阀芯、主阀芯构成。当控制信号输入动圈式力马达时，动圈所受的电磁力与支撑弹簧力平衡，产生位移，带动先导阀芯运动，先导阀芯运动导致一侧可变节流口打开，从而导致该侧控制腔压力上升，上升的压力推动主阀芯向先导阀芯同向运动直到可变节流口重新关闭，达到新的平衡。该阀由于采用动圈式力马达作为电-机转换器驱动先导阀芯运动，与新型超磁致伸缩执行器比较，其频响较低，响应较慢，由于力马达输出功率较小，限制了伺服阀的频响和控制流量。
超磁致伸缩材料(Giant Magnetostrictive Material，简写为GMM)是一种新型的功能材料，具有应变大，响应速度快，能量传输密度高和输出力大等优异性能。目前该材料已在世界各先进国家引起广泛的注意，首先被用于水声换能器件的开发，并在海军、航海、海洋工程等领域的水下通信、海底油田探测及跟踪定位等方面已得到了应用。随后逐步开始应用于声纳、微位移控制、蠕动机械、超精密机床加工控制、新型电动机、机器人、传感器等新型器件中。
文献2(Takahiro Urai.Development of a vavle using a giantmagnetostrictive actuator.Proceeding of the sencond JHPS internationalsymposium on fluid power.Edited by T.Maeda.Tokyo，1993：131-135)所述，日本的Takahiro Urai等人用GMM转换器设计出了单级直动式伺服阀。它的原理是通过线圈中变化的电流产生磁场，使GMM棒伸缩，从而驱动与GMM转换器直接连接的阀芯产生位移，并且按照其位移量大小来控制阀口流量。此外，对应于GMM磁场的变形特性为非线性，用差动变压器式位移传感器以及放大级采用PI闭环控制的方法加以调节和克服。该阀的特点是采用闭环控制，结构紧凑，精度高，响应快。与同类型的电液伺服阀相比其频响已明显提高，但由于GMM棒没有微位移放大，其行程较小，故该伺服阀控制流量较小，仅为2L/min。
GMM在其它流体控制元件中也有大量的应用，日本住友轻金属工业公司在柱塞式流体泵上利用超磁致伸缩执行器直接驱动活塞，现已制成形似一节电池那样的密闭型GMM泵(Dariusz A.Bushko，James H Goldie.High performancemagnetostrictive actuators.IEEE，AES Systems Magazine，November，1991：21-25)，该泵具有响应快和高精度控制流量等特点。德国E.Quandt等人利用超磁致伸缩薄膜的伸缩效应实现阀口的控制，从而设计出一种超磁致伸缩微型阀(Quandt E，Seemann K.Fabrication and simulation of magnetostrictivethin-film actuator.Sensors and Actuators，1995，A50：105-109)；国内浙江大学利用GMM对气动喷嘴挡板阀、液压喷嘴挡板伺服阀和内燃机的高速强力电磁阀进行了机构设计和特性研究，其主要性能指标均高于传统伺服阀。
基于以上背景，申请者提出由超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀设计方案及其两种结构实现形式，以期应用于未来高响应、高可靠性电液伺服控制系统。该新型电液伺服阀具有响应快、驱动功率和控制流量大等显著特点。
发明内容
本发明的目的利用超磁致伸缩材料响应速度快，能量传输密度高和输出力大等性能设计带有微位移放大机构的超磁致伸缩执行器，并利用该执行器驱动先导阀芯和主阀芯，从而设计出新型两级滑阀式电液伺服阀，以期提高传统两级滑阀式电液伺服阀的频宽、响应速度和控制流量。
为实现以上目的，本发明中设计了第一种单超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：包括阀体、安装于阀腔内的主阀芯和先导阀芯、位于先导阀芯一侧的超磁致伸缩执行器、位于超磁致伸缩执行器与先导阀芯之间的微位移放大器、位于先导阀芯另一侧的弹簧复位装置；上述超磁致伸缩执行器包括热补偿罩、安装于热补偿罩内的超磁致伸缩棒、位于热补偿罩外侧的线圈骨架，还包括依次绕于线圈骨架外侧的驱动线圈和偏置线圈；上述微位移放大器由位移放大腔、安装于位移放大腔内与超磁致伸缩棒相连的输出活塞组成，位移放大腔另一端与上述先导阀芯相连；上述阀体上还具有与阀腔相连的主供油通道、输出油道及回油冷却循环通道；上述阀体上还具有与位移放大腔相连的通过单向阀实现单向注油单向预压力注油通道。
上述弹簧复位装置可采用以下结构：包括与滑阀先导阀芯相连的复位弹簧、复位弹簧座、密封圈、调节螺钉、防松螺母。
第二种双超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：包括阀体、安装于阀腔内的主阀芯和先导阀芯、一对超磁致伸缩执行器、一对位于超磁致伸缩执行器与先导阀芯之间的微位移放大器；上述超磁致伸缩执行器包括热补偿罩、安装于热补偿罩内的超磁致伸缩棒、位于热补偿罩外侧的线圈骨架，还包括依次绕于线圈骨架外侧的驱动线圈和偏置线圈；上述微位移放大器由位移放大腔、安装于位移放大腔内与超磁致伸缩棒相连的输出活塞组成，位移放大腔另一端与上述先导阀芯相连；上述阀体上还具有与阀腔相连的主供油通道、输出油道及回油冷却循环通道；上述阀体上还具有与位移放大腔相连的通过单向阀实现单向注油的单向预压力注油通道。
如上所述的两种超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：上述单向预压力注油通道通过单向阀实现单向注油，单向阀由弹簧座、弹簧、及圆锥阀芯组成。
如上所述的两种超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：上述热补偿罩与线圈骨架之间具有间隙，该间隙为伺服阀回油冷却循环通道的一部分。
本发明有益效果之一：本发明提供了一种由超磁致伸缩执行器驱动的新型两级滑阀式电液伺服阀设计方案及其两种结构实现形式，区别于传统动圈式力马达驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其电机转换器部分不是采用传统永磁力马达而是采用新型超磁致伸缩执行器，相对于传统力马达驱动方式具有驱动功率大和响应速度快的特点；区别于传统超磁致伸缩执行器驱动的单级直动式伺服阀，其驱动部分采用带有微位移放大装置的单或双超磁致伸缩执行器，该位移放大装置充分利用超磁致伸缩执行器的线性段进行位移放大，可有效避免或克服超磁致伸缩棒大位移输出时的磁滞现象，具有线性度好，控制流量大等特点。
本发明有益效果之二：从结构和控制上保证了超磁致伸缩执行器的位移输出精度亦即伺服阀的控制精度。针对两种结构的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式伺服阀，超磁致伸缩执行器工作时产生的热量利用伺服阀的回油冷却循环通道进行冷却；如果油液未完全冷却，由于热补偿罩采用热膨胀系数与超磁致伸缩材料相同的材料制成，且在超磁致伸缩棒位移输出端方向固定于阀体上，另一端可自由膨胀，所以只能向另一侧热膨胀，带动超磁致伸缩棒也向磁致位移的反方向热膨胀，抵消超磁致伸缩棒的热变形对磁致位移的影响，从而对超磁致伸缩棒的热伸长位移进行实时补偿，此结构充分利用了从伺服阀的回油油液对线圈骨架和超磁致伸缩棒进行冷却，并同时具有热冷却与热补偿两种功能。
针对第二种双超磁致伸缩式执行器驱动的两级滑阀式伺服阀结构形式，由于两个超磁致伸缩执行器的对置式结构以及伺服阀先导阀芯接受两个执行器的共同驱动，则即使一侧超磁致伸缩执行器温度升高并不能导致伺服阀先导阀芯的移动，只能导致微位移放大装置内油液压力的改变，因此该种结构可有效解决超磁致伸缩执行器热致伸长的不可控以及伺服阀阀芯大位移移动时精度控制问题。
本发明有益效果之三：将超磁致伸缩执行器微位移放大和预压力施加两项关键技术通过一个新型微位移放大机构实现，具有位移放大倍数高，线性好、响应快、结构简单、响应速度快的特点。超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀微位移放大装置中的位移放大腔供油由阀外液压系统实现，油液压力由阀外液压系统溢流阀来调定，位移放大腔压力即为作用在输出活塞上压力，由于输出活塞紧贴超磁致伸缩棒，所以可以通过调节活塞中油液压力来调节对超磁致伸缩棒施加的预压力。此种结构不仅实现了超磁致伸缩棒所受预压力的非机械调节，可以精确地调节预压力，使控制更精确，同时将超磁致伸缩执行器的微位移放大机构和预压力施加装置合为一体，取消了传统执行器调节预压力的预压弹簧，简化了超磁致伸缩执行器结构，减小了其驱动部分尺寸，提高了其工作可靠性，有利于更充分发挥超磁致伸缩材料的动态性能。
本发明所设计的两级滑阀式电液伺服阀结构，最小通流尺寸远大于喷嘴挡板阀，所以抗污染能力强，对油液洁净度要求不高，系统工作可靠性更高。
附图说明
图1单超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀结构示意图；
图2双超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀结构示意图；
图3超磁致伸缩执行器预压力施加示意图；
图4弹簧复位装置结构示意图；
图5热补偿罩端面结构示意图；
图6滑阀主阀与先导阀结构示意图。
图中标号名称：1-端盖、2-线圈骨架、3-偏置线圈、4-驱动线圈、5-主阀芯、6-先导阀芯、7-输出油道、8-左控制腔、9-位移放大腔、10-输出活塞、11-热补偿罩小油孔、12-热补偿罩、13-超磁致伸缩棒、14-单向阀阀座、15-单向阀弹簧、16-单向阀圆锥阀芯、17-单向预压力注油通道、18-左可变节流孔、19-左固定节流口、20-主供油通道、21-阀腔、22-回油冷却循环通道、23-右固定节流孔、24-右可变节流孔、25-右控制腔、26-阀体、27-密封垫、28-防松螺母、29-调节螺栓、30-密封圈、31-复位弹簧座、32-复位弹簧、33-热补偿罩连接螺栓孔、34-热补偿罩大油孔
具体实施方式
如图1，2，3，4，5，6所示，该新型两级滑阀式电液伺服阀分为单超磁致伸缩执行器驱动(如图1所示)和双超磁致伸缩执行器驱动(如图2所示)两种结构形式，单超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀拟在滑阀一侧安装超磁致伸缩执行器和微位移放大器，在滑阀另一侧安装滑阀复位装置(如图4所示)。双超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀拟在滑阀两侧分别安装超磁致伸缩执行器及其微位移放大器，并由超磁致伸缩执行器驱动滑阀先导阀芯以取代传统两级滑阀式电液伺服阀力马达及其驱动机构，由于超磁致伸缩执行器具有比力马达响应速度快、带载能力强等优点，因此该新型伺服阀可大大提高传统两级滑阀式电液伺服阀的响应速度和控制流量。
所述超磁致伸缩执行器包括超磁致伸缩棒13、线圈骨架2、驱动线圈4、偏置线圈3、热补偿衬罩12、输出活塞10。其中热补偿衬罩为U型(如图5所示)，其端面开有大油孔34，小油孔11及连接螺栓孔33，大油孔用于形成伺服阀回油冷却循环回路，小油孔用于沟通位移放大腔9与回油通道22，保证执行器输出活塞的可靠运动，超磁致伸缩棒置于热补偿衬罩内，热补偿衬罩用螺钉固定于阀体26上，热补偿衬罩和端盖1支撑驱动线圈骨架，线圈骨架外绕有驱动线圈、驱动线圈外绕有偏置线圈，偏置线圈、驱动线圈与线圈骨架均安装在阀体内。超磁致伸缩棒输出端与输出活塞直接接触，输出活塞置于位移放大腔内，位移放大腔内通过单向阀(如图3所示)注入具有一定压力的液压油液，位移放大腔另一侧为滑阀先导阀芯6相连，输出活塞直径大于滑阀先导阀芯直径，由于液压油液可压缩性很小，输出活塞位移与滑阀先导阀芯位移之比为输出活塞直径与滑阀先导阀芯活塞直径平方的反比，实现从超磁致伸缩棒磁致位移到滑阀阀芯位移的放大。此放大机构完全消除了常用的机械式微位移放大装置的非线性、频响低等固有缺点，并充分利用了超磁致伸缩式材料的输出力大的优点，也同时避免了超磁致伸缩式材料大位移时的磁滞现象的不利影响，有效保证了执行器的高频响、线性化特性。
如图1，2，3，4，5，6所示超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀提供了新型伺服阀的结构形式及解决阀用执行器微位移放大、预压力施加、执行器冷却与热补偿等关键问题的新方法。具体如下所述：
超磁致伸缩执行器微位移放大：如图1，2，5所示，驱动线圈中通入交变电流，产生变化的磁场使超磁致伸缩棒被磁化，并使其长度发生变化，因超磁致伸缩棒外侧被热补偿衬罩固定，而热补偿衬罩又用螺钉固定在阀体上，所以超磁致伸缩棒只能向内侧伸长，又由于热补偿罩端面开有小油孔，该小油孔与回油循环回路相通，因此超磁致伸缩棒可推动输出活塞运动，因为输出活塞和两级滑阀式电液伺服阀之间空腔间隙内为压力油液，从而可以推动滑阀阀芯运动。又由于输出活塞的直径大于滑阀阀芯直径，则可实现执行器输出微位移的放大。
超磁致伸缩棒预压力施加：如图1，2，3所示，超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀通过单向注油通道17注入压力油液，压力油液推动圆锥阀芯16压缩弹簧15，液压油便进入位移放大腔，其油液压力由阀外溢流阀调定，则油液压力对输出活塞产生压力，输出活塞便对超磁致伸缩棒施加预压力。因为活塞缸中压力油压力可调，而对超磁致伸缩棒施加的预压力是由液压油的压力产生的，所以对超磁致伸缩棒施加的预压力便可以通过改变液压油的压力来调节。
超磁致伸缩执行器冷却方法：如图1，2，5所示，液压工作油液经过伺服阀的回油口按图所示箭头方向流动，经过热补偿罩上的大油孔流入热补偿罩和线圈骨架之间的空腔间隙，再经过阀体油道流入另一个超磁致伸缩执行器，最后经阀外冷却器最终流入油箱，此油液循环过程中由于油液与热补偿罩和线圈骨架充分接触，因此可带走线圈发热和超磁致伸缩棒发热传递的热量，达到冷却的目的。
超磁致伸缩执行器热补偿方法：如图1，2所示，热补偿衬罩采用导磁率小于1.03的不锈钢，其热膨胀系数与超磁致伸缩棒热膨胀系数相当，由于阀体为固定结构，热补偿衬罩和超磁致伸缩棒产生大小基本相等、方向均朝执行器位移输出相反方向的热变形，即超磁致伸缩棒热变形由热补偿衬罩热致伸长补偿，从而保证执行器输出位移不受热变形的影响，提高了超磁致伸缩执行器的精度。
超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀工作原理如下所述：
单超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀工作原理如图1，3，4，5，6所示，首先向偏置线圈输入直流电，用来保证超磁致伸缩棒工作在选择好的静态压力状态下，使超磁致伸缩棒工作在线性区域，以消除倍频现象。同时在执行器驱动线圈中输入一确定初始交变电流使超磁致伸缩执行器提供一定预伸长量，并通过单向注油通道以及阀外溢流阀和液压泵向位移放大腔内注入压力油液，为超磁致伸缩棒施加预压力，压缩滑阀复位弹簧32并调节伺服阀先导阀芯的零位。
伺服阀正常工作时：通过改变超磁致伸缩执行器驱动线圈中的驱动电流，使执行器输入电流增大或减小以改变超磁致伸缩棒驱动磁场的强弱，从而使执行器的超磁致伸缩棒继续伸长或缩短。超磁致伸缩棒的位移输出通过输出活塞和压力油液传递给滑阀先导阀芯，滑阀先导阀芯有位移输出，其位移量与超磁致伸缩棒位移输出量成比例放大关系，放大系数由输出活塞直径和滑阀先导阀芯直径决定。假如执行器驱动线圈电流增大，磁场增强，即超磁致伸缩棒继续增大伸长量，则滑阀先导阀芯右移，滑阀先导阀芯右移致使右侧可变节流口18打开，并使右侧进油压力油液及右侧控制腔8油液直接经回油循环流回油箱，从而使右侧控制腔压力下降，此时由于左侧可变节流口24关闭，则左侧进油压力油液进入左控制腔25后压力上升，两侧压力差致使滑阀主阀芯5向右运动，直到右侧可变节流口被重新关闭，最终使滑阀主阀芯得到一确定位移输出量，从而使伺服阀得到一确定流量输出。假如超磁致伸缩执行器驱动线圈电流减小，磁场减弱，即超磁致伸缩棒缩短，则在滑阀先导阀芯弹簧复位装置的作用下滑阀先导阀芯左移，同样会使伺服阀得到相反方向一确定流量输出。
双超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀工作原理如图2，3，4，5，6所示，首先向偏置线圈输入直流电，用来保证超磁致伸缩棒工作在选择好的静态压力状态下，使超磁致伸缩棒工作在线性区域，以消除倍频现象。同时在两个超磁致伸缩执行器驱动线圈中输入一确定初始交变电流使两个超磁致伸缩执行器都提供一定预伸长量，并通过两个单向注油通道以及阀外溢流阀和液压泵向伺服阀位移放大腔内注入压力油液，为超磁致伸缩执行器施加预压力，并调整滑阀阀芯处于零位。
伺服阀正常工作时：向两个超磁致伸缩执行器输入差动电流，使一个执行器输入电流增大而另一个执行器输入电流减小，而两个执行器增加和减小的电流相等，由于两个执行器都有一定的初始驱动电流即都有一定的预伸长量，因此输入差动电流后，一个执行器的超磁致伸缩棒伸长而另一个执行器超磁致伸缩棒缩短，其伸长量和缩短量保持相等。超磁致伸缩棒的位移输出通过输出活塞和压力油液传递给滑阀先导阀芯，滑阀先导阀芯有位移输出，其位移量与超磁致伸缩棒位移输出量成比例放大关系，放大系数由输出活塞直径和滑阀阀芯直径决定。假如左侧执行器驱动线圈电流增大而右侧执行器驱动线圈电流减小，则左侧执行器伸长而右侧执行器位移缩短，此时滑阀先导阀芯右移，滑阀先导阀芯右移致使右侧可变节流口打开，并使右侧进油压力油液及右侧控制腔油液直接经回油循环流回油箱，从而使右侧控制腔压力下降；此时由于左侧可变节流口关闭，则左侧进油压力油液进入左控制腔后压力上升，两侧压力差致使滑阀主阀芯向右运动，直到右侧可变节流口被重新关闭，最终使滑阀主阀芯得到一确定位移输出量，从而使伺服阀得到一确定流量输出。假如右侧执行器驱动线圈电流增大而左侧执行器驱动线圈电流减小，同样会使伺服阀得到相反方向一确定流量输出。
如图5所示，超磁致伸缩执行器工作时由于热补偿罩端面开有小油孔，该小油孔将执行器输出活塞与伺服阀回油通道沟通从而保证输出活塞的可靠工作。伺服阀工作过程中，工作油液如图1，2所示箭头方向从伺服阀输出通道油口经热补偿罩大油孔流入线圈骨架和热补偿衬罩之间间隙，并实现对线圈骨架和热补偿罩的冷却，最后沿箭头方向流入伺服阀外的冷却器后最终流回油箱。
Claims (7)
1、一种超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：
包括阀体(26)、安装于阀腔(21)内的主阀芯(5)和先导阀芯(6)、位于先导阀芯(6)一侧的超磁致伸缩执行器、位于超磁致伸缩执行器与先导阀芯(6)之间的微位移放大器、位于先导阀芯(6)另一侧的弹簧复位装置；
上述超磁致伸缩执行器包括热补偿罩(12)、安装于热补偿罩内的超磁致伸缩棒(13)、位于热补偿罩(12)外侧的线圈骨架(2)，还包括依次绕于线圈骨架(2)外侧的驱动线圈(4)和偏置线圈(3)；
上述微位移放大器由位移放大腔(9)、安装于位移放大腔(9)内与超磁致伸缩棒(13)相联的输出活塞(10)组成，位移放大腔(9)另一端与上述先导阀芯(6)相连；
上述阀体(26)上还具有与阀腔(21)相连的主供油通道(20)、输出油道(7)，及回油冷却循环通道(22)；
上述阀体(26)上还具有与位移放大腔(9)相连的通过单向阀实现单向注油单向预压力注油通道(17)。
2、根据权利要求1所述的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：上述热补偿罩(12)与线圈骨架(2)之间具有间隙，该间隙为伺服阀回油冷却循环通道(22)的一部分。
3、根据权利要求1所述的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：所述单向阀由弹簧座(14)、弹簧(15)、及圆锥阀芯(16)组成。
4、根据权利要求1所述的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：上述复弹簧复位装置包括与滑阀先导阀芯(6)相连的复位弹簧(32)、复位弹簧座(31)、密封圈(30)、调节螺钉(29)、防松螺母(28)。
5、一种超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：
包括阀体(26)、安装于阀腔(21)内的主阀芯(5)和先导阀芯(6)、一对超磁致伸缩执行器、一对位于超磁致伸缩执行器与先导阀芯(6)之间的微位移放大器；
上述超磁致伸缩执行器包括热补偿罩(12)、安装于热补偿罩内的超磁致伸缩棒(13)、位于热补偿罩(12)外侧的线圈骨架(2)，还包括依次绕于线圈骨架(2)外侧的驱动线圈(4)和偏置线圈(3)；
上述微位移放大器由位移放大腔(9)、安装于位移放大腔(9)内与超磁致伸缩棒(13)相联的输出活塞(10)组成，位移放大腔(9)另一端与上述先导阀芯(6)相连；
上述阀体(26)上还具有与阀腔(21)相连的主供油通道(20)、输出油道(7)，及回油冷却循环通道(22)；
上述阀体(26)上还具有与位移放大腔(9)相连的通过单向阀实现单向注油的单向预压力注油通道(17)。
6、根据权利要求5所述的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：上述热补偿罩(12)与线圈骨架(2)之间具有间隙，该间隙为伺服阀回油冷却循环通道(22)的一部分。
7、根据权利要求5所述的超磁致伸缩执行器驱动的两级滑阀式电液伺服阀，其特征在于：所述单向阀由弹簧座(14)、弹簧(15)、及圆锥阀芯(16)组成。
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