CN101566559B - 光谱仪真空系统中的防震动装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光谱仪真空系统中的防震动装置,包括:防震板、第一波纹管和第二波纹管,防震板为L型的材质软且固有频率低的金属板,防震板的一面上固定安装有光谱仪真空系统的电磁挡板阀,防震板的另一面固定安装在光谱仪真空系统的机架上,第一波纹管的一端与电磁挡板阀的出气口密封连接,第一波纹管的另一端与光谱仪真空系统的真空泵密封连接,第二波纹管的一端与电磁挡板阀的进气口密封连接,第二波纹管的另一端与光谱仪真空系统的光室密封连接。本发明光谱仪真空系统中的防震动装置有效地减少了光谱仪真空系统的震动产生,也有效地阻止了震动的传递,大大的改善了光谱仪的光室内部器件的性能。

Description

光谱仪真空系统中的防震动装置
技术领域
本发明涉及一种防震动装置,尤其涉及一种光谱仪真空系统中的防震动装置。
背景技术
真空型光谱仪在正常工作时,为了保持其光室的真空度,光谱仪真空系统中的真空泵每间隔一段时间工作一次,而真空泵的一端与光谱仪真空系统中的电磁挡板阀的出气口连接,电磁挡板阀的进气口又固定在真空型光谱仪的光室上,因此在真空泵开启和关闭时产生的剧烈的机械震动会通过电磁挡板阀传递给光室,造成光室内部器件轻微的移动,长此以往会造成光室内部器件的性能下降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光谱仪真空系统中的防震动装置,以减小在真空泵开启和关闭时会产生剧烈的机械震动而造成的光室内部器件轻微的移动,稳定光室内部器件的性能。
为达到上述目的,本发明提供了一种光谱仪真空系统中的防震动装置,包括:防震板、第一波纹管和第二波纹管,所述防震板为L型的材质软且固有频率低的金属板,所述防震板的一面上固定安装有电磁挡板阀,所述防震板的另一面固定安装在光谱仪真空系统的机架上,所述第一波纹管的一端与所述电磁挡板阀的出气口密封连接,所述第一波纹管的另一端与所述光谱仪真空系统的真空泵密封连接,所述第二波纹管的一端与所述电磁挡板阀的进气口密封连接,所述第二波纹管的另一端与所述光谱仪真空系统的光室密封连接。
本发明的光谱仪真空系统中的防震动装置,所述防震板为L型的厚度为2.0mm的铝板。
本发明的光谱仪真空系统中的防震动装置将电磁挡板阀安装在一个L形的材质软且固有频率低的金属材质的防震板上,电磁挡板阀与光室之间使用波纹管连接。这样电磁挡板阀上产生的震动一方面通过防震板的减震而减弱,另一方面通过波纹管的减震而很少的将震动传递到光室上,这样整个防震装置则有效地减少了震动的产生,也有效地阻止了震动的传递,大大的改善了光室的部器件性能。
附图说明
图1为本发明的光谱仪真空系统中的防震动装置的组装图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明:
参考图1,本发明的光谱仪真空系统中的防震动装置,包括:防震板1、第一波纹管2和第二波纹管3。其中,防震板1为L型的铝板,其厚度为2mm。该防震板1的一面上通过紧固螺钉5固定安装有光谱仪真空系统的电磁挡板阀4,防震板1的另一面通过紧固螺钉6固定安装在光谱仪真空系统的机架上。第一波纹管2的一端通过第一卡箍7与电磁挡板阀4的出气口41连接,其连接处还设有第一密封圈8,第一波纹管2的另一端采用同样的连接方式与光谱仪真空系统的真空泵连接。第二波纹管3的一端通过第二卡箍9与电磁挡板阀4的进气口42连接,其连接处还设有第二密封圈10,第二波纹管3的另一端采用同样的连接方式与光谱仪真空系统的光室连接。
当光谱仪真空系统的真空泵在开启或关闭时,其产生的震动通过第一波纹管减震后传导至电磁挡板阀,而承载电磁挡板阀的防震板为材质软且固有频率低的金属板,这样,电磁挡板阀的震动通过防震板减震作用而减弱,而与电磁挡板阀连接的第二波纹管则会进一步将电磁挡板阀的震动减弱,这样通过三次减震后真空泵产生的震动被大大减弱,最终只有很少的震动能通过第二波纹管传导到光谱仪真空系统的光室上。
本发明的光谱仪真空系统中的防震动装置将电磁挡板阀安装在一个L形的材质软且固有频率低的金属材质的防震板上,电磁挡板阀与光室之间使用波纹管连接。这样电磁挡板阀上产生的震动一方面通过防震板的减震而减弱,同时也将很少的震动传递到机壳上,另一方面通过波纹管的减震而将很少的震动传递到光室上,这样整个防震装置则有效地减少了震动的产生,也有效地阻止了震动的传递,大大的改善了光室内部器件的性能。
上面所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述,并非对本发明的范围进行限定,在不脱离本发明设计精神前提下,本领域普通工程技术人员对本发明技术方案作出的各种变形和改进,均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (1)

1.一种光谱仪真空系统中的防震动装置,其特征在于,包括:防震板(1)、第一波纹管(2)和第二波纹管(3),所述防震板(1)为L型的材质软且固有频率低的金属板,所述防震板(1)的一面上固定安装有光谱仪真空系统的电磁挡板阀(4),所述防震板(1)的另一而固定安装在光谱仪真空系统的机架上,所述第一波纹管(2)的一端与所述电磁挡板阀(4)的出气口(41)密封连接,所述第一波纹管(2)的另一端与所述光谱仪真空系统的真空泵密封连接,所述第二波纹管(3)的一端与所述电磁挡板阀(4)的进气口(42)密封连接,所述第二波纹管(3)的另一端与所述光谱仪真空系统的光室密封连接,所述防震板(1)为L型的厚度为2mm的铝板。
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