CN101498898A - 对准扫描验证模拟装置及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置及其控制方法，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。
Description
技术领域
本发明涉及光刻领域，且特别涉及一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置，以及运用这种对准扫描验证模拟装置对光刻设备中对准系统的对准扫描验证模拟的控制方法。
背景技术
在工业装置中，由于高精度和高产能的需要，分布着大量高速实时测量、信号采样、数据采集、数据交换和通信传输等的传感器装置和控制系统。这些系统需要我们采用多种方式实现传感器探测、信号采样控制、数据采集控制、数据交换控制和数据传输通信等的控制。有该控制需求的装置包括：集成电路制造光刻装置、平板显示面板光刻装置、MEMS/MOEMS光刻装置、先进封装光刻装置、印刷电路板光刻装置、印刷电路板加工装置以及印刷电路板器件贴装装置等。
光刻设备是一种将所需图案应用于工件上的装置。通常是将所需图案应用于工件上的目标部分上的装置。光刻装置能够被用于例如集成电路(IC)的制造。在这种情况下，掩模板被用于生产在IC一个单独层上形成的电路图案，该图案被传递到工件(如硅晶片)的目标部分，例如包括一部分，一个或者多个管芯上。通常是通过成像到工件上提供的一层辐射敏感材料(抗蚀剂)上来按比例复制所需图像。已知的光刻设备还包括扫描器，运用辐射光束沿给定的方向(“扫描”方向)扫描所述图案，并同时沿与该方向平行或者反平行的方向同步扫描工件来辐照每一目标部分。还通过将图案压印在工件上而将图案通过构图部件生成到工件上。
在以前的上述设备中，在类似中国专利CN200710044559.4所述对准系统的光刻设备中，无法进行对准扫描验证模拟，也无法实现光刻设备中对对准系统进行验证和模拟，不便对对准系统的对准性能进行仿真和评估，无法对准系统性能仿真和评估的真实性和完备性进行检验，不能验证评估对准系统在不同对准场景和工艺条件下的适应性。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于提供光刻设备的对准扫描验证模拟装置及其控制方法，运用对准扫描验证模拟装置进行对准扫描验证模拟，以实现光刻设备中对对准系统进行验证和模拟，便于对对准系统的对准性能进行仿真和评估，提高了对准系统性能仿真和评估的真实性和完备性，验证评估对准系统在不同对准场景和工艺条件下的适应性。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。
进一步的，所述的对准扫描控制器用于计算生成对准扫描参数和计算对准位置信息，启动对准扫描信号处理器，从对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器同步收集对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息。
进一步的，所述对准扫描参数包括对准扫描起始点和终止点、对准扫描采样点数、模型偏差补偿参数、系统误差常数、采样同步时序误差常数、信号处理模型常数。
进一步的，所述对准扫描信号处理器使用对准扫描控制器下发的对准扫描参数，对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行对准信号模型拟合计算。
另外，在上述光刻设备中的对准扫描验证模拟装置的控制方法步骤如下：
(1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟装置，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式；
(2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式，并将对准扫描诊断方式设置到对准扫描信号处理器中；
(4)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器；
(5)对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器；
(6)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器；
(8)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(9)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
本发明还公开了一种光刻设备的对准扫描验证模拟系统，该系统包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描同步控制器、对准扫描位置信息发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描位置测量系统、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描光辐射调制器、对准扫描光辐射信息探测系统、对准扫描信号处理器，其中对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够选择接收对准扫描位置发生器生成的或对准扫描位置测量系统采样的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够选择接收对准扫描光辐射信息发生器生成的或对准扫描光辐射信息探测系统采样的对准扫描光辐射信息，对准扫描同步控制器控制对准扫描位置测量系统和对准扫描光辐射信息探测系统间的同步采样时序。
进一步的，所述对准扫描位置测量系统测量的是对准扫描光辐射调制器的位置信息，对准扫描光辐射信息探测系统探测的是对准扫描光辐射调制器的光辐射信息。
另外，在上述光刻设备中的对准扫描验证模拟系统的控制方法步骤如下：
(1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟系统，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式和验证模拟方式；
(2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式和验证模拟方式；
(4)根据验证模拟方式，确定是否全景验证模拟，若不是，则转至步骤(5)，否则，转至步骤(6)；
(5)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器，对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(6)对准扫描同步控制器对对准扫描位置测量系统和对准扫描光辐射探测系统发出同步采样控制信号，对准扫描位置信息采集器采集对准扫描位置信息，对准扫描光辐射信息采集器采集对准扫描光辐射信息，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(8)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，在接收到对准扫描位置信息采集器发送来的位置信息后，将光辐射信息从对准扫描光辐射信息采集器中采集进来，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器；
(9)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(10)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
进一步的，所述对准扫描参数包括对准扫描起始点和终止点、对准扫描采样点数、模型偏差补偿参数、系统误差常数、采样同步时序误差常数、信号处理模型常数。
本发明由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：
1.本发明通过提供对准扫描验证模拟装置及其控制方法，实现了实现光刻设备中对对准系统进行验证和模拟，实现了对对准系统的对准性能进行仿真和评估；
2.本发明通过提供对准扫描验证模拟装置及其控制方法，实现了对对准系统性能仿真和评估的真实性和完备性进行检验，验证评估对准系统在不同对准场景和工艺条件下的适应性。
附图说明
通过以下对本发明的具体实施例结合其附图的描述，能够进一步理解其发明的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为：
图1为本发明较佳实施例传感器装置的光刻设备对准系统的结构示意图。
图2为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟装置的结构示意图。
图3为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟装置控制方法流程图。
图4为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟系统的结构示意图。
图5为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟系统控制方法流程图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
请参考图1，图1为本发明较佳实施例传感器装置的光刻设备对准系统的结构示意图，图中4为构图部件，其上具有构图图形(包括曝光构图图形和对准构图图形5)，9为被光刻工件，构图图形照射窗口2及其控制板3用于形成窗口将辐射1透射到对准构图图形5上，以形成透射像；投影系统8用于将该透射像投射形成空间像，并用工件台对准标记11探测该空间像；光刻设备的传感器装置12用于检测空间像经过工件台对准标记11透射后的辐射信息；构图部件承载台位置探测器7和工件台位置探测器13分别探测对准扫描过程中的构图部件承载台6和工件台10的空间位置，在对准控制装置16中的对准扫描同步控制器的控制下，还同步测量得到传感器装置12中的辐射信息；或者通过反射成像装置15扫描硅片标记14，在对准控制装置16中的对准扫描同步控制器的控制下，探测工件台10的空间位置信息和经过反射成像装置15获得的光辐射信息。将探测到的所有空间位置信息和光辐射信息采集到对准控制装置16中，进行对准扫描控制得到对准位置。
本发明的光刻设备的对准扫描验证模拟装置中的对准系统包括：对准扫描控制器、对准扫描同步控制器、对准扫描光辐射调制器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描位置测量系统、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描光辐射探测系统、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描光辐射调制器包括辐射1、构图部件4、投影系统8和传感器装置12，或者包括反射成像装置15和硅片标记14，对准扫描位置测量系统包括：构图部件承载台位置探测器、工件台位置探测器，对准扫描光辐射探测系统包括：工件台对准标记传感器装置13和反射成像探测装置15，对准扫描验证模拟装置被用于验证模拟掩模对准系统和硅片对准系统进行对准扫描。
图2为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟装置的结构示意图，如图2所示，本发明的光刻设备的对准扫描验证模拟装置中的对准系统包括：对准扫描控制器18、对准扫描同步控制器20、对准扫描光辐射调制器30、对准扫描位置信息采集器40、对准扫描位置测量系统50、对准扫描光辐射信息采集器60、对准扫描光辐射探测系统70、对准扫描信号处理器80，对准扫描验证模拟装置被用于验证模拟掩模对准系统和硅片对准系统进行对准扫描。
对准扫描验证模拟装置的工作系统包括对准扫描验证模拟控制器90、对准扫描控制器18、对准扫描位置发生器100、对准扫描位置信息采集器40、对准扫描光辐射信息发生器110、对准扫描光辐射信息采集器60、对准扫描信号处理器80，其中，对准扫描验证模拟控制器90设置对准扫描位置信息采集器40和对准扫描光辐射信息采集器60的工作状态，使对准扫描位置信息采集器40能够接收对准扫描位置信息发生器100生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器60能够接收对准扫描光辐射信息发生器110生成的对准扫描光辐射信息。所述的对准扫描控制器18用于计算生成对准扫描参数和计算对准位置信息，启动对准扫描信号处理器80从对准扫描位置信息采集器40和对准扫描光辐射信息采集器60的同步收集对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息。所述对准扫描参数包括对准扫描起始点和终止点、对准扫描采样点数、模型偏差补偿参数、系统误差常数、采样同步时序误差常数、信号处理模型常数等。所述对准扫描信号处理器80使用对准扫描控制器18下发的对准扫描参数，对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行对准信号模型拟合计算，这里所述的对准信号模型包括多项式函数模型、正弦或余弦函数模型、指数函数模型或它们的组合。其中，光辐射信息包括单峰值特性、多峰值特性、谷值特性、幅值特性、相位特性、边缘特性、图案辨识特性或窗口特性中的一个或多个特性的组合形成的光辐射数据，或者包括反射单峰值特性、反射多峰值特性、反射谷值特性、衍射相位特性、反射边缘特性、图案辨识特性或窗口特性中的一个或多个特性的组合形成的光辐射数据。位置信息包括构图部件承载台和工件台的6自由度位置数据。对准扫描位置数据信息的生成过程中考虑测量噪声、测量抖动、采样同步误差、扫描速度的均匀性、工件台和构图部件承载台振动等随机信号对位置数据信息变化的影响，对准扫描光辐射信息的生成过程中考虑测量噪声、测量抖动、采样同步误差、扫描速度均匀性、工件台和构图部件承载台振动等随机信号对光辐射信息变化的影响。
下面结合图3对本发明的光刻设备的对准扫描验证模拟装置的控制方法进行描述。光刻设备的对准扫描验证模拟装置的控制方法步骤如下：
(S1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟装置，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式，这里的对准扫描名义参数包括：空间像尺寸、空间像中心的计算位置等；
(S2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(S3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式，并将对准扫描诊断方式设置到对准扫描信号处理器中；
(S4)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器；
(S5)对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器；
(S6)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(S7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器，这里所述的对准信号模型包括多项式函数模型、正弦或余弦函数模型、指数函数模型或它们的组合；
(S8)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(S9)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
再请参考图4，图4为本发明较佳实施例的对准扫描验证模拟系统的结构示意图。本发明较佳实施例还公开了一种光刻设备的对准扫描验证模拟系统，该系统包括：对准扫描验证模拟控制器290、对准扫描控制器210、对准扫描同步控制器220、对准扫描位置信息发生器300、对准扫描位置信息采集器240、对准扫描位置测量系统250、对准扫描光辐射信息发生器310、对准扫描光辐射信息采集器260、对准扫描光辐射调制器230、对准扫描光辐射信息探测系统270、对准扫描信号处理器280，其中对准扫描验证模拟控制器290设置对准扫描位置信息采集器240和对准扫描光辐射信息采集器260的工作状态，使对准扫描位置信息采集器240能够选择接收对准扫描位置发生器300生成的或对准扫描位置测量系统250采样的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器260能够选择接收对准扫描光辐射信息发生器310生成的或对准扫描光辐射信息探测系统270采样的对准扫描光辐射信息，对准扫描同步控制器220控制对准扫描位置测量系统250和对准扫描光辐射信息探测系统270间的同步采样时序。
下面结合图5对本发明的光刻设备的对准扫描验证模拟系统的控制方法进行描述。光刻设备的对准扫描验证模拟系统的控制方法，其方法步骤如下：
(S1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟系统，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式和验证模拟方式，这里的对准扫描名义参数包括：空间像尺寸、空间像中心的计算位置等；
(S2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(S3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式和验证模拟方式；
(S4)根据验证模拟方式，确定是否全景验证模拟，若不是，则转至步骤(S5)，否则，转至步骤(S6)；
(S5)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器，对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(S6)对准扫描同步控制器对对准扫描位置测量系统和对准扫描光辐射探测系统发出同步采样控制信号，对准扫描位置信息采集器采集对准扫描位置信息，对准扫描光辐射信息采集器采集对准扫描光辐射信息，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(S7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(S8)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，在接收到对准扫描位置信息采集器发送来的位置信息后，将光辐射信息从对准扫描光辐射信息采集器中采集进来，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器，这里所述的对准信号模型包括多项式函数模型、正弦或余弦函数模型、指数函数模型或它们的组合；
(S9)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(S10)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
综上所述，本发明由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：
1.本发明通过提供对准扫描验证模拟装置及其控制方法，实现了实现光刻设备中对对准系统进行验证和模拟，实现了对对准系统的对准性能进行仿真和评估；
2.本发明通过提供对准扫描验证模拟装置及其控制方法，实现了对对准系统性能仿真和评估的真实性和完备性进行检验，验证评估对准系统在不同对准场景和工艺条件下的适应性。
以上介绍的仅仅是基于本发明的优选实施例，并不能以此来限定本发明的范围。任何对本发明实施步骤作本技术领域内熟知的等同改变或替换均不超出本发明的揭露以及保护范围。
Claims (9)
1、一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。
2、如权利要求1所述的光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，所述的对准扫描控制器用于计算生成对准扫描参数和计算对准位置信息，启动对准扫描信号处理器，从对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器同步收集对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息。
3、如权利要求2所述的光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，所述对准扫描参数包括对准扫描起始点和终止点、对准扫描采样点数、模型偏差补偿参数、系统误差常数、采样同步时序误差常数、信号处理模型常数。
4、如权利要求1所述的光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，所述对准扫描信号处理器使用对准扫描控制器下发的对准扫描参数，对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行对准信号模型拟合计算。
5、如权利要求1所述的光刻设备的对准扫描验证模拟装置的控制方法，其特征在于，其方法步骤如下：
(1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟装置，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式；
(2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式，并将对准扫描诊断方式设置到对准扫描信号处理器中；
(4)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器；
(5)对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器；
(6)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器；
(8)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(9)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
6、一种光刻设备的对准扫描验证模拟系统，其特征在于，该系统包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描同步控制器、对准扫描位置信息发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描位置测量系统、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描光辐射调制器、对准扫描光辐射信息探测系统、对准扫描信号处理器，其中对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够选择接收对准扫描位置发生器生成的或对准扫描位置测量系统采样的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够选择接收对准扫描光辐射信息发生器生成的或对准扫描光辐射信息探测系统采样的对准扫描光辐射信息，对准扫描同步控制器控制对准扫描位置测量系统和对准扫描光辐射信息探测系统间的同步采样时序。
7、如权利要求6所述的光刻设备的对准扫描验证模拟系统，其特征在于，所述对准扫描位置测量系统测量的是对准扫描光辐射调制器的位置信息，对准扫描光辐射信息探测系统探测的是对准扫描光辐射调制器的光辐射信息。
8、如权利要求6所述的光刻设备的对准扫描验证模拟系统的控制方法，其特征在于，其方法步骤如下：
(1)启动光刻设备的对准扫描验证模拟系统，对准扫描验证模拟控制器将光刻设备计算所得的对准扫描名义参数发送给对准扫描控制器，并对对准扫描控制器设置对准扫描诊断方式和验证模拟方式；
(2)对准扫描验证模拟控制器将位置信息生成参数发送给对准扫描位置信息发生器，将光辐射信息生成参数发送给对准扫描光辐射信息发生器；
(3)对准扫描控制器根据接收的对准扫描名义参数计算生成对准扫描参数，设置从对准扫描验证模拟器接收对准扫描诊断方式和验证模拟方式；
(4)根据验证模拟方式，确定是否全景验证模拟，若不是，则转至步骤(5)，否则，转至步骤(6)；
(5)对准扫描位置信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的位置信息生成参数计算生成对准扫描位置信息，并将对准扫描位置信息发至对准扫描位置信息采集器，对准扫描光辐射信息发生器根据对准扫描验证模拟控制器提供的光辐射信息生成参数计算生成对准扫描光辐射信息，并将对准扫描光辐射信息发至对准扫描光辐射信息采集器，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(6)对准扫描同步控制器对对准扫描位置测量系统和对准扫描光辐射探测系统发出同步采样控制信号，对准扫描位置信息采集器采集对准扫描位置信息，对准扫描光辐射信息采集器采集对准扫描光辐射信息，对准扫描位置信息采集器对对准扫描信号处理器发送对准扫描位置信息；
(7)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描诊断方式，设置对准扫描诊断方式；
(8)对准扫描信号处理器根据对准扫描控制器下发的对准扫描参数，在接收到对准扫描位置信息采集器发送来的位置信息后，将光辐射信息从对准扫描光辐射信息采集器中采集进来，使用指定的对准信号模型对对准扫描位置信息和对准扫描光辐射信息进行拟合计算，得到对准信号模型的参数，并根据对准扫描诊断方式，将诊断数据和对准信号模型参数发送给对准扫描控制器；
(9)对准扫描控制器接收并根据对准扫描信号处理器发送的诊断数据和对准信号模型参数，计算对准位置信息，根据对准扫描诊断方式将诊断数据和对准位置信息发送给对准扫描验证模拟器中；
(10)对准扫描验证模拟器对诊断数据和对准位置信息进行分析，显示对准扫描验证模拟的结果，结束对准扫描验证模拟。
9、如权利要求8所述的光刻设备的对准扫描验证模拟系统的控制方法，其特征在于，所述对准扫描参数包括对准扫描起始点和终止点、对准扫描采样点数、模型偏差补偿参数、系统误差常数、采样同步时序误差常数、信号处理模型常数。
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| CN102486621A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 上海微电子装备有限公司 | 一种对准调整装置及对准调整方法 |
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