CN101496457B - 检查方法及检查处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，提供一种对流过传输线上的多个片材进行规定次数(N次)的规定处理的情况下，不会产生多大的时间延长，而在N次的处理全部结束之前，能够掌握对于中途的处理(第n次处理)的检查结果的检查方法等。一种对进行了规定处理的对象物进行检查的检查方法，包括：将多个所述对象物在传输线上传输的同时对各个所述对象物依次重复进行N次(N为2以上的自然数)所述规定处理的处理步骤；以及从所述多个对象物中，对结束了第n次(n为N以下且1以上的自然数)的处理的开头的所述对象物进行检查，将检查后的所述对象物返回到所述多个对象物中结束了所述第n次处理的对象物之后的检查步骤。

Description

检查方法及检查处理系统

技术领域

本发明涉及将多个检查对象物在传输线上传输的同时进行检查的检查方法等。

背景技术

近年来，作为高密度安装用的印刷线路板，盛行通过B²it(Buried BumpInterconnection Technology/B2it)方式等的组合印刷线路板的开发。例如B²it方式的组合印刷线路板是，例如将在被称为片材的铜箔基板上形成多个圆锥状突起物的“凸点(bump)”的基板积层而制造。

这样的B²it方式的组合印刷线路板在凸点的形成之后，需要通过摄像机拍摄检查凸点是否在片材上按照标准的位置以按照标准的大小正确地形成。作为这样的凸点的检查方法，可以应用例如在专利文献1中公开那样的对工件表面形成的突起物的高度进行测量的测量方法的技术来进行。

但是，上述的片材中有大的尺寸规格的片材，其中也有比可由摄像机拍摄的尺寸大的尺寸的片材。为了在短时间内高精度地进行这样的片材的检查，需要使用多个摄像机。例如，假设片材的检查宽度方向的尺寸为1000mm、可由一台摄像机拍摄的拍摄宽度尺寸为20mm时，为了检查一个片材而需要50台的摄像机。

因此，由本专利中请人，对将CCD摄像机的数量抑制为最小限度地进行大的检查对象物的检查的方法进行了专利申请(专利文献2)。

另一方面，特别在上述的组合印刷布线板等的检查对象物中，如上所述地检查凸点是否在规定的位置以规定的形状正确地形成极其重要。因此，在该检查时，需要精密地进行摄像机的位置和、形成了必要的凸点的片材的位置之间的位置对齐(所谓的对准(alignment))。

专利文献1：特开2005-61953号公报

专利文献2：特开2006-153605号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在片材上形成凸点时，通过在片材上应形成凸点的位置，分多次重复印刷银浆(paste)，从而形成凸点。

即，由于在多次的银浆的印刷结束之后取出片材来进行凸点的检查，所以存在以下问题，即在第1次印刷时，即使已经产生了凸点的位置偏移等的不合适的情况下，也不能消除这种不合适的状态下继续进行第2次以后的印刷。

此外，通常在多个片材流过传输线上的同时重复进行印刷、干燥，但由于版的堵塞等、起因于版的不好而对于开头的片材的检查结果为NG的情况下，还存在不仅是开头的片材，流过传输线上的其他的片材也成为NG，大量的片材被淘汰(丢弃)的问题。

另一方面，即使是在专利文献2中记载的结构，还存在以下问题点，即仍还需要多个摄像机，没有解决用一台摄像机进行片材整体的检查的课题。

另一方面，在上述组合印刷布线板等的检查对象物的情况下，也需要在其制造步骤(在上述检查步骤前执行的制造步骤)中，进行与检查时相同的精密的位置对齐，其意味着以往在制造步骤中的位置对齐和在检查步骤中的位置对齐对一个检查对象物进行两次。

因此，还存在制造时间变长该两次位置对齐所需的时间量，在效率上、制造成本上、或者人手的确保上等显著不利的问题点。

因此，本发明是鉴于上述的各个课题而完成的，其第一目的在于，提供一种检查方法等，其对流过传输线上的多个片材进行规定次数(N次)的规定处理的情况下，不会产生多大的时间延长，而在N次的处理全部结束之前，能够掌握对于中途的处理(第n次处理)的检查结果。

此外，第二目的在于，提供一种检查方法等，其在传输具有比可由摄像机拍摄的尺寸大的检查区域的多个片材基板等的检查对象物的同时进行该检查对象物的检查的情况下，能够由一台摄像机进行检查对象物的检查区域整体的检查。

此外，第三目的在于，提供一种制造/检查装置以及制造/检查方法，其在对同一个结构物执行制造步骤和检查步骤的情况下，能够通过降低位置对齐的次数来消除在制造上的不利。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题的技术方案1的发明是一种对进行了规定处理的对象物进行检查的检查方法，其特征在于，所述检查方法包括：处理步骤，将多个所述对象物在传输线上传输的同时对各个所述对象物依次重复进行N次(N为2以上的自然数)所述规定处理；以及检查步骤，从所述多个对象物中，对结束了第n次(n为N以下且1以上的自然数)的处理的开头的所述对象物进行检查，将检查后的所述对象物返回到所述多个对象物中结束了所述第n次处理的对象物之后。

这样，在传输多个对象物的同时对各个对象物重复进行N次规定的处理时，对结束了第n次的处理的开头的对象物进行检查，将该检查后的对象物返回到结束了第n次的处理的对象物之后，所以不会产生多大的时间延迟，而能够在N次处理全部结束之前，掌握对于中途的处理(第n次处理)的检查结果。

为了解决上述课题的技术方案2的发明是在技术方案1中的检查方法，其特征在于，所述检查步骤是将检查后的所述对象物返回到结束了所述第n次的处理的最末尾的对象物之后。

这样，可以将检查后的对象物适当地返回到传输线上，对该检查后的对象物接着进行规定处理。

为了解决上述课题的技术方案3的发明是在技术方案1或2中的检查方法，其特征在于，所述检查步骤包括检查结果通知步骤，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理步骤，在所述处理步骤中，若从所述检查步骤接受到对于第n次的处理的检查结果的通知，则在该检查结果为不好的情况下，对所述多个对象物中止处理。

这样，在检查结果为NG的情况下，中止处理，所以可以将检查结果迅速地反映到对于其他的对象物的处理中。

为了解决上述课题的技术方案4的发明是在技术方案1至3的任一项所述的检查方法，其特征在于，所述检查步骤包括检查结果通知步骤，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理步骤，在所述处理步骤中，若从所述检查步骤接受到对于第n次的处理的检查结果的通知，则只有在该检查结果为良好的情况下，对所述对象物进行第n+1次的处理。

这样，接受对于第n次的处理的检查结果，进行下一次(n+1次)的检查，所以能够在下一次(n+1次)的处理之前完成对于第n次的处理的检查，能够将对于第n次处理的检查结果迅速地反馈到下一次处理，能够极力减少没用的处理。

为了解决上述课题的技术方案5的发明是在技术方案1至4的任一项所述的检查方法，其特征在于，所述对象物为片材基板，在所述处理步骤中的所述规定处理是印刷处理，该印刷处理要在所述片材基板上形成具有规定的高度的凸点(bump)，对该片材基板重复印刷银浆(paste)，所述检查步骤检查所述凸点的有无、高度、位置等。

这样，在传输多个片材基板的同时对各个片材基板重复进行N次规定的印刷处理时，对结束了第n次的印刷处理的开头的片材基板进行检查，将该检查后的片材基板返回到结束了第n次的印刷处理的片材基板之后，所以可以在N次印刷处理全部结束之前，掌握对于中途的印刷处理(第n次印刷处理)的检查结果。

为了解决上述课题的技术方案13的发明是一种检查方法，其将具有比可由摄像机拍摄的尺寸大的检查区域的检查对象物，且多个所述检查对象物在传输线上传输的同时进行检查，其特征在于，所述检查方法包括：拍摄步骤，对一个所述检查对象物进行可由所述摄像机拍摄的尺寸量的拍摄宽度区域的拍摄，该拍摄步骤包括在拍摄之后使所述摄像机至少移动拍摄宽度尺寸量的移动步骤，该拍摄步骤对在所述摄像机的移动之后传来的其他的所述检查对象物，进行除去与所述一个检查对象物的拍摄宽度区域对应的区域的拍摄宽度区域的拍摄，直到所述检查对象物的检查区域整体的拍摄完成为止重复所述摄像机的移动和拍摄，对所述多个检查对象物中包含的各个所述检查对象物的各个，对相互不对应的位置的每个拍摄宽度区域进行拍摄；以及检查步骤，从所述摄像机取得通过所述摄像步骤所拍摄的各个所述拍摄宽度区域的图像，进行所述检查对象物的检查区域整体的检查。

这样，在传输具有比可由摄像机拍摄的尺寸大的检查区域的多个片材基板等的检查对象物的同时进行该检查对象物的检查时，通过移动摄像机的同时对传来的各个检查对象物对相互不对应的位置的每个拍摄区域进行拍摄，从而能够由一台摄像机进行检查对象物的检查区域整体的检查。

为了解决上述课题的技术方案14的发明是在技术方案13的检查方法，其特征在于，所述移动步骤使所述摄像机移动拍摄宽度尺寸量，所述拍摄步骤在所述摄像机的移动之后，对在所述一个检查对象物的下一个传来的所述其他的所述检查对象物，进行与所述一个检查对象物的拍摄宽度区域对应的区域相邻的拍摄宽度区域的拍摄。

这样，能够将摄像机的移动量抑制为最小限度，能够将通过物理性移动误差所引起的拍摄误差等抑制为最小限度。

为了解决上述课题的技术方案15的发明是在技术方案13或14的检查方法，该检查方法是进行对所述检查对象物进行了规定处理之后的所述检查对象物的检查，其特征在于，包括处理步骤，将所述多个检查对象物在所述传输线上传输的同时对各个所述检查对象物依次进行所述规定的处理，在所述拍摄步骤中，在对所有的所述检查对象物的所述规定处理结束之前，结束对于在所述多个检查对象物中，为了进行该检查对象物的检查区域整体的拍摄而必需进行拍摄宽度区域的拍摄的检查对象物的所有的拍摄。

这样，能够迅速地反映检查结果。

为了解决上述课题的技术方案16的发明是在技术方案15的检查方法，其特征在于，所述处理步骤对各个所述检查对象物重复进行所述规定处理，所述拍摄步骤在对于所有的所述检查对象物的第n次(n为自然数)的处理结束之前，结束对于在所述多个检查对象物中，为了进行该检查对象物的检查区域整体的拍摄而必需进行拍摄宽度区域的拍摄的检查对象物的所有的拍摄，所述检查步骤从所述摄像机取得通过所述拍摄步骤所拍摄的各个所述拍摄宽度区域的图像，进行所述检查区域整体的第n次的处理后的检查。

这样，能够准确地将检查结果反映到第n+1次之后的处理中。

为了解决上述课题的技术方案17的发明是在技术方案15或16的检查方法，其特征在于，所述检查步骤包括检查结果通知步骤，其将检查结果通知给所述处理步骤，所述处理步骤包括中止步骤，其在接受到检查结果为不好的指示的检查结果的通知时，中止所述处理。

这样，在检查结果为NG的情况下，中止处理，所以能够迅速地将检查结果反映到其他的检查对象物或下一个之后的处理中。

为了解决上述课题的技术方案18的发明是在技术方案15至17的任一项所述的检查方法，所述检查对象物为片材基板，在所述处理步骤中的所述规定处理是印刷处理，该印刷处理要在所述片材基板上形成具有规定的高度的凸点，对该片材基板重复印刷银浆，所述检查步骤检查所述凸点的高度、有无、位置等。

这样，在传输具有比可由摄像机拍摄的尺寸大的检查区域的多个片材基板的同时进行该片材基板的凸点的高度、有无、位置等的检查时，通过移动摄像机的同时对传来的各个片材基板对相互不对应的位置的每个拍摄区域进行拍摄，从而能够由一台摄像机进行片材基板的检查区域整体的检查。

为了解决上述课题的技术方案27的发明是一种制造/检查装置，包括网板印刷板等的制造部件，其在通过传输路径等的传输部件传输的基板等的材料上形成结构物；以及外观检查用摄像机等的检查部件，对所述形成的结构物的形成状况进行外观检查，其特征在于，所述制造/检查装置包括：位置对齐单元等的位置对齐部件，进行所述材料的位置、所述传输部件的位置、所述制造部件的位置之间的位置对齐；以及支持单元等的支持部件，支持所述检查部件，所述制造部件是在进行了所述位置对齐的通过所述传输部件所传输的所述材料上形成所述结构物的部件，所述制造/检查装置还包括基座，其固定了所述支持部件和所述传输部件。

因此，由于支持检查部件的支持部件固定在固定传输部件的基座中，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新对齐传输方向以外的方向的位置，所述检查部件对进行了材料和制造部件和传输部件之间的位置对齐的状态下形成的结构物的外观进行检查。

为了解决上述课题的技术方案28的发明是在技术方案27的制造/检查装置，其特征在于，所述支持部件是在所述结构物的检查时，使所述检查部件沿着与所述传输部件传输被形成该结构物的所述材料的方向垂直的方向移动的同时支持的支持部件。

因此，在外观检查时，由于支持部件使检查部件沿着与传输部件传输材料的方向垂直的方向移动的同时支持，所以即使通过使检查部件沿着该方向移动的同时进行检查而简化检查部件自身的结构的情况下，也无需在该外观检查时在结构物和检测部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

为了解决上述课题的技术方案29的发明是一种制造/检查装置，包括网板印刷板等的制造部件，其在通过传输路径等的传输部件传输的基板等的材料上形成结构物；以及外观检查用摄像机等的检查部件，对所述形成的结构物的形成状况进行外观检查，其特征在于，所述制造/检查装置包括：位置对齐单元等的位置对齐部件，进行所述材料的位置、所述传输部件的位置、所述制造部件的位置之间的位置对齐，所述制造部件是在进行了所述位置对齐的通过所述传输部件所传输的所述材料上形成所述结构物的部件，所述制造/检查装置还包括基座，其固定了所述检查部件和所述传输部件。

因此，由于检查结构物的外观的检查部件被固定在固定了传输部件的基座上，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐，所述结构物以进行了材料和制造部件和传输部件之间的位置对齐的状态下形成。

为了解决上述课题的技术方案30的发明是在技术方案27至29的任一项所述的制造/检查装置，其特征在于，所述位置对齐部件是进行所述材料的位置、所述传输部件的位置、所述制造部件的位置之间的、包含所述材料所传输的方向的面内的所述位置对齐的二轴台等的二维位置对齐部件。

因此，由于位置对齐部件是进行包含材料所传输的方向的面内的位置对齐的二维位置对齐部件，所以只要在结构物的外观检查时进行结构物和检查部件之间的传输方向的位置对齐即可，无需重新进行二维的位置对齐。

为了解决上述课题的技术方案31的发明是使用了技术方案27至30的任一项所述的制造/检查装置的制造/检查方法，其特征在于，所述制造/检查方法包括：位置对齐步骤，通过所述位置对齐部件进行所述位置对齐；形成步骤，在进行了所述位置对齐的状态的所述材料上，通过所述制造部件形成所述结构物；以及检查步骤，对进行了所述位置对齐且形成了所述结构物的所述材料中的所述形成状况，通过所述检查部件进行外观检查。

因此，由于对进行了材料和制造部件以及传输部件之间的位置对齐的状态下传输的材料上的结构物进行外观检查，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

发明效果

根据本发明，在传输多个片材基板等的对象物的同时对各个对象物重复进行N次规定处理时，对结束了第n次的处理的开头的对象物进行检查，将该检查后的对象物返回到结束了第n次的处理的对象物之后，所以不会产生多大的时间延长，而在N次的处理全部结束之前，能够掌握对于中途的处理(第n次处理)的检查结果。

此外，根据本发明，在传输具有比可由摄像机拍摄的尺寸大的检查区域的多个片材基板等的检查对象物的同时进行该检查对象物的检查时，通过移动摄像机的同时对传来的各个检查对象物对相互不对应的位置的每个拍摄区域进行拍摄，从而能够由一台摄像机进行检查对象物的检查区域整体的检查，例如在所有的检查对象物中产生的共同缺陷。

此外，根据技术方案27的发明，由于支持检查部件的支持部件固定在固定传输部件的基座中，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐，所述检查部件对进行了材料和制造部件和传输部件之间的位置对齐的状态下形成的结构物的外观进行检查。

因此，无需进行在外观检查时的位置对齐，从而能够避免由于制造时间变长所引起的效率上、制造成本上、或者人手的确保上等的不利情况。

根据技术方案28的发明，除了在技术方案27的发明效果之外，在外观检查时，由于支持部件使检查部件沿着与传输部件传输材料的方向垂直的方向移动的同时支持，所以即使通过使检查部件沿着该方向移动的同时进行检查而简化检查部件自身的结构的情况下，也无需在该外观检查时在结构物和检测部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

根据技术方案29的发明，由于检查结构物的外观的检查部件被固定在固定了传输部件的基座上，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐，所述结构物以进行了材料和制造部件以及传输部件之间的位置对齐的状态下形成。

因此，无需进行在外观检查时的位置对齐，从而能够避免由于制造时间变长所引起的效率上、制造成本上、或者人手的确保上等的不利情况。

根据技术方案30的发明，除了技术方案27至29的任一项所述的发明效果之外，由于位置对齐部件是进行包含材料所传输的方向的面内的位置对齐的二维位置对齐部件，所以只要在结构物的外观检查时进行结构物和检查部件之间的传输方向的位置对齐即可，无需重新进行二维的位置对齐。

根据技术方案31的发明，由于对进行了材料和制造部件以及传输部件之间的位置对齐的状态下传输的材料上的结构物进行外观检查，所以一旦进行了位置对齐的状态下传输材料的传输部件、检查部件之间的位置关系始终成为一定，所以在结构物的外观检查时无需在该结构物和检查部件之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

因此，无需进行在外观检查时的位置对齐，从而能够避免由于制造时间变长所引起的效率上、制造成本上、或者人手的确保上等的不利情况。

附图说明

图1是本第1实施方式的凸点形成线系统S的外观结构图。

图2是接着图1的凸点形成线系统S的外观结构图。

图3是接着图2的凸点形成线系统S的外观结构图。

图4是接着图3的凸点形成线系统S的外观结构图。

图5是接着图4的凸点形成线系统S的外观结构图。

图6是接着图5的凸点形成线系统S的外观结构图。

图7是接着图6的凸点形成线系统S的外观结构图。

图8是接着图7的凸点形成线系统S的外观结构图。

图9是接着图8的凸点形成线系统S的外观结构图。

图10是接着图9的凸点形成线系统S的外观结构图。

图11是其他例子中的凸点形成线系统S的外观结构图。

图12是其他例子中的凸点形成线系统S的外观结构图。

图13是本第2实施方式的凸点形成线系统SS的外观结构图。

图14是检查装置120的外观结构图。

图15是表示线传感器摄像机121对片材100a的拍摄情况的说明图。

图16是片材100a～100e的拍摄范围的说明图。

图17是凸点形成线系统SS的外观结构图。

图18是对片材100a～100h的凸点形成结束之后的凸点形成线系统SS的外观结构图。

图19是接着图18的凸点形成线系统SS的外观结构图。

图20是表示本第3实施方式的制造/检查装置的概要结构的方框图。

标号说明

1(1a～1p)、100(100a～100p) 片材

10 印刷步骤

20 检查步骤

30 干燥步骤

40、140 系统控制装置

110 印刷装置

120 检查装置

121 线传感器摄像机

130 干燥装置

200 基座

200A 位置对齐单元

200B 形成单元

200C 检查单元

201 二轴台

202 传输路径

203 外观检查用摄像机

204 网屏(screen)印刷版

205 位置对齐用摄像机

206 旋转台

207 支持单元

M 基板

具体实施方式

(I)第1实施方式

以下，基于附图说明本发明的优选的实施方式。在本第1实施方式中，将本发明的检查方法适用于传输片材基板的同时在该片材基板上形成凸点的凸点形成线系统的情况进行说明。

图1至图5是本第1实施方式的凸点形成线系统S的外观结构图。

凸点形成线系统S如下构成：对于作为对象物的一例的片材基板1(1a～1h)(以下，将“片材基板”简称为“片材”)印刷银浆的印刷步骤10(本发明的处理步骤的一例)、进行凸点的有无、高度、位置偏移等的检查的检查步骤20、进行印刷的银浆的临时干燥的干燥步骤30、以及与包含在印刷步骤10、检查步骤20以及干燥步骤30中的计算机(未图示)进行信息的交换并对各个计算机发送控制信号的系统控制装置40。另外，干燥步骤30可以包含在检查步骤20之前，或者没有将该干燥步骤30包含在本系统S内，在从本系统S排出片材1之后使其干燥。此外，不仅是印刷步骤10，也可以包含其他的处理步骤作为本发明的处理步骤。

片材1是，例如在通过B²it方式等的高密度安装用的组合印刷布线板中使用的铜箔片材基板，从凸点形成片材投入/排出口依次投入到系统S内。投入到系统S的片材1，之后在传输线上传输。

在印刷步骤10中，对传来的片材1，依次在规定的位置(期望形成凸点的位置)进行银浆的印刷。在本第1实施方式中，如图1以及图2所示那样，按照片材1a、片材1b、片材1c......的顺序在片材表面进行印刷处理。此外，要形成期望的高度的凸点的规定次数(N次)的印刷处理在同一个位置中重复进行，但在本第1实施方式中，说明进行3次(N＝3)印刷的情况。

在检查步骤20中，进行结束了第1次(n＝1)印刷的开头的片材即片材1a的检查(参照图1以及图2)。检查是，检查通过1次印刷所形成的凸点是否在标准的位置上按照标准的大小正确地形成。另外，此时，由于只印刷一次银浆，所以这里所称的“按照标准的大小”不是检查应最终形成的凸点的高度，而是检查应通过1次印刷银浆而形成的凸点的高度等。

在干燥步骤30中，在银浆印刷之后进行临时干燥。

在检查步骤20中进行片材1a的检查的期间，通过印刷步骤10对片材1b～1h依次进行第1次的印刷(参照图2以及图3)。即，对于第1次的印刷的检查是仅对结束了第1次的印刷的开头的片材即片材1a进行，不对其他的片材1b～1h进行。

而且，在检查步骤20中包含的计算机(未图示)将片材1a的检查结果经由未图示的通信网(包括有线、无线)发送到系统控制装置40，同时将检查后的片材1a返回到传输线上。

在接收到良好的指示的检查结果(检查OK)的情况下，系统控制装置40经由未图示的通信网(包括有线、无线)对在印刷步骤10中包含的计算机(未图示)指示开始第2次印刷(参照图4)。而且，若在该印刷步骤10中包含的计算机由于起因于第1次的检查OK而从系统控制装置40接收到第2次(n＝2)的印刷处理的执行指示，则印刷步骤10对片材1b开始第2次的印刷处理。

此外，在检查步骤20将片材1a返回到传输线上时，只要是进行了第1次的印刷的片材1之后，可以返回到任意的片材之后，但例如图4所示那样，优选返回到进行了第1次的印刷的最后的片材1h之后。

接着，与上述相同地，对进行了第2次的印刷的片材1也进行检查。以下，使用图5至图8进行说明。

图5至图8是表示在图4中许可(指示)第2次的印刷，对片材1b进行了第2次的印刷处理之后的接着的片材1的传输的系统结构图。

检查步骤20进行对结束了第2次的印刷的开头的片材即片材1b的检查(参照图5)。而且，在检查步骤20中进行片材1b的检查的期间，在印刷步骤10中对片材1c～1a依次进行第2次的印刷(参照图5以及图6)。与上述相同地，对于第2次的印刷的检查是仅对结束了第2次的印刷的开头的片材即片材1b进行，不对其他的片材1c～1a进行。

而且，在检查步骤20中包含的计算机(未图示)将片材1b的检查结果(例如，良好的指示的检查结果(检查OK))发送到系统控制装置40，接收到该结果的系统控制装置40对在印刷步骤10中包含的计算机(未图示)指示开始第3次印刷(参照图7)。此外，将片材1b返回到传输线上。

而且，若在该印刷步骤10中包含的计算机由于起因于第2次的检查OK而从系统控制装置40接收到第3次(n＝3)的印刷处理的执行指示，则印刷步骤10对片材1c开始第3次的印刷处理。

接着，检查步骤20进行结束了第3次的印刷的开头的片材即片材1c的检查(参照图8)。以下，相同地，对规定次数(N次)的印刷处理，对结束了第n次(n为N以下且1以上的自然数)的印刷处理的开头的片材1进行检查。

然后，若3次印刷(n＝1、2、3)的检查结果全部为良好(检查OK)，则适当地结束对一组片材1a～1h的凸点形成处理，从凸点形成片材投入/排出口排出(参照图9)。然后，如图10所示的新的片材1i～1p投入到凸点形成线系统S内。

另外，在图4以及图7中，说明了检查步骤20的检查结果为良好的情况，但如图11所示那样，检查步骤20的检查结果也有不好(检查NG)的情况。此时，在检查步骤20中包含的计算机将片材1c不好的检查结果(检查NG)发送到系统控制装置40，接收到的系统控制装置40对在印刷步骤10中包含的计算机指示中止印刷处理。

然后，若在该印刷步骤10中包含的计算机由于起因于第3次的检查NG而从系统控制装置40接收到印刷处理的中止指示，则印刷步骤10中止当前执行中的、对其他任意片材1d～1b的第3次的印刷处理。也可以是被检查的片材1c如图11所示那样返回到传输线上，从凸点形成片材投入/排出口排出，或者也可以是系统控制装置40全部停止传输线，对操作员通知检查NG，等待操作员清洗版，在印刷处理为网屏(screen)印刷的情况下，等待确认在版上挤进墨水的橡皮辊(squeegee)的速度，或版和片材之间的距离等的印刷条件等，找出其他检查NG的原因等的调查/调整。这样，在检查结果为不好(检查NG)的情况下，进行与各种不好的原因对应的处理即可。

根据本第1实施方式，在传输多个片材1的同时对各个片材1重复进行N次印刷处理时，对结束了第n次印刷的开头的片材1进行检查，将该检查后的片材返回到结束了第n次的印刷处理的片材1之后，所以能够在下一次(n+1次)的印刷之前完成对于第n次处理的检查，能够在规定的印刷次数结束之前掌握对于中途的印刷处理的检查结果。此外，提取出在传输线上传输的进行了第n次的印刷处理的片材1而在检查步骤20中进行检查，但在检查中其他的片材1也被传输而不会停留，依次进行第n次的印刷处理，所以能够将提取开头的片材1进行检查所导致的凸点形成步骤整体的时间延迟(时间损失(time loss))抑制到略微的时间(具体地说，将检查步骤20最后检查的片材返回到传输线上的程度)。

此外，由于构成为在检查结果为NG的情况下，立即中止印刷步骤10中的印刷处理，所以能够将检查结果迅速地反映到对于其他的片材1的印刷处理。

此外，由于构成为接受对于第n次印刷的检查结果，进行下一次(n+1次)的检查，所以能够在下一次(n+1次)的印刷处理之前完成对于第n次的印刷处理的检查，能够将对于第n次的印刷的检查结果迅速地反馈到下一次印刷，能够极力减少没用的印刷。

另外，在上述的第1实施方式中，如图4以及图7所示，将检查后的片材1a(印刷次数：1)返回到进行了第1次的印刷的最后的片材1h之后，将检查后的片材1b(印刷次数：2)返回到进行了第2次的印刷的最后的片材1a之后。换言之，印刷次数为n次的片材1在检查后，返回到印刷次数为n次的最末尾的片材1之后。但是，本发明并不限定于这样的结构，如图12所示那样，检查后的片材1a(印刷次数：1)也可以返回到片材1e之后。即，印刷次数为n次的片材1在检查后，可以返回到作为印刷次数为n次的片材1的任一片材1之后。

此外，在上述的第1实施方式中，印刷步骤10和检查步骤20经由系统控制装置40进行检查结果的交换，但也可以从在检查步骤20中包含的计算机(检查装置)直接与在印刷步骤10中包含的计算机(处理装置)进行交换。

(II)第2实施方式

接着，参照附图说明本发明的优选的其他实施方式的第2实施方式。

图13是本第2实施方式的凸点形成线系统SS的外观结构图。

凸点形成线系统SS如下构成：对于作为检查对象物的一例的片材100(100a～100h)印刷银浆的印刷装置110(本发明的处理装置的一例)、进行凸点的有无、高度、位置偏移等的检查的检查装置120、进行印刷的银浆的临时干燥的干燥装置130、以及与印刷装置110、检查装置120以及干燥装置130进行信息的交换并对各个装置发送控制信号的系统控制装置140。另外，干燥装置130可以包含在检查装置120之前，或者没有将该干燥装置130包含在本系统SS内，在从本系统SS排出片材100之后使其干燥。此外，不仅是印刷装置110，也可以包含其他的处理装置作为本发明的处理装置。

片材100是，例如在通过B²it方式等的高密度安装用的组合印刷布线板中使用的铜箔片材基板，从凸点形成片材投入/排出口依次投入到系统SS内。投入到系统SS的片材100，之后在传输线上传输。

在印刷装置110中，对传来的片材100，依次在规定的位置(期望形成凸点的位置)进行银浆的印刷。在本第2实施方式中，如图13所示那样，按照片材100a、片材100b、片材100c......的顺序在片材表面进行印刷处理。此外，要形成期望的高度的凸点的规定次数(例如，N＝3次)的印刷处理在同一个位置中重复进行。

检查装置120作为拍摄部件以及检查部件起作用，用摄像机拍摄通过印刷装置110结束了第n次(n为N以下的自然数)的印刷的片材100a，对其进行检查。这里进行的检查是，在片材100a的拍摄范围内，检查通过1次印刷所形成的凸点是否在标准的位置上按照标准的大小正确地形成。另外，此时，由于只印刷一次银浆，所以这里所称的“按照标准的大小”不是检查应最终形成的凸点的高度，而是检查应通过1次印刷银浆而形成的凸点的高度等。此外，应检查片材的检查区域比可由摄像机拍摄的尺寸大。因此，只有一部分片材100a被摄像机拍摄。

以下，使用附图详细说明通过摄像机拍摄的拍摄范围。

图14是检查装置120的外观结构图。

在检查装置120中，作为本发明的摄像机的一例的线传感器摄像机121可沿着与在传输线传输的片材100的传输方向正交的方向移动地设置。

图15是表示通过线传感器摄像机121对于进行了第1次印刷的片材100a的拍摄的情况的说明图。在本第2实施方式中，将比可由线传感器摄像机121拍摄的尺寸大的片材100的表面整体设为应检查的检查区域。

片材100a的拍摄范围成为可由线传感器摄像机121拍摄的尺寸量的拍摄宽度区域量。例如在图15所示的例子的情况下，从图15中的片材100a的左端开始的拍摄宽度区域量的范围成为通过线传感器摄像机121拍摄的范围。

接着，线传感器摄像机121在片材100a的拍摄结束之后，准备下一个片材100b的拍摄而移动(移动部件)。

然后，与片材100a相同地，结束了第1次的印刷的片材100b传输到检查装置120。在这里，线传感器摄像机121也与片材100a相同地进行拍摄宽度区域量的拍摄。在片材100b中的拍摄范围是，对除去了与在片材100a拍摄的区域对应区域的区域(即，与在片材100a拍摄的区域不同的区域)进行拍摄。为了这样使线传感器摄像机121起作用，在片材100a的拍摄结束之后，使线传感器摄像机121至少移动可由该线传感器摄像机121拍摄的拍摄宽度尺寸量以上即可。

图16表示通过线传感器摄像机121拍摄的片材100a～100e的拍摄范围的说明图。图16是在每次拍摄时使线传感器摄像机121移动拍摄宽度尺寸量，从而缓慢地偏移拍摄范围的同时拍摄片材100a～片材100e的5张片材的情况的例子。这样，若按照通过传输线传来的顺序，基于对各个片材100a～片材100e拍摄取得的各个图像进行检查，则可以说进行了印刷次数为一次的片材100的表面整体(检查范围)的检查。通过将多个片材100对各个拍摄宽度区域拍摄进行检查，从而能够进行在所有的片材100产生的共同缺陷的检查。在所有的片材100产生的共同缺陷是指，例如版的堵塞等，起因于版的缺陷。

检查之后，检查装置120将第1次印刷的检查结果通过未图示的通信网(包括有线、无线)发送到系统控制装置140。

在接收到良好的指示的检查结果(检查OK)的情况下，系统控制装置40经由未图示的通信网(包括有线、无线)对印刷装置110许可继续印刷。若从系统控制装置140接受继续印刷的许可，则印刷装置110在接受许可时，进行对于在剩余的片材100f～100h中还没有结束第1次的印刷的片材100的第1次的印刷、和对于再次传来的片材100a、100b、100c......的第2次的印刷。

另一方面，在接收到不好的指示的检查结果(检查NG)的情况下，系统控制装置140对印刷装置110指示中止印刷。

而且，若起因于检查NG而从系统控制装置140接受印刷处理的中止的指示时，印刷装置110立即中止印刷。可以构成为，在中止印刷之后，将位于传输线上的片材100全部从凸点形成片材投入/排出口排出，或者可以构成为，系统控制装置140全部停止传输线，对操作员通知检查NG，等待操作员清洗版，在印刷处理为网屏(screen)印刷的情况下，等待确认在版上挤进墨水的橡皮辊(squeegee)的速度，或版和片材之间的距离等的印刷条件等，找出其他检查NG的原因等的调查/调整。这样，在检查结果为不好(检查NG)的情况下，进行与各种不好的原因对应的处理即可。

而且，在第1次印刷的检查结果为良好的情况下，通过检查装置120检查的各个片材100在之后经由干燥装置130而再次传输到印刷装置110，从而进行第2次的印刷(参照图17)。在第2次的印刷之后进行检查时也相同地，按照通过传输线传来的顺序，拍摄各个片材100a～片材100e，基于该各个图像进行印刷次数为2次的片材100的表面整体的检查。然后，若在3次印刷的检查结果全部为良好(检查OK)，则对于一组片材100a～100h的凸点形成处理适当地结束，如图18所示那样从凸点形成片材投入/排出口排出片材100a～100h。然后，新的片材100i～100p投入到凸点形成线系统SS内(参照图19)。

另外，如上述的第2实施方式那样，在可以由片材100a～100e的5张片材覆盖片材100的表面整体的图像的情况下，可以对接着片材100e的剩余的片材100f～100h都不进行第1次、第2次拍摄(检查)，或者，第1次的检查可使用片材100a～100e进行，第2次的检查可通过包含没有进行第1次的检查的片材100f～100h的5张片材进行。

根据本第2实施方式，在传输具有比线传感器摄像机121可拍摄范围(可拍摄尺寸)大的检查区域的多个片材100的同时进行检查时，通过移动线传感器摄像机121的同时对传来的各个片材100按相互不对应的位置的每个拍摄区域进行拍摄，从而能够由一台摄像机进行片材100的检查区域整体的检查，例如在所有的片材100中产生的共同缺陷的检查。

此外，线传感器摄像机121在片材100a的拍摄之后，被移动线传感器摄像机121的可拍摄的拍摄宽度尺寸量，对接着传来的片材100b，进行与片材100a的拍摄宽度区域对应的区域相邻的拍摄宽度区域的拍摄，从而能够将线传感器摄像机121的移动量抑制为最小限度，能够将物理性移动误差所引起的拍摄误差等抑制为最小限度。

此外，在对于片材100a～100h的第n次的所有的印刷结束之前，换言之，在片材100h的第n次的印刷结束之前，能够通过对于最初的5张片材100a～100e的检查来结束对于第n次的印刷的检查，所以能够将检查结果准确地反映到第n+1次以后的印刷中。

此外，在检查结果为NG的情况下，立即中止在印刷装置110中的印刷处理，所以能够将检查结果迅速地反映到对于其他的片材100的印刷处理中。

此外，在上述的第2实施方式中，将片材100的表面整体设为应检查的检查区域，但例如在凸点仅在片材中央部分形成的情况下，可以将该片材中央部分区域设为检查区域。

此外，在上述的第2实施方式中，印刷装置110和检查装置120是经由系统控制装置140进行检查结果的交换，但也可以从检查装置120直接与印刷装置110进行交换。

(III)第3实施方式

接着，基于图20说明本发明的优选的其他实施方式的第3实施方式。另外，在以下说明的第3实施方式是，例如对制造/检查装置适用了本发明的情况的实施方式，所述制造/检查装置在制造积层型半导体基板的同时对在该被制造的半导体基板的表面形成的接点或凸点的形状或者位置进行外观检查。

另外，图20是表示第3实施方式的制造/检查装置的概要结构的外观斜视图。

如图20所示，第3实施方式的制造/检查装置SSS在基座200上形成，并且被分割为：作为位置对齐部件的位置对齐单元200A，其进行在作为材料的基板M上形成上述接点或凸点等时所需的位置对齐(二维的位置对齐)；形成单元200B，在该位置对齐之后的基板M上通过印刷方法形成上述凸点等；以及检查单元200C，进行对于形成了该凸点等的基板M的外观检查。

接着，位置对齐单元200A包括：用于该位置对齐的二维位置对齐部件的二轴台201；用于进行旋转方向的位置对齐的旋转台206；以及使用图像确认基板M的位置对齐状态的位置对齐用摄像机205。

然后，通过该二轴台201进行在水平面内的X方向和Y方向的位置对齐，进而通过旋转台206执行旋转方向的位置对齐。此时，该各个方向的位置对齐状态是，基于来自位置对其用摄像机205的图像来人为或者自动地判定。这里，通过执行在二轴台201以及旋转台206上的位置对齐，结果，也执行作为传输部件的传输路径202和基板M之间的位置对齐。

接着，完成了位置对齐的基板M与二轴台201以及旋转台206一起在传输路径202上沿着图20中的左方向传输至形成单元200B。此时，该传输路径202是与所谓的传输带等不同，是可以将基板M传输至形成单元200B以及检查单元200C为止的传输路径，使得在位置对齐单元200A中不会破坏位置对齐状态。

然后，对传输到形成单元200B的基板M，通过使用了作为制造部件的网屏印刷版204的印刷法，形成上述接点或者凸点等。在该形成步骤之后，基板M在被装载在上述旋转台206上的状态下通过传输路径202传输至检查单元200C。另外，此时，在位置对齐单元200A中位置对齐的状态原样维持的同时传输至检查单元200C。

另一方面，在检查单元200C中，作为在基座200上固定的支持部件的支持单元207中，设置了作为检查部件的外观检查用摄像机203，使得具有可进行在传输路径202上传来的基板M的外观检查的视野范围。而且，使用该外观检查用摄像机203执行被形成上述凸点等的基板M的外观检查。

此时，该外观检查用摄像机203是使用内置了CCD等摄像元件的线传感器摄像机等而构成的，对在形成单元200B中形成的凸点等的外观进行拍摄，将其结果传输到未图示的检查装置等。这里，在该外观检查时进行控制，以在基板M到达在外观检查用摄像机203的视野范围内设置的规定的检查位置(从形成单元200B传来)的定时使该基板M暂时停止。

另外，基板M的位置对齐本身已经在位置对齐单元200A中执行，保持其状态的同时通过传输路径202传输基板M，而且，外观检查用摄像机203与位置对齐单元200A相同地在基座200上通过支持单元207而被固定，因此无需在检查单元200C中的仅用于外观检查的位置对齐。

此外，作为构成检查单元200C的外观检查用摄像机203，可以是使用如图20中例示那样固定在支持单元207的多个该外观检查用摄像机203对各个外观检查用摄像机203的每个视野范围进行外观检查，也可以是使用例如在支持单元207上形成的轨道上沿着与基板M的传输方向垂直的方向(图20的进深方向)移动的一台外观检查用摄像机203进行扫描的同时进行外观检查。

然后，结束了在检查单元200C中的外观检查的基板M进一步传输到下一个步骤。

另外，在第3实施方式的基板M那样通过印刷法形成接点或凸点等的情况下，需要对同一个基板M进行多次印刷步骤，但此时，通过基板M在循环式的传输路径上移动，从而在形成单元200B中的印刷步骤对一个基板M进行多次。然后，在每次执行一次印刷步骤时，执行在上述位置对齐单元200A中的位置对齐步骤、在形成单元200B中的印刷步骤以及在检查单元200C中的检查步骤，但在执行至少一次位置对齐步骤、印刷步骤以及检查步骤的期间，在位置对齐单元200A中只执行一次对于基板M的位置对齐。

如上说明那样，根据第3实施方式的制造/检查装置SSS的结构，由于支持外观检查用摄像机203的支持单元207被固定在固定了该传输路径202的基座200，所以一旦进行了位置匹配的状态下传输基板M的传输路径202和外观检查用摄像机203之间的位置关系始终成为一定，所以无需在凸点等的外观检查时在该基板M和外观检查用摄像机203之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐，所述外观检查用摄像机203对在进行了基板M和形成单元200B和传输路径202之间的位置对齐的状态下所形成的凸点等的外观进行检查。

因此，无需在外观检查时的位置对齐，所以能够避免由于制造时间变长所引起的效率上、制造成本上、或者人手的确保上等的不利情况。

此外，在外观检查时，即使使外观检查用摄像机203沿着与在传输路径202传输基板M的方向垂直的方向移动而进行检查的情况下，也无需在该外观检查时在基板M和外观检查用摄像机203之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

此外，即使在将外观检查用摄像机203在基座200固定地使用的情况下，以一旦进行了位置对齐的状态下传输基板M的传输路径202和外观检查用摄像机203之间的位置关系始终成为一定，所以无需在凸点等的外观检查时在该基板M和外观检查用摄像机203之间重新进行传输方向以外的方向的位置对齐。

此外，由于使用二轴台201以及旋转台206进行位置对齐，所以在凸点等的外观检查时只需进行基板M和外观检查用摄像机203之间的传输方向的位置对齐，无需重新进行二维的位置对齐。

此外，在上述的第3实施方式中，说明了对在基板M上形成凸点等的制造/检查装置SSS适用本发明的情况，但除此之外，本发明也可以广泛地适用在例如形成用于取得在积层型半导体基板中的各层之间的导通的通孔(through hole)的制造/检查装置等，伴随需要位置对齐的外观检查的制造/检查装置的领域。

产业上的可利用性

如以上分别说明的那样，本发明可利用于伴随外观检查的检查方法等的领域，尤其是，若适用于使材料在多个步骤之间循环进行制造的检查方法的领域，则可得到特别显著的效果。

Claims (10)

1.一种检查方法，对进行了规定处理的对象物进行检查，其特征在于，所述检查方法包括：

处理步骤，将多个所述对象物在传输线上传输的同时对各个所述对象物依次重复进行N次所述规定处理，其中，N为2以上的自然数；以及

检查步骤，从所述多个对象物中，对结束了第n次的处理的开头的所述对象物进行检查，将检查后的所述对象物返回到所述多个对象物中结束了所述第n次处理的对象物之后，其中，n为N以下且1以上的自然数。

2.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

所述检查步骤是将检查后的所述对象物返回到结束了所述第n次的处理的最末尾的对象物之后。

3.如权利要求1或2所述的检查方法，其特征在于，

所述检查步骤包括检查结果通知步骤，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理步骤，

在所述处理步骤中，若从所述检查步骤接收到对于第n次的处理的检查结果的通知，则在该检查结果为不好的情况下，对所述多个对象物中止处理。

4.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

所述检查步骤包括检查结果通知步骤，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理步骤，

在所述处理步骤中，若从所述检查步骤接收到对于第n次的处理的检查结果的通知，则只有在该检查结果为良好的情况下，对所述对象物进行第n+1次的处理。

5.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

所述对象物为片材基板，

在所述处理步骤中的所述规定处理是印刷处理，该印刷处理要在所述片材基板上形成具有规定的高度的凸点，对该片材基板重复印刷银浆，

所述检查步骤检查所述凸点的有无、高度、位置。

6.一种检查处理系统，对在传输线上传输的多个对象物进行规定处理以及检查，其特征在于，所述检查处理系统包括：

处理装置，对在所述传输线上传输的各个所述对象物，依次重复进行N次所述规定处理，其中，N为2以上的自然数；以及

检查装置，从所述多个对象物中，对结束了第n次的处理的开头的所述对象物进行检查，将检查后的所述对象物返回到所述多个对象物中结束了所述第n次处理的对象物之后，其中，n为N以下且1以上的自然数。

7.如权利要求6所述的检查处理系统，其特征在于，

所述检查装置是将检查后的所述对象物返回到结束了所述第n次的处理的最末尾的对象物之后。

8.如权利要求6或7所述的检查处理系统，其特征在于，

所述检查装置包括检查结果通知部件，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理装置，

所述处理装置包括中止部件，其若从所述检查装置接收到对于第n次的处理的检查结果的通知，则在该检查结果为不好的情况下，对所述多个对象物中止处理。

9.如权利要求6所述的检查处理系统，其特征在于，

所述检查装置包括检查结果通知部件，其将结束了第n次的处理的所述对象物的检查结果通知给所述处理装置，

若所述处理装置从所述检查装置接收到对于第n次的处理的检查结果的通知，则只有在该检查结果为良好的情况下，对所述对象物进行第n+1次的处理。

10.如权利要求6所述的检查处理系统，其特征在于，

所述对象物为片材基板，

在所述处理装置中的所述规定处理是印刷处理，该印刷处理要在所述片材基板上形成具有规定的高度的凸点，对该片材基板重复印刷银浆，

所述检查装置检查所述凸点的有无、高度、位置。

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