CN101445932A - 蚀刻液 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种蚀刻液，属于蚀刻工艺技术领域，包括蚀刻母液、蚀刻子液，所述蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁40－60％，氯化铜2－4％，盐酸2－8％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠20～30％，氯化铵10～15％，氯化铜2～4％，余量为水。本发明蚀刻液，蚀刻速度快，蚀刻效率及精度高，并降低了侧蚀影响。

Description

蚀刻液
技术领域
本发明公开了一种蚀刻液，属于蚀刻工艺技术领域。
背景技术
金属蚀刻机必须结合蚀刻液才能实现其蚀刻功能，蚀刻液包括蚀刻母液和蚀刻子液。蚀刻时，蚀刻母液先被喷洒到金属板上进行蚀刻，当蚀刻母液中的氧化剂含量低至一定值时，蚀刻子液将通过自动添加系统被加入到蚀刻母液中，以提高蚀刻母液的氧化剂含量，使蚀刻母液继续有效的工作，而不需要经常更换溶液。而现有的蚀刻液，由于蚀刻速度慢，存在蚀刻精度不高，蚀刻效率低，且侧蚀严重的问题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供了一种蚀刻速度快的蚀刻液。
为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案为：一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液，所述蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁40-60％，氯化铜2-4％，盐酸2-8％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠20～30％，氯化铵10～15％，氯化铜2～4％，余量为水。
所述每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液。
采用上述方案后，本发明在蚀刻母液的原酸蚀刻和Fe3+氧化蚀刻的基础上，加入了Cu2+，其中Cu→Fe形成原电池反应，从而增加了蚀刻的速度，提高了蚀刻效率及精度，并降低了侧蚀影响；本发明蚀刻子液可保证蚀刻母液中三价铁离子浓度的稳定，使蚀刻母液保持活性，保证持续生产，在生产过程中不用经常更换溶液，既保证生产效率，又降低生产成本和材料消耗，在这其中Cl7+的氧化起到了重要的作用。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明作进一步说明，但本发明并不受以下实施例所限定。
实施例1
一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁40％，氯化铜4％，盐酸8％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠30％，氯化铵10％，氯化铜2％，余量为水。
蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。
蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。
在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液可视情况而选择不添加。
实施例2
一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁45％，氯化铜3.5％，盐酸7％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠28％，氯化铵11％，氯化铜2.5％，余量为水。
蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。
蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。
在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液可视情况而选择不添加。
实施例3
一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁50％，氯化铜3％，盐酸5％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠25％，氯化铵12.5％，氯化铜3％，余量为水。
蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。
蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。
在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液可视情况而选择不添加。
实施例4
一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁55％，氯化铜2.5％，盐酸3％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠22％，氯化铵14％，氯化铜3.5％，余量为水。
蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。
蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。
在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液可视情况而选择不添加。
实施例5
一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液。其中，蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁60％，氯化铜2％，盐酸2％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠20％，氯化铵15％，氯化铜4％，余量为水。
蚀刻母液配制时，先将盐酸和水进行调和，然后将三氯化铁固体放入混合均匀，之后将氯化铜放入，调匀即可。
蚀刻子液配制时，将氯酸钠、氯化铵、氯化铜和水一起调匀即可。
在生产过程中，每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液，当需要蚀刻的面积很小且时间很短的情况下，蚀刻子液可视情况而选择不添加。
上述实施例仅用于解释说明本发明的发明构思，而非对本发明权利保护的限定，凡利用此构思对本发明进行非实质性的改动，均应落入本发明的保护范围。

Claims (2)

1、一种蚀刻液，包括蚀刻母液、蚀刻子液，其特征在于：所述蚀刻母液由以下重量百分比的组分配制而成，三氯化铁40-60％，氯化铜2-4％，盐酸2-8％，余量为水；蚀刻子液由以下重量百分比的组分配制而成，氯酸钠20～30％，氯化铵10～15％，氯化铜2～4％，余量为水。
2、如权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述每100kg的蚀刻母液内，每小时最多可添加0.34kg的蚀刻子液。
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