CN101344105A - 基于mems的v锥流量传感器的液压系统功率测量装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种液压系统功率测量装置,尤其是基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由流量传感器,压力传感器,信号处理单元三大部分组成。流量测量装置将MEMS敏感芯体置于V型锥体内部,取消了传统V锥流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量-压力-功率数学关系模型,实现对液压系统功率的测量。本发明实现了液压系统流量,压力以及功率的在线测量,为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。
Description
技术领域
本发明涉及一种液压系统功率测量装置,尤其涉及基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置。
背景技术
目前在管路中对流体进行测量的方法中,只能进行压力测量、温度测量和流量测量,流量测量也只是应用容积式、孔板式、电磁式、涡轮式以及超声式原理的测量装置。现有的各种测量仪器无法直接在线应用于功率测量,在线功率测量存在着无法克服的技术困难。针对现有技术所存在的问题,研制一种液压系统在线功率测量的装置,以克服现存的问题是十分必要的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,即通过液压系统管道内工作介质的流量测量、压力场测量进而实现液压系统管道内液压功率的测量装置。
本发明的技术方案是:基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,该装置由法兰1、测量管2、支撑架3、V型锥体组件6、负取压口7、正取压口9压力传感器10、信号采集处理设备11及流量传感器部分的MEMS敏感芯体4、封装结构5、信号线8、流量计二次仪表12构成;、测量管2两端设法兰1;V型锥体组件6通过支撑架3同轴固定在测量管2内部;正取压口9与负取压口7均设在V型锥体组件6上,位于测量管2内部;MEMS敏感芯体4被封装在封装结构5中,置于V型锥体组件6内部或嵌在V型锥体直管壁中或锥面壁中,并保持密封;MEMS敏感芯体4的两个取压管分别通过正取压口9与负取压口7接触高压和低压流体;信号线8与MEMS敏感芯体4连接后引出测量管2至流量计二次仪表12;流量计二次仪表12和压力传感器10与信号采集处理设备11连接。所述的MEMS敏感芯体4为硅微压阻式、压电式、或电容式微型压力/压差敏感芯体。所述的V型锥体组件6的前端与支撑架3一端固定连接,支撑架3另一端固定在测量管2内壁上。所述的封装结构5上侧固定在V型锥体组件内壁上,下侧与V型锥体组件6上的正取压口9相通,测取高压,右侧与负取压口7相通测取低压,左侧与信号线9连接。
本发明的原理是:根据伯努利方程可知,流体流过V型锥体组件6时会产生对应于流量大小的压力差信号,该压力差信号被MEMS敏感芯体4测得并通过信号线8引出测量管2。根据下面的流量——压差数学关系模型和现场实际标定,可以实现对流量的动态和稳态测量。其流量方程为:
式中:qv——体积流量,m3/s
qm——质量流量,kg/s
c——流出系数
ε——可膨胀性系数
β——等效直径比
D——工况下测量管内径
ΔP——压差
ρ1——工况密度
再结合由压力传感器10测得的压力,根据公式
P=Q×p
其中
P-液压功率
Q-管道内液体流量
p-管道在该点处压力
即可得到功率数据。
本发明的有益效果是:提出一种新的流量测量方法,以此为基础实现了液压系统功率的在线测量,为液压系统状态监测和故障诊断等需要提供测试装置。通过流量和压力的测量,结束了液压系统在线功率测量无法实现的局面。
附图说明
图1为本发明基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置实施例1的示意图;
图2为本发明基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置实施例2的示意图;
图3为本发明基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置实施例3的示意图。
图中:1、法兰,2、测量管,3、支撑架,4、MEMS敏感芯体,5、封装结构,6、V型锥体组件,7、负取压口,8、信号线,9、正取压口,10、压力传感器,11、信号采集处理设备,12、流量计二次仪表。
具体实施方式
实施例1
如图1所示,V型锥体组件6的前端与支撑架3一端固定连接,支撑架3另一端固定在测量管2内壁上;MEMS敏感芯体4由封装结构5封装在V型锥体组件6内部;当测量管2中的流体流经V型锥体组件6的V型尖圆锥时,流体逐渐地节流收缩到管道的内边壁,根据伯努力原理可知,该V型内锥体前后产生对应于流量大小的压力差,该压力差被MEMS敏感芯体4测得并通过信号线8引出测量管2送至流量计二次仪表12;压力传感器10测取管路中该点的压力;压力信号与流量信号同时送入信号采集处理设备11中,得到功率信号。
实施例2
如图2所示,V型锥体组件6的前端与支撑架3一端固定连接,支撑架3另一端固定在测量管2内壁上;MEMS敏感芯体4封装在封装结构5中嵌在V型锥体组件6的直管段管壁中,并与管壁保持密封;当测量管2中的流体流经V型锥体组件6的V型尖圆锥时,流体逐渐地节流收缩到管道的内边壁,根据伯努力原理可知,该V型内锥体前后产生对应于流量大小的压力差,该压力差被MEMS敏感芯体4测得并通过信号线8引出测量管2送至流量计二次仪表12;压力传感器10测取管路中该点的压力;压力信号与流量信号同时送入信号采集处理设备11中,得到功率信号。
实施例3
如图3所示,V型锥体组件6的前端与支撑架3一端固定连接,支撑架3另一端固定在测量管2内壁上;MEMS敏感芯体4封装在封装结构5中嵌在V型锥体组件6的V型锥面管壁中,并与管壁保持密封;当测量管2中的流体流经V型锥体组件6的V型尖圆锥时,流体逐渐地节流收缩到管道的内边壁,根据伯努力原理可知,该V型内锥体前后产生对应于流量大小的压力差,该压力差被MEMS敏感芯体4测得并通过信号线8引出测量管2送至流量计二次仪表12;压力传感器10测取管路中该点的压力;压力信号与流量信号同时送入信号采集处理设备11中,得到功率信号。
Claims (4)
1、基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,其特征在于,该装置由法兰(1)、测量管(2)、支撑架(3)、V型锥体组件(6)、负取压口(7)、正取压口(9)压力传感器(10)、信号采集处理设备(11)及流量传感器部分的MEMS敏感芯体(4)、封装结构(5)、信号线(8)、流量计二次仪表(12)构成;测量管(2)两端设法兰(1);V型锥体组件(6)通过支撑架(3)同轴固定在测量管(2)内部;正取压口(9)与负取压口(7)均设在V型锥体组件(6)上,位于测量管(2)内部MEMS敏感芯体(4)被封装在封装结构(5)中,置于V型锥体组件(6)内部或嵌在V型锥体直管壁中或锥面壁中,并保持密封;MEMS敏感芯体(4)的两个取压管分别通过正取压口(9)与负取压口(7)接触高压和低压流体;信号线(8)与MEMS敏感芯体(4)连接后引出测量管(2)至流量计二次仪表(12);流量计二次仪表(12)和压力传感器(10)与信号采集处理设备(11)连接。
2、根据权利要求1所述的基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,其特征在于,所述的MEMS敏感芯体(4)为硅微压阻式、压电式、或电容式微型压力/压差敏感芯体。
3、根据权利要求1所述的基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,其特征在于,所述的V型锥体组件(6)的前端与支撑架(3)一端固定连接,支撑架(3)另一端固定在测量管(2)内壁上。
4、根据权利要求1所述的基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置,其特征在于,所述的封装结构(5)上侧固定在V型锥体组件内壁上,下侧与V型锥体组件(6)上的正取压口(9)相通,测取高压,右侧与负取压口(7)相通测取低压,左侧与信号线(9)连接。
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