CN101303265A - 氦质谱检漏仪的进样系统 - Google Patents
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Abstract
一种氦质谱检漏仪的进样方式，包括以下步骤：先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5－30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。
Description
技术领域
本发明涉及气体流体领域，主要涉及一种氦质谱检漏仪的进样方式。
背景技术
目前氦质谱检漏仪的进样方式采用的是逆扩散原理。其中检漏仪包含机械泵1、旁路预抽阀2、分子泵前级阀3、分子泵4、进样阀5、质谱检测器6、检漏口7和旁路系统8。因为氦原子质量比空气的氮、氧分子质量小很多(氦原子量4、氧分子量32、氮分子量28)，氦原子的扩散速度更快，更大比例的氦原子可以从分子泵的下部逆扩散进入质谱MS检测系统。国内外常规的连接方法是：在检漏过程中，先关闭分子泵的前级阀3和进样阀5，然后开旁路预抽阀2，当旁路真空度达到检测范围以后，关旁路预抽阀2，开前级阀3和进样阀5，气体从进样阀进入分子泵4，由于氦原子的扩散速度快，可以从下面逆扩散进入质谱检测器6。
发明内容
本发明提出另一种进样方式可以获得高很多的检漏灵敏度。本发明的检漏仪的结构不变，具体的操作做法是，先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。
两种进样方式的差异在于：前者，气体样品进入分子泵4后，有很大一部分气体被抽速较高的分子泵下部叶片抽走，只有小部分逆扩散进入质谱检测器6；而后者，气体样品只有一小部分被抽速低得多的机械泵抽走，大部分进入分子泵4，逆扩散到达质谱检测器6，进入的气体不会被分子泵下部的叶片抽走，因为前级阀门3是关闭的。
经上述改进，检漏仪的灵敏度由8×10-11Pa m3/s提高到1×10-11Pa m3/s，因此，具有更高的灵敏度。
Claims (1)
1.一种氦质谱检漏仪的进样方式，其特征在于，包括以下步骤：先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008101327439A CN101303265A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 氦质谱检漏仪的进样系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008101327439A CN101303265A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 氦质谱检漏仪的进样系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101303265A true CN101303265A (zh) | 2008-11-12 |
Family
ID=40113275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2008101327439A Pending CN101303265A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 氦质谱检漏仪的进样系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101303265A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102346088A (zh) * | 2011-01-25 | 2012-02-08 | 中国人民解放军63653部队 | 低充氦浓度氦质谱检漏方法 |
| CN102928162A (zh) * | 2011-08-08 | 2013-02-13 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空检漏系统的线性能力测试方法 |
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2008
- 2008-07-14 CN CNA2008101327439A patent/CN101303265A/zh active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20081112 |