CN101226089A - 柔性单点力片式传感器及制造方法 - Google Patents

柔性单点力片式传感器及制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101226089A
CN101226089A CNA2008100174633A CN200810017463A CN101226089A CN 101226089 A CN101226089 A CN 101226089A CN A2008100174633 A CNA2008100174633 A CN A2008100174633A CN 200810017463 A CN200810017463 A CN 200810017463A CN 101226089 A CN101226089 A CN 101226089A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
infrabasal plate
varistor body
depression
type sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008100174633A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101226089B (zh
Inventor
蒋庄德
周高峰
赵玉龙
赵立波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Jiaotong University
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN2008100174633A priority Critical patent/CN101226089B/zh
Publication of CN101226089A publication Critical patent/CN101226089A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101226089B publication Critical patent/CN101226089B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明公开了一种能够检测某一点接触物体间压力的柔性单点力片式传感器及制造方法,该传感器包括形状大小相同的上基板和下基板、压敏体、设置在压敏体两端面的两个电极连接片,上、下基板之间由粘接层封接;在靠近上基板长度方向的一侧设置有一凸起;在相对该凸起的下基板上设置有一凹陷,该凹陷与所述凸起之间形成一个的密闭的压敏体室,其中封装有压敏体及电极连接片;下基板上沿其远离凹陷一侧到凹陷的长度方向设置有两条相互平行的印刷电极,每条印刷电极在下基板凹陷处的一端连接所述的一个电极连接片;在远离下基板凹陷一侧的一端连接一个外露下基板的电极引出片;印刷电极从连接电极连接片到连接电极引出片的一段上表面设置有电极保护膜。

Description

柔性单点力片式传感器及制造方法
技术领域
本发明涉及一种传感器及其制造方法,特别涉及一种用于在某一狭小接触区域中对一点接触物体间的压力或集中力进行检测的柔性单点力片式传感器及其制造方法。
背景技术
压力传感器及检测技术在航空航天、军事工业、汽车、船舶制造、工业自动化、医学研究、生物医疗等领域中发挥着重要的作用。然而在上述应用领域,许多场合需在某一狭小空间中对某一点接触物体间的压力或集中力进行检测,例如点接触物体间在运动过程中摩擦力相互作用过程的研究、例如检测空间凸轮与滚子从动件处于点接触状态下的相互作用力、检测某一对牙齿啮合时的相互作用力等。由于受到传感器重量、体积以及工作空间(如狭缝)的限制,这时传统压力传感器便不能用于上述场合下的使用来检测某一点接触物体间的压力或集中力。即便勉强使用,也不能满足操作便捷的要求,
发明内容
本发明针对传统压力传感器不能对某一点接触物体间压力进行检测、体积大、重量重、操作不方便的缺点;提供了一种能够检测出某一点接触物体间压力的柔性单点力片式传感器,该传感器具有体积小、重量轻、制作简单、可低成本批量化生产的特点,并且可重复使用、操作简便。
本发明的另一个目的是提供一种该传感器的制造方法。
为达到上述目的,本发明是采取如下技术方案予以实现的:
一种柔性单点力片式传感器,包括压敏体、设置在压敏体垂直两端面的两个电极连接片,其特征在于,还包括有形状大小相同的上基板和下基板,上、下基板之间由粘接层封接;在靠近上基板长度方向的一侧设置有一凸起;在相对该凸起的下基板上设置有一凹陷,该凹陷与所述凸起之间形成一个的密闭的压敏体室,其中封装有所述的压敏体及电极连接片,所述压敏体室的大小刚好与压敏体的大小吻合;所述下基板沿其长度方向远离凹陷一侧到凹陷的上表面设置有两条相互平行的印刷电极,每条印刷电极在下基板凹陷处的一端连接所述的一个电极连接片;在远离下基板凹陷一侧的一端连接一个外露下基板的电极引出片;所述印刷电极从连接电极连接片到连接电极引出片的一段上表面设置有电极保护膜。
以上方案中,所述的印刷电极为银导电薄膜;所述的电极保护膜为羟乙基纤维素膜层;所述的上、下基板为由聚氯乙烯制成的矩形基片;所述的粘接层为环氧树脂层。
一种上述传感器的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
a.先制备形状大小相同的上基板和下基板,在靠近上基板长度方向的一侧设置一凸起;在相对该凸起的下基板上设置一凹陷;
b.将下基板固定在丝网刷机的印刷台上;用导电浆料沿下基板长度方向从远离凹陷一侧到凹陷的上表面印制两条相互平行的印刷电极,干燥后,在远离凹陷的下基板一侧设置两个外露的电极引出片;
c.在下基板凹陷中涂敷压敏电阻油墨,并放置一个压敏体,该压敏体垂直两端面事先焊接好两个电极连接片,每条印刷电极凹陷处的一端连接一个电极连接片;远离凹陷处的另一端连接一个电极引出片;
d.在下基板两条印刷电极从连接电极连接片到连接电极引出片的一段上表面涂敷一层电极保护膜并干燥;
e.将上基板凸起的内面也涂刷压敏电阻油墨,然后将上、下基板用粘接层复合,使所述凸起与凹陷之间形成一个的密闭压敏体室,将压敏体及电极连接片封装在其内,压敏体室的大小刚好与压敏体的大小吻合。
以上方法中,所述的印刷电极用导电浆料为银导电浆料;所述的电极保护膜材料采用羟乙基纤维素;所述的压敏电阻油墨采用碳二硫化钼油墨;所述的上、下基板采用聚氯乙烯材料制成矩形基片;所述的粘接层采用环氧树脂。
本发明的柔性单点力片式传感器不需要外加保护装置,不用将压敏电阻直接置入被测对象内部,只需将被测对象的点接触部位与压敏电阻所对应的压敏体室的聚氯乙烯PVC绝缘基片直接接触即可;同时压敏电阻材料在工作过程中始终受到了聚氯乙烯PVC片的绝缘保护。由于两条银导电电极均处于羟乙基纤维素HEC的绝缘保护下,可有效防止两电极间间距太小而引起的电子迁移所造成的电极间短路现象。该柔性单点力片式传感器只有电极引出片部分区域外露,因此具有抗强干扰的优点。
本发明采用基于丝网印刷工艺的制造方法,使制得的单点力传感器具有重量轻、体积小(片状)、成本低、制作简单、可批量化生产的特点,并可重复使用、操作便捷。该传感器可应用于工作空间狭小的某一点接触物体间的压力或集中力的检测以及类似特殊应用场合。
附图说明
图1为本发明柔性单点力片式传感器结构示意图。图中:1、下基板;2、粘接层;3、电极引出片;4、上基板;5、电极保护膜;6、印刷电极;7、压敏体。
图2为图1的俯视其及印刷电极的局部剖视图。图中:8、上基板凸起;9、电极连接片。
图3为图2的剖面图。图中:10、下基板凹陷。
图4为本发明柔性单点力片式传感器一个应用实例的测量电路原理图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步的详细说明。
如图1-图3所示,一种柔性单点力片式传感器,包括上基板4和下基板1、压敏体7、设置在压敏体7垂直两端面的两个电极连接片9,上、下基板之间由环氧树脂粘接层2封接;上、下基板4、1可由聚氯乙烯(PVC)制成相同大小尺寸的矩形基片;在靠近上基板4长度方向的左侧设置有一凸起8;在相对该凸起8的下基板上设置有一凹陷10,该凹陷与凸起之间形成一个的密闭压敏体室,其中封装有压敏体7及电极连接片9,压敏体室的大小刚好与压敏体7的大小吻合,压敏体7为圆片或方块形压敏电阻;下基板1上设置有两条沿其长度方向相互平行的印刷电极6,印刷电极6为银导电带状薄膜。每条印刷电极在凹陷右边沿处的一端连接一个电极连接片9;远离凹陷到下基板1右侧处的另一端连接一个电极引出片3,该电极引出片3外露下基板右侧;印刷电极6从连接电极连接片9到连接电极引出片3的一段上表面设置有电极保护膜5,该电极保护膜为羟乙基纤维素(HEC)膜层。
以上柔性单点力片式传感器制造方法,包括下述步骤:
a.先制备形状大小相同的上基板4和下基板1,在靠近上基板4长度方向的左侧设置一凸起8;在相对该凸起8的下基板上设置一凹陷10;上、下基板均采用聚氯乙烯(PVC)材料制成矩形基片,用水和无水乙醇清洗后干燥。
b.将下基板1固定在丝网刷机的印刷台上;用导电银浆从凹陷10右边沿到远离凹陷的下基板右侧长度方向上表面印制两条相互平行的印刷电极6,干燥后,在远离凹陷10的下基板右侧固定两个外露的电极引出片3。
c.在下基板凹陷10中涂敷碳二硫化钼油墨,干燥后根据下基板凹陷的尺寸放置一个圆片或方片状压敏电阻(压敏体7),该压敏电阻垂直两端面事先焊接好两个电极连接片9,每条印刷电极6在凹陷10右边沿处的一端连接一个电极连接片9;远离凹陷处的另一端连接一个电极引出片3。
d.在下基板两条印刷电极6从连接电极连接片9处到连接电极引出片3的一段上表面,采用丝网印刷涂敷羟乙基纤维素(HEC)形成一层电极保护膜5,并干燥;
e.将上基板凸起8的内面也涂刷涂敷碳二硫化钼油墨并干燥,然后将上、下基板4、1用环氧树脂粘接,使上、下基板之间形成粘接层2,并使凸起8与凹陷10之间形成一个的密闭压敏体室,将压敏电阻及电极连接片9封装在其内,压敏体室的大小刚好与压敏电阻的大小吻合,最后用环氧树脂沿上、下基板周边包封。
当上述丝网印刷单点力片式传感器与外接电路连接并通过能正常工作的测试后,该传感器外露部分电极引出片3与外接导线连接部分用绝缘硅胶将其覆盖以防银电极长期处于在空气中被氧化而削弱或丧失了其导电性能。
本发明柔性单点力片式传感器的检测原理如下:当处于点接触状态时物体间的一集中载荷(集中力)作用于压敏电阻7上时,压敏电阻因受到了压力作用便发生了一定的压缩变形,从而引起了压敏电阻值的变化,反映在电路上便是两银导电电极6之间电压值的改变;根据压敏电阻上电压值相对于最初电压值的变化量便可反映出点接触处压力或集中载荷的大小。集中载荷与轴向长度、电阻阻值与轴向长度的关系、电压与电阻的关系如下:
ΔL = FL ES - - - ( 1 )
其中:L——压敏电阻的原始厚度;
S——压敏电阻的横截面面积;
F——作用于压敏电阻上的集中载荷;
E——压敏电阻的弹性模量;
ΔL——压敏电阻油墨厚度的改变量。
R = ρ L S - - - ( 2 )
其中:L——压敏电阻油墨的厚度;
S——压敏电阻油墨的横截面面积;
ρ——压敏电阻油墨的电阻率;
R——压敏电阻油墨的电阻值。
                U=IR        (3)
其中:I——流经压敏电阻的电流值;
R——压敏电阻油墨的电阻值;
U——压敏电阻油墨的电压值;
如图4所示,丝网印刷单点力片式传感器的压敏电阻因为只受到轴向压缩变形而引起了其阻值的改变,因此在测量电路中压敏电阻可以被当作电路中的可变电阻对待;同时又由于压敏电阻的改变引起了加在压敏电阻两端电压值的改变,因此压敏电阻端电压的改变可以被当作检测电路的输入变量信号。由于单点力传感器的压敏电阻因外力作用而引起了加在其两端电压的改变,反相比例放大电路的输入端恰好是压敏电阻端电压的改变端;因此压敏电阻端电压的改变必然引起了反相比例放大电路I输出电压值的改变,也就是说单点力传感器受外力作用是可以引起测量电路中相应电压的改变的。当外力作用于单点力传感器后由于压敏电阻值的改变而产生了一定的微弱电信号,通过反相比例放大器I将该信号放大;然后再通过低通滤波器将其他高频干扰信号过滤或者去除;接着再通过反相比例放大器II将电信号还原到最初的相位(因为前后经过了两次反相放大,因此经过处理后的信号可以恢复到原来的正电压值,同时将微弱电信号值放大了);最后再通过A/D转换器限压转换将外力引起的并经过处理的电信号转换为计算机能识别的数字电压信号,当然也可以直接将反相比例放大器II处理后的电压信号直接输入至可以接收该信号的模拟显示仪器或处理仪器例如模拟信号示波显示器或者模拟信号处理电路板。

Claims (9)

1.一种柔性单点力片式传感器,包括压敏体、设置在压敏体垂直两端面的两个电极连接片,其特征在于,还包括有形状大小相同的上基板和下基板,上、下基板之间由粘接层封接;在靠近上基板长度方向的一侧设置有一凸起;在相对该凸起的下基板上设置有一凹陷,该凹陷与所述凸起之间形成一个的密闭的压敏体室,其中封装有所述的压敏体及电极连接片,所述压敏体室的大小刚好与压敏体的大小吻合;所述下基板沿其长度方向远离凹陷一侧到凹陷的上表面设置有两条相互平行的印刷电极,每条印刷电极在下基板凹陷处的一端连接所述的一个电极连接片;在远离下基板凹陷一侧的一端连接一个外露下基板的电极引出片;所述印刷电极从连接电极连接片到连接电极引出片的一段上表面设置有电极保护膜。
2.根据权利要求1所述的柔性单点力片式传感器,其特征在于,所述的印刷电极为银导电薄膜;所述的电极保护膜为羟乙基纤维素膜层。
3.根据权利要求1所述的柔性单点力片式传感器,其特征在于,所述的上、下基板为由聚氯乙烯制成的矩形基片。
4.根据权利要求1所述的柔性单点力片式传感器,其特征在于,所述的粘接层为环氧树脂层。
5.一种权利要求1所述柔性单点力片式传感器的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
a.先制备形状大小相同的上基板和下基板,在靠近上基板长度方向的一侧设置一凸起;在相对该凸起的下基板上设置一凹陷;
b.将下基板固定在丝网刷机的印刷台上;用导电浆料沿下基板长度方向从远离凹陷一侧到凹陷的上表面印制两条相互平行的印刷电极,干燥后,在下基板远离凹陷的一侧设置两个外露的电极引出片;
c.在下基板凹陷中涂敷压敏电阻油墨,并放置一个压敏体,该压敏体垂直两端面事先焊接好两个电极连接片,每条印刷电极凹陷处的一端连接一个电极连接片;远离凹陷处的另一端连接一个电极引出片;
d.在下基板两条印刷电极从连接电极连接片到连接电极引出片的一段上表面涂敷一层电极保护膜并干燥;
e.将上基板凸起的内面也涂刷压敏电阻油墨,然后将上、下基板用粘接层复合,使所述凸起与凹陷之间形成一个的密闭压敏体室,将压敏体及电极连接片封装在其内,压敏体室的大小刚好与压敏体的大小吻合。
6.根据权利要求5所述一种权利要求1所述柔性单点力片式传感器的制造方法,其特征在于,所述的印刷用导电浆料为银导电浆料;所述的电极保护膜材料采用羟乙基纤维素。
7.根据权利要求5所述一种权利要求1所述柔性单点力片式传感器的制造方法,其特征在于,所述的压敏电阻油墨采用碳二硫化钼油墨。
8.根据权利要求5所述一种权利要求1所述柔性单点力片式传感器的制造方法,其特征在于,所述的上、下基板采用聚氯乙烯材料制成矩形基片。
9.根据权利要求5所述一种权利要求1所述柔性单点力片式传感器的制造方法,其特征在于,所述的粘接层采用环氧树脂。
CN2008100174633A 2008-01-31 2008-01-31 柔性单点力片式传感器及制造方法 Expired - Fee Related CN101226089B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008100174633A CN101226089B (zh) 2008-01-31 2008-01-31 柔性单点力片式传感器及制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008100174633A CN101226089B (zh) 2008-01-31 2008-01-31 柔性单点力片式传感器及制造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101226089A true CN101226089A (zh) 2008-07-23
CN101226089B CN101226089B (zh) 2010-08-11

Family

ID=39858210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008100174633A Expired - Fee Related CN101226089B (zh) 2008-01-31 2008-01-31 柔性单点力片式传感器及制造方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101226089B (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102141451A (zh) * 2011-04-06 2011-08-03 东北大学 电极旁置式柔软压敏探头研制方法
CN102419226A (zh) * 2011-09-07 2012-04-18 东北大学 基于比目鱼式电极结构的薄型柔软压力传感器敏感单元
CN102483362A (zh) * 2009-08-28 2012-05-30 日本写真印刷株式会社 压力检测单元
CN103743505A (zh) * 2013-12-20 2014-04-23 广西科技大学 一种汽车应变信号的采集方法
CN103808437A (zh) * 2014-03-04 2014-05-21 东北大学 基于导电高分子复合材料的差动式柔性压阻器件
CN108780015A (zh) * 2016-03-11 2018-11-09 微软技术许可有限责任公司 力传感器
CN113794396A (zh) * 2021-07-20 2021-12-14 浙江大学 一种具有狭缝效应高效收集风能的摩擦纳米发电机
CN114777970A (zh) * 2022-05-23 2022-07-22 电子科技大学 高刚度测力刀柄上基于柔性电路板的薄膜应变计电桥电路

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102483362A (zh) * 2009-08-28 2012-05-30 日本写真印刷株式会社 压力检测单元
CN102141451A (zh) * 2011-04-06 2011-08-03 东北大学 电极旁置式柔软压敏探头研制方法
CN102141451B (zh) * 2011-04-06 2012-08-08 东北大学 电极旁置式柔软压敏探头研制方法
CN102419226A (zh) * 2011-09-07 2012-04-18 东北大学 基于比目鱼式电极结构的薄型柔软压力传感器敏感单元
CN103743505A (zh) * 2013-12-20 2014-04-23 广西科技大学 一种汽车应变信号的采集方法
CN103808437A (zh) * 2014-03-04 2014-05-21 东北大学 基于导电高分子复合材料的差动式柔性压阻器件
CN103808437B (zh) * 2014-03-04 2016-02-03 东北大学 基于导电高分子复合材料的差动式柔性压阻器件
CN108780015A (zh) * 2016-03-11 2018-11-09 微软技术许可有限责任公司 力传感器
CN113794396A (zh) * 2021-07-20 2021-12-14 浙江大学 一种具有狭缝效应高效收集风能的摩擦纳米发电机
CN114777970A (zh) * 2022-05-23 2022-07-22 电子科技大学 高刚度测力刀柄上基于柔性电路板的薄膜应变计电桥电路

Also Published As

Publication number Publication date
CN101226089B (zh) 2010-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101226089B (zh) 柔性单点力片式传感器及制造方法
US10842397B2 (en) Flexible sensor and application thereof
CN102207415B (zh) 基于导电橡胶的柔性阵列片式压力传感器及制造方法
EP2215541B1 (en) Pre-load force sensing resistor and method
CN104406627B (zh) 假肢手穿戴式柔性触觉传感器及其触觉检测系统
CN109470386B (zh) 一种力/位触觉传感器检测系统及检测方法
CN206291983U (zh) 一种用于触摸检测的电子皮肤
CN206818338U (zh) 压力感应组件及具有该压力感应组件的电子设备
CN204214475U (zh) 一种假肢手穿戴式柔性触觉传感器及其触觉检测装置
JP5854143B2 (ja) 押圧力センサ
US20150324051A1 (en) Touch button
CN107340082A (zh) 一种软性薄膜压力传感器
JP2009192256A (ja) 圧力センサおよびロボットハンドシステム
KR101902067B1 (ko) 습도 센서
CN105509937A (zh) 一种压感传感器、压力检测方法及制造工艺
CN210514157U (zh) 一种抗温度、基线漂移的气体传感器系统
CN207992280U (zh) 具有应力检测的微欧姆电流检测电阻
KR20170141019A (ko) 유연한 소재를 이용한 터치 압력 검출 센서
CN205562090U (zh) 一种压感传感器
US20230008926A1 (en) Sensor
CN210871563U (zh) 一种压力传感器、脉搏检测仪及检测装置
US20110209996A1 (en) Electrochemical sensor
CN207730349U (zh) 微型薄片压力传感器
CN218156598U (zh) 一种惠斯通电桥压力检测元件及电子设备
CN218156599U (zh) 一种惠斯通电桥压力检测元件及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100811

Termination date: 20130131