CN101145522A - 气体注射装置 - Google Patents
气体注射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101145522A CN101145522A CNA2006101131424A CN200610113142A CN101145522A CN 101145522 A CN101145522 A CN 101145522A CN A2006101131424 A CNA2006101131424 A CN A2006101131424A CN 200610113142 A CN200610113142 A CN 200610113142A CN 101145522 A CN101145522 A CN 101145522A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- nozzle
- injection apparatus
- gas injection
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
本发明公开了一种气体注射装置，用于向反应腔室供工艺气体，包括喷嘴，喷嘴的内部设有封闭空腔，封闭空腔设有进气口，封闭空腔的下部侧壁上还设有多个出气口，工艺气体依次经过进气口、封闭空腔、出气口进入反应腔室。多个出气口的方向与喷嘴的纵向轴线接近垂直，也可以与喷嘴纵向轴线的垂直面有一定的夹角。结构简单、气体分布均匀性好，尤其适用于半导体硅片加工设备的供气系统中，也适用于其它场合的供气。
Description
技术领域
本发明涉及一种气体分布系统，尤其涉及一种半导体硅片加工设备的供气装置。
背景技术
在半导体晶片加工过程中，工艺气体由气体注射装置注入反应腔室并扩散，在高频电场作用下产生等离子体来刻蚀位于腔室内部的晶片表面。
在反应腔室内部，如果气体分布不均匀，将导致在腔室内部的晶片表面上的刻蚀速率和均匀性有较大的变化。目前随着技术进步，反应腔室的体积也相应的增大，这使得反应腔室内的气体均匀分布变得更加困难。
如图1所示，是目前大多数半导体刻蚀设备中采用的反应室腔室的结构示意图，在半导体加工过程中，通过设在反应腔室上部介质窗体上的喷嘴向反应腔室喷入工艺气体。
喷嘴采用喇叭形结构，静电卡盘吸附晶片，起着固定晶片的作用。此反应腔室的结构特点是进气入口和气体的出口分别位于反应腔室的两侧。在此系统中分子泵从抽气腔室的出口抽出反应腔室的气体使反应腔室形成低压，同时由喇叭形喷嘴喷出的反应气体呈扇状喷出，由于此喷嘴为单一出口，尽管出口为喇叭状，喷嘴射出的气体仍然在腔室中分布极不均匀，加上分子泵的影响，反应气体进入反应腔室后不仅在静电卡盘表面上方的分布不对称，而且在静电卡盘表面上变化较大，致使形成的反应基团与被刻蚀物质表面发生的化学反应速度差异较大，最终导致刻蚀速率的不均匀性。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、气体分布均匀的气体注射装置。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的气体注射装置，用于向反应腔室供工艺气体，包括喷嘴，其特征在于，所述的喷嘴为柱状体，其内部设有封闭空腔，所述封闭空腔设有进气口，封闭空腔的下部侧壁上还设有多个出气口，工艺气体依次经过进气口、封闭空腔、出气口进入反应腔室。
所述的多个出气口的方向与喷嘴纵向轴线的垂直面的夹角为-80°～+80°。
所述的多个出气口的方向与喷嘴纵向轴线的垂直面的夹角为-20°～+20°。
所述的多个出气口的方向与喷嘴的纵向轴线垂直。
所述的多个出气口分布在同一与喷嘴纵向轴线垂直的平面上。
所述的多个出气口分布在不同的与喷嘴纵向轴线垂直的平面上。
所述的出气口的横截面的形状为圆形、椭圆形、或多边形。
所述的多个出气口的数量大于等于4，且均匀分布。
所述出气口的截面积大于等于0.2平方毫米。
所述的喷嘴为圆柱体或椭圆柱体或多边形柱体。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的气体注射装置，由于喷嘴的内部设有封闭空腔，工艺气体依次经过进气口、封闭空腔、出气口进入反应腔室。封闭空腔所提供的缓冲和分压的作用使得所有的出气口的气体流速趋于均匀，并且多个出气口均匀分布在封闭空腔的侧壁上，这样，气体就不是直接喷到反应腔室的中部，而是从周边部位向中部扩散，因而就能够在反应腔室中得到基本均匀的气体分布。
结构简单、气体分布均匀性好，尤其适用于半导体硅片加工设备的供气系统中，也适用于其它场合的供气。
附图说明
图1为现有技术中反应腔室的结构示意图；
图2为本发明气体注射装置具体实施例的结构示意图；
图3为现有技术中采用喇叭口喷嘴时晶片表面压力场分布示意图；
图4为采用本发明气体注射装置时晶片表面压力场分布示意图。
具体实施方式
本发明的气体注射装置用于向反应腔室供工艺气体，设于反应腔室的介质窗体上，所述的反应腔室主要指半导体加工设备的反应腔室，也可以用于其它的腔室。
其较佳的具体实施方式如图2所示，包括喷嘴，所述的喷嘴为柱状体，其内部设有封闭空腔1，所述封闭空腔1设有进气口3，封闭空腔1的下部侧壁2上还设有多个出气口4，工艺气体依次经过进气口3、封闭空腔1、出气口4进入反应腔室。
所述的多个出气口4的方向最好与喷嘴的纵向轴线接近垂直，可以与喷嘴纵向轴线的垂直面有-20°～+20°的夹角。
根据需要也可以与喷嘴纵向轴线的垂直面有-80°～+80°的夹角。
所述的出气口4的横截面的形状可以为圆形、椭圆形、或多边形。也可以是其它需要的形状。所述出气口4的截面积一般大于等于0.2平方毫米。根据需要也可以是其它的尺寸。
所述的多个出气口4的数量可以是需要的任意数量，一般大于等于4个为佳，多个出气口 4均匀分布在封闭空腔1的下部侧壁2上。多个出气口4可以分布在同一与喷嘴纵向轴线垂直的平面上，也可以分布在不同的平面上。这里所说的出气口4的分布平面，主要是指出气口4的最外端口所在的分布平面。
所述的喷嘴为圆柱体或椭圆柱体或多边形柱体。也可以是其它的结构形式。
本发明通过设计气体注射装置的结构实现了在晶片上方很均匀的气体分布。
其实现的原理如图2所示，反应气体从进气口3、封闭空腔1以及出气口4最终进入图1所示的反应腔室，然后经过屏蔽板上的小孔向下进入抽气腔室，最后从出口流出。由于封闭空腔1所提供的缓冲和分压的作用使得所有的出气口4的气体流速趋于均匀，并且多个出气口4均匀分布在封闭空腔1的侧壁上，且多个出气口的方向与喷嘴的纵向轴线接近垂直，这样，气体就不是直接喷到反应腔室的中部，而是从周边部位向中部扩散，因而就能够在反应腔室中得到基本均匀的气体分布。
气体注射装置的结构改变了气体进入反应腔室内部的流动途径，改善了气体在反应腔室内部的分布均匀性，从而使得在晶片表面上各点的刻蚀速率更加相近。即使随着晶片尺寸的增大，该技术方案也能很好的控制从晶片中央到边缘的刻蚀速率和均匀性。
结构简单、气体分布均匀性好，尤其适用于半导体硅片加工设备的供气系统中，也适用于其它场合的供气。
具体效果比较如图3、图4所示，根据仿真计算得到的晶片表面上部1毫米处压力场对比图。
从图中明显可以看出，采用本发明的气体注射装置后，晶片表面压力场明显比喇叭形喷嘴压力场的压差减小，采用本发明的气体注射装置后，晶片表面气体压力场均匀性比采用喇叭形喷嘴时的气体压力场的均匀性明显改善。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种气体注射装置，用于向反应腔室供工艺气体，包括喷嘴，其特征在于，所述的喷嘴为柱状体，其内部设有封闭空腔，所述封闭空腔设有进气口，封闭空腔的下部侧壁上还设有多个出气口，工艺气体依次经过进气口、封闭空腔、出气口进入反应腔室。
2.根据权利要求1所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个出气口的方向与喷嘴纵向轴线的垂直面的夹角为-80°～+80°。
3.根据权利要求2所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个出气口的方向与喷嘴纵向轴线的垂直面的夹角为-20°～+20°。
4.根据权利要求3所述的气体注射装置，其特征在于， 所述的多个出气口的方向与喷嘴的纵向轴线垂直。
5.根据权利要求1至4任一项所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个出气口分布在同一与喷嘴纵向轴线垂直的平面上。
6.根据权利要求1至4任一项所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个出气口分布在不同的与喷嘴纵向轴线垂直的平面上。
7.根据权利要求1至4任一项所述的气体注射装置，其特征在于，所述的出气口的横截面的形状为圆形、椭圆形、或多边形。
8.根据权利要求1至4任一项所述的气体注射装置，其特征在于，所述的多个出气口的数量大于等于4，且均匀分布。
9.根据权利要求1至4任一项所述的气体注射装置，其特征在于，所述出气口的截面积大于等于0.2平方毫米。
10.根据权利要求1所述的气体注射装置，其特征在于， 所述的喷嘴为圆柱体或椭圆柱体或多边形柱体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2006101131424A CN101145522A (zh) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 气体注射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2006101131424A CN101145522A (zh) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 气体注射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101145522A true CN101145522A (zh) | 2008-03-19 |
Family
ID=39207933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2006101131424A Pending CN101145522A (zh) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 气体注射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101145522A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103928368A (zh) * | 2014-03-20 | 2014-07-16 | 上海华力微电子有限公司 | 一种在线实时控制硅片背压的结构及方法 |
| CN103928372A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-07-16 | 上海华力微电子有限公司 | 一种抗腐蚀的晶圆清洗装置 |
| CN113053712A (zh) * | 2019-12-26 | 2021-06-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其气体喷嘴、气体喷嘴组件 |
-
2006
- 2006-09-15 CN CNA2006101131424A patent/CN101145522A/zh active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103928368A (zh) * | 2014-03-20 | 2014-07-16 | 上海华力微电子有限公司 | 一种在线实时控制硅片背压的结构及方法 |
| CN103928368B (zh) * | 2014-03-20 | 2017-10-03 | 上海华力微电子有限公司 | 一种在线实时控制硅片背压的结构及方法 |
| CN103928372A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-07-16 | 上海华力微电子有限公司 | 一种抗腐蚀的晶圆清洗装置 |
| CN103928372B (zh) * | 2014-04-22 | 2017-01-11 | 上海华力微电子有限公司 | 一种抗腐蚀的晶圆清洗装置 |
| CN113053712A (zh) * | 2019-12-26 | 2021-06-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其气体喷嘴、气体喷嘴组件 |
| CN113053712B (zh) * | 2019-12-26 | 2023-12-01 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其气体喷嘴、气体喷嘴组件 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100540734C (zh) | 化学气相沉积设备 | |
| CN100541709C (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
| CN102534557A (zh) | 结合进气和排气的喷头 | |
| TW201113946A (en) | Side gas injector for plasma reaction chamber | |
| CN100521074C (zh) | 气体注射装置 | |
| KR101830463B1 (ko) | 플라즈마 프로세싱 시스템에서 플라즈마의 한정 상태를 검출하는 방법들 및 장치 | |
| CN1850348A (zh) | 提高气流分布均匀性的气体喷嘴 | |
| CN106856644A (zh) | 等离子体射流装置 | |
| CN105149308A (zh) | 一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法 | |
| CN101145522A (zh) | 气体注射装置 | |
| CN101179023A (zh) | 气体分布控制系统及多晶硅栅极刻蚀与硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法 | |
| CN105793959A (zh) | 衬底处理设备 | |
| CN101207034B (zh) | 腔室上盖及包含该上盖的反应腔室 | |
| CN100541707C (zh) | 气体注射装置 | |
| CN104233229A (zh) | 进气装置及等离子体加工设备 | |
| CN101179022A (zh) | 气体注射装置 | |
| CN102891071A (zh) | 一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪 | |
| CN104091776A (zh) | 一种消除连接孔刻蚀副产物凝结缺陷的晶圆净化设备 | |
| CN100517560C (zh) | 气体注射装置 | |
| CN101137266B (zh) | 气体注射装置 | |
| CN202307830U (zh) | 单片晶圆湿法刻蚀装置 | |
| CN100377301C (zh) | 气体注入及扩散系统 | |
| CN103219260A (zh) | 使用极端边缘气体管道的刻蚀装置 | |
| CN101144163A (zh) | 气体分离装置 | |
| CN104952760A (zh) | 一种进气装置及半导体加工设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Open date: 20080319 |