CN101073753A - 电阻值控制系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种电阻值控制系统，其应用于一液体与一气体进行混合的过程中，该系统包括：一气体管路，其用以输送气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该抗压装置的另一侧连接，且能输入通过该抗压装置的气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧输出；其中该抗压装置的内部为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，从而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，因而可控制该混合后所得的气液的电阻值。

Description

电阻值控制系统

技术领域

本发明涉及一种电阻值控制系统，其可应用于半导体、液晶面板等电子产业的清洗作业，且能将适量的气体与液体进行混合，并能准确地控制静电所产生的影响，该电阻值控制系统为一十分精准有效的电阻值控制系统。

背景技术

在半导体、液晶面板等电子产业中，利用二氧化碳气体(CO₂)与未经处理的超纯水(电阻值系数通常≥16MΩ·cm)的混合，使得混合之后的混合液的电阻值系数控制在特定范围之内，以避免由于超纯水本身电阻值系数过高所产生的静电效应而造成的相关产品的破坏或粒体的吸附，从而提高相关产品的合格率。

在实现上述技术的方法中，已有如下技术公开，例如日本专利：实开昭57-86623号、特公平5-21841号、特开平7-60082号，其利用多孔空心纤维作为隔膜的方法或装置，来达到超纯水与二氧化碳作气液混合的目的，然而这些方法或装置会产生如下的问题，例如：在流量发生变化时较难对电阻值系数进行控制；控制方法或装置过于复杂；超纯水渗漏；处理过的超纯水中的二氧化碳气体呈气泡出现、混合不均匀；用水流量超出一定范围，且在非稳定流状态时，电阻值系数会超出所需的范围内等。

再如在中国台湾专利00458947号中，其通过支流的空心纤维透气薄膜系统混合出小量的二氧化碳饱和混合水，再与适量的超纯水混合来达到控制电阻值的目的。虽然其方法与装置在超纯水用量变化范围不大时，可以将电阻值控制在一定水准，但其在滴定完二氧化碳饱和混合水后，还需要相当长的管路系统来增加其混合效果，且其二氧化碳气体压力(0.15～1.5kgf/cm²·G)恒定小于超纯水压力(3.0～4.5kgf/cm²·G)，因此，气体加入水路的方式属于被动的设计。由于利用上述的超纯水管路系统作为气液混合系统属于自然混合，因此很难确保混合的效果，且在水流量波动变化超过某一特定范围后或是供水端产生非稳定流时，常发生电阻值超出设定范围很长一段时间的现象。这样，将产生制程合格率极不稳定的现象。

由于超纯水管路系统相关装置是设置在寸土寸金的无尘室内，为充分利用空间且考虑生产成本，目前此相关装置的下游设备已由单台增加为数台，并且还有连接数目愈来愈多的趋势，这样，所使用的超纯水流量的波动范围就会变得更加扩大；例如，下游设备可为湿洗清洗器，或切割、研磨设备等，其从最初的一对一，进而一对三，增加到目前业界的一对五的配置方式，这使得超纯水的水流量波动范围也从5～10公升/分钟变化至2～50公升/分钟；而超纯水的水流量波动范围愈大，其管路间的压差也随之增加。另一方面，目前业界对电阻值系数的控制范围的要求也从以前的0.1～2.0MΩ·cm提高至目前的0.1～1.0MΩ·cm，甚至是0.1～0.5MΩ·cm。

由于每台清洗器或切割设备在每一瞬间的总和需求水流量不同，因此造成超纯水的水流量波动非常剧烈，例如：当从低流量变化至高流量时，会因为二氧化碳气体量不足而使得电阻值通常会偏高很长一段时间，而当从高流量变化至低流量时，由于非稳定流时水压变化十分激烈，常会发生二氧化碳气体无法加入到超纯水管路中的现象，若在此时强行加大二氧化碳气体的压力或流量，则会发生二氧化碳气体过量、电阻值偏低、且处理后的超纯水水质过酸等问题。

同时，当下游设备的用水量产生大幅变化时，超纯水管路内部的压力也会瞬间产生非常剧烈的变化，并且需要一定的时间才能达到稳定流，内部的水压方能回复至较稳定的状态。这种在超纯水管路间产生非稳定流状态的现象会影响超纯水中的电阻值系数，因而无法将其控制在上述的要求范围内，因而直接造成制程合格率的降低。

因此，为能适应超纯水的流量的波动变化，以及能与适量的二氧化碳气体进行混合，目前仍需要十分精密、复杂、且昂贵的装置方能适应此水压的瞬间落差，以便实时将适量的二氧化碳气体打入到超纯水管路中，此外，其间还有控制系统本身的信号输出、输入时与相关装置所产生的时间差等无法克服的问题，即，在此短暂的信号反应时间中，仍会使电阻值系数无法控制在所需的特定范围内。因此，为了能快速适应大幅度的水流量波动变化，本发明采用将二氧化碳气体直接加入超纯水管路通路中，并提出了一种能与超纯水直接进行混合的快速而有效的方式。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术中存在的缺陷，提供一种电阻值控制系统。

为此，根据本发明的电阻值控制系统包括有：一气体管路，其用以输送气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该抗压装置的另一侧连接，能输入通过该抗压装置的气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，以使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧输出；其中该抗压装置的内部为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，从而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，因此能控制该混合后所得气液的电阻值。

附图说明

通过参考下列附图及说明，可更加深入地了解本发明：

图1(a)为本发明第一实施例的电阻值控制系统的示意图。

图1(b)为抗压装置的内部结构示意图。

图1(c)为静态混合器的侧面、平面、单一或多个组件的示意图。

图2为本发明第二实施例的电阻值控制系统的示意图。

图3为本发明第三实施例的电阻值控制系统的示意图。

其中，附图标记说明如下：

电阻值控制系统100、200、300          导流装置10、20

超纯水管路11                         进口111、211、311

出口112、212、312                    混合装置12

静态混合器121                        开口13、23、33

二氧化碳气体管路14、24、34           抗压装置15、25、35

压力调节阀16                         疏导装置27

微化装置28                           端盖291、292、391、392

导流混合装置30                       静态混合器模块32

压力计P1、P2                   流量计F1

具体实施方式

请参阅图1(a)，其为本发明第一实施例的一电阻值控制系统100的示意图。由此图所示，该电阻值控制系统100的构成为：由一导流装置10与一超纯水管路11连通以连接成一种气液混合管路，且在该导流装置10的下游再连接一混合装置12。在该导流装置10的上游、且在该超纯水管路11上设有一进口111，从而可输入未处理的超纯水，而在该混合装置12的下游、且在该超纯水管路11上设有一出口112，以输出已处理的超纯水。在该导流装置10上设置有一开口13，用以作为二氧化碳气体的喷射入口，该开口13与一二氧化碳气体管路14相接，并在该开口13与该二氧化碳气体管路14之间设置有一抗压装置15，而该二氧化碳气体管路14的中间还设置有一压力调节阀16。另外，一压力计P1设置在该进口111与该导流装置10之间，一压力计P2设置在该开口13与该压力调节阀16之间，且一流量计F1设置在该混合装置12与该出口112之间。

在此实施例中，所使用的未处理的超纯水是在23℃时电阻系数为18.3MΩ·cm的超纯水。且超纯水的流量在2～50公升/分钟的范围内波动，其波动的方式为：维持流量1分钟后，再转换成另一流量；超纯水的供应压力为3.5～3.8kgf/cm²·G，而直接喷射到该开口13的二氧化碳气体的供应压力则为4.5～6.0kgf/cm²·G。

在此实施例中，该导流装置10与该超纯水管路11采用连通连接的设计，未添加二氧化碳气体的超纯水与该导流装置10一侧的开口直接相通，该导流装置10的另一侧则因此会流出已添加二氧化碳气体的超纯水。在此实施例中，该导流装置10可以通过一清洁氯乙烯的材质而制作，该导流装置10的内部可采用变管径的设计，并在其管壁的任意位置上设置可供二氧化碳气体喷射进入的该开口13；而该抗压装置15则通过多孔隙结构的无机玻璃材质而制作，并置放于该开口13处，因此，二氧化碳气体便依序经由该抗压装置15、该开口13而直接导入到该导流装置10内，从而输入未处理的超纯水中而直接与之混合。

而本发明的特征在于，在该二氧化碳气体管路14与该导流装置10上的开口13的连接处所设置的该抗压装置15为一种透气型的组件，请参阅图1(b)，其为该抗压装置15的内部结构示意图，由此图所示可知，本发明的该抗压装置15的内部由许多微小的颗粒物体以立体堆栈的方式所构成，并且其间彼此的堆栈会保留一定的间隙，其间隙可呈现出弯曲或直线的构造，而在此例中，该抗压装置15通过多孔隙结构的无机玻璃的材质而制作；因此，只要当入射的二氧化碳气体的气体压力恒定大于所输入的超纯水的液体压力一特定值或以上时，则只需要通过该抗压装置15内部的设计即可将通过这些间隙的二氧化碳气体的压力降低，从而能让适当压力的二氧化碳气体入射至该导流装置10中。

另外，在超纯水流量波动变化的非稳定流状态发生时，超纯水的液体压力很容易产生突然增加的变化，而突增的压力可能造成该导流装置10中的未处理的超纯水或已混合的气液向该开口13回流，但是通过该抗压装置15内部的设计也能够限制此压力突增的超纯水，使得其突增的压力能被抑制而加以降低；同时，本发明的特征在于：同样是通过该抗压装置15，所入射的二氧化碳气体所产生的压降程度与压力突增的超纯水所受到限制的压降程度非常相近，因此，当设计入射的二氧化碳气体的气体压力恒定大于等于所输入的超纯水的液体压力一特定值或以上时，通过该抗压装置15可降低二氧化碳气体与超纯水的压力，因此，仍可使得降压后的二氧化碳气体的气体压力大于降压后的超纯水的液体压力，从而使得适当压力或适量的二氧化碳气体得以入射至该导流装置10中。另外，即使两者在降压后各自的压力呈现相等，所入射的二氧化碳气体仍可通过毛细现象的原理来和未处理的超纯水产生混合。

所以，超纯水的电阻值系数能因此控制在非常准确的范围内，而且无论是稳定流或非稳定流状态，即便是水流量波动变化十分剧烈时，均能适应超纯水的水流量波动而将最适量的二氧化碳气体加以直接喷射进入该导流装置10中，进而达到将电阻值系数控制在所需范围内的目的。

因此，在此实施例中，当接在本发明装置的该出口112处的下游设备由单台变为数台时，虽然会使得水流量波动范围更广，但本发明中的该抗压装置15设置于该二氧化碳气体管路14与该超纯水管路11(或该导流装置10)之间，当二氧化碳气体管路14与导流装置10之间形成一定压力范围的压差时，能利用这些压差状况或所能够产生的压降变化情况来抵御水流量波动时所产生的压力突增的变化，因而得以将适量的二氧化碳气体直接喷射到该导流装置10中。这样，便可实时因应水流量波动的变化，打入适量的二氧化碳气体，从而得以将超纯水中的电阻值控制在所需的特定范围内。

当二氧化碳气体充分与超纯水混合成离子化形态之后，处理过的超纯水中的二氧化碳即呈现不可目视的状态。为缩短离子化的时间，在该导流装置10的下游设置该混合装置12，该混合装置12的内部可埋设有一混合器模块，其能够改变超纯水流体层流运动的速度梯度或形成湍流，或能在流体运动断面方向产生剧烈的涡流，该混合器模块例如可为静态混合器(Static Mixer)、球型混合器、多孔空心纤维或透气薄膜、转子、电动搅拌器等装置所构成，如图1(c)所示，其为相关的静态混合器121的侧面、平面、单一或多个组件的示意图，该静态混合器121以清洁氯乙烯的材质所制成，因此，能将这些构造设置在该混合装置12的内部，因而能更加发挥其气液均匀混合的效果。在此例中，该混合装置12同样以清洁氯乙烯的材质所制成，其管径大于该超纯水管路11的管径，此外，该混合装置12的功能，也可以利用具有一定长度的管线来加以代替，同样也可达到将二氧化碳气体与超纯水混合至一定均匀程度的目的，但其电阻值的控制范围可能会大于此实施例中使用该混合装置12所能达到的控制范围，因为此实施例中的该混合装置12的相关内部构造能通过改变超纯水流体层流运动的速度梯度或形成湍流，或能在流体运动断面方向产生剧烈的涡流，因而可使气液的混合能够在很短的距离内便完成。

此实施例的作业流程说明如下：未处理的超纯水经由该进口111引进该导流装置10内，而二氧化碳气体则经由该二氧化碳气体管路14引进，并先利用该压力调节阀16调至一定值，且使二氧化碳气体依序经过该抗压装置15、该开口13而进入该导流装置10中，从而和未处理的超纯水直接混合。在此，超纯水中已经含有一定比例的二氧化碳气体，然后，混合的气液再进入该混合装置12内以再进行充分混合与离子化后，形成其电阻值受控制的超纯水，再经由该出口112流出，并且能利用该流量计F1来监测其流量以得知下游设备的真正使用流量。

在此实施例中，经由该流量计F1测得的流量波动与测量使用该电阻值控制系统100所制成电阻值受控制的超纯水的电阻系数，其结果是当水流量达到稳定流时，电阻系数波动范围会非常小，而产生波动的主要原因是所供应的超纯水的压力无法维持一固定值，因此，当水流量产生由小变大的波动而未达到稳定流状态时，电阻系数波动范围会随水流量波动的大小成反比的关系，这是因为水流量波动愈大，超纯水管路的压力骤升的愈高，在未达到稳定流之前，会造成二氧化碳气体不易喷射到该导流装置10中。然而，无论是稳定流或流量波动时的非稳定流状态，使用此实施例的该电阻值控制系统100，其超纯水电阻值可以随时被控制在一定范围内，且此范围可远较下游湿洗设备所要求的电阻值系数范围来得窄。

综上所述，此实施例直接添加二氧化碳气体至超纯水管路中，使得二氧化碳气体可与超纯水混合出所需电阻值系数的超纯水，且此种添加二氧化碳气体的方式可使二氧化碳气体能被充分应用，而不会有任何气体泄漏的损失。本发明除设计精巧之外，还能适应水流量波动的变化，准确地提供最适量的二氧化碳气体至超纯水管路中，因此得以将电阻值系数控制在非常均匀的特定范围内。

此外，还可以将该第一实施例中的该抗压装置15去除，以比较出有无使用到该抗压装置15时所能发挥的功效有何不同。经实验结果可以发现，二氧化碳的气体压力无论是在稳定流时或有流量波动时，超纯水电阻值均难以控制在一定范围内，使得当压力足以将二氧化碳气体喷射到超纯水管路时，其电阻值系数均会在0.1MΩ·cm以下，显示出二氧化碳气体过量造成超纯水质过酸；或者当压力不足以将二氧化碳气体喷射到超纯水管路时，其电阻值系数均在1.0～16.0MΩ·cm之间波动，而无法被控制在一定范围内。

承上所述，或者可将该抗压装置15去除后，以质流量控制器(Mass FlowController)和精密的控制系统来配合流量的变化，并以喷射出固定流量比例的二氧化碳气体进入超纯水管路中来进行控制与比较，但结果发现当达到稳定流状态时，超纯水电阻值均可被控制在所需的一定范围内，但在非稳定流状态时，超纯水电阻值均无法被控制在所需的一定范围内。因此，可知利用本发明所提出的该抗压装置15可以准确地提供最适量的二氧化碳气体至超纯水管路中，因此得以将电阻值系数控制在非常均匀的特定范围内。

此外，为能增进未处理的超纯水与二氧化碳气体的混合效率，以及加速二氧化碳气体离子化的效应，本发明的第二实施例还设计了可使二氧化碳气体能更加细化的一微化装置。请参阅图2，其为本发明第二实施例的一电阻值控制系统200的示意图。在此实施例中，将第一实施例中的该导流装置10上的相关设计加以变化，其它相关装置的配置、材质或运作功能等则和第一实施例相同，另外，所使用的未处理超纯水的状态与二氧化碳气体的状态也和第一实施例相同。该微化装置的相关功能说明如下。

由此图所示，在此实施例中，该电阻值控制系统200主要也由一导流装置20所构成，该导流装置20具有一开口23，该开口23为二氧化碳气体的喷射入口，且与一二氧化碳气体管路24相接，同样地，在该开口23与该二氧化碳气体管路24之间设置有一抗压装置25，该抗压装置25的材质与功能和第一实施例相同，而该导流装置20的两个端盖291、292则分别与超纯水的一进口211、一出口212相通，所以，未处理的超纯水从该进口211进入，而处理过后的超纯水则从该出口212流出。此外，由于在管路中已添加二氧化碳气体的超纯水绝不可发生逆流的现象，因此，如图2所示，其中的该导流装置20的内部可采用文氏管的变管径的设计，也就是在该进口211处的管径较大，至该导流装置20的中段处管径变小，但在该出口212处又恢复为较大的管径，如此便可避免混合的气液产生逆流的情况。

此第二实施例的特征在于，在该开口23与该二氧化碳气体管路24之间还设置有一微化装置28，且在该抗压装置25的下方连接了一疏导装置27，其中，该微化装置28为纳米尺度的构造，其可将二氧化碳气体微化成不可目视或可目视的气泡，藉以增加二氧化碳气体与超纯水接触的面积，如此便可以加快气液混合的速度与效果；因此，通过该微化装置28，可以大幅减少现有技术中的超纯水管路的管路长度。

此外，在此实施例中，该疏导装置27可采用超纯水用沃斯田体不锈钢的材质所制成，并且如图2所示，该疏导装置27采用90度空心弯管设计，而其出口位于该导流装置20内的中央处。该疏导装置27可将二氧化碳气体疏导至该导流装置20中，以降低当输入该导流装置20中的超纯水的压力不稳定时，所造成的该导流装置20的管壁压力变化的影响。因此，该疏导装置27的弯管设计构造配合该导流装置20内部的变管径设计构造，可大幅降低已处理过的超纯水逆流回原管路的问题。

此实施例的作业流程说明如下：未处理的超纯水经由该进口211引进至该导流装置20内，也就是进入管径变化为50％的文氏管内径的该导流装置20内，而二氧化碳气体则经由该二氧化碳气体管路24引进，并依序经过该微化装置28、该抗压装置25、该开口23、该疏导装置27而直接进入到该导流装置20中，再直接与未处理的超纯水进行混合，以得到所需要的电阻值系数受控制的超纯水后，从该出口212排出。

经由此实施例中的该微化装置28对于二氧化碳气体的处理，的确能通过其纳米尺度的构造而能将二氧化碳气体在超纯水管路中形成可目视或不可目视的微小气泡；然而，凡能使二氧化碳气体可被细分化的任何结构形式的装置或组件均可成为此实施例中的该微化装置28。此外，该疏导装置27的位置可位于该导流装置20上的任意位置，但为使二氧化碳气体能更均匀且有效地与超纯水混合，该疏导装置27的设置位置以此第二实施例所说明的该导流装置20上的中央点为最佳位置。

此第二实施例也能适应水流量波动的变化而直接添加适量的二氧化碳气体至超纯水管路中(相关原理和第一实施例中所述相同)，使得二氧化碳气体可与超纯水混合出所需的特定范围内的电阻值系数的超纯水。因此，使用根据第二实施例的该电阻值控制系统200所得到电阻值系数受到控制的超纯水，依水流量波动变化分为稳定流及未达到稳定流两种状态，其结果是：无论是稳定流或流量波动时的非稳定流状态，超纯水电阻值可以随时被控制在一定范围内，且此范围远较下游湿洗设备所要求的范围来得窄。

请参阅图3，其为本发明第三实施例的一电阻值控制系统300的示意图。在此实施例中，将第一实施例中的该导流装置10与该混合装置12在构造上作一结合，因而设计出如图3所示的一导流混合装置30，其它相关装置的配置、材质或运作功能等和第一实施例相同，另外，所使用的未处理超纯水的状态与二氧化碳气体的状态也和第一实施例相同。

由此图所示，在此实施例中，该电阻值控制系统300主要由材质为清洁氯乙烯的该导流混合装置30所构成，且在该导流混合装置30内设置有一静态混合器模块32，该静态混合器模块32由多个静态混合器(static mixer)所组成，而有关于该静态混合器的样式或功能的说明和第一实施例中的参照图1(c)的说明相同。该导流混合装置30具有一开口33，该开口33为二氧化碳气体的喷射入口，并和一二氧化碳气体管路34相接，同样地，在该开口33与该二氧化碳气体管路34之间设有一抗压装置35，该抗压装置35的材质与功能和第一实施例相同，而该导流混合装置30的两个端盖391、392则分别与超纯水的一进口311、一出口312相连接，未处理的超纯水从该进口311进入，而处理后的超纯水则从该出口312流出。而此实施例的特征在于，该开口33位于该进口311的附近，因此，如图3所示，所喷入的二氧化碳气体与所流入的未处理的超纯水可从一开始便在该导流混合装置30内进行混合。

此实施例的作业流程说明如下：未处理的超纯水经由该进口311引进至该导流混合装置30内，而二氧化碳气体则经由该二氧化碳气体管路34引进，并依序经过该抗压装置35、该开口33而直接进入该导流混合装置30中，因此，未处理的超纯水与二氧化碳气体共同流经该静态混合器模块32，通过该静态混合器模块32可以改变超纯水流体层流运动的速度梯度或形成湍流、或可在流体运动断面方向产生剧烈的涡流，所以二氧化碳气体与未处理的超纯水得以充分混合，电阻值系数受控制的超纯水便可从该出口312排出。

此第三实施例也能适应水流量波动的变化而直接添加适量的二氧化碳气体至超纯水管路中(相关原理和第一实施例中所述相同)，使得二氧化碳气体可与超纯水混合出所需的特定范围内的电阻值系数的超纯水。因此，使用第三实施例的该电阻值控制系统300所得到电阻值系数受到控制的超纯水，依水流量波动变化分为稳定流及未达到稳定流两种状态，其结果是：无论是稳定流或流量波动时的非稳定流状态，超纯水电阻值可以随时被控制在一定范围内，且此范围远较下游湿洗设备所要求的范围来得窄。

上述几个实施例均能解决现有技术中所提及的问题。另外，在本发明中所提出的抗压装置的材质为无机玻璃，其内部构造为，由许多微小的颗粒物体以立体堆栈的方式构成为一种多孔隙结构，因而能在二氧化碳气体通过时或超纯水液体压力突增时产生一定程度的压降，然而除了本发明实施例所提出的上述结构外，凡可产生压降现象的任何结构形式的装置或组件均可作为本发明实施例的该抗压装置，例如：其堆栈的方式可以方块状的物体相互嵌入堆栈，并能在彼此的堆栈上保留一定的间隙。

再者，因本发明应用于超纯水，所以在材料选择上，需特别注意材料释出污染物的问题，污染物的释出不仅会影响到相关电阻值系数的控制，还会影响制程的合格率。本发明的所有装置或组件的材料选择可为：陶瓷、沃斯田体不锈钢(SUS/SCS)、无机玻璃、聚烯烃、环醚、聚戊烯、含氟烃聚合物、纳米材料等无污染物释出的物质，或可为低污染物释出的物质，如：ABS、CPVC、HPVC、PTFE、PVDF、PEEK、PI等、或其它工程塑料。而以陶瓷、含氟烃聚合物、清洁氯乙烯、超纯水用沃斯田体不锈钢、无机玻璃、纳米材料等为最佳。

再者，本发明通过对超纯水添加二氧化碳气体以控制超纯水电阻值系数为目地，本发明的相关装置，例如：导流装置，并不限制为内部水流式的机型或外部水流式的机型，只要适当的管路设计且能顾及相关电阻值的准确性、安定性，并可随水流量波动的变化而自动调整即可。

另外，本发明的相关装置可具有气体封阻设备，以便于特定流量以下及温度或压力异常时，可以切断二氧化碳气体的供应。此设备包括：电阻值系数传感器及其信号处理器，以用于监测已处理超纯水的电阻值系数是否被控制在特定范围内；流量感测计及其信号处理器，以用于监测超纯水的流量，当流量过低或过高时，发出警示信号；压力感测计及其信号处理器，以用于监测超纯水的压力，当压力过低或过高时，发出警示信号；温度感测计及其信号处理器，以用于监测超纯水的温度，当温度过低或过高时，发出警示信号；电磁阀，适应来自控制系统所发出的信号，封阻二氧化碳气体的供应；压力控制(调节)器，其可为手动或电动方式，藉以设定二氧化碳气体或超纯水的压力大小范围；以及流量阀，藉以设定二氧化碳气体的流量大小。前述异常现象主要为电阻值系数超出欲控制的特定范围时，可令电磁阀封阻二氧化碳气体的供应。

此外，本发明的相关装置可具有加压设备，以增加已添加二氧化碳气体的超纯水的压力，其增加的压力范围则视连接的下游设备的需求而定。

综上所述，本发明的电阻值控制系统可解决现有技术中存在的问题，从而可实现本发明的主要目的。对于本领域的普通技术人员来说，可以对本发明进行各种修改和变化，其落入本发明的权利要求书所界定的范围内。

Claims (1)

1.一种电阻值控制系统，其应用于一液体与一气体进行混合的过程中，该电阻值控制系统包括有：

一气体管路，其用以输送该气体；

一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置具有透气性；以及

一气液混合管路，其具有一开口，该开口与该抗压装置的另一侧连接，能输入通过该抗压装置的该气体，且该气液混合管路的一侧用以将液体输入到该气液混合管路中，以使得该液体能与该气体在该气液混合管路中进行混合，之后从该气液混合管路的另一侧进行输出；

其中，该抗压装置的内部为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，而能将适当压力的该气体入射至该气液混合管路中，以控制混合后所得气液的电阻值。

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