CN101028917A - 用于配给流体的陶瓷板及其形成方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了制作微点样板的方法及所得的微点样板，该微点样板具有多个馈送孔、多个配给喷嘴、与该配给喷嘴连通的开放腔体、以及多个通道。该通道将馈送孔连接到配给喷嘴，以将来自馈送孔的流体在毛细力作用下传送到配给喷嘴。通道可将保持流体的单个馈送孔连接到配给喷嘴以配给该流体，或者一个通道可将两个或更多个馈送孔连接到配给喷嘴，以在配给混合物之前实现在该通道内混合来自该馈送孔的流体。该微点样板允许通过毛细力实现流体的连续自供给流动通过其亲水层，以实现受控地将多阵列的流体液滴配给到优选为测试载玻片的基板上，用于后面的用途。

Description

用于配给流体的陶瓷板及其形成方法

技术领域

本发明涉及测试试剂，具体地涉及将多种试剂的微阵列液滴同时配给到载玻片(slide)上用于测试生物和/或化学相互作用的装置与方法。

背景技术

在制药与医学行业，通常需要对多种不同试剂进行许多测试。这些测试包括化学样品、生物样品的分析、药物相互作用、药物活性、用于疾病和病症的测试、诊断测试等。许多这样的测试需要一次分析多个样品。随着对现有测试以及对新测试与药物发现的需求持续增长，对于多个采样通过量的要求仍是高的。这对于如下情形尤为如此，即，测试新药物发现和测试过程中使用的试剂的无穷尽组合可能性，例如实际A₁-Z_n，其中n可以为约几百万。

公知使用塑料孔板(well plate)用于供给各种化学制剂和生物样品，使这些物质在孔内接触和相互作用。例如，商业上可获得的塑料卡片阵列包括96和384孔，直径通常为约3mm至约4mm，深度约为1/2英寸。然而，已经发现塑料孔板不期望地使用大量昂贵的化学制剂和/或试剂，且同时获得非常少的数据点。此外，由于塑料孔板是通过挤出成型而形成，阵列内的孔(hole)的直径及位置的精确度不足以制作新技术所需的微孔和微通道。对于孔开口直径和位置不是严格按照规格的情形，将化学制剂和试剂引入孔开口的分析仪器操作以及扫描孔开口的仪器操作的精确度将不精确。因此，塑料孔板在该领域中的延伸应用受限。

采用目前可获得的技术，由于计算机辅助扫描装置的速度，现在可以在一次操作内扫描大量样品。例如，通过增加孔板内给定体积中孔开口的数目，微流体扫描装置可实现将多个实验室工艺集成和微型化至单个传统芯片尺寸的装置内。因此，对于增加孔板内给定体积中更小的微孔和通道的数目的需求仍是高的。实施更大数目的更小微孔和通道降低了分析或测试期间所使用的昂贵化学品和/或试剂的消耗，这又来降低了制造成本，提高了样品处理量，由于分析更快而提供了更快的最终结果，提供了高的性能和成功，并允许与各种可获得的仪器的大范围集成及自动化的容易性。这种微装置尤其有益于将诸多少量试剂配给到玻璃测试载玻片上(即，“微点样(microspotting)”)，其随后被干燥以供稍后诊断和/或实验用途。

因此，仍然需要这样的微装置，其具有几千个直径约100微米量级的孔以及位于阵列内不同水平的连接选择性的孔的通道，用于将少量的试剂配给到特别是测试载玻片上。

发明内容

鉴于现有技术中的问题和不足，因此本发明的目标是提供一种具有微孔和微通道的微装置及其制作方法。

本发明的另一个目标是在根据期望的规格特别制作的微装置内提供微孔和微通道的阵列。

本发明的另一个目标是通过将多个特别制作的未烧片层压(laminating)和/或烧结在一起而在陶瓷微装置内提供微孔和微通道的阵列。

本发明的又一个目标是提供一种微装置以及该微装置的制作方法，其中该微装置具有几千个孔和在该装置内在不同的水平连接选择性孔的通道，以用于基板表面的整个表面上配给试剂。

本发明的另一个目标是提供一种微装置以及该微装置的制作方法，用于使用单位面积的多个试剂滴来微点样载玻片。

本发明的另一个目标是提供一种微装置以及该微装置的制作方法，其降低了成本，使所配给的试剂的量最小化，提高了可以在单次处理过程中可测试的样品/试剂的数目，而且在为了诊断用途微点样玻璃载玻片时可以容易且有效地使用。

本发明的另外其他目标和优点会部分地显而易见，部件地从说明书而明显。

在第一方面涉及用于配给流体的陶瓷板的本发明中，实现了对于本领域技术人员明显的上述及其他目标。该陶瓷板包括：陶瓷主体、多个贮存器馈送孔、多个配给喷嘴、与该多个配给喷嘴直接连通的开放腔体、以及多个通道。该通道将该贮存器馈送孔连接到配给喷嘴，当从该开放腔体向该多个配给喷嘴内提供压力时，受力作用而将流体从该贮存器馈送孔传送到该配给喷嘴，以从该陶瓷主体配给流体。

该陶瓷主体优选地包括亲水材料，其可制成具有水平地、垂直地或者甚至其组合地处于该主体内的各种开口，以满足期望的规格。此外，该陶瓷主体可以制作成任何期望的形状，包括但不限于圆形、方形和矩形。在该陶瓷板中，每个通道可以连接到单个贮存器馈送孔，或者备选地连接到两个或更多个贮存器馈送孔，从而在配给这样的混合物之前在输运过程中将两种或更多种流体互相混合。类似地，各个通道可以连接到单个配给喷嘴，或者备选地可以连接到两个或更多个配给喷嘴，以将流体以液滴配给到基板上。这些通道可以水平地、垂直地或者其组合地处于该陶瓷主体内。该开放腔体适于容纳驱动装置，以向该多个配给喷嘴内提供压力。

另一方面，本发明涉及从陶瓷板配给流体的方法。该方法包括提供具有多个开口的陶瓷主体。这些开口包括多个贮存器馈送孔、与多个配给喷嘴直接连通的开放腔体、以及将该多个贮存器馈送孔连接到多个配给喷嘴的多个通道。在该多个贮存器馈送孔内提供至少一种流体。随后从该开放腔体向该多个配给喷嘴内加压，以在该开口内产生力，优选地为毛细力。在该过程中，该毛细力导致该流体从该多个贮存器馈送孔传送穿过该通道并进入该配给喷嘴，以将来自该喷嘴的流体液滴配给到基板上。

在该方面，该陶瓷主体还优选地为亲水材料，且在该开放腔体内提供驱动装置产生压力。各个通道可以连接到单个馈送孔，从而将该馈送孔内的流体传送到该配给喷嘴以配给到基板上。备选地，一个通道可连接到两个或更多个贮存器馈送孔，以实现在该通道内均匀混合从这些馈送孔接收的流体，由此该混合物被传送到一个配给喷嘴或者多于一个的该配给喷嘴，以将该混合物的液滴配给到基板上。

在又一方面，本发明涉及形成用于配给流体的陶瓷板。该方法包括提供多个未烧片，以及分别在这样的多个未烧片的第一、第二、第三和第四组未烧片内形成第一、第二、第三和第四组开口。在其中具有这些开口的未烧片相互对准堆叠，使得该第一组开口形成多个贮存器馈送孔，该第二组开口形成多个配给喷嘴，该第三组开口形成与该多个配给喷嘴直接连通的开放腔体，以及该第四组开口形成将该贮存器馈送孔连接到该配给喷嘴的多个通道。这些堆叠对准的未烧片随后相互层压，以形成用于配给流体的本发明的烧结的陶瓷板。该烧结工艺将所有层熔合在一起，从而无需分离的接合工艺。

在本发明的该方面，该第一、第二、第三和第四组开口优选地由材料去除技术形成，更优选地，使用冲孔工具通过在该未烧片内冲开口而形成。该冲孔工具优选地具有至少两种不同尺寸直径的交替打孔器的冲孔头，用于形成本发明的陶瓷板。在形成用于微点样的本发明的陶瓷板时，形成于该未烧片内的该第一、第二、第三和第四组开口可以在单个未烧片内垂直地或者水平地分布，或者可以垂直地、水平地或者其组合地处于不同的未烧片内。

附图说明

在所附权利要求中具体地列出了被认为是新颖的本发明的特征以及本发明的基本原理特性。图示仅用于阐述目的，未按比例绘制。然而，通过参照结合附图进行的以下详细描述，可以最佳地理解本发明本身，无论是作为组织还是操作方法，在附图中：

图1示出了本发明的微点样装置的剖面视图。

图2示出了用于形成图1的微点样装置的各种分层和工艺步骤的剖面视图。

图3示出了图1和4所示的微点样装置的微点样喷嘴阵列的部分俯视平面图。

图4示出了具有矩形形状的本发明的微点样装置的俯视平面图。

图5和6示出了用于形成具有圆形形状的本发明另一种微点样装置的图2内不同层的俯视平面图。

图7示出了用于制作本发明的微点样装置的穿孔工具(punch tool)的俯视平面图。

具体实施方式

将参照图示的图1至7描述本发明的优选实施方式，附图中相似的数字指代相似的本发明的特征。

本发明涉及微点样装置和制作这种微点样装置的方法。本发明的各种微点样装置优选为一种共烧结的多功能的微阵列点样装置，其具有：单个大的腔体，用于驱动流体表面；多个贮存器馈送孔，用于容纳和保持至少一种流体(即，试剂)或者多个不同的流体于不同的贮存器内；大量不同的流体通道，用于从该贮存器馈送孔接收流体；以及，大量不同的微点样流体配给喷嘴，连接到该通道以将多阵列的少量流体配给到基板上供稍后使用，该基板优选为玻璃测试载玻片。设于本微点样装置内的流体可包括但不限于，包含生物和/或化学试剂流体，该流体用于为了实验及诊断目的测试其诸多组合。

一方面，各个流体通道可以连接到单个贮存器馈送孔，使得该馈送孔内的流体被引入到并传输通过该流体通道，且随后被引入到微点样喷嘴以将该流体配给到测试载玻片上。备选地，两个或更多个贮存器馈送孔可连接到单个通道，使得来自两个贮存器的流体被引入单个通道，在蠕变流动下在传输中在其中混合，优选地为约Re＜1的蠕变流动，且随后被引入到单个微点样喷嘴以将该混合物配给到测试载玻片上。

本微点样装置优选地由亲水材料(例如铝镁硅酸盐玻璃)制成，从而实现借助毛细力通过其亲水层的流体的连续自供给流动，并从而实现来自微点样喷嘴的流体的受控配给。备选地，该微点样装置可由任何材料制成，由此一旦形成贮存器馈送孔、配给喷嘴以及通道的开口，则为这些开口提供亲水表面，例如使用亲水材料涂布这些开口的表面。

由于各个贮存器馈送孔的尺寸足以保持足够量的流体，本微点样装置有利地能够以受控的方式对于每个贮存器配给许多滴流体。单个大腔体的微点样装置适于容纳驱动装置(例如，柱塞)以驱动处于许多微点样喷嘴内的流体表面。通过驱动许多微点样喷嘴内的流体表面，该微点样装置可以从每个微点样喷嘴配给少量流体到载玻片上而不接触该载玻片。可以连续地或者以预定间隔或次数以离散的模式执行将流体滴从微点样喷嘴配给到测试载玻片上。

为了便于理解本发明且不以任何方式限制本发明，图1至4示出了本发明的微点样装置100的一个实施方式。该微点样装置包括彼此连接且遍及该装置的多个微孔和微通道，其形成了单个大腔体、贮存器馈送孔、流体通道、以及用于将少量流体配给到基板上的微点样喷嘴，该基板优选地为用于诊断和/或实验用途的玻璃测试载玻片。应该认识和理解，通过采用遍及该装置的微孔和通道的不同矩阵来制作，可以根据期望的规格特别制作本发明的微点样装置。

微点样装置100优选地由多个未烧片制成。例如，图2示出了未烧片1至9，其中每个未烧片定制以满足所期望得到的烧结的微装置结构的规格。该未烧片优选地由亲水陶瓷材料组成，该亲水陶瓷材料包括但不限于铝镁硅酸盐玻璃等。各个未烧片的厚度可根据微装置的期望规格而改变，但是优选范围为约3mil至约30mil。微装置结构的总厚度可以是任何期望的量，但是优选地在1mm以下，从而集成到当前的宏观现场实验室(field laboratory)仪器。

在各个未烧片内形成大量垂直和水平的开口，以形成该微点样装置的微孔和通道。这些垂直和水平的开口优选地通过材料去除技术而形成于未烧片内，该材料去除技术为例如通过交叠冲孔(即，步冲(nibbling))、激光钻孔、电子束钻孔、喷砂和高压液体喷射而将材料冲出未烧片。可选地，当对未烧片冲孔时，可以在该未烧片下侧提供刚性支撑膜以防止未烧片以及冲孔形成的孔的任何变形(例如压纹、通路破裂等)。该刚性支撑膜可由具有足够刚性的任何材料(例如金属膜)组成，当在未烧片下侧提供该刚性支撑膜时，该刚性支撑膜为这些未烧片在冲孔工艺中提供了增强的强度，从而保护未烧片和所得的冲孔形成的开口免受有害的损伤。

参考图7，其中冲孔穿过未烧片形成该垂直和水平开口，冲孔工具200在模具组内集成了至少两种不同的冲孔尺寸，以形成本微点样装置，例如具有大于第二冲孔202的直径的第一冲孔201，由此每个冲孔的尺寸都与相邻的冲孔互不相同。这有利地提高了制作本发明的微点样装置的处理量。

不同的冲孔尺寸用于在各个未烧片内形成垂直和水平开口，由此可以使用这种冲孔工具200以有效且省时的方式为单个未烧片提供不同尺寸的开口。例如，图2示出了具有第一冲孔尺寸开口12与较小的第二冲孔尺寸开口14的组合的未烧片层2。可以使用配备了至少两种不同冲孔尺寸的单个冲孔工具以及交叠冲孔工艺，形成这些冲孔开口12、14。在这种情况下，优选地使用不同的交替尺寸的冲孔采用期望的冲孔阵列图案和顺序编程该具有不同冲孔尺寸的冲孔工具，以用于在各个未烧片内冲孔形成不同尺寸的开口。在形成水平开口时，该程序可进一步包括交叠冲孔该不同的冲孔尺寸，从而在各个未烧片内形成不同宽度(和长度)的水平通道开口。备选地，可以使用交叠冲孔技术利用单个冲孔尺寸在未烧片内提供不同尺寸的开口。

根据本发明，无论使用单个冲孔还是使用不同尺寸的多个冲孔，水平开口在为平滑或粗糙的未烧片内通常为矩形开口，而未烧片内的垂直开口可以是圆形、矩形、平滑、粗糙、或者甚至其组合。各个垂直开口的直径可以为约20微米或更大，而水平开口宽度可以为约20微米或更大，长度大于约20微米。然而，应该理解，制造中使用的直径最终取决于具体应用和技术变量，例如将被提供于微点样装置内的流体的粘度、这些流体的表面张力和/或活性、流体的期望量、以及流体的期望流速、毛细作用和/或强制流动等。

再次参考图1和2的装置，通过为多个未烧片，即未烧片1至9提供不同形状和尺寸的许多垂直和水平开口，由此制作微点样装置100。例如，这些开口包括具有基本上处于中心的开口10的未烧片，以及具有多个馈送孔的其他或相同的未烧片，馈送孔可包括位于该中心开口10的周围或者相邻侧的大馈送孔12和小馈送孔16。其他未烧片提供有在位置上对应于该中心开口下方的多个点样孔开口，其可包括大点样孔14和小点样孔19，且其他未烧片提供有用于形成通道20、22、24以及其连接18的水平和/或垂直开口。

一旦为未烧片提供尺寸和形状变化的多个期望的垂直和水平开口，则将这些未烧片堆叠、层压并烧结在一起以形成所得的烧结的微点样装置100。可以以涉及热、压力和时间的传统工艺层压该多个未烧片以形成该陶瓷微装置结构100。优选的层压压力在800psi以下，温度在90℃以下，层压时间小于约5分钟。更优选地，层压压力范围为约300psi至约2,000psi，温度范围为约60℃至约90℃，层压时间范围为约1分钟至约5分钟。一旦完成未烧片叠层的层压，随后以传统工艺烧结该层压的未烧片以形成本发明的微点样装置。应该认识和理解，该烧结工艺和条件取决于材料的选择以及用于形成未烧片的粘结剂系统。

参考图1和2，未烧片堆叠并相互对准，使得在相应未烧片内的中心开口10、大馈送孔12、小馈送孔16、大点样孔14、小点样孔19、以及具有其连接18的通道20、22、24堆叠对准，且随后该叠层被层压并烧结以形成微点样装置100。在该情形，对准的中心开口10形成单个大的腔体110，优选地基本上位于该装置的中心。大馈送孔12与小馈送孔16组合形成了贮存器馈送孔，其具有大的部分120和小的部分160以用于容纳和保持流体。大点样孔14和小点样孔19形成微点样装置100的微点样喷嘴140、190，而具有连接18的通道20、22、24形成了具有连接180的流体通道120、122、124，以用于将来自贮存器馈送孔120、160的流体传送到装置100的微点样喷嘴140、190。

在本发明的微点样装置100中，微点样喷嘴140、190同时与单个大腔体110和流体通道120、122、124连通。一种流体或者多种不同流体被引入到贮存器馈送孔的大的部分120内并被保留在贮存器馈送孔120、160的这两个部分内。贮存器馈送孔的较小的或较低的部分160与流体通道的连接部分180连通，该连接部分180又连接到装置100的流体通道120、122、124以接收来自至少一个贮存器馈送孔的流体。

如图3中的微点样喷嘴阵列所示，各个微点样喷嘴140、190连接到单个通道。该单个通道又连接到至少一个贮存器馈送孔(如通道120、122所示)，或者备选地连接到两个或更多个贮存器馈送孔(如连接通道155所示)。这些通道可以水平地布置于x-y平面内，如图3的实线所指代，或者这些通道可以全部或者部分垂直地处于z方向，如图3的虚线所指代。即，微点样装置的通道可以在该装置内位于同一水平，或者在该微装置内可以位于不同水平。在这种情况，可以在同一未烧片内冲孔形成该通道，例如通道120和122，由此这些通道可以交错和彼此分离。在这方面，该装置将具有连接到单个通道的单个馈送孔。备选地，通道120和122可以在同一水平内彼此连接，从而实现在配给之前，在通道内混合来自两个或更多个馈送孔的两种或更多种流体。

例如，如果第一和第二馈送孔通过第一和第二通道彼此连接，则这些通道的连接点为配给流体开始混合的位置。这些流体随后可继续混合，直到该混合物到达相应的小出口微点样喷嘴190，这些通道连接到该喷嘴以将混合物配给到基板上。无论通道连接到多个贮存器馈送孔或者单个馈送孔，这些通道优选地在各个未烧片内交叠冲孔，使得这些通道形成为完全水平、部分水平和部分垂直(即，连接180)，或者它们甚至可以在微点样装置内形成具有与水平部分连接的垂直有角度的部分。

装置100的单个大腔体110适于容纳驱动装置，以向下将压力优选为气压施加到微点样喷嘴140、190内，使得当贮存器馈送孔120、160提供有流体时，该空气压力驱动处于各个微点样喷嘴内的流体表面，这又启动该装置的毛细作用，从贮存器吸引流体到通道中并通过通道，进入微点样喷嘴，从而同时在基板表面(例如测试载玻片表面)的整个表面配给流体液滴微阵列。借助来自大腔体110的压缩空气的各个力，流体液滴从微点样装置100配给到基板上。配给微点样喷嘴出口190的直径优选小于约50微米，更优选地从约20微米(或甚至更小)至约50微米，由此实现单位基板表面积上配给流体或者流体混合物的许多液滴。

参考图4至6，微点样装置可提供有允许容易集成到宏观测试仪器中的任何期望的形状，例如圆形、方形、矩形等。例如，图4示出了具有矩形形状的微点样装置100A的俯视平面图。该微点样装置100A具有基本上位于其中心的单个大腔体110，该腔体具有微点样喷嘴140、190。该单个大腔体示为基本上矩形的图案；然而，应该理解，该腔体可具有任何期望的形状以满足定制的规格。在腔体110的相对侧上设置第一馈送孔阵列和第二馈送孔阵列，用于接收和保持一种或多种流体。包括垂直和水平冲孔形成的开口的各个开口也可以具有各种形状，包括但不限于圆形、方形、矩形等。

图5和6示出了备选实施方式，由此制作圆形微点样装置100B，其中图5示出了在图2的层3上的该圆形装置的俯视平面图，而图6示出了在图2的层5上的俯视平面图。如本发明该实施方式所示，微点样喷嘴140、190(仅示出大的部分140)在该装置内以圆形图案设置。贮存器馈送孔120、160(仅示出小的部分160)也设置于围绕圆形微点样喷嘴的圆形图案内。图6示出了以圆形方式形成同一x-y平面内的多个通道120、121、122、123等。这些通道的最内端对应于用于形成微点样喷嘴的开口14。即，该层内最靠近该装置中心的各个通道的端部被用作形成微点样喷嘴的开口。图6还示出了，通道设置于装置100B内的不同水平，连接180由此将贮存器连接到底下的通道(未示出)。

因此，本发明有利地提供了微点样装置，其可以特别制作以满足期望的规格用于将少量的流体或者流体混合物配给到基板上，该基板优选为测试载玻片，其可以被干燥供稍后诊断和/或实验用途。另一个优点为，该微点样装置还能够以受控的、一致的且可重复的方式，将每个单位面积的许多流体液滴配给到基板上。本发明的微点样装置基本上避免了任何串扰，因为通道的互连被掩埋在微点样装置的主体内。本发明的微点样装置降低了成本，使所配给的试剂的量最小化，提高了可以在单次处理过程中可测试的样品/试剂的数目，而且在微点样玻璃载玻片时可以容易且有效地使用，由此实现了在单个玻璃载玻片上的快速、多样品点测试。

尽管已经结合具体优选实施方式具体地描述了本发明，但是可见，就前面的描述而言，许多变换、调整和变化对于本领域技术人员是明显的。因此设想权利要求将包括落在本发明的真实范围和精神内的任何这样的变换、调整和变化。

Claims (20)

1.一种用于配给流体的陶瓷板，包括：

陶瓷主体；

多个贮存器馈送孔，处于所述陶瓷主体内用于保持流体；

多个配给喷嘴，处于所述陶瓷主体内；

与所述多个配给喷嘴直接连通的开放腔体；以及

多个通道，处于所述陶瓷主体内，当从所述开放腔体向所述多个配给喷嘴内提供压力时，在力作用下从所述多个贮存器馈送孔传送所述流体到所述多个配给喷嘴，以从该陶瓷主体配给所述流体。

2.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个贮存器馈送孔、所述多个配给喷嘴和所述多个通道均具有亲水表面。

3.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个通道包括在所述陶瓷主体内处于不同高度的通道的矩阵。

4.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个配给喷嘴的单个配给喷嘴连接到所述多个通道的单个通道。

5.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个配给喷嘴的单个配给喷嘴连接到所述多个通道的两个或更多个通道。

6.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个配给喷嘴的单个通道连接到所述多个贮存器馈送孔的单个贮存器馈送孔。

7.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个通道的单个通道连接到两个或更多个贮存器馈送孔，从而在配给之前在所述单个通道内混合来自两个或更多个贮存器馈送孔的所述流体。

8.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述陶瓷主体具有选自由圆形、方形和矩形组成的组的形状。

9.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述开放腔体适用于容纳驱动装置以将所述压力提供到所述多个配给喷嘴内。

10.根据权利要求1所述的陶瓷板，其中所述多个通道的选择的那些具有处于所述陶瓷主体内的与垂直有角度部分组合的水平部分。

11.一种从陶瓷板配给流体的方法，其包括：

提供具有多个开口的陶瓷主体，所述开口包括多个贮存器馈送孔、与多个配给喷嘴直接连通的开放腔体、以及将所述多个贮存器馈送孔连接到所述多个配给喷嘴的多个通道；

在所述多个贮存器馈送孔内提供至少一种流体；

从所述开放腔体向所述多个配给喷嘴内加压，以在所述开口内产生力；

通过所述力将来自所述多个贮存器馈送孔的所述至少一种流体通过所述多个通道传送到所述多个配给喷嘴；以及

将来自所述多个配给喷嘴的所述流体的液滴配给到基板上。

12.根据权利要求11所述的方法，其中选择的开口具有亲水表面。

13.根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述开放腔体内提供驱动装置以产生所述压力。

14.根据权利要求11所述的方法，其中所述多个通道的一个通道连接到所述多个贮存器馈送孔的单个馈送孔，以从所述陶瓷主体配给所述流体。

15.根据权利要求11所述的方法，其中所述多个通道的一个通道连接到所述多个贮存器馈送孔的至少两个馈送孔，由此来自所述至少两个馈送孔的所述流体由此被引入到所述通道，在输运过程中在所述通道内均匀混合以形成混合物，且所述混合物的液滴从所述多个配给喷嘴配给到所述基板上。

16.一种形成用于配给流体的陶瓷板的方法，其包括：

提供多个未烧片；

在第一组所述多个未烧片内形成第一组开口；

在第二组所述多个未烧片内形成第二组开口；

在第三组所述多个未烧片内形成第三组开口；

在第四组所述多个未烧片内形成第四组开口；

将所述多个未烧片相互对准堆叠，使得所述第一组开口形成多个贮存器馈送孔，所述第二组开口形成多个配给喷嘴，所述第三组开口形成与所述多个配给喷嘴直接连通的开放腔体，且所述第四组开口形成将所述贮存器馈送孔连接到所述多个配给喷嘴的多个通道；

层压所述多个未烧片；以及

烧结所述层压的多个未烧片，以形成用于配给流体的所述陶瓷板。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述第一、第二、第三、和第四组开口通过材料去除技术形成于各个所述多个未烧片内。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述材料去除技术包括使用具有冲孔头的冲孔工具在各个所述多个未烧片内冲孔形成所述第一、第二、第三、和第四组开口，所述冲孔头具有至少两种不同尺寸直径的交替打孔器。

19.根据权利要求16所述的方法，其中所述第一、第二、第三、和第四组开口的选择的组合垂直地或者水平地处于所述多个未烧片的单个未烧片内，以形成所述陶瓷板。

20.根据权利要求16所述的方法，其中所述第一、第二、第三、和第四组开口的选择的组合垂直地、水平地或者其组合地处于所述多个未烧片的不同未烧片内，以形成所述陶瓷板。

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