CN100460923C - 可变反射镜 - Google Patents

Abstract

一种可变反射镜(100；200；300；400；500；600；740；922)，包括流体腔室(130；230)、延伸穿过流体腔室至少一部分的光轴(90)和在横断光轴延伸的界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′；540，540′)上接触的第一极性和/或导电流体(110；210)及第二流体(120；220)。这些流体基本上是不互混溶的。所述界面包括反射材料。界面调节器(250；250′；250″)设置为用于借助电润湿(electrowetting)效应来改变界面的构形。

Description

可变反射镜

技术领域

本发明涉及一种可变反射镜和装有这种反射镜的设备，并且涉及制造这种反射镜的方法。

背景技术

反射镜是用于反射光的装置。术语“光”要理解为既包括可见的电磁辐射，又包括其它波长的电磁辐射。

可变反射镜是一种反射镜的反射部分的构形可以改变的反射镜，即反射镜的反射部分的位置、取向和形状中的至少一个可以改变。

可变反射镜能够应用于各种各样的应用之中，包括用在光学扫描装置中。光学扫描装置是对光学记录载体进行扫描的装置，用来从载体读取和/或向载体写入信息。光学记录载体的例子包括CD(光盘)和DVD(数字通用盘)。

US 6002661介绍了可变形反射镜(能够可控地使反射面发生变形的反射镜)在用于DVD和CD的数据再现设备中的应用。由于CD和DVD之间存在覆层厚度的差异，对于数据再现设备来说，获得高质量的数据再现信号可能是比较困难的。要利用电子可控的可变形反射镜来修正光学扫描系统中的散焦操作。

US 6002661通过运用压电致动器向反射表面施压并使之变形介绍了如何使反射镜产生变形。US 6002661还介绍了一种可变形反射镜，该可变形反射镜利用了柔性反射面，该柔性反射面可装配在第一基准面或第二不同形状的基准面上。US5880896介绍了一种用在光盘记录/再现设备中的可变形反射镜。该反射镜的反射面是通过使具有反射面的柔性部件可控地变形来进行调整的，该部件借助静电应力来进行变形。

这样的可变形反射镜很容易耗损，因为要得到所需的形状就要持续对反射镜进行施应力和去应力。此外，很难控制以所需的方式使反射面发生变形，因此提供良好光学性能的可变形光学反射镜要相对地昂贵。

发明内容

本发明实施方式的一个目标是提供一种可变反射镜，这种反射镜解决在此提及或未提及的现有技术中的一个或多个问题。本发明实施方式的还有一个目标是提供装有这种经过改进的可变反射镜的光学装置，及制造这种经过改进的可变反射镜和这种光学装置的方法。

本发明特定实施方式的一个目标是提供一种可变反射镜，在这种可变反射镜中，光路在操作过程中相对不易受到机械耗损和破损的影响。

按照本发明的第一方面，提供一种可变反射镜，包括：流体腔室；延伸穿过流体腔室至少一部分的光轴；在横断光轴延伸的界面上接触的第一极性和/或导电流体及第二流体，这些流体基本上是不互混溶的；界面调节器，设置为用于借助电润湿效应来改变界面的构形；并且其中所述界面包括反射材料。

通过提供这样的可变反射镜，可以通过调整界面的构形而很容易地改变反射镜的构形。该装置能够相对便宜地制造出来。取决于施加于反射镜的控制信号，可以将该界面安排成具有多种构形。此外，由于反射镜的反射部分不由固体层提供的，因此反射镜相对不易受疲劳的影响。

反射材料可以包括金属。

反射材料可以包括金属-液体状的膜(Metal Liquid-LikeFilm)。

反射材料可以包括有机高分子膜上的薄金属层。

界面调节器可以包括：与第一流体电接触的第一电润湿电极；处于紧邻界面的位置上的至少一个第二电润湿电极；及电压源，用于在上述第一与第二电极之间施加电压，来改变所述界面的构形。

上述界面的边缘可以受流体腔室的约束，并且可以将第二电润湿电极设置成对界面边缘的至少一部分起作用。可以由所述第二流体的至少一部分把第二电极与界面隔开。

按照本发明的第二方面，提供了一种包括如前所述的可变反光镜的光学装置。

该光学装置可以包括含有上述可变反射镜的激光腔，该激光腔此外还包括第二反射镜。

该光学装置可以包括马克苏托夫-卡塞格伦折反射式系统，该系统包括主反射镜和辅反射镜，所述主反射镜由上述可变反射镜构成。

该光学装置可以包括用于扫描光学记录载体的光学扫描器件。

根据本发明的第三方面，提供了一种制造可变反射镜的方法，该方法包括以下步骤：提供流体腔室，使光轴延伸穿过流体腔室的至少一部分；提供在横断光轴延伸的界面上接触的第一极性和/或导电流体及第二流体，这些流体基本上是不互混溶的，并且所述界面包括反射材料；同时提供界面调节器，该界面调节器设置为用于借助电润湿效应来改变界面的构形。

根据本发明的第四方面，提供了一种操作光学装置的方法，该光学装置包括如上所述的可变反射镜，该方法包括可控地改变界面的构形，从而使得反射镜提供期望的反射特性。

附图说明

现在将仅以举例的方式并且参照附图介绍本发明的实施方式，其中：

图1是依照本发明实施方式的可变反射镜的一般性的横截面图；

图2是通过电润湿法控制可变反射镜的实施方式的横截面图；

图3A和3B是通过电润湿法控制可变反射镜的另一实施方式的横截面图；

图4A和4B是两种不同构形的可变反射镜的另一种实施方式的各自的横截面图；

图5是适于产生慧形波前像差的可变反射镜的电极布局的俯视图；

图6是可变反射镜用作马克苏托夫-卡塞格伦折反射式系统中可切换的主反射镜的实施方式；

图7是装有本发明的至少一种实施方式的激光腔的示意图；和

图8装有依照本发明实施方式的可变反射镜的光学扫描装置的示意图。

具体实施方式

图1示出了依照本发明的第一个概括性实施方式的可变反射镜100。反射镜100由容纳于流体腔室130内的两种流体110、120构成的。流体是响应任何压力而改变其形状的物质，其易于流动或易于与其腔室的外形相一致，流体包括气体、蒸汽、液体和能够流动的固体和液体的混合物。

两种流体110、120基本上是不互混溶的，即两种流体不会混合。

界面140是由沿两流体110、120之间的接触区域延伸的弯月面构成的。界面140包括反射材料，从而界面提供了反射镜的反射部分。

界面140横断反射镜100的光轴延伸。术语“横断”是指界面与光轴相交(即界面穿过光轴延伸)，且界面不与光轴平行；界面可以以任意角度与光轴90相交。

可以将反射部分设置为仅部分地反射(例如，具有10％或50％的反射率)，或设置为高度反射(例如，具有高于90％的反射率，或者甚至高于98％的反射率)。

界面上的反射材料可以采取多种形式。例如，由HélèneYockell-Lelièvre等人撰写的论文《Optical Tests ofNanoengineered Liquid Mirrors》(Applied Optics，2003年，卷42，第1882页)介绍了如何通过以化学方法生产大量的包覆有机配体的金属纳米颗粒来制作高质量的反射镜。之后将这些颗粒散布在液体基质上，在这种情况下它们进行自我聚集，以给出光学性能的反射面。

同样地，由P.Laird等人撰写的论文《Ferrofluid BasedDeformable Mirrors-A New Approach to Adaptive Optics usingLiquid Mirrors》(Proceedings SPIE，2003年，卷4839，第733页)介绍了如何通过应用由银纳米颗粒构成的薄膜来获得高度反射的液面。在该文献中认识到了稳定的银颗粒分界悬浮液，并且将其通称为金属液体状膜(MELLF)。这样的系统将金属的光学性能与液态悬浮液的流动性结合了起来.MELLF形成了紧密跟随基质的极薄层，使得反射面的精确控制能够得以实现。MELLF的制作包括产生银纳米颗粒(银纳米颗粒通常是借助化学还原axious溶液中的银盐产生的)，随后用有机配体包覆颗粒。包覆时，颗粒在水相中不再稳定，而自发地聚集在水—有机物的界面上。表面活性剂的推进对颗粒的表面聚集和它们在群聚期间的稳定都是充足的。此外，类似的使用金的界面膜已经得到论证，并且确信也可以使用其它的金属来针对期望的应用调整结果得到的反射面的反射率和频谱响应。

此外，由E.F.Bona、A.M.Ritcey和E.Artigau撰写的论文《Floating mirrors》(Astrophys.J.Letters，1999年，第516页，第115-118行)介绍了两种不同的用于在液体上沉积高反射率层的技术。第一种技术涉及在散布于液体界面处的有机高分子膜上有选择地沉积较薄的金属层。该工艺依赖于由仅位于表面的有机分子来还原溶液中的金属离子。第二种技术涉及产生MELLF的不同的方法。

流体110、120封闭在由壁132、134限定的腔室130内。沿光轴90摆放的壁132、134之一的至少一部分是透明的。在本特定实施方式中，沿光轴90摆放的两个壁132、134的一部分都是透明的，因此入射到界面140的光92将会象从凸面镜反射地那样从界面140反射回去，而入射到界面140的光94将会像从凹面镜反射地那样从界面140反射回去。

典型地，为了将流体定位在腔室130的期望部分内，该腔室的不同区域对各个流体具有不同的可润湿性，从而将会使得各个流体得以吸引到各自的区域。可润湿性就是侧壁被流体浸湿(覆盖)的程度。例如，如果流体110为极性流体而流体120为非极性流体，那么腔室内表面与壁132重叠的区域的一部分可以是亲水性的，以致吸引极性流体110，而不吸引非极性流体120.

通过调节界面140的构形，于是就能够改变由可变反射镜100提供的反射镜功能。例如，如果使界面140更加弯曲(即，它采取由虚线140′所示的形状)，那么所得到的反射镜功能将是具有较小曲率半径的反射镜的反射镜功能。

使用界面调节器，通过利用电润湿效应来改变界面140的构形。典型地，流体必须是导电流体，以便经历电润湿效应。在电润湿过程中，流体润湿(即覆盖)表面的程度是随着所施加的电压而改变的。例如，WO 03/069380介绍了运用电润湿效应来改变两种非易混溶流体之间弯月面的形状。

图2示出了可变反射镜200，其中三相接触角随着所施加的电压而改变。三相等同于两种流体和一固体。典型地，至少第一种流体是液体。装置200包括第一流体210和第二流体220，这两种流体是不互混溶的。第二流体220是非导电非极性液体，例如硅油或烷烃。第一流体210是导电和/或极性流体，例如含有盐溶液的水(或水和乙二醇的混合物)。

最好将这两种流体210、220安排成具有相等的密度，以便使两种液体之间的重力效应最小化，从而使反射镜功能与取向无关。两种流体210、220之间的界面240包括反射材料。

改变界面240的形状会改变反射镜的有效形状。界面240的形状是通过使用界面调节器250，借助电润湿现象来调节的。界面调节器包括与极性流体210作电接触的电极252和在腔室230的内表面之下延伸的第二环形电极，第二环形电极所处位置对应于界面240与腔室230的表面相接触的点。电极254不与极性流体210作导电接触。环形电极254接近于三相线围绕着反射镜200延伸。

经由电极252、254将来自可变电压源256的电压施加于极性流体210两端。这样使用电润湿效应来增强极性或导电流体在表面上的可润湿性，这会导致两流体210、220的三相接触角的改变，并因此导致界面240的形状的改变(例如，导致由虚线240′所示的形状)。

如果表面的可润湿性最初较小(对于极性流体，通常将此称为憎水性表面，如特氟纶类的表面)，则能够使用电压来使其变得更大。如果可润湿性最初较大(对于极性流体，通常将此称为亲水性表面，如二氧化硅)，则施加电压将会具有相对较小的效果。因此最好，在这样的电润湿装置中，三相线最初与憎水性层相接触.

按照本特定实施方式，设想将该装置总体上形成为圆筒形，光轴90纵向穿过该圆筒。不过，将会意识到，该装置实际上能够采用多种其它构形。

图3A示出了依照本发明另一实施方式的可变反射镜300。图3A中示出的实施方式总地来说与图2中所示的实施方式相类似，同样的附图标记用来表示类似的特征。按照本特定实施方式，界面调整器250′此外还包括第三电极258和相应的电压源256′，该电压源256′用于在第三电极258和与极性流体接触的电极252之间施加电压。电极258延伸穿过两流体210、230之间的界面340。电极258不与极性流体210作电接触；而是具有绝缘涂层.通过对电极258施加电压，能够调整该电极的绝缘涂层的可润湿性，因此改变电极258所延伸穿过的界面340的形状(例如，变成340′)。

按照本特定实施方式，电极258是透明的，并且最好还要相对较薄，从而使得它不会干扰指向界面340、340′来进行发射的光。

按照本特定实施方式，第三电极258沿着光轴延伸穿过界面340，并且该电极是圆形对称的(例如，圆筒形)。可以使用这样的电极为反射界面340、340′带来数种新颖的形状，这些形状是圆形对称的。这些形状是通过由电压源256、256′提供的控制的适当调节来实现的。

在上述实施方式中，将弯月面(两流体之间的界面)表示为是弯曲的，并且总体上关于光轴对称。不过，将会意识到，取决于要由反射界面实现的期望光学功能，任何或全部这些条件都能够加以改变。

例如，该界面可以基本上是平坦的(即，平面的)。弯月面的形状可以是关于光轴不对称的，并且可以以一个角度倾斜于光轴。例如，这些效果能够通过使用在围绕着界面的外周的不同的点上提供不同的电润湿特性的表面和/或电极构形来实现。这些不同的电润湿特性会导致外周的不同部分经历与相关表面的不同接触角，因此改变界面的整体形状。同样地，将会意识到，通过应用电润湿和使得弯月面接触的表面其中之一或其中多个不平行于光轴，能够实现不同的弯月面构形。

图3B图解说明了依照本发明的另一种实施方式的可变反射镜400的简化横截面图。按照这种特定实施方式，在所示的横截面中，两侧壁相对于在接触点上的两流体具有不同的可润湿性。这种润湿性的差异可以是由于侧壁的固有性质(例如，具有由不同材料形成的表面)造成的，或者是通过应用电润湿效应从而使一个表面的可润湿性变化比另一个表面大的量来造成的。如果希望，可以将侧壁接触界面外周的各个部分安排成具有不同的可润湿性。

通过适当地调节相关表面区域的可润湿性，能够改变弯月面440接触表面处的接触角，因此改变界面的形状。例如，将弯月面440表示为实质上是平面(至少相对于所截取的特定横截面)，并且相对于光轴90成特定的角度。

弯月面接触的表面的各个部分具有各自的电极254a、254b和各自的可变电压源256a、256b。通过在电极254a、254b和与极性流体210相接触的电极252之间施加电压，界面调节器250″就能够调节截面界面440接触腔室230的内表面处的各个点上的可润湿性。

例如，如果希望，通过运用电润湿效应来适当改变这些表面的可润湿性，则能够将平面弯月面440的角度调节为相对于光轴成不同的角度，例如形成弯月面440′。另外，通过对接触角的适当选择，弯月面的形状能够得到调节，从而形成弯曲的弯月面。最终结果将会是弯月面的形状或位置得到改变，以致提供不同的光学功能，即不同形状的光学反射面。

在大多数电润湿装置中，流体之间界面的形状是通过影响弯月面与(多个)壁之间的(多个)接触角来确定的。一般来说，在壁之间，界面不受影响，并且采取属于表面自由能最小的状态的形状.不过，本发明已经认识到，可以将导电流体拉向位于绝缘流体层下方的电极。通过适当地控制电压，能够使用这种电润湿现象来确保导电流体不与电极接触，并且会产生弯曲的界面。

图4A和4B示出了依照本发明利用这种原理的实施方式的可变反射镜500。反射镜500包括装容有导电流体210和绝缘流体220的圆筒形腔室230。这两种流体210和220沿界面540相接触，该界面包括反射材料。电极252与导电流体210作电接触。

光轴90沿圆筒形腔室230的纵轴延伸。将憎水层232定位于腔室230一侧的内表面上，以定位绝缘流体。将电极(255a-255e)设置在绝缘憎水层表面的下面。电极255a、255b、255c、255d、255e之中的每一个都是环形的，并且环绕光轴90延伸。通过适当控制电极252与电极255a-255e中的任意一个或多个之间的电压，能够产生球形波前像差。这可以用于补偿在从双层光学读出系统中的一个读出层切换到另一个读出层时产生的球形波前像差。

最好，覆盖憎水表面的绝缘层要相对较薄，例如厚度为200μm或更小的薄油层，且更可能是具有接近100μm的厚度。

图4A图解说明了可变反射镜500，其中在电极252与电极255a-255e中任意一个之间未施加电压。按照本特定实施方式，将界面接触处的壁的可润湿性安排成使得界面会具有接近90°的接触角，从而使界面保持总体上为平面.例如，位于界面一侧的壁部分(例如，上部分)可以是亲水性，而壁的另一部分(例如，下部分)为的憎水性的。

图4B图解说明了在环形电极255d与电极252之间施加第一电压、在环形电极255a与电极252之间施加第二电压的情形。将会看出，施加这些电压的结果是朝向这些电极拉动导电流体与这些电极重叠的部分，因此导致界面构形540′发生变形。

将会意识到，在上述实施方式中，流体腔室可以是任何期望形状的，例如圆锥形、圆筒形等等。此外，电极可以是任何期望形状的，例如环形、分段的或具有任何任意形状，以便提供期望形状的电气表面。例如，图5表示可变反射镜600的平面图，该平面反射镜600总体上与可变反射镜500类似，只是将电极安排在了憎水层232下面。按照本特定实施方式，可变反射镜600具有一系列的相对于光轴90的非圆形对称的电极。而是，这些电极中的两个电极655b、655c形状上总体上是椭圆形的，并且这些电极布置在光轴90一侧的同一平面上。第三电极655a延伸遍布腔室底座区域未由电极655b、655c覆盖的剩余部分。通过在电极655a-c之中的每一个与电极252之间施加电压，会产生慧形像差，该慧形像差产生反射表面。这一产生表面的慧形波前可以在光学记录拾取器用来校正由于盘面倾斜而产生的慧形像差。得到期望表面的适当技术是在655a与电极252之间施加0伏电压、在655b与252之间施加+V₁伏电压、在655c与252之间施加-V₁伏电压。

在上述实施例中，将可变反射镜表示为包括由两流体之间的反射界面形成的单一的可变光学器件，该界面具有可变的构形。不过，将会意识到，另一可选实施方式可以包括多个可变光学器件或多个反射面。例如，透镜(例如，可变透镜)可以是与可变反射镜级联的。按照另一种可选方案，较大的可变反射镜可以由依照本发明实施方式中的一种或多种实施方式的单独的可变反射镜的阵列来形成。

此外，在双镜成像系统中，可变反射镜能够组合成一个或多个反射镜。双镜成像系统以多种形式存在，比如牛顿望远镜(Newtontelescope)、卡塞格伦望远镜(Cassegrain)、马克苏托夫-卡塞格伦(Maksutov Cassegrain)式和施瓦兹希尔(Schwarzschild)式。最后一种类型还能够在光学记录中用来实现小型高度物镜系统或应用在近场光学记录中。本发明的可变反射镜的实施方式尤其适于这些应用，因为它能够实现具有因可变反射镜的构形而引入的像差校正的小型物镜。

在图6中，示出了马克苏托夫-卡塞格伦折反射式系统700。按照这种特定实施方式，系统700利用含有反射材料的界面740作为可切换的主反射镜。第二固定反射镜701充当辅反射镜。通过在含有两流体210、220的腔室中形成突起，能够容易地获得主反射镜上的中央开孔702。入射光93首先被充当主反射镜的反射界面740反射到辅反射镜701上，然后穿过主反射镜上的开孔702形成图像。

还将意识到，本发明实施方式一般来说能够应用于光学扫描、显微术、望远镜、激光腔和用于照相机的光学系统中。

例如，在激光器中，通常使用双反射镜谐振器(亦称谐振腔)。这些反射镜可以是平面的、凹面的或凸面的。通过固定两反射镜的曲率和腔的长度，能够选择具有期望属性的轮廓清晰的高斯谐振器模式。借助在谐振器中设置无源元件能够影响激光器的模式，这在例如C.Pare等人的《IEEE J.Quantum Electron.》(1994年，卷28，第355页)、J Leger等人在《Opt.Lett.》(1994年，卷19，第108页)中做过介绍。本发明可以用于通过主动改变谐振器的模式增大这些谐振器的设计空间。为了改变谐振器的模式，要调节至少一个反射镜的曲率。这可以通过使用依照本发明实施方式的可变反射镜来实现。

图7图解说明了激光腔800，其包括第一和第二反射镜810、820。反射镜810、820中的至少一个是可调整的反射镜。为了使得激光能够输出830，反射镜820是部分可透射的。典型地，增益介质840位于两反射镜810、820之间。调整一个或多个反射镜的曲率来提供期望的光模式。曲率对模式的作用已在H.Kogelnik和T.Li撰写的《Laser Beams and Resonators》(Appl.Opt.，1966年，卷5，第1550-1567页)中进行了详尽介绍，并且也在A.E.Siegman撰写的书籍《Lasers》(University Science Books，Mill Valley，California，第19章)中进行过详尽介绍。在19.2章中，介绍了八种不同的谐振器类型：(1)对称谐振器、(2)半对称谐振器、(3)对称共焦谐振器、(4)长半径(近平面)谐振器、(5)近同心谐振器、(6)半球谐振器、(7)凹凸谐振器和(8)非稳定共焦谐振器。每一种类型都有其自身的特性。通过改变可变反射镜中两流体之间弯月面的曲率或位置，能够使腔800在所需的谐振模式之间进行切换。

图8示出了光学扫描装置900，其装有依照本发明实施方式的可变反射镜。该光学扫描装置900用于扫描光盘930。这种特定光学扫描装置与多种光学记录载体格式相兼容，例如CD格式、DVD格式和BD(蓝光盘格式)。

典型地，各种光学记录载体930将会包括透明层932，在该透明层932的一侧上配备有信息层931。信息层背离透明层的一侧由保护层933保护，以免受环境影响。透明层面对装置900的一侧称为进入面。信息可以以光学可检测标记的形式存储在记录载体的信息层931上，这些可检测标记安排在基本上平行、同心圆形或椭圆形的轨道上，这些在图中没有表明。这些标记可以具有任何光学可读取的形式。

按照本实施方式的扫描装置900包括针对各种类型光学记录载体的独立辐射源901a、901b和901c。各个辐射源适于提供用于扫描相关的光学记录载体的电磁辐射的正确的波长。不过，将会意识到，在其它实施方式中，单独一个可调谐光源可以取代三个图示的光源.

来自各个光源901a、901b和901c的光通过相应的前置准直器透镜902、并且穿过光栅903，再经由相应的分束器进入光束路径，该分束器把光向光学记录载体930反射。

然后光穿过准直器透镜920、反射离开折叠式反射镜922、穿过四分之一波长板924并且进入物镜926。入射到物镜926上的光应具有准直光束的形式，从而物镜926把准直辐射束变换成入射到光学记录载体信息层931上的会聚光束。来自光学记录载体信息层931的光然后向回穿过该系统，包括通过各个相关的分束器914、916和918(无反射)、通过伺服透镜912传输，以由检测器910检测。

典型地，为了校正用于扫描各个相应的记录载体的电磁辐射的不同波长，可以使准直器透镜920进行移动(如双箭头921所指示的)。

不过，按照这种特定的实施方式，准直器透镜920是固定的。从四分之一波长板924入射到物镜926上的辐射束的精确准直可以通过利用处于折叠式反射镜922的位置上的可变反射镜来代替实现。因此，用于改变准直器透镜920位置的装置(其易受机械疲劳的影响)，能够由固定的准直器透镜和可变构形的反射镜来代替。

将会意识到，通过提供包括两流体之间的界面的可变反射镜，该界面包括反射材料，本发明提供了光学路径不受机械疲劳影响的可变反射镜。此外，本装置能够以高效率成本来制造，并且能够较容易地对其加以控制。

用在权利要求中的任何附图标记仅仅是为了举例而提供的，且不要解释为以任何方式对权利要求进行限制。

Claims (13)

1.一种可变反射镜(100；200；300；400；500；600；740；922)，包括：

-流体腔室(130；230)；

-光轴(90)，其延伸穿过流体腔室的至少一部分；

-第一极性或导电流体(110；210)和第二流体(120；220)，这些流体在横断光轴延伸的界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′；540，540′)上接触，这些流体是不互混溶的；

-界面调节器(250；250′；250″)，将该界面调节器设置成用来借助电润湿效应来改变界面的构形；

其中界面包括反射材料。

2.如权利要求1所述的反射镜，其中反射材料包括金属.

3.如权利要求1所述的反射镜，其中反射材料包括金属-液体状的膜。

4.如上述权利要求2所述的反射镜，其中反射材料包括有机高分子膜上的薄金属层。

5.如上述权利要求中任一所述的反射镜，其中界面调节器(250；250′；250″)包括：

-第一电润湿电极(252)，该电极与所述第一极性或导电流体(110；210)电接触；

-至少一个第二电润湿电极(254，254a，254b；255a，255b，255c，255d，255e)，该电极位于紧邻界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′；540，540′)的位置上；和

-电压源(256；256′；256a；256b)，用于在上述第一电润湿电极与第二电润湿电极之间施加电压，来改变所述界面的构形。

6.如权利要求5所述的反射镜，其中所述界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′)的边缘受流体腔室(130；230)的约束，并且将第二电润湿电极(254，254a，254b)安排对界面边缘的至少一部分起作用。

7.如权利要求5所述的反射镜，其中由所述第二流体(220)的至少一部分把第二电极(255a，255b，255c，255d，255e)与界面(540，540′)隔开。

8.一种光学装置(700；800；900)，包括如权利要求1所述的可变反射镜。

9.如权利要求8所述的光学装置，其中该光学装置包括包含所述可变反射镜的激光腔(800)，该腔此外还包含第二反射镜。

10.如权利要求8所述的光学装置，其中所述光学装置包括马克苏托夫-卡塞格伦折反射式系统(700)，该系统(700)包括主反射镜(740)和辅反射镜(701)，所述主反射镜由上述可变反射镜构成.

11.如权利要求8所述的光学装置，其中该光学装置包括用于扫描光学记录载体的光学扫描装置(900)。

12.一种制造可变反射镜(100；200；300；400；500；600；740；922)的方法，该方法包括以下步骤：

-提供流体腔室(130；230)，使光轴(90)延伸穿过该流体腔室的至少一部分；

-提供第一极性或导电流体(110；210)和第二流体(120；220)，这些流体在横断光轴延伸的界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′；540，540′)上接触，这些流体是不互混溶的，且所述界面包括反射材料；和

-提供界面调节器(250；250′；250″)，该界面调节器设置成用于借助电润湿效应来改变界面的构形。

13.一种操作光学装置(700；800；900)的方法，该光学装置包括如权利要求1所述的可变反射镜，该方法包括可控地改变界面(140，140′；240，240′；340，340′；440，440′；540，540′)的构形，从而改变由反射镜提供的反射特性。

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