CN100395110C - 液状物的喷出方法 - Google Patents

Abstract

提供可在平面方向上得到均一的电光特性的液状物喷出方法。在液状物的喷出方法中，作成为使得边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边使多个液状物依次从与其对应的喷嘴列中喷出，同时使喷出开始部分和喷出结束部分，或任何一方的位置不同，归因于此，可以使得基板上的由多个液状物构成的涂敷区域的端部不重叠，或者减少这些涂敷区域的端部的重叠。因此，倘采用这样的液状物的喷出方法，就可以减小在平面方向上的液状物的涂敷量的偏差。

Description

液状物的喷出方法

技术领域

本发明涉及液状物的喷出方法、液状物的喷出装置、滤色片的制造方法和滤色片、液晶显示装置、电致发光装置的制造方法和电致发光装置、以及等离子体显示面板的制造方法和等离子体显示器。

说得更详细点，本发明涉及可以得到在平面方向上具有均一的电光特性的涂敷物的液状物的喷出方法、液状物的喷出装置、滤色片的制造方法和滤色片、液晶显示装置、电致发光装置的制造方法和电致发光装置、以及等离子体显示面板的制造方法和等离子体显示器。

背景技术

近些年来，在移动电话机或便携式个人计算机等的电子设备的显示部分中，电光装置，例如，液晶装置(以下，有时候叫做LCD)、电致发光装置(以下，有时候叫做EL装置)、等离子体显示面板(以下，有时候叫做PDP)等的显示装置，着眼于其薄膜性或轻重量性，正在被人们范围广泛地进行应用或进行研究。

此外，在这些显示装置中，分别希望进行彩色显示，例如，在LCD中，采用使借助于液晶层进行调制的光，通过配置在行进面上的滤色片的办法实现了全彩色显示。该滤色片可以采用把与R(红)、G(绿)、B(蓝)对应的点状的滤色片元素以规定排列规则地排列在例如玻璃基板或塑料基板的表面上的办法构成。

因此，在制造这样的滤色片时，一般地说，虽然使用的是光刻法，但是，从制造工序复杂或要大量消耗与各色对应的滤色片材料或光刻胶等方面，就会发现制造成本高对环境条件的负荷大等的问题。

于是，为了解决这样的制造方面的问题或环境方面的问题，人们提出了用所谓的喷墨法制造滤色片的滤色片元素的方法。例如，设想在图30(a)中，在设定在母板301的表面上的多个面板区域302的内部区域上，如图30(b)所示，用喷墨法形成多个滤色片元素303的情况。即，如图30(c)所示，准备已排列上喷嘴列304的液滴喷出头306。接着，如图30(b)中的箭头A1和箭头A2所示，采用使该液滴喷出头306边对1个面板区域302进行多次(在图30的例子中为2次)主扫描，边在该期间内从多个喷嘴304选择性地喷出滤色片用材料的办法，就可以在规定位置上形成滤色片元素303。

但是，已经知道取决于液滴喷出头306中的多个喷嘴304的位置，在滤色片用材料的喷出量上存在着偏差。说得更具体点，如图31所示，已经知道具有在喷嘴列305中两个端部的喷嘴304的喷出量多，在中央部分处喷出量少这样的材料喷出特性(Q特性)。

因此，在纵向方向上使喷嘴列304进行了多次扫描的情况下，如图32(a)所示，就存在着在喷嘴列305中那些处于两个端部的喷嘴304的喷出量多，中间部分的喷嘴304的喷出量比较少的倾向，在已形成了滤色片的滤色片元素303的情况下，如图32(b)所示，有时候在端部(P1)处，就会发现可以看到彩色浓度浓的条纹。为此，就会发现这样的问题：所得到的滤色片，在平面方向上，光透过特性易于变得不均一。

于是，人们公开了一种特征如下的滤色片的制造方法(参看以下的专利文献1)：在边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边把滤色片用材料赋予透明基板上边的被着色部分时，在扫描区域的边界部分的被着色部分和该边界部分以外的被着色部分之间，使得所赋予的材料量不同地形成着色部分。

说得更具体点，如图33所示，人们提出了这样的方案：把基板352设定为使得在边使液滴喷出头351a到351c在用箭头354所示的纵向方向上扫描，边同时把材料赋予多个被着色部分的情况下，把着色区域分割成与头的扫描方向平行的多个扫描区域353a、353b、353c，同时，至少使相邻的扫描区域的边界部分处的被着色部分(用符号A表示的线)，和该边界部分以外的被着色部分(用353a、353b、353c表示的区域)处要赋予的材料量不同。

专利文献1

特开2000-89017号公报

但是，若用上述现有的滤色片的制造方法，则发现有这样的问题：尽管把头的动作微妙地设定为使得取决着色的场所赋予的材料量不同，但是在周围的环境条件或材料的种类、黏度等变化大的情况下，头的动作等的控制不合用。

因此，反之，则会发现这种情况：滤色片的扫描区域的边界部分的被着色部分，和边界部分以外的被着色部分之间，所赋予的材料量差别大，平面方向上的光透过性的不均一度反而变大。

于是，本发明的发明者，以这样的一些问题为鉴进行锐意研究的结果，发现即便是在边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边如现有技术那样实质上涂敷同量的液状物的情况下，也可以采用借助于对喷嘴列的端部的位置进行调节，使得液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置不同的办法，对着色部分处的材料量进行控制，因而完成了本发明。

发明内容

即，本发明的目的在于提供可以得到在平面方向上具有均一的光透过特性的涂敷物的液状物的喷出方法、液状物的喷出装置、滤色片的制造方法和滤色片、液晶显示装置、电致发光装置的制造方法和电致发光装置、以及等离子体显示面板的制造方法和等离子体显示器显示面板。

倘采用本发明，则可以提供一种使用液滴喷出头的液状物的喷出方法，其特征在于：边使该液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边使多个液状物对基板从分别与每一液状物对应的喷嘴列依次喷出，同时使得该液状物的喷出开始位置和喷出结束位置或不论哪一方的位置不同，该方法可以解决上述那些问题。

即，用液滴喷出头，即便是在象现有技术那样实质上涂敷同量的液状物的情况下，采用液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置错开那样地进行涂敷的办法，基板上的由多个液状物构成的涂敷区域的端部也不会重叠，或者也可以减少这些涂敷区域的端部的重叠。

因而，如采用这样的液状物喷出方法，在平面方向的液状物的涂敷量的偏差变小，可得到不改变液滴喷出头的涂敷性能，而在平面方向具有均一的透过特性的涂敷物。

另外，使液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置不同的手段，没有什么特别限制，代表性的手段是后边的表1所示的那样的8种方案。但是，也可以用具备图2所示的那样的喷嘴列的液滴喷出头，使相应的喷嘴列与液状物的个数相对应地，进行例如左方、中央、右方那样的3分割，同时，借助于液滴喷出头的动作控制，使3种液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置不同。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是采用使喷嘴列的两个端部的位置或任何一方的位置在1维或2维的方向上不同的办法，使液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

如果象这样地实施，则仅仅调整喷嘴列的两个端部的位置，就可以使基板上的多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置不同。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是使多个液状物的喷出宽度实质上相等。

如果象这样地实施，则例如仅仅使用喷出宽度实质上相等的简单的构成的液滴喷出头，就可以使基板上的液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置不同。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是准备多个液滴喷出头，同时，采用使与该液滴喷出头的扫描方向垂直的方向的喷嘴列的尺寸宽度实质上相等的办法，使液状物的喷出宽度实质上相等。

如果象这样地实施，则仅仅准备多个尺寸宽度实质上相等的简单的构成的液滴喷出头，就可以使基板上的多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置不同。此外，由于设置有多个液滴喷出头，由于可以与液状物的种类相对应地使之细致地动作，故可以更为容易地调整液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是使多个液状物的喷出宽度不同，同时，使液状物的喷出开始部分的位置或喷出结束部分的位置实质上一致。

如果象这样地实施，则可以减少基板上的由多个液状物构成的涂敷区域的端部的重叠，同时，还可以仅仅在基板的单侧上形成液状物的非涂敷部分。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是在准备多个液滴喷出头的同时，采用使在与该多个液滴喷出头的扫描方向垂直的方向上的喷嘴列的尺寸宽度不同的办法，使多个液状物的喷出宽度不同。

如果象这样地实施，则仅仅改变液滴喷出头的尺寸宽度，使液滴喷出头象现有技术那样地动作，就可以使基板上的多个液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置不同。

此外，在实施本发明的液状物的喷出方法时，理想的是在用喷嘴列涂敷基板的端部的情况下，在该基板的区域以外不使用该喷嘴列，在该基板的区域内使用该喷嘴列。

如果象这样地实施，则在基板的端部处，可以减少完全不涂敷多个液状物的非涂敷部分的形成。

此外，本发明的另一方案，是具有液滴喷出头的液状物喷出装置，其特征在于：在该液滴喷出头上设置与多个液状物对应的喷嘴列，同时，设置用来边使该液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边从喷嘴列分别依次喷出多个液状物，使该液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同的控制部分。

即，即便是在边用液滴喷出头在纵向方向上扫描，边象现有技术那样涂敷实质上同量的液状物的情况下，采用用控制部分进行调整使得液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置错开的办法，就可以不使与多个液状物对应的涂敷区域的端部位置分别重叠，或者减少这些位置的重叠。

因此，倘采用这样的液状物的喷出装置，由于平面方向上的液状物的涂敷量的偏差减小，故可以得到在平面方向上具有均一的光透过特性的涂敷物。

此外，在构成本发明的液状物的喷出装置时，理想的是把液滴喷出头排列在对该液滴喷出头进行移动的方向，斜向地交叉的方向上。

若象这样地构成，则可以把喷出液状物的间隔形成得比喷嘴列的实际的间隔还窄，可以得到更精细的涂敷物。此外，若象这样地构成，则在设置有多个液滴喷出头的情况下，就可以防止相邻的液滴喷出头之间的干扰，作为结果，可以实现小型化。再有，若象这样地构成，则即便是在基板的大小多少有些变化的情况下，也可以采用适宜改变液滴喷出头进行交叉的角度的办法，涂敷整个基板。

此外，在构成本发明的液状物的喷出装置时，理想的是与多个液状物对应的喷嘴列配置在一个液滴喷出头上。

若象这样地构成，则可以提供在保持液滴喷出头的动作本身简化的状态不变地，得到与多个液状物对应的喷出开始部分或喷出结束部分的位置分别不重叠的涂敷物的简单的结构的喷出装置。

此外，在构成本发明的液状物的喷出装置时，理想的是与多个液状物对应的喷嘴列分别与多个液滴喷出头对应地设置。

若象这样地构成，则仅仅准备多个尺寸宽度实质上相等的简单的构成的液滴喷出头，就可以提供可以得到使基板上的多个液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置分别不重叠的涂敷物的喷出装置。此外，由于有多个液滴喷出头，由于可以与液状物的种类对应地使之细致地动作，故可以更为容易地调整液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置。

此外，本发明的另一个方案，是滤色片的制造方法和由该方法得到的滤色片，其特征在于：边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边从使多个滤色片用材料从与每一者对应的喷嘴列依次喷出，同时，使该滤色片用材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

若象这样地实施，由于在平面方向上的滤色片用材料的涂敷量的偏差减小，故可以得到在平面方向上具有均一的光透过特性等的滤色片而无须改变液滴喷出头的涂敷性能。

此外，本发明的另一个方案，是其构成为设置上述的任何一种的滤色片的液晶显示装置。

由于象这样地用平面方向上具有均一的光透过特性的滤色片构成，故可以识别在平面方向上，辉度稳定的彩色图象。

此外，本发明的另一个方案，是电致发光装置的制造方法和可用该方法得到的电致发光装置，其特征在于：边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边从各个对应的喷嘴列中依次喷出多个电致发光材料，同时使该电致发光材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

若象这样地实施，由于在平面方向上的电致发光材料的涂敷量的偏差减小，故可以得到在平面方向上具有均一的EL发光特性等的电致发光装置而无须改变液滴喷出头的涂敷性能。

此外，本发明的另一个方案，是用液滴喷出头的等离子体显示面板的制造方法，和可用该方法得到的等离子体显示面板，其特征在于：边使液滴喷出头或基板在纵向方向上扫描，边从各个对应的喷嘴列中依次喷出多个等离子体发光材料，同时使该等离子体发光材料等的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

若象这样地实施，由于在平面方向上的等离子体发光材料的涂敷量的偏差减小，故可以得到在平面方向上具有均一的等离子体发光特性的等离子体面板而无须改变液滴喷出头的涂敷性能。

另外，至于与等离子体显示面板的制造方法和可用该方法得到的等离子体显示面板有关的构成，没有什么特别限制，作为一个例子，可以作成为图20所示的那样的等离子体显示面板170。

此外，本发明的液状物的喷出方法，具备：边在规定方向上扫描多个喷嘴列或基板，边从上述多个喷嘴列，对上述基板，依次喷出各个对应的彼此不同的液状物的扫描工序，其特征在于：在上述扫描工序中，各个上述喷嘴列中的通过上述基板的区域，重叠到该其它的上述喷嘴列通过上述基板的区域的一部分上，上述喷嘴列中的两端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，与其它的上述喷嘴列中的两端部的位置不同。

此外，本发明的液状物的喷出方法，具备：边在规定方向上扫描多个喷嘴列或基板，边从上述多个喷嘴列，对上述基板，依次喷出各个对应的彼此不同的液状物的扫描工序，其特征在于：在上述扫描工序中，各个上述喷嘴列的通过上述基板的区域，重叠到该其它的上述喷嘴列通过上述基板的区域的一部分上，各个上述喷嘴列中的第1端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，与其它的上述喷嘴列中的第1端部的位置实质上是相同的，各个上述喷嘴列中的第2端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，与其它的上述喷嘴列中的第2端部的位置不同。

此外，本发明的液状物的喷出方法，具备：边在规定方向上扫描第1、第2和第3喷嘴列或基板，边从上述第1、第2和第3喷嘴列，分别对上述基板，依次喷出第1液状物、第2液状物和第3液状物的扫描工序，其特征在于：在上述扫描工序中，上述第1、第2和第3喷嘴列通过上述基板的区域，彼此一部分重叠，上述第1、第2和第3喷嘴列中的两端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，彼此不同。

再有，本发明的液状物的喷出方法，具备：边在规定方向上扫描第1、第2和第3喷嘴列或基板，边从上述第1、第2和第3喷嘴列，分别对上述基板，依次喷出第1液状物、第2液状物和第3液状物的扫描工序，其特征在于：在上述扫描工序中，上述第1、第2和第3喷嘴列通过上述基板的区域，彼此一部分重叠，上述第1、第2和第3喷嘴列中的第1端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，实质上是相同的，上述第1、第2和第3喷嘴列中的第2端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，彼此不同。

上述的液状物的喷出方法，在液状物喷出装置、滤色片的制造方法和滤色片、液晶显示装置、电致发光装置的制造方法和电致发光装置以及等离子体显示面板的制造方法和等离子体显示面板中，理想的是把多个液滴喷出头以彼此排列固定为规定的排列方案的状态作成为单元一体地使用。

在该情况下，有时候在单元内要设置使得实质上构成一体的喷嘴列那样地排列起来的多个液滴喷出头。在该情况下，有在实质上一体的喷嘴列中喷嘴连续地(等间隔地)排列的构成。该构成可以采用使多个液滴喷出头在彼此不同的扫描方向上错开地排列的办法实现。此外，还可以举出在实质上一体的喷嘴列中挟持有规定的间隔s地排列多个喷出宽度t的构成。在使用该构成的情况下，理想的是使间隔s与喷出宽度t相同。在实施本发明时，理想的是设置多个上述那样的单元，在这些多个单元中的实质上一体的喷嘴列间，理想的是使喷出开始部分和喷出结束部分，或它们中的任何一者相互不同。

此外，在单元内设置多个液滴喷出头的情况下，在各个液滴喷出头上有时候设置多个喷嘴列。在该情况下，理想的是在多个喷嘴列间，使喷出开始部分和喷出结束部分，或它们中的任何一者相互不同。

再有，在单元内设置多个液滴喷出头的情况下，理想的是在各个液滴喷出头间，使喷出开始部分和喷出结束部分，或它们中的任何一者相互不同。

附图说明

图1是本发明的液滴喷出头的概略图，(a)是具有部分切掉部分的立体图，(b)是J-J剖面图。

图2是用来说明本发明的液滴喷出头的喷嘴列的说明图。

图3是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)和多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置的关系的说明图(其1)。

图4是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)和多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置的关系的说明图(其2)。

图5是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)和多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置的关系的说明图(其3)。

图6是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)和多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置的关系的说明图(其4)。

图7是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)和多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置的关系的说明图(其5)。

图8的液滴喷出单元的构成图示出了实施方案2的构成例1。

图9的说明图示出了构成例1的使用方案。

图10的液滴喷出单元的构成图示出了实施方案2的构成例2。

图11的说明图示出了构成例2的使用方案。

图12的说明图示出了构成例2的扫描方法。

图13的液滴喷出单元的构成图示出了实施方案2的构成例3。

图14的液滴喷出单元的构成图示出了实施方案2的构成例4。

图15的构成图示出了构成例4的另一个例子。

图16示出了液晶显示装置的一个例子。

图17是本发明的装置的概略图。

图18是用来说明本发明的液滴喷出头(喷嘴列)的变形例的概略图。

图19用来说明本发明的装置的动作。

图20用来说明滤色片的制造工序。

图21示出了滤色片中的滤色片元素的配置例。

图22示出了滤色片中的测定位置和光透过率的关系，(a)是本发明的滤色片的测定例，(b)是现有的滤色片的测定例。

图23示出了液晶显示装置的一个例子。

图24示出了有源矩阵型的电致发光显示装置中的驱动电路。

图25是用来说明电致发光装置的制造工序的说明图(其1)。

图26是用来说明电致发光装置的制造工序的说明图(其2)。

图27是用来说明电致发光装置的制造工序的说明图(其3)。

图28的分解立体图示出了实施方案6的等离子体显示面板的结构。

图29是实施方案6的纵剖面图。

图30是用来说明现有的滤色片的制造工序中的液滴喷出头(喷嘴列)的动作的说明图。

图31是用来说明现有的液滴喷出头(喷嘴列)的内部结构的说明图。

图32是用来说明现有的液滴喷出头(喷嘴列)的Q特性的说明图。

图33是用来说明现有的滤色片的制造工序中的液滴喷出头(喷嘴列)的动作和边界线之间的关系的说明图。

标号说明：

1滤色片，8液滴，12基板(母基板)，16喷出装置(液滴喷出装置)，17头位置控制装置，18基板位置控制装置，19主扫描装置，21副扫描装置，22液滴喷出头，23基板供给装置，27喷嘴列，41压电元件，101有源矩阵型驱动电路，170液晶显示装置，183驱动1C，186、187背光源

具体实施方式

边参看适当的附图边分别具体地说明本发明的液状物的喷出方法、液状物的喷出装置、滤色片的制造方法和滤色片、使用滤色片的液晶显示装置、电致发光装置的制造方法，和电致发光装置、等离子体显示面板及其制造方法的实施方案。

[实施方案1]

实施方案1，如图1所示，是使用液滴喷出头22的液状物的喷出方法，其特征在于：边使液滴喷出头22或基板2在纵向方向上扫描，边使多个液状物从与各个对应的喷嘴列27对基板2依次喷出，同时，使该液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

以下，分成构成实施方案1的喷出机构、多个液状物、基板和喷出方法，具体地进行说明。

1.喷出机构和喷出方法

(1)喷出机构

作为在实施方案1中使用的喷出机构，例如，在使用压电元件的方式中，理想的是使多个液状物，即，使同种或异种的至少2个以上的液状物，分别从与每一液状物对应的喷嘴列喷出。更为具体地说，如图1(a)和(b)所示，理想的是利用压电元件41的挠曲变形，借助于设置有图2所示的喷嘴列27的液滴喷出头22喷出多个液状物8，例如，与RGB象素，或YMC象素对应的3种滤色片用材料。另外，图1(a)是具备设置有喷嘴列27的液滴喷出头22的部分切除的立体图，图1(b)是在图1a所示的J-J线处切断的情况下的设置有喷嘴列27的液滴喷出头22的剖面图，此外，图2是图1(a)和(b)所示的液滴喷出头22的立体图及其喷嘴列的局部扩大图。

如果是使用这样的液滴喷出头22的方式，则可以借助于设置在液滴喷出头22的上方的压电元件41，从喷嘴列27，作为微小的液滴，稳定地喷出从图2的箭头28的方向向液滴喷出头22内流入的液状物，而与含于液状物内的溶剂等的种类无关。

此外，作为其它的方式，也可以尽可能地使用依次喷出多个微小的液状物的方式。例如，就利用借助于加热产生泡喷出材料的所谓的加热方式来说，在实施方案1中，也可以满意地使用。

(2)液滴喷出头和喷嘴列

□液滴喷出头

在实施方案1中，例如，如图3到图6所示，理想的是准备多个液滴喷出头22，在每一个液滴喷出头22上设置与多个液状物对应的喷嘴列27。例如，在准备分别与RGB象素或YMC象素的滤色片用材料对应的多个液滴喷出头的同时，在每一个液滴喷出头上，设置用来使之喷出与RGB象素或YMC象素对应的材料的喷嘴列。

得益于象这样地构成，就可以边借助于CPU等适宜地对多个与液状物对应的液滴喷出头进行控制，边借助于仅仅使之进行规定的动作的办法，使与多个液状物对应的喷嘴列极其细致地进行描画。因此，在与多个液状物的蒸发特性等对应地，例如，准备了3个液滴喷出头的情况下，使1个液滴喷出头进行一次动作涂敷一次液状物，使别的液滴喷出头也同样地进行一次动作2次重叠地涂敷液状物，然后，使再1个液滴喷出头也同样地进行一次动作3次重叠地涂敷液状物这样的动作就会变得容易起来。

此外，在准备了多个液滴喷出头的情况下，仅仅采用使多个液滴喷出头的与扫描方向垂直的方向的尺寸宽度相等的办法，就可以使多个液状物的喷出宽度实质上相等。因此，采用使多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同的办法，就可以减小在平面方向上的涂敷位置的不同的涂敷量的偏差，就可以在所得到的涂敷物中得到均一的电光特性而不会发现所谓的Q特性。

另一方面，在实施方案1中，如图7(a)到(d)所示，准备1个液滴喷出头22，在其上边设置与多个液状物对应的喷嘴列27，也是理想的。

得益于象这样地构成，作为涂敷装置全体，就可以小型化。例如，得益于准备1个液滴喷出头，在其上边设置3列与3个液状物对应的喷嘴列，与准备3个液滴喷出头的情况下比较，不仅可以减小液滴喷出头的占有面积，还可以减小与液滴喷出头对应的驱动装置的占有面积。

此外，在准备1个液滴喷出头，在其上边设置与多个液状物对应的喷嘴列的情况下，如后所述，就可以容易地使多个液状物的喷出宽度实质上相等。为此，采用仅仅使与多个液状物对应的喷出开始部分的位置分别不重叠那样地进行错开的办法，对于液状物的喷出结束部分的位置来说也可以容易地使之错开。在图7(a)到(d)中，之所以倾斜地示出L1、L2、L3、L4、L6和L7的直线，就意味着这种情况。

□喷出宽度

在实施方案1中，如图3或图7(a)所示，理想的是使与多个液状物对应的喷嘴列的喷出宽度实质上分别相等。

例如，如图3所示，在把第1液状物用的喷嘴列的喷出宽度作成为t1(mm)时，就要把第2液状物用的喷嘴列和第3液状物用喷嘴列的喷出宽度分别作成为t1(mm)。

得益于象这样地构成，仅仅采用使与多个液状物对应的喷出开始部分的位置(P1、P1、P3)分别不重叠那样地错开的办法，对于液状物的喷出结束部分的位置(P4、P5、P6)来说，也可以对应地错开。

因此，在喷出开始部分和喷出结束部分中，就不会反复地把液状物涂敷得多，因而将减小在平面方向上的多个液状物间的涂敷量的偏差。因此，在所得到的涂敷物中，就可以得到均一的电光特性。

另一方面，在实施方案1中，如图4至图6或图7(b)到(d)所示，使与多个液状物对应的喷嘴列的喷出宽度分别不同，也是理想的。

例如，如图5所示，在把第1液状物用的喷嘴列的喷出宽度作成为t(mm)时，把第2液状物用的喷嘴列的喷出宽度作成为1.2×t(mm)，把第3液状物用的喷嘴列的喷出宽度作成为1.4×t(mm)。

得益于象这样地构成，即便是作成为使与多个液状物对应的喷出开始部分的位置(P7)一致，也可以使液状物的喷出结束部分的位置(P8、P9、P10)与喷嘴列的喷出宽度对应地分别错开。因此，在喷出结束部分处，就不会把液状物反复涂敷得多，因而，减少在平面方向上的液状物的涂敷量的偏差。为此，可以防止在相邻的扫描区域的边界处看到颜色不均匀，作为结果，可以得到均一的电光特性。

□喷嘴列的端部位置

在实施方案1中，使与多个液状物对应的喷嘴列的两个端部或任何一方的位置不同这件事，虽然是使后述喷出开始部分和喷出结束部分的位置不同的一个手段，但是，例如如图3到图7所示，理想的是使之不同。

若象这样地构成，则可以利用喷嘴列的所有的喷嘴孔，使多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

另外，图3和图4，是在多个液滴喷出头中，使喷嘴列的两个端部的位置分别不同的例子，图5和图6，是在多个液滴喷出头中，使喷嘴列的单个端部的位置分别不同的例子，图7是在1个液滴喷出头中，使喷嘴列的两个端部分别不同的例子。

(4)喷出开始部分和喷出结束部分

在实施方案1中，如图3到图7所示，其特征在于：使多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。例如，在图3的情况下，在多个液滴喷出头之间，使作为喷出开始部分的P1、P2、P3的位置不同，同时使作为喷出开始部分的P4、P5、P6也不同。

象这样地构成的理由，是因为反过来说，在多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置相同的情况下，如上所述，起因于材料喷出特性(Q特性)，多个的液状物，例如，RGB的滤色片用材料，在喷出开始部分和喷出结束部分处，要反复多次进行涂敷的缘故。因此，在喷出开始部分和喷出结束部分的位置相同的情况下，平面方向上的位置的不同引起的涂敷量的偏差大，或者是在相邻的扫描区域的边界处可以看到颜色不均匀，或者是光透过特性等变得不均一。

此外，多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同的情况下，理想的是例如把其错开量的大小定为用要进行涂敷的液状物的个数除喷出宽度的值。

例如，在准备3种的液状物，例如，与RGB象素对应的滤色片用材料，并把其喷出宽度分别作成为3t(mm)的情况下，理想的是用要进行涂敷的液状物的个数(3个)除喷出宽度(3t)，把错开量的大小作成为t(mm)。若象这样地实施，结果就变成为在涂敷物中分别均等地配置多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分，因而将进一步减小平面方向上的涂敷量的偏差。

此外，理想的是把多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的错开量的大小，具体地说，作成为0.1到50mm的范围内的值。其理由如下：若错开量的大小不足0.1mm，则在相邻的扫描区域的边界上有时候会看到颜色不均匀，另一方面，如果超过了50mm则有时候未涂敷任何液状物的非涂敷部分的面积会变大。

因此，更为理想的是把多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的错开量的大小作成为0.2到30mm的范围内的值，再为理想的是作成为0.3到15mm的范围内的值。

另外，在实施方案1中自不必说，在后述的其它的实施方案中，多个液状物的喷出开始部分的位置，也意味着在分别使多个液状物的喷出开始的那一时刻实质上印刷涂敷上的涂敷物的印刷位置(始点)。此外，在液状物的涂敷时利用喷嘴列中的所有的喷嘴孔的那种情况下，结果就变成为喷出开始部分的位置，与喷嘴列的端部的位置实质上一致。

同样，多个液状物的喷出结束部分的位置，意味着在分别结束多个液状物的喷出的那一时刻实质上印刷涂敷上的涂敷物的印刷位置(终点)。此外，在液状物的涂敷时利用喷嘴列中的所有的喷嘴孔的那种情况下，结果就变成为喷出结束部分的位置，与喷嘴列的端部的位置实质上一致。

此外，如图3到图7所示，从液滴喷出头的缘部到喷嘴列的位置为止，通常，虽然设置有很小的距离，但是，在这样的情况下，可以分别把喷出开始部分位置和喷出结束部分位置，当作液滴喷出头的两端的缘部。

此外，在实施方案1中，作为使多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同的构成例，根据液滴喷出头的个数和液状物的喷出宽度的关系，举出了以下的表1所示的方案。此外，为了便于理解构成例，还一并示出了与构成例对应的对照图号。

[表1]

方案	液滴喷出头	喷出宽度	喷出开始部分	喷出结束部分	对照图号
						1	单个	相等	不同	不同	图7(a)
2	单个	不同	不同	不同	图7(b)
						3	单个	不同	一致	不同	图7(c)
4	单个	不同	不同	一致	图7(d)
						5	多个	相等	不同	不同	图3
6	多个	不同	不同	不同	图4
						7	多个	不同	一致	不同	图5
8	多个	不同	不同	一致	图6

2.多个液状物

(1)种类

多个液状物的种类没有什么特别限制，例如，可以举出颜料油墨、染料油墨、滤色片用材料(有时候叫做滤色片元素材料)、电致发光材料(包括空穴输运性材料和电子输运性材料等)、等离子体发光材料等。

此外，理想的是在适宜选择多个液状物的种类的同时，决定溶剂量等。例如，把溶液黏度作成为1到30mPa·s(测定温度25℃，以下同样)的范围内的值。

其理由如下：如果该溶液黏度的值不足1mPa·s，则有时候涂敷物的厚膜化实质上难于实现，另一方面，若该溶液黏度的值超过了30mPa·s，则在喷嘴部分处，有时候会把孔堵塞起来，或者难于形成具有均一的厚度的涂敷物。因此，从涂敷物的厚膜化和涂敷物的厚度的均一性等的参数会变得更好的角度考虑，更为理想的是适宜选择多个液状物的种类等，把溶液黏度作成为2到10mPa·s的范围内的值，再为理想的是作成为3到8mPa·s的范围内的值。

另外，理想的是根据涂敷物的用途适当选择多个液状物的溶液黏度。例如，在要制作滤色片的情况下，由于出于颜色纯度的关系，希望厚膜化，故理想的是把溶液黏度作成为6到8mPa·s的范围内的值。

(2)涂敷物

此外，没有什么作为用多个液状物构成的涂敷物的种类的特别限制，例如，可以举出后述的那样的滤色片用材料(有时候叫做滤色片元素材料)构成的滤色片、电致发光装置中的发光媒体、等离子体显示面板中的发光媒体(荧光体)等。

3.基板

对于要涂敷液状物的基板也没有什么特别限制，例如，理想的是使用聚酯基片、聚砜基片、聚丙烯基片、醋酸纤维素基片、TAC基片、玻璃基板、陶瓷基板等。

此外，对于该基板的厚度来说虽然也没有什么特别限制，但是，理想的是作成为例如10微米到5mm的范围内的值。

实施方案2

其次，参看图8到图15对本发明的实施方案2进行说明。本实施方案，其特征在于：使多个液滴喷出头以规定的方案排列起来的状态成为一个液滴喷出单元使用。通常，应借助于液滴的喷出形成的膜结构(平面图形)的形状、排列图形、大小(面积)等，虽然取决于制造对象(基板等)的用途、种类、形式等，是多种多样的，但是，为形成这样的尺寸结构根据每一个制造对象准备与每一个对应的液滴喷出头，也会带来制造成本的上涨，此外，还会成为使制造效率恶化的原因。于是，在本实施例中，作成为采用以规定的方案把多个液滴喷出头排列起来一体地使用的办法，使得可以构成与制造对象的形状、排列图形、大小等对应的喷嘴排列。

构成例1

在图8所示的构成例1中，在子承载器25上装载有多个液滴喷出头22。液滴喷出头22，基本上与在上述实施方案1中所说明的液滴喷出头同样地构成。在各个液滴喷出头22上，与上述同样设置多个喷嘴27，由这些喷嘴27以规定方向排列构成喷嘴列28。在图示例中，示出的是在液滴喷出头22上分别形成了2列的喷嘴列28的例子。在这里，在1个液滴喷出头22上设置的喷嘴列28的个数，并不象图示例那样限于2列，可以是1列，也可以是3列以上。

该多个液滴喷出头22，在已分别固定到子承载器25上的状态下，可以与在上述实施方案1的图3到图6所示的1个的液滴喷出头同样地使用。此外，在其使用方案方面，扫描方向(主扫描方向)、和对与该扫描方向垂直的方向(副扫描方向)的每一个液滴喷出头22的姿势，可在与上述实施方案1同样地设定的状态下使用。此外，在液滴喷出头22上分别形成的多个喷嘴27的形成步距(喷嘴列28的喷嘴周期)对于制造对象不合适的情况下，也可以用对与扫描方向垂直的方向以规定的倾斜角度(通常为大于0度小于90度的角度，典型的是60度以下)使喷嘴列28的排列方向进行倾斜的姿势使用。

多个的液滴喷出头22，被排列在与扫描方向(图中的上下方向)垂直方向(图中的左右方向)上。此外，还配置在从扫描方向看不同的位置上。

说得更具体点，排列在扫描方向上的液滴喷出头22的列，从扫描方向上看配置成为2列。此外，在从与扫描方向垂直的方向上看的情况下，在扫描方向的前后交互地配置有液滴喷出头22。因此，设置在多个液滴喷出头22上的喷嘴27，作为全体被构成为使得在子承载器25上边在与扫描方向垂直的方向上等间隔地配置。

一般地说，在液滴喷出头22的端部附近，从结构上的制约来看，不能设置喷嘴27，即便是假定可以设置，也会使喷出特性大幅度地恶化。因此，由于结果变成为在液滴喷出头22的端部附近，存在着未形成喷嘴27的区域，故如果直线性地排列多个液滴喷出头22，则在液滴喷出头22端部相邻的部分处就会形成不存在喷嘴27的区域。于是，如上所述，采用使多个液滴喷出头22彼此不同地进行排列的办法，就可以构成为使得遍及多个液滴喷出头22地在与扫描方向垂直的方向上等间隔地排列喷嘴27。

在本实施方案中，采用排列喷出宽度t的液滴喷出头22的办法，作为全体，就可以得到把所有的多个液滴喷出头22的喷出宽度t加在一起的喷出宽度25t。在图示例中，虽然多个液滴喷出头22的喷嘴列28的喷出宽度t全都相同，但是，也可以具备彼此不同的喷出宽度t。此外，不论多个液滴喷出头22分别是什么样的构成，只要配置为使得遍及多个液滴喷出头22地连续地排列喷嘴27即可。

另外，如上所述，已安装上多个液滴喷出头22的子承载器25，例如，被组装到后述的实施方案3的头单元26内，并借助于头单元26对制造对象(基板)的相对驱动，在扫描方向(主扫描方向X)和与之垂直的方向(副扫描方向Y)上移动。

图9以未画出来的制造对象为基准示出了在设置有多组如上所述那样地排列的多个液滴喷出头22的组时的、液滴喷出头22的使用时的各组的相对的位置关系。在这里。把图8所示的液滴喷出头22的组叫做液滴喷出单元25A、25B、25C。这些多个液滴喷出单元25A、25B、25C，可以在使喷嘴列28的排列方向作成为相互同一的姿势下使用。

在图示例中，液滴喷出单元25A、25B、25C，含有形状完全相同的液滴喷出头22，而且，其排列方案也是相同的。此外，每一个液滴喷出单元25A、25B、25C，作为全体还具备有把每一个液滴喷出头22的喷出宽度t1、t2、t3加起来的喷出宽度25t1、25t2、25t3。在这里，在图示例中，被构成为使得每一个的喷出宽度t1到t3是彼此相同的，因此，喷出宽度25t1到25t3也是相同的。这样一来，象这样地构成的多个液滴喷出单元25A、25B、25C，就被配置为使得在从与扫描方向垂直的方向上看时，其喷出开始部分的位置P21到P23彼此不同。此外，在本实施方案中，多个液滴喷出单元25A、25B、25C，被配置为使得对于喷出结束部分的位置P24到P26来说也彼此不同。

采用如图9所示使得喷出开始部分的位置P21到P23和喷出结束部分的位置P24到P26分别不同那样地使用象上述那样地构成的液滴喷出单元25A、25B、25C的办法，除可以得到与上述实施方案1同样的效果之外，通过一次扫描可以喷出更多的液滴，还可以提高生产性。此外，由于可以与制造对象相吻合地适于组合使用现有的液滴喷出头22，故还可以提高对制造对象的应对性。

另外，上述的液滴喷出单元25A、25B、25C，也可以对于共同的制造对象(基板)分别个别地使用。例如，这样的情况：在用具备液滴喷出单元25A的液滴喷出装置进行了上述制造对象的处理后，把该制造对象设置在具备液滴喷出单元25B的液滴喷出装置内进行处理。此外，也可以把这些液滴喷出单元25A、25B、25C同时对上述制造对象应用。例如，这样的情况：一体地安装所有的多个液滴喷出单元，同时并行地从各个单元喷出液滴。

此外，上述的液滴喷出单元25A、25B、25C，虽然都具备相等的喷出宽度25t1到25t3，但是，也可以构成为使得这些喷出宽度25t1到25t3变成为彼此不同的宽度。在该情况下，也可以把多个液滴喷出单元25A、25B、25C的喷出宽度25t1到25t3，配置为使得变成与在上述实施方案1的图4到图6所示的多个液滴喷出头22的喷出宽度同样的相对位置关系。即，喷出开始部分的位置和喷出结束部分的位置这双方不同的位置关系(相当于图4)，喷出开始部分的位置虽然相同但是喷出结束部分的位置不同的位置关系(相当于图5)，喷出开始部分的位置虽然不同但是喷出结束部分的位置相同的位置关系(相当于图6)。

构成例2

其次，参看图10到图12，对构成例2进行说明。在该构成例2中，如图10所示，在与扫描方向垂直的方向(副扫描方向Y)上一列地排列有多个液滴喷出头22。此外，在排列起来的各个液滴喷出头22的两端的喷嘴间设置有间隔。即，在该构成例2中，与构成例1不同，喷嘴27不具有连接成一体的喷出宽度，而是隔以间隔S地配置设置在每一个液滴喷出头22上的喷嘴列28的喷出宽度t。该间隔s如图示例所示，优选与液滴喷出头22的喷出宽度t相等。另外，已把多个液滴喷出头22装载到共同的子承载器25这一点，与上述构成例1是同样的。

图11，如上述图10所示，示出了分别构成的多个液滴喷出单元25D、25E、25F间的相对位置关系。在该构成例2中，也与上述构成例1同样，多个液滴喷出单元25D、25E、25F，具有喷出宽度t1、t2、t3和间隔s1、s2、s3。在这里，如图示例所示，在液滴喷出间，也可以使喷出宽度t1到t3彼此相同，使间隔s1到s3彼此相同。此外，在图示例中，排列在与扫描方向垂直的方向上的喷出宽度和间隔的个数在各个单元间也是相同的。此外，喷出开始部分的位置P21到P23，对于多个液滴喷出单元25D、25E、25F来说被配置在彼此不同的位置上。再有，对于多个液滴喷出单元25D、25E、25F的喷出结束部分的位置P24到P26来说，也变成为彼此不同的位置。

如上所述，在各个液滴喷出单元25D、25E、25F中，由于在液滴喷出头22之间分别设置有间隔，故如图12所示，结果就变成为在扫描方向上扫描制造对象的区域11(相当于后述的滤色片形成区域)的扫描步骤(用图中向下的箭头表示)ST1中，相当于上述间隔s的部分k保持未处理的原状地留了下来。为此，要在与上述的扫描步骤ST1分开地，在恰好使液滴喷出单元在与扫描方向垂直的方向上移动了δY＝t＝s的状态下，进行扫描步骤ST2。在这里，在图示例中，扫描步骤ST1和扫描步骤ST2中的扫描方向变成为彼此互逆的方向。借助于此，在往路中进行扫描步骤ST1之后，在复路中就可以进行逆方向的扫描步骤ST2。

但是，也可以使扫描步骤ST2用与扫描步骤ST1相同的方向进行。此外，在进行后述的图17所示的方法(使扫描步骤在副扫描方向Y上稍微错开地反复进行的方法)的情况下，尽管要增加必要的扫描步骤的个数，但是，却可以用完全一样的方法进行处理。

构成例3

其次，参看图13对构成例3进行说明。在该构成例3中，使用具有与图7所示的液滴喷出头同样的结构的液滴喷出头22。即，该液滴喷出头22具有配置在扫描方向上的多个喷嘴列28A、28B、28C，这些喷嘴列28A、28B、28C在与扫描方向垂直的方向上错开的位置上配置。在图示例中，与图7(a)所示的结构同样，被配置为使得喷嘴列28A、28B、28C具有同一喷出宽度ta、tb、tc，喷出开始部分和喷出结束部分这双方彼此不同。当然，各个喷嘴列的喷出宽度ta、tb、tc也彼此不同，各个喷嘴列也可以用图7(b)到(d)所示的那样的位置关系形成。即，在喷嘴列的喷出宽度彼此不同的同时，喷出开始部分的位置和喷出结束部分的位置都不同的构成(相当于图7(b))，喷出开始部分的位置虽然相同但是喷出结束部分的位置不同的构成(相当于图7(c))，喷出开始部分的位置虽然不同但是喷出结束部分的位置相同的构成(相当于图7(d))。另外，在该构成例3中，各个液滴喷出头22也已装载到共同的子承载器25上。

液滴喷出头22，与构成例1同样，被排列为使得朝向与扫描方向垂直的方向地在扫描方向上彼此不同地错开。这时，要把多个液滴喷出头22相互配置为使得各个液滴喷出头22的喷嘴列28A彼此间无间隙地在与扫描方向垂直的方向上进行连续，喷嘴列28B彼此间无间隙地在相同的方向上进行连续，喷嘴列28C彼此间无间隙地在相同的方向上进行连续。倘采用这样的构成，在该构成例中，结果就变成为可以用1个液滴喷出单元设置喷出开始部分的位置和喷出结束部分的位置都不同的喷出宽度25ta、25tb、25tc。在这里，也可以是喷出开始部分和喷出结束部分中的任何一方的位置彼此不同，另一方相同。

在该构成例3中，由于在各个液滴喷出头22上都设置有喷出开始部分或喷出结束部分的位置不同的多个喷嘴列28A、28B、28C，故采用仅仅使已装载上该一组的液滴喷出头的1个单元进行扫描的办法，就可以得到与上述构成例同样的效果。另外，也可以如上述构成例2所示的1个液滴喷出单元那样，彼此具有间隔地把该构成例3的液滴喷出单元22排列成一列。在该情况下，仅仅用1个单元，就可以得到与上述构成例同样的效果。

构成例4

其次，参看图14和图15，对构成例4进行说明。在该构成例4中，虽然在以规定的位置关系配置多个液滴喷出单元22’这一点上，与上述构成例1到3是同样的，但是，却被构成为使得在这些多个液滴喷出单元22’间，它们的喷出开始部分的位置或喷出结束部分的位置彼此不同。

即，在图14所示的例子中，多个液滴喷出头22’的喷出宽度，虽然都是相同的，但是，在喷嘴27的排列方向上使位置彼此错开地进行配置，喷出开始部分的位置和喷出结束部分的位置这双方，在各个液滴喷出头22’间彼此不同。此外，在图15所示的例子中，设置在多个液滴喷出头22A’、22B’、22C’上的喷嘴列28A’、28B’、28C’，具有彼此不同的喷出宽度，被配置为使得虽然所有的喷出开始部分的位置都相同，但是喷出结束部分的位置却彼此不同。在该情况下，也可以配置为使得喷出开始部分的位置不同，喷出结束部分的位置相同，或者，也可以配置为使得喷出开始部分和喷出结束部分的位置这双方都不同。在该构成例4中，由于在多个液滴喷出头间喷出开始部分的位置或喷出结束部分的位置彼此不同，故也可以得到与上述构成例同样的效果。

如上所述，本发明，在用具有多个液滴喷出喷嘴的多个喷嘴列在扫描方向上相对地扫描并喷出液滴时，要使各个喷嘴列的喷出开始部分或喷出结束部分的位置彼此不同。例如，如上述实施方案1所示，或者使每一个都具有喷嘴列的多个液滴喷出头的端部位置彼此不同，或者使设置在1个液滴喷出头内的多个喷嘴列的端部位置彼此不同。此外，如上述的构成那样，在构成采用以规定的位置关系相对地固定多个液滴喷出头的办法构成的一体的液滴喷出单元的情况下，可以使用多个液滴喷出单元，使这些多个液滴喷出单元间的喷出开始部分或喷出结束部分的位置彼此不同，或1个液滴喷出单元内的多个液滴喷出头的喷出开始部分或喷出结束部分的位置不同，或者，在1个液滴喷出单元内的多个液滴喷出头的每一者上都设置多个喷嘴列，使这些多个喷嘴列的喷出开始部分或喷出结束部分的位置彼此不同。

实施方案3

实施方案3，是一种具有在图16中示出了其概略的那样的液滴喷出头的液状物的喷出装置，其特征在于：在液滴喷出头上设置喷嘴列，用来在纵向方向上边扫描该液滴喷出头或基板，边分别依次喷出多个液状物，使多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分，或任何一方的位置不同。

以下，作为实施方案3的液状物的喷出装置，适当省略与实施方案1同样的内容的说明，以不同点为中心进行说明。

1.喷出机构方式

在实施方案3中，由于也可以作成为与实施方案1同样的方式的内容，故省略其说明。

2.液状物

在实施方案3中，由于也可以作成为与实施方案1同样的方式的内容，故省略其说明。

3.喷出装置

实施方案3的喷出装置16，如图16所示，理想的是分别具有：具备液滴喷出头22的头单元26；用来控制头22的位置的头位置控制装置17；用来控制母基板的位置的基板位置控制装置18；用来使头22对母基板在扫描方向(主操作方向X)上进行主扫描移动的主扫描驱动装置19；用来使头22对母基板在与扫描方向垂直的方向(副扫描方向Y)上进行副扫描移动的副扫描驱动装置21；用来从外部向液滴喷出装置16内的规定的作业位置供给母基板的基板供给装置(未画出来)；专司液滴喷出装置16的全般控制的控制装置(未画出来)。

以下，设想制造滤色片的情况，主要对喷出装置16的各个结构和作用等进行说明。

(1)液滴喷出头

□构成

在实施方案3中，头22理想的是具有图1(a)和(b)所示的那种内部结构。

具体地说，头22理想的是具有例如不锈钢制的喷嘴板29；与其相向的振动板31；使它们彼此接合的多个隔壁构件32。此外，在喷嘴板29和振动板31之间，借助于隔壁构件32形成多个材料室33和贮液器34，同时，在多个材料室33和贮液器34之间，通过通路38彼此连通。

此外，在振动板31的适宜位置上形成材料供给孔36，并把材料供给装置37连接到该材料供给孔36上。该材料供给装置37，使与滤色片元素材料(M)之一，例如RGB象素中的R象素对应的滤色片元素材料(M)或YMC象素中的Y象素对应的滤色片元素材料(M)作为液状物供往材料供给孔36。因此，结果就变成为所供给的滤色片元素材料充满贮液器34，然后通过通路38充满材料室33。

此外，在喷嘴板29上设置有用来从材料室33喷射状地喷射滤色片元素材料(M)的喷嘴列27。然后，在振动板31的已形成了材料室33的面的背面上，与该材料室33对应地安装材料加压体39。该材料加压体39，如图1(b)所示，理想的是具有压电元件41以及把它挟持起来的一对电极42a、42b。

此外，压电元件41，具有借助于向电极42a和42b进行的通电挠曲变形为使得向如箭头C所示的外侧突出出来，借助于此，使材料室33的容积增大的功能。因此，相当于增大后的容积量的滤色片元素材料(M)，就可以通过通路38从贮液器34流向材料室33。

接着，当解除了向压电元件41的通电后，结果该压电元件41和振动板31就都要返回原来的形状。借助于此，由于材料室33也要返回原来的容积，故处于材料室33的内部的滤色片元素材料(M)的压力上升，结果就变成为滤色片元素材料(M)变成为液滴8后从喷嘴列27对母基板12喷出。

□液滴喷出头和液状物的喷嘴列之间的关系

此外，在实施方案3中，如图7所示，理想的是与多个液状物对应的喷嘴列27适宜地配置在1个液滴喷出头22内。

例如，在要设置第1液状物用的喷嘴列、第2液状物用的喷嘴列、和第3液状物用的喷嘴列的情况下，或者是使这3个液状物用的喷嘴列，在1个液滴喷出头内与每一者对应地配置成3列，或者是在横向方向上排列配置第1到第3喷嘴列，或者把他们组合起来。

如果象这样地构成，则采用仅仅准备1个液滴喷出头及其驱动系统装置，就可以得到使与多个液状物对应的喷出开始部分或喷出结束部分的位置分别不重叠的涂敷物。因此，就可以提供既是可以得到在基板上的多个液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置不重叠的，或者，这些的部位的重叠少的涂敷物的喷出装置，又是作为整体结构简单的喷出装置。

此外，如果象这样地构成，则即便是在同时喷出多个液状物的情况下，由于是1个液滴喷出头，故不会有液滴喷出头彼此间在动作中进行接触或冲突之类的担心。

另外，设置在1个液滴喷出头上的多个喷嘴列，理想的是实质上等间隔地配置。得益于象这样地构成，就可以精度良好地形成具有规则的规定的图形的涂敷物。

此外，理想的是在把液滴喷出头作成为大体上的长方矩形形状，同时，沿着其长边的缘部设置多个喷嘴列。得益于象这样地构成，在可以实现液滴喷出头的小型化的同时，还可以精度良好地形成具有规则的规定的图形的涂敷物。

再有，对于设置在1个液滴喷出头内的、与多个液状物对应的多个喷嘴列的形状和个数，理想的是分别为实质上同一形状和同一个数。得益于象这样地构成，在液滴喷出头内进行的多个喷嘴列的配置就会变得容易起来，同时，可使多个液状物的喷出量分别均一化，可以精度良好地形成具有规则的规定的图形的涂敷物。

另一方面，在实施方案3中，如图3到图6所示，理想的是与多个液滴喷出头22分别对应地设置与多个液状物对应的喷嘴列27。例如，在要设置第1液状物用的喷嘴列、第2液状物用的喷嘴列、和第3液状物用的喷嘴列的情况下，要与这3个液状物用的喷嘴列对应地设置第1液滴喷出头、第2液滴喷出头和第3液滴喷出头。

若象这样地构成，则采用仅仅与液状物的个数对应地准备多个尺寸宽度实质上相等的液滴喷出头的办法，就可以提供可以得到基板上的多个液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置分别不重叠的涂敷物的喷出装置。

此外，由于有多个液滴喷出头，由于可以与液状物的种类相对应地使之个别地进行动作，故将使多个液状物的喷出开始部分或喷出结束部分的位置的调整变得更加容易。

另外，即便是分别与多个液滴喷出头对应地设置与多个液状物对应的喷嘴列的情况下，与在1个液滴喷出头上设置的情况下同样，理想的是实质上等间隔地配置多个喷嘴列，此外，理想的是把液滴喷出头作成为大体上的长方形矩形形状，同时，沿着其长边的缘部设置多个喷嘴列，再有，理想的是对于多个喷嘴列的形状和个数，分别为实质上同一形状和同一个数。

此外，如图17所示，理想的是倾斜地配置液滴喷出头22。即，液滴喷出头22，理想的是排列在对与移动方向(主扫描方向X)垂直相交的方向(副扫描方向Y)斜向交叉的方向上。具体地说，理想的是把图17所示的倾斜角(θ)作成为1度到60度的范围内的值，更为理想的是作成为10度到50度的范围内的值，再为理想的是作成为20度到40度的范围内的值。

如果象这样地构成，则可以使喷出1个液状物的实际的间隔(在图17中，用δ表示)变成为比与1个液状物对应的喷嘴列的间隔(在图17中，用L/3表示)更窄。因此，在图17所示的那样的滤色片等的涂敷物中，就可以得到更为精细的描画图形。

此外，得益于象这样地构成，即便是在设置有多个液滴喷出头的情况下，也可以防止相邻的液滴喷出头间的干扰。因此，可以实现液滴喷出头的小型化。

再有，得益于象这样地构成，即便是在基板的大小多少发生了变化的情况下，采用适当地改变液滴喷出头进行交叉的角度，也可以对整个基板进行涂敷。即，在基板的大小比较大的情况下，采用使倾斜角θ变成为比较小，就可以对整个基板涂敷多个液状物。另一方面，在基板的大小比较小的情况下，采用使倾斜角θ变成为比较大，就可以向整个基板涂敷多个液状物，而无须交换液滴喷出头。

(2)基板位置控制装置和基板供给装置

□基板位置控制装置

此外，在实施方案3中，图16所示的基板位置控制装置18，理想的是具有用来载置母基板的工作台49；用来使该工作台49象箭头θ那样地在面内进行旋转的θ电机51。

此外，图16所示的主扫描驱动装置19，理想的是具有向主扫描方向X延伸的X导轨52，和内置可进行脉冲驱动的直线电机的X滑动器53。若象这样地构成，则X滑动器53，在内置的直线电机动作时，可以沿着X导轨52向主扫描方向平行移动。

此外，图16所示的副扫描驱动装置21，理想的是具有向副扫描方向Y延伸的Y导轨54，和内置可进行脉冲驱动的线性电机的Y滑动器56。得益于象这样地构成，Y滑动器56，在内置线性电机动作时，就可以沿着Y导轨54向副扫描方向平行移动。

□基板供给装置

此外，在实施方案3中，虽然未画出来，理想的是在设置基板供给装置的同时，该基板供给装置具有收容母基板的基板收容部分和搬运基板的机器手。

在这里，机器手，理想的是具有设置在地板、地面等的设置面上的基座、对于基座进行升降移动的升降轴、以升降轴为中心进行旋转的第1旋转臂、对第1旋转臂进行旋转的第2旋转臂和设置在第2旋转臂的顶端下表面上的吸附吸盘。

(3)控制部分

此外，在实施方案3中，作为控制部分的控制装置，理想的是具有收容处理器的计算机主机部分、作为输入装置的键盘、作为显示装置的CRT显示器。

在这里，如图18所示，理想的是具有用来进行运算处理的CPU(中央处理器)69、存储各种信息的存储器即信息存储介质71。此外，该CPU69，是一种根据已存储在本身为信息存储介质71的存储器内的程序软件，进行用来向基板上的规定位置喷出油墨，即喷出滤色片元素材料13的控制的装置。

此外，图16所示的头位置控制装置17、基板位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21、和用来驱动头22内的压电元件41的头驱动电路等的各个装置，如图18所示，理想的是通过输入输出接口73和总线74，连接到CPU69上。

再有，为了便于进行控制，对于基板供给装置23、输入装置67、CRT显示器68、电子秤78、清洗装置77和加盖装置76等的各种机器，理想的是也要通过输入输出接口73和总线74，连接到CPU69上。

此外，这样的CPU69，作为具体的功能实现部分，如图18所示，理想的是具有进行用来实现清洗处理的运算的清洗运算部分；用来实现加盖处理的加盖运算部分；进行用来实现使用电子秤的重量测定的运算的重量测定运算部分；和进行用来借助于液滴喷出描画材料的运算的描画运算部分。

即，描画运算部分，理想的是具有用来把头22设置到目的为进行描画的初始位置上的描画开始位置运算部分；对用来以规定的速度使头22向主扫描方向X移动的控制进行运算的主扫描控制运算部分；对用来使母基板向副扫描方向Y恰好错开规定的副扫描量的控制进行运算的副扫描控制运算部分；进行对是否使头22内的多个喷嘴列中的任何一者动作以喷出油墨，即喷出滤色片元素材料进行控制用的运算的喷嘴喷出控制运算部分。

(4)其它的构成装置

此外，在实施方案3中，理想的是在既是被主扫描驱动装置驱动以进行主扫描移动的头的轨迹下边，又是副扫描驱动装置的一方的肋位置上，配设加盖装置和清洗装置。此外，理想的是在副扫描驱动装置的另一方的肋位置上，配设电子秤。

在这里，清洗装置是用来清洗头的装置。此外，电子秤是对每一个喷嘴测定从头内的每一个喷嘴列喷出的材料的液滴的重量的设备。而加盖装置，是在头处于等待状态时，用来防止喷嘴列的干燥的装置。

此外，在头的附近，出于与该头一体地移动的关系，理想的是设置易于进行位置对准的头用摄象机。此外，被设置在基座上的支持装置支持着的基板用照相机，理想的是把母基板配设在可以摄影的位置上。

实施方案4

实施方案4，是滤色片的制造方法，其特征在于：使多个滤色片材料依次从与每一者对应的喷嘴列中喷出，同时，使该多个滤色片材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

以下，作为实施方案4的滤色片的制造方法和滤色片，适当省略与实施方案1到3同样的内容的说明，以不同点为中心进行说明。

1.滤色片的制造方法

(1)隔壁的形成

图19按照工序顺序模式性地示出了滤色片1的制造方法。此外，在实施方案4中，首先，在母基板12的表面上，用不具有透光性的树脂材料，从箭头B方向看，网格状图形地形成隔壁6。

该网格状图形中的网眼部分7，与将来要形成滤色片元素3的区域，即与滤色片元素形成区域对应。因此，理想的是，使得可以得到良好的分辨率那样地，作为一个例子，把用隔壁6形成的每一个滤色片元素形成区域7从箭头B的方向看时的平面尺寸，作成为30微米×100微米的大小。

此外，隔壁6，理想的是同时具有阻止作为供往滤色片元素形成区域7的液状体的滤色片元素材料13的流动的功能，和黑色矩阵的功能。

因此，为了精度良好地制作隔壁6，同时，提高其机械强度，理想的是例如，用光刻法形成，同时，还要根据需要用加热器或烘箱等加热以使滤色片元素材料13热硬化等。

(2)滤色片元素的形成

接着，在实施方案4中，也使与RGB象素或YMC象素等对应的滤色片元素材料依次从与每一者对应的喷嘴列中喷出，同时使这些多个滤色片元素材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

即，如图19所示，采用使得与RGB象素或YMC象素等对应的滤色片元素材料13的液滴8的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同那样地，向滤色片元素形成区域7供给每一个液滴8，以用滤色片元素材料13把各个滤色片元素形成区域7埋起来的办法，形成滤色片元素。

另外，作为改变喷出开始部分和喷出结束部分的位置的理想的手段，出于液滴喷出头的个数和喷出宽度的关系，可以举出在实施方案1中已说明过的表1所示的8种方案。

接着，当向各个滤色片元素形成区域7填充规定量的滤色片元素材料13时，就用加热器把母基板12加热到例如70℃左右，使滤色片元素材料13的溶媒蒸发。

借助于该溶媒的蒸发，如图19(c)所示，滤色片元素材料13的体积减小，结果表面平坦化。另一方面，在体积的减少激烈的情况下，理想的是一直到可以得到作为滤色片1足够的膜厚为止反复执行滤色片元素材料13的液滴8的供给和该液滴8的加热。例如，在图19的制造方法的情况下，例示的是进行3次反复。

(3)加热处理和保护膜的形成

接着，为了使所形成的滤色片元素3完全干燥，理想的是在规定的温度下执行规定时间的加热处理。

然后，理想的是再用旋转涂敷法、滚动涂敷法、浸泡法或喷墨法等众所周知的方法，如图19(d)所示，形成保护膜4。该保护膜4，是为了滤色片元素3等的保护，和滤色片1的表面的平坦化而形成的。

2.滤色片

(1)构成

实施方案4的滤色片1，理想的是在用玻璃、塑料等形成的矩形形状的基板2的表面上点图形状地，在本实施方案中，是点矩阵状地形成。

在这里，滤色片元素3，采用借助于用不具有透光性的树脂材料网格状图形地形成的隔壁6划分成区，同时，用滤色片元素材料(滤色片用材料)把点矩阵状地排列的多个矩形形状的区域填埋起来的办法形成。

此外，这些滤色片元素3，每一者都用R(红)、G(绿)、B(蓝)中的任何一色，或Y(黄)、M(洋红)、C(青)中的任何一色的滤色片元素材料形成，这些各色的滤色片元素3，理想的是排列成规定的排列。

作为这样的滤色片元素3的排列，例如，如图20(a)所示，理想的是所谓的条带排列，矩阵的纵列是全都变成为同色的排列。此外，如图20(b)所示，理想的是所谓的马赛克排列，在纵横的直线上排列的任意的3个滤色片元素3都是由RGB象素构成的3色的配色。再有，理想的是如图20(c)所示的那种三角形排列，滤色片元素3的配置明显不同，任意的相邻的3个滤色片元素3，都是由RGB象素或YMC象素构成的3色的配色。

此外，对于实施方案4的滤色片1的大小来说虽然没有什么特别限制，但是，理想的是要作成为例如对角线的长度为1.8英寸(4.57cm)的长方形。此外，1个滤色片元素3的大小虽然也没有什么特别限制，但是，例如可以作成为横10微米到100微米、纵50微米到200微米的长方形。至于各个滤色片元素3间的间隔，所谓的元素间步距，例如可以作成为50微米或75微米。

此外，在液晶显示装置等中把实施方案4的滤色片1用做目的为进行彩色显示的光学要素的情况下，理想的是把与RGB象素或YMC象素对应的3个滤色片元素3作为1个单元形成1个象素。此外，理想的是采用对于1个象素内的RGB象素或YMC象素中的任何一个或它们的组合，选择性地使由液晶显示装置等所发出的光通过的办法，进行彩色显示。

这时，用实质上不具有透光性的树脂材料形成隔壁6，由于可以使之作为黑色蔽光体起作用，故从防止混色或提高对比度来看是一种理想的方案。

此外，上述的滤色片1，由于制造成本低廉，在经济方面有利，故理想的是从本身为图21所示的那样的基板的大面积的母基板12上切下来。

具体地说，理想的是在设定在母基板12内的多个滤色片形成区域11中，在每一者的表面上都形成1个滤色片1个量的图形。接着，在滤色片形成区域11的周围形成切断用的沟，沿着该沟切断母基板12。借助于此，就可以在每一个基板2(参看图19(a))上边形成采用形成滤色片1的办法构成的滤色片基板。

(2)光透过率的吸收峰值的位置

在实施方案4的滤色片1中，如图22(a)所示，理想的是在液滴喷出头的涂敷宽度内，使与多个滤色片元素材料(滤色片用材料)对应的光透过率的吸收峰值的位置(S1、S2、S3)分别不同。

另外，图22(a)，在横轴上示出了测定位置，从横轴的始点开始到第6点为止，与液滴喷出头的1次的扫描的涂敷宽度对应。此外，在纵轴上示出的是滤色片1的光透过率T(％)，是用辉度计测定的值。

此外，在图22(b)中，与多个滤色片元素材料对应的光透过率的吸收峰值的位置(S4)，示出的在液滴喷出头的涂敷宽度内，分别一致的情况，即为了进行比较，示出的是现有的滤色片的测定结果。

如上所述，采用使光透过率的偏差的位置不同，可以减小平面方向上的膜厚的分布，作为结果，可以得到在平面方向上具有均一的光透过特性的滤色片。此外，得益于象这样地构成，还可以减少在相邻的涂敷区域的边界线处进行的混色。

另外，采用仅仅调节喷嘴列的端部等的位置，改变喷出开始部分或喷出结束部分的位置，就可以如上所述使与多个滤色片元素材料对应的光透过率的偏差的位置(S1、S2、S3)不同。即，由于在本身为涂敷区域的端部的喷出开始部分或喷出结束部分处，减少因与多个滤色片元素材料，例如，与RGB象素对应的滤色片元素材料分别重叠而涂敷得厚的可能，在平面方向上比较均一地分布，故可以得到具有均一的光透过特性的滤色片。

3.滤色片的制造装置的变形例

此外，作为实施方案4的滤色片的制造装置的变形例，与上述的构成不同，理想的是借助子母基板12的移动执行主扫描，借助于头22的移动执行副扫描。

此外，在实施方案4中，理想的是作成为这样的构成：使母基板12移动而不使头22移动，或者使双方相对地在逆方向上移动等，至少使任何一方相对地移动，使头22沿着母基板12的表面相对地移动。

再有，对于喷嘴列27的构成来说，虽然理想的是以约等间隔在大体上的直线上边而且设置成2列喷嘴列的头22，但是喷嘴列的排列数并不限于2列，例如，理想的是锯齿状而且作成为非等间隔的3列以上。

4.滤色片的使用例

另外，理想为用得到的滤色片构成液晶显示装置。

这样的液晶显示装置的构成和制造方法，虽然可以作为众所周知的一般性的内容，但是，作为一个例子，理想的是作成为图23所示的那样的液晶显示装置170。即，液晶显示装置170，理想的是这样的结构：从下方开始，使第1偏振板175、第1基板174、反射膜182、第1电极181、第1取向膜180、液晶179、第2取向膜178、第2电极177、滤色片176、第2基板172、和第2偏振板171进行叠层，用密封剂173把周围封起来。然后，理想的是用已装载到液晶显示装置170的周围上的驱动IC183，用单纯矩阵的无源方式或以TFD(薄膜二极管)为开关元件的有源方式，或以TFT(薄膜晶体管)为开关元件的有源方式等，使液晶179动作，进行彩色显示。此外，更为理想的是使得可以得到更为鲜明的图象等那样地，在第1偏振板175的下方设置背光源186、187。

此外，作为液晶显示装置的构成，如图23所示，既可以是半透射反射式，或者，也可以是在基板上设置有光透过部分的透射式，还可以是完全反射式。

实施方案5

实施方案5，是使用液滴喷出头的电致发光装置的制造方法，其特征在于：在使多个电致发光材料从与每者对应的喷嘴列依次喷出的同时，使该多个电致发光材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同。

以下，作为电致发光装置的制造方法和用该方法得到的电致发光装置，适当省略与实施方案1到4同样的内容的说明，以不同点为中心进行说明。

1.电致发光装置的制造方法

就象在图24中示出的概略驱动电路那样，对制造有源矩阵型的电致发光装置的工序步骤进行说明。

(1)前处理

首先，如图25(A)所示，理想的是对透明的显示基板102，以四乙氧(基)硅烷(TEOS)或氧气等为原料气体用等离子体CVD(化学蒸镀)法形成由硅氧化膜构成的基底保护膜(未画出来)。

这时，理想的是把基底保护膜的厚度作成为约2000到5000

的范围内的值。

接着，把显示基板102的温度设定为约350℃，在基底保护膜的表面上，用等离子体CVD法，形成作为非晶硅膜的半导体膜120a。这时，理想的是把硅膜的厚度作成为约300到700

的范围内的值。

然后，理想的是对该半导体膜120a，实施激光退火或固相生长法等结晶化工序，使半导体膜120a结晶化为多晶硅膜。

(2)TFT的形成

接着，在实施方案5中，如图25(B)所示，使半导体膜120a图形化，形成岛状的半导体膜120b。

即，在设置有半导体膜120b的显示基板102的表面上，以TEOS或氧气等为原料气体，用等离子体CVD法，形成由硅氧化膜或氮化膜构成的栅极绝缘膜121a。这时，理想的是把栅极绝缘膜的厚度作成为约600到1500

的范围内的值。

另外，半导体膜120b，虽然是要成为电流薄膜晶体管110的沟道区域和源极、漏极区域的膜，但是在不同的剖面位置处，也可以形成将成为开关薄膜晶体管109的沟道区域和源极、漏极区域的未画出来的半导体膜。即，在图25所示的制造工序中，虽同时形成两种开关薄膜晶体管109及电流薄膜晶体管110，但由于以同样的程序所形成，所以以下仅仅对电流薄膜晶体管110进行说明，至于开关薄膜晶体管109则省略说明。

接着，如图25(C)所示，用溅射法形成铝或钽等的导电膜，然后，使之图形化，形成栅极电极110A。

在该状态下，理想的是注入杂质，例如，高温的磷离子，在半导体膜120b上对栅极电极110A自我匹配地形成源极、漏极区域110a、110b。此外，未导入杂质的部分则将变成为沟道区域110c。

接着，如图25(D)所示，在形成了层间绝缘膜122后，形成接触孔123、124，在这些接触孔123、124内，埋入形成中继电极126、127。

然后，如图25(E)所示，在层间绝缘膜122上，形成信号线104、共同给电线105和扫描线103(在图25中未画出来)。

之后，理想的是使得把各个布线的上表面覆盖起来那样地形成层间绝缘膜130，在与中继电极126对应的位置上形成接触孔132。在使得把该接触孔132内填埋起来那样地形成了ITO膜后，使该ITO膜图形化，在被信号线104、共同给电线105和扫描线103围起来的规定位置上，形成与源极、漏极区域110a电连的象素电极111。

(3)电致发光装材料的喷出

接着，在实施方案5中，如图26所示，向已实施了前处理的显示基板102上，喷出多个电致发光材料。

即，在使多个电致发光材料依次从与每者对应的喷嘴列喷出的同时，使得该多个电致发光材料的喷出开始部分和喷出结束部分的位置，或任何一方的位置不同那样地，例如，使得喷嘴列的两个端部的位置，或任何一方的位置在1维或2维的方向上不同地喷出电致发光材料。

采用象这样地由电致发光材料形成发光层，就可以构成消除喷出开始部分和喷出结束部分的重叠，或至少在平面方向上均一的电致发光特性，例如由膜厚的不同产生的颜色变化少的电致发光装置。

在这里，如图26(A)所示，在使已实施了前处理的显示基板102的上表面朝上的状态下，用喷墨方式的涂敷装置喷出用来形成位于发光元件的下层部分上的空穴注入层113A的电致发光装材料140A，例如，聚亚苯基亚乙烯基、1，1-双-(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等，选择性地涂敷到被台阶135围起来的规定位置的区域内。

另外，这样的电致发光材料140A，作为功能性液状体，理想的是已溶于溶媒中的状态的前驱体。

接着，如图26(B)所示，采用实施加热或光照射等的办法，使含于电致发光材料140A中的溶媒蒸发，在象素电极111上边形成固态的薄的空穴注入层113A。然后，理想的是必要次数反复进行图26(A)、(B)，如图26(C)所示，形成充分的厚度尺寸的空穴注入层113A。

其次，如图27(A)所示，在使显示基板102的上表面朝上的状态下，向发光元件113的上层部分上，用喷墨方式喷出用来形成有机半导体膜113B的电致发光材料140B，例如，氰基聚亚苯基亚乙烯基、聚亚苯基亚乙烯基、聚烷基亚苯基，将其选择性地涂敷到被台阶135围起来的区域内。

另外，这样的电致发光材料140B，作为功能性液状体，理想的是已溶于溶媒中的状态的有机荧光材料。

接着，如图27(B)所示，采用实施加热或光照射等的办法，使含于电致发光材料140B中的溶媒蒸发，在空穴注入层113A的上边，形成固态的薄有机半导体膜113B。

另外，理想的是反复进行多次图27(A)、(B)所示的操作，如图27(C)所示，形成具有充分的厚度的有机半导体膜113B，用空穴注入层113A和有机半导体膜113B，构成电致发光元件113。

(4)反射电极的形成

最后，在实施方案5中，如图27(D)所示，在显示基板102的整个表面或条带状地形成反射电极(相向电极)112。即，采用象这样地形成反射电极，就可以制造夹层结构的电致发光装置101。

2.电致发光装置的变形例

作为实施方案5的电致发光装置的变形例，也可以满意地采用下述任意一种构成：带状地形成与RGB象素或YMC象素对应的3种的发光象素的条带式，或如上所述，具备用驱动器IC控制在每一个象素中向发光层流的电流的晶体管的有源矩阵型的显示装置，或者，适合于无源矩阵型的显示装置等。

实施方案6

其次，参看附图说明本发明的实施方案6的显示装置。图28示出了等离子体显示面板的分解立体图，图29是本实施方案的等离子体显示面板的基本概念图。本实施方案的等离子体显示面板，作为滤色片1具备与在先前的实施方案3中所说明的滤色片1同样的滤色片，该滤色片1配置在观看者一侧。即，该滤色片1具备基板2、滤色片元素(着色层)3、隔壁6和保护层4。

等离子体显示面板，大体上由彼此相向配置的玻璃基板501、上述的滤色片1和在它们之间形成的放电显示部分510构成。放电显示部分510采用把多个放电室516集合起来构成，在多个放电室516中，3个放电室516被配置为成对地构成1个象素。因此，要把各个放电室516设置为使得分别与先前的滤色片1的各个滤色片元素3(3R、3G、3B)对应。

在上述(玻璃)基板501的上表面上条带状地形成地址电极511，要把电介质层519形成为使得把这些地址电极51和基板501的上表面覆盖起来，此外，使得位于地址电极511、511之间而且沿着各个地址电极511那样地，在电介质层519上边形成隔壁515。另外，在隔壁515中，在其长边方向的规定位置处，在与地址电极511垂直相交的方向上也以规定的间隔隔开(未画出来)，基本上，形成由与地址电极511的宽度方向左右两侧相邻的隔壁，和在与地址电极垂直相交的方向上延伸设置的隔壁进行隔开的长方形形状的区域，使得与这些长方形区域对应那样地形成放电室516，这些长方形形状的区域3个构成一对地构成1个象素。此外，在被隔壁515划分成区的长方形形状的区域的内侧，还形成荧光体517。

其次，在滤色片1一侧，条带状地以规定的间隔在与先前的地址电极511垂直相交的方向上形成多个显示电极512，把它们覆盖起来那样地形成电介质层513，然后，形成由MgO等构成的保护膜514。另外，在图29中，为便于图示，象素电极512的延长方向与实际情况是相反的。采用使得上述地址电极511...和显示电极512彼此垂直相交那样地，使上述基板501和滤色片1的基板2，相向地彼此粘贴起来，使被基板501和隔壁515和在滤色片1一侧形成的保护膜514围起来的空间部分排气后封入稀薄气体，形成放电室516。另外，在滤色片1一侧形成的显示电极512被形成为对每一个放电室516各配置2个。

地址电极511和显示电极512，采用被连接到未画出来的交流电源上，并给各个电极通电，在必要的位置的放电显示部分510中因使荧光体受激发光而发白光，采用通过滤色片1观看该发光的办法，就可以进行色显示。

另外，在本实施方案中，也可以用上述液滴喷出法或液滴喷出装置形成各个放电室516内的荧光体517。此外，在本实施方案的等离子体显示面板500中，虽然示出的是已装备上在实施方案2中所示的滤色片1的例子，但是也可以不设置该滤色片1，而代之以设置使各个放电室516内的荧光体517发出例如R、G、B这样的已着色的荧光的滤色片。在该情况下，也可以用上述的液滴喷出法或液滴喷出装置，采用使之喷出用来在被隔壁515划分成区的区域(应成为放电室516的部分)上形成荧光体的液状材料，形成等离子体性显示装置用基板。

其它的实施方案

以上，虽然举出优选实施方案对本发明进行了说明，但是本发明并不限于上述实施方案1到6，还包括以下所示的那样的变形例，在可以实现本发明的目的范围内，也可以提供具有其它的任何一种具体的结构和形状的实施方案。

即，可以使用本发明的喷出方法的，并不限于上述的滤色片及其制造装置、具备滤色片的液晶显示装置及其制造装置、电致发光装置及其制造装置或等离子体型显示装置及其制造装置，也可以在FED(场发射显示器)、电泳装置、薄型布劳恩管、CRT(阴极射线管)等各种各样的电光装置中使用。

此外，本发明的喷出方法等，也可以在包括电光装置在内的各种基板的制造工序中使用。

例如，为了形成印制电路基板的电布线，喷出液状金属或导电性材料以形成金属布线的工序、形成微细的微型透镜的制造工序、仅仅向必要的部分上涂敷要向基板上边涂敷的光刻胶的工序、在透光性基板等上形成使光进行散射的凸部或微小白图形等的制造工序、在DNA(脱氧核糖核酸)芯片上边向矩阵排列的峰值斑点(spike spot)上喷出RNA(核糖核酸)以制作荧光标识探针的制造工序、向在基板上划分成区的点状的位置上喷出样品或抗体、DNA等以形成生物芯片的制造工序中也可以利用。

倘采用本发明，由于在可以使多个液状物从与每者对应的喷嘴列中依次喷出的同时，还可以使该多个液状物的喷出开始部分和喷出结束部分或任何一方的位置不同，故可以以良好的效率提供在平面方向上可以得到均一的电光特性等的滤色片、使用滤色片的液晶显示装置、荧光媒体的厚度均一的电致发光装置、和发光媒体的厚度均一的等离子体显示面板等。

因此，用本发明得到的液晶显示装置等，可以满意地在个人计算机、移动电话，PHS(个人手机系统)、电子记事本、寻呼机、POS终端、IC卡、微型唱机、液晶投影仪、工程工作站、文字处理机、电视、取景器型或监视器直视型的录象机、电子台式计算机、导航装置、触摸面板装置、钟表、游戏机等的电光装置中使用。

Claims (4)

1.一种液状物的喷出方法，其特征在于：具备：

边在规定方向上扫描多个喷嘴列或基板，边从上述多个喷嘴列，对上述基板，依次喷出各个对应的液状物的扫描工序，

上述多个喷嘴列在上述规定方向及与上述规定方向垂直的方向上隔开间隔地配置，

在上述扫描工序中，

在上述规定方向上配置的各个上述喷嘴列通过上述基板的区域，彼此一部分重叠。

2.一种液状物的喷出方法，其特征在于：具备：

边在规定方向上扫描多个喷嘴列或基板，边从上述多个喷嘴列，对上述基板，依次喷出各个对应的彼此不同的液状物的扫描工序，

在上述扫描工序中，

各个上述喷嘴列通过上述基板的区域，重叠到该其它的上述喷嘴列通过上述基板的区域的一部分上，

各个上述喷嘴列中的第1端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，与该其它的上述喷嘴列中的第1端部的位置实质上是相同的，

各个上述喷嘴列中的第2端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，与该其它的上述喷嘴列中的第2端部的位置不同。

3.一种液状物的喷出方法，其特征在于：具备：

边在规定方向上扫描第1、第2和第3喷嘴列或基板，边从上述第1、第2和第3喷嘴列，分别对上述基板，依次喷出第1液状物、第2液状物和第3液状物的扫描工序，

上述第1、第2和第3喷嘴列，分别具有喷嘴不连续的部位，并且，各个喷嘴列在前述规定方向上隔开间隔地配置，

在上述扫描工序中，

上述第1、第2和第3喷嘴列通过上述基板的区域，彼此一部分重叠。

4.一种液状物的喷出方法，其特征在于：具备：

边在规定方向上扫描第1、第2和第3喷嘴列或基板，边从上述第1、第2和第3喷嘴列，对上述基板，分别依次喷出第1液状物、第2液状物和第3液状物的扫描工序，

在上述扫描工序中，

上述第1、第2和第3喷嘴列通过上述基板的区域，彼此一部分重叠，

上述第1、第2和第3喷嘴列中的第1端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，实质上是相同的，

上述第1、第2和第3喷嘴列中的第2端部的位置，在与上述规定方向垂直的方向上，彼此不同。

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