CN100383488C - 一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 - Google Patents
一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100383488C CN100383488C CNB2006100649402A CN200610064940A CN100383488C CN 100383488 C CN100383488 C CN 100383488C CN B2006100649402 A CNB2006100649402 A CN B2006100649402A CN 200610064940 A CN200610064940 A CN 200610064940A CN 100383488 C CN100383488 C CN 100383488C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stator
- probe
- dentation
- coil
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 161
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 claims description 12
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 230000009365 direct transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
本发明涉及一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器,属于传感器技术和间隙或位移测量技术领域。首先在被测转动轴上设置定子和转子,以构成位移测量传感器。定子为内环带有齿状探头的圆环铁芯,探头上绕有线圈,每组探头中的线圈按自感式绕制,根据气隙磁导率、线圈总匝数、探头磁极宽度等参数,即可计算转动轴的轴向位移X方向及Y方向的径向位移。本发明的方法及传感器,有效地简化了位移传感器的安装,减少测量空间,并能抵消温度变化、电磁辐射、地线传导等外部因素对测量的共模干扰,提高了测量的精度和抗干扰能力。本发明提出的传感器适用于一些恶劣的工作环境,例如磁悬浮轴承中。
Description
技术领域
本发明涉及一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器,属于传感器技术和间隙或位移测量技术领域。
背景技术
在一些对高速旋转轴的振动进行测量的场合,常常要求进行非接触测量,以避免传感器探头损害被测体表面。目前,转动轴非接触测量通常采用电涡流位移传感器或电容位移传感器。图6是已有技术中,用电涡流传感器测量转动轴轴向和径向位移的结构示意图。传感器探头15安装在转动轴1的轴端,用于测量转动轴轴向位移。传感器探头14、16对称安装在转动轴1的径向表面附近,用于测量转动轴的一个径向方向的位移。如果要测另外一个径向方向的位移,还需要安装两个与探头2、4成90度夹角的传感器探头。显然采用这种方式的传感器结构将增加轴向长度,安装结构非常复杂。而且轴向测量的传感器探头还可能由于转动轴的径向位置变化或热胀冷缩影响,使测量结果不仅反映了轴向位移的变化,还受径向位移变化等因素的影响,同样,径向测量的传感器探头也会受安装位置偏差的影响。这些因素都增大了位移测量误差,甚至有可能危及机组的安全运行。常规的电涡流位移传感器和电容传感器的另一个缺点是,容易受电磁干扰,在恶劣环境中抗干扰能力较差。随着磁悬浮轴承的愈来愈广泛的应用,迫切需要新的轴向位移测量方法。
发明内容
本发明的目的是提出一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器,改变已有测量装置的结构,使结构简单可靠,并提高抗干扰能力,在恶劣环境中能长期可靠地工作。
本发明提出的同步测量转动轴径向和轴向位移的方法,首先在被测转动轴的衬套上设置非导磁压环,非导磁压环中镶嵌转子,在被测转动轴的衬套外套装一个定子外壳,在定子外壳内并行设置第一定子、第二定子和第三定子,三个定子之间设有垫片,第二定子与所述的转子的中心位置相对,定子与转子构成位移测量传感器。第一定子和第三定子分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2个探头,每组探头中的线圈按自感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接;第二定子为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有4个齿状探头,4个齿状探头中的线圈按自感式或互感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接。第二定子的齿状探头与第一、第三定子的齿状探头沿圆周相差45°。则转动轴的轴向位移为: 转动轴X方向的径向位移为: Y方向的径向位移为: 其中ΔLz为第一定子和第三定子的线圈差动连接后电感的总变化量(Lz1+Lz2+Lz3+Lz4)-(Lz1′+Lz2′+Lz3′+Lz4′),ΔLx为第二定子在X方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Lx+-Lx-),ΔLy为第二定子在Y方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Ly+-Ly-),Δx为转动轴移动时X方向的径向位移,Δy为转动轴移动时Y方向的径向位移,Δz为转动轴移动时的轴向位移,μ0为第一、第二、第三定子齿状探头与转子之间的气隙磁导率,N1为第一、第三定子每组探头的线圈总匝数,N2为第二定子每组探头的线圈总匝数,b为第一、第二、第三定子齿状探头的齿宽,即探头磁极宽度,c为第一、第二、第三定子的厚度,a0为初始位置时转动轴与传感器定子的径向间隙。
上述方法中的非导磁压环由铝或铜制成。第一定子、第二定子和第三定子的圆环铁芯由硅钢或坡莫合金制成。
本发明提出的同步测量转动轴径向和轴向位移的传感器,包括非导磁压环、转子、第一定子、第二定子和第三定子。非导磁压环安置在被测转动轴的衬套上,所述的转子镶嵌在非导磁压环中。第一定子、第二定子和第三定子依次并行安置在传感器定子外壳内,由定位螺钉固定,定子之间设有垫片,第二定子与所述的转子的中心相对。第一定子和第三定子分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个探头,每组探头中的线圈按自感式或互感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接;第二定子为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个齿状探头,齿状探头中的线圈按自感式或互感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接;所述的第二定子的齿状探头与第一、第三定子的齿状探头沿圆周相差45°。
上述传感器中,第一定子和第三定子每组探头中有2个探头,第二定子每组探头中有4个探头。
本发明提出的一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器,通过径向布置的电感线圈对两个径向和一个轴向位移信号进行同步测量和处理,能有效地简化位移传感器的安装,减少测量空间,而且该传感器线圈按差动方式连接,可以有效地抵消温度变化、电磁辐射、地线传导等外部因素对测量的共模干扰,大大提高了测量的精度和抗干扰能力,可以实现100米以上的长距离传输,而电涡流传感器的信号直接传输距离一般不超过10余米。因此,本发明提出的传感器适用于一些恶劣的工作环境,例如磁悬浮轴承中。
附图说明
图1是本发明传感器的结构示意图。
图2是本发明的传感器中第一和第三定子的结构示意图。
图3是本发明的传感器中第二定子的结构示意图。
图4是图1的A-A剖视图,以显示第一定子、第二定子和第三定子的装配关系。
图5是本发明方法的测量原理图,其中(a)是初始位置,(b)是转动轴移动后位置。
图6是已有的电涡流传感器测量转动轴轴向和径向位移的结构示意图。
图1~图6中,1转轴是衬套,2是定位螺钉,3是传感器定子外壳,4是第一定子,5是垫片,6是第二定子,7是垫片,8是第三定子,9是非导磁压环,10是转子,11是转轴,12是定子铁芯,由硅钢或坡莫合金等导磁材料制成,13是在定子内环齿状探头上绕制的线圈,14、15、16分别是已有测量装置中的电涡流传感器探头。b为第一、第二、第三定子铁芯内环上的齿状探头的齿宽,即探头的磁极宽度,c为第一、第二、第三定子铁芯内环上的齿状探头的齿厚,a0为转动轴在初始位置时与传感器定子的径向间隙,z0为初始位置时转动轴上的两个交界面至第一和第三定子内侧端面的距离,Δx为转轴移动时X方向的径向间隙变化,Δy为转轴移动时Y方向的径向间隙变化,Δz为Z方向移动的位移。
具体实施方式
本发明提出的同步测量转动轴径向和轴向位移的方法,首先在被测转动轴上设置非导磁压环,非导磁压环中镶嵌转子,在被测转动轴的衬套外套装一个定子外壳,在定子外壳内并行设置第一定子、第二定子和第三定子,三个定子之间设有垫片,第二定子与所述的转子的中心位置相对,定子与转子构成位移测量传感器。第一定子和第三定子分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2个探头,每组探头中的线圈按自感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接;第二定子为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有4个齿状探头,4个齿状探头中的线圈按自感式或互感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接。第二定子的齿状探头与第一、第三定子的齿状探头沿圆周相差45°。则转动轴的轴向位移为: 转动轴X方向的径向位移为: Y方向的径向位移为: 其中ΔLz为第一定子和第三定子的线圈差动连接后电感的总变化量(Lz1+Lz2+Lz3+Lz4)-(Lz1′+Lz2′+Lz3′+Lz4′),ΔLx为第二定子在X方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Lx+-Lx-),ΔLy为第二定子在Y方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Ly+-Ly-),Δx为转动轴移动时X方向的径向位移,Δy为转动轴移动时Y方向的径向位移,Δz为转动轴移动时的轴向位移,μ0为第一、第二、第三定子齿状探头与转子之间的气隙磁导率,N1为第一、第三定子每组探头的线圈总匝数,Nz为第二定子每组探头的线圈总匝数,b为第一、第二、第三定子齿状探头的齿宽,即探头磁极宽度,c为第一、第二、第三定子的厚度,a0为初始位置时转动轴与传感器定子的径向间隙。
上述方法中的非导磁压环由铝或铜制成。第一定子、第二定子和第三定子的圆环铁芯由硅钢或坡莫合金制成。
本发明提出的同步测量转动轴径向和轴向位移的传感器,其结构如图1所示,包括非导磁压环9、转子10、第一定子4、第二定子6和第三定子8。非导磁压环9安置在被测转动轴的衬套1上,所述的转子10镶嵌在非导磁压环9中。第一定子4、第二定子6和第三定子8依次并行安置在传感器定子外壳3内,由定位螺钉2固定,定子之间设有垫片5和7,第二定子6与所述的转子10的中心相对。第一定子4和第三定子6的结构如图2所示,分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯12,齿状探头上绕有线圈13,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个探头,每组探头中的线圈按自感式或互感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接。第二定子6的结构如图3所示,为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个齿状探头,齿状探头中的线圈按自感式或互感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接。第二定子的齿状探头与第一、第三定子的齿状探头沿圆周相差45°,如图4所示。
本发明的一个实施例中,第一定子和第三定子每组探头中有2个探头,如图2所示,第二定子每组探头中有4个探头,如图3所示。
上述传感器中,构成第一定子、第二定子和第三定子的圆环铁芯12,可以用导磁率较高的硅钢或坡莫合金等导磁材料制成。每组探头中的线圈13按自感式绕制。第一和第三定子上的4组探头线圈分别依次串联,两个定子之间将线圈按差动方式连接。第二定子上的4组探头线圈中,相对的两组探头之间的线圈分别按差动方式连接。
图5是本发明方法的测量原理图,图中只标明了径向的X方向和轴向的Z方向,而径向的Y方向与X、Z方向夹角各为90度,未能在图5中标出。以下结合附图5介绍本发明方法的测量原理:
图5中Lz1为第一定子4的+X方向探头的电感值,Lz3为第一定子4的-X方向探头的电感值,Lz1’为第三定子8的+X方向探头的电感值,Lz3’为第三定子8的-X方向探头的电感值,Lx-为第二定子6的-X方向探头的电感值,Lx+为第二定子6的+X方向探头的电感值。a0为转动轴在初始位置时与传感器定子的径向间隙,z0为初始位置时转动轴上的两个交界面至第一、第三传感器定子(4,8)内侧端面的距离。Δx为转轴移动时X方向向上的径向间隙变化,即X径向位移,Δy为转轴移动时Y方向向上的径向间隙变化,即Y径向位移,Δz为Z方向向左移动的距离,即Z方向的位移。
当转动轴1位于图5所示的初始位置时,即传感器转子10的两个交界面分别位于两个定子铁芯端面的中心。没有径向移动时,由于第一和第三两个定子分别由周向90度均匀分布的4组依次串联的电感组成,当转轴产生径向间隙变化而无轴向移动时,总电感值保持不变,因而两个传感器定子线圈差动后输出为0。同时,第二定子上的4组探头线圈中,相对的两组探头之间的线圈分别按差动方式连接,因而输出也为0。
当转动轴的径向和轴向位置发生变化时,转动轴上的两个交界面与三个传感器定子的相对位置发生变化,使得三个传感器定子4、6和8的电感值均发生变化。
根据电感原理,在X方向,若径向间隙变化为Δx,转轴向左移动距离为Δz,则有:
第一定子在+X方向探头的电感值:
第一定子在-X方向探头的电感值:
第二定子在+X方向探头的电感值:
第二定子在-X方向探头的电感值:
当径向间隙变化范围Δx较小时,可得:
同理,在与X成90度的Y方向,当径向间隙变化范围Δy较小时,数学推导可得:
因此,第一定子和第二定子线圈差动连接后电感值的总变化量:
式中ΔL为第一定子和第三定子线圈差动连接后电感值的总变化量,Δz为转动轴移动时Z方向向左移动的距离,μ0为气隙磁导率,N1为第一定子和第三定子每组探头的线圈总匝数,b为传感器定子内环带有齿状探头齿宽,即探头的磁极宽度,a0为转动轴在初始位置时与传感器定子的径向间隙。
同理,第二定子在+X方向探头的电感值:
第二定子在-X方向探头的电感值:
第二定子在+Y方向探头的电感值:
第二定子在-Y方向探头的电感值:
当径向间隙变化范围Δx和Δy较小时,可得:
式中ΔLx为第二定子的在X方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Lx+-Lx-),ΔLy为第二定子的在Y方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量(Ly+-Ly-),Δx为转动轴移动时X方向的径向位移,Δy为转动轴移动时Y方向的径向位移,μ0为定子的齿形探头与转子之间的气隙磁导率,N2为第二定子每组探头的线圈总匝数,b为定子内环齿状探头的齿宽,即探头磁极宽度,c为定子的厚度,a0为转动轴在初始位置时与传感器定子的径向间隙。
上式清楚地表明,径向位移Δx与第二定子上X方向相对的两组探头线圈差动后的电感输出成线形关系,与Δy,Δz无关。径向位移Δy与第二定子上Y方向相对的两组探头线圈差动后的电感输出成线形关系,与Δx,Δz无关。轴向位移Δz与第一、第三定子4和8上线圈差动后的电感输出成线性关系,与径向位移Δx,Δy无关,从而实现了径轴向位移的同步测量。
Claims (5)
1.一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法,其特征在于该方法在被测转动轴上设置非导磁压环,非导磁压环中镶嵌转子,在被测转动轴的衬套外套装一个定子外壳,在定子外壳内并行设置第一定子、第二定子和第三定子,三个定子之间设有垫片,第二定子与所述的转子的中心位置相对,定子与转子构成位移测量传感器;所述的第一定子和第三定子分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2个探头,每组探头中的线圈按自感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接;第二定子为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有4个齿状探头,4个齿状探头中的线圈按自感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接;所述的第二定子的齿状探头组的中心与第一、第三定子的齿状探头组的中心沿圆周相差45°,则转动轴的轴向位移为: 转动轴X方向的径向位移为: Y方向的径向位移为: 其中ΔLz为第一定子和第三定子的线圈差动连接后电感的总变化量,ΔLx为第二定子在·X方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量,ΔLy为第二定子在Y方向相对的两组探头线圈差动连接后电感的变化量,Δx为转动轴移动时X方向的径向位移,Δy为转动轴移动时Y方向的径向位移,Δz为转动轴移动时的轴向位移,μ0为第一、第二、第三定子齿状探头与转子之间的气隙磁导率,N1为第一、第三定子每组探头的线圈总匝数,N2为第二定子每组探头的线圈总匝数,b为第一、第二、第三定子齿状探头的齿宽,即探头磁极宽度,c为第一、第二、第三定子的厚度,a0为初始位置时转动轴与传感器定子的径向间隙。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于其中所述的非导磁压环由铝或铜制成。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于其中所述的第一定子、第二定子和第三定子的圆环铁芯由硅钢或坡莫合金制成。
4.一种同步测量转动轴径向和轴向位移的传感器,其特征在于该传感器包括非导磁压环、转子、第一定子、第二定子和第三定子;所述的非导磁压环安置在被测转动轴的衬套上,所述的转子镶嵌在非导磁压环中;所述的第一定子、第二定子和第三定子依次并行安置在传感器定子外壳内,由定位螺钉固定,定子之间设有垫片,第二定子与所述的转子的中心相对;所述的第一定子和第三定子分别为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组齿状探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个探头,每组探头中的线圈按自感式或互感式绕制,4组探头线圈依次串联,第一和第三定子之间的线圈按差动方式连接;第二定子为一内环带有齿状探头的圆环铁芯,齿状探头上绕有线圈,齿状探头有4组,4组探头沿圆环铁芯的内环圆周均布,每组探头中有2~10个齿状探头,齿状探头中的线圈按自感式或互感式绕制,位置以轴心相对的两组探头之间的线圈按差动方式连接;所述的第二定子的齿状探头组的中心与第一、第三定子的齿状探头组的中心沿圆周相差45°。
5.如权利要求4所述的传感器,其特征在于其中所述的第一定子和第三定子每组探头中有2个探头,第二定子每组探头中有4个探头。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2006100649402A CN100383488C (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2006100649402A CN100383488C (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1818539A CN1818539A (zh) | 2006-08-16 |
CN100383488C true CN100383488C (zh) | 2008-04-23 |
Family
ID=36918655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2006100649402A Expired - Fee Related CN100383488C (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100383488C (zh) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102478459B (zh) * | 2010-11-25 | 2016-03-30 | 上海东昊测试技术有限公司 | 发电机轴承故障监测方法及装置 |
CN102620641B (zh) * | 2012-03-30 | 2015-09-30 | 刘延风 | 一种轴向位移传感器 |
CN102997836B (zh) * | 2012-12-17 | 2015-06-17 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 基于电磁检测原理的提高间隙测量范围与线性度的装置 |
CN104457555A (zh) * | 2013-09-12 | 2015-03-25 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 磁悬浮系统中轴悬浮中心检测方法和装置 |
CN104931880B (zh) * | 2015-06-02 | 2018-04-10 | 苏州工业园区聚博精密设备有限公司 | 电机转子智能偏摆测试系统 |
FI20165494A (fi) * | 2016-06-14 | 2017-12-15 | Lappeenrannan Teknillinen Yliopisto | Asentotunnistin |
CN106321496A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-01-11 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 高速磁悬浮转子轴向检测装置及离心压缩机 |
CN106482691B (zh) * | 2016-11-23 | 2018-09-14 | 华南理工大学 | 一种实时测量转轴空间位姿的装置与方法 |
CN106500749A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-03-15 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机测量转子的轴向传感器支架结构 |
CN107238345B (zh) * | 2017-06-15 | 2019-03-05 | 大连理工大学 | 气浮转子陀螺仪动压马达间隙自动测量装置及方法 |
CN109505875A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-22 | 南京磁谷科技有限公司 | 用于磁悬浮轴承的径向与轴向的组合传感器 |
CN109458919A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-12 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮轴承的径向与轴向的组合传感器结构 |
CN109827500A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-05-31 | 武汉理工大学 | 一种电磁处理轴承轴周面变形量检测装置及其检测方法 |
CN110361194A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-10-22 | 东北大学秦皇岛分校 | 一种基于电感测量的径向滑动轴承磨损量的在线检测装置 |
CN111623700B (zh) * | 2020-07-31 | 2021-01-05 | 山东天瑞重工有限公司 | 一种磁悬浮轴承电感式位移传感器 |
CN114427824B (zh) * | 2021-12-16 | 2023-07-25 | 洛阳轴承研究所有限公司 | 一种磁轴承转子轴向位移测量方法 |
CN114593665B (zh) * | 2022-02-22 | 2023-06-16 | 应急管理部国家自然灾害防治研究院 | 一种垂向钻孔应变仪室内整机标定装置 |
CN116576764B (zh) * | 2023-07-06 | 2023-09-29 | 瑞纳智能设备股份有限公司 | 转轴的轴向位移检测装置、方法及磁轴承系统 |
CN116952182B (zh) * | 2023-09-19 | 2023-12-29 | 北京理工大学 | 一种用于固体火箭发动机的内径测量装置及测量方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5696444A (en) * | 1994-03-04 | 1997-12-09 | Crane Co. | Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position |
DE10014979A1 (de) * | 2000-03-25 | 2001-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln der Position eines Objektes |
JP2001147101A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Ebara Corp | 誘導型スラスト変位センサ |
CN1173152C (zh) * | 2000-01-20 | 2004-10-27 | 高速科技有限公司 | 用于确定电机转子位置的方法以及位置传感器 |
-
2006
- 2006-03-17 CN CNB2006100649402A patent/CN100383488C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5696444A (en) * | 1994-03-04 | 1997-12-09 | Crane Co. | Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position |
JP2001147101A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-29 | Ebara Corp | 誘導型スラスト変位センサ |
CN1173152C (zh) * | 2000-01-20 | 2004-10-27 | 高速科技有限公司 | 用于确定电机转子位置的方法以及位置传感器 |
DE10014979A1 (de) * | 2000-03-25 | 2001-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln der Position eines Objektes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1818539A (zh) | 2006-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100383488C (zh) | 一种同步测量转动轴径向和轴向位移的方法及其传感器 | |
CN1818540A (zh) | 一种从径向测量转动轴轴向位移的方法及其传感器 | |
US4803885A (en) | Torque measuring apparatus | |
KR102444618B1 (ko) | 각이동센서를 포함한 베어링 | |
CN104298170B (zh) | 旁置式精密角位移自行检测系统 | |
US9587963B2 (en) | Brushless linear rotary transformer | |
CN100554887C (zh) | 径向磁轴承集成式差动电感传感装置 | |
CN105698671B (zh) | 一种新型角位移传感器 | |
CN104198098A (zh) | 基于光电码盘信号相位差的转矩测量传感器及测量方法 | |
CN102723185B (zh) | 一种双通道轴向磁路磁阻式旋转变压器 | |
CN109737144A (zh) | 一种内嵌轮速传感器的滚动轴承结构 | |
CN103439034B (zh) | 一种多功能测力传感器 | |
CN102607396A (zh) | 一种径向位移传感器 | |
CN1030642A (zh) | 磁弹性扭矩传感器 | |
CN202816634U (zh) | 一种无刷线性旋转变压器 | |
CN103968984B (zh) | 自补偿无刷差动式转矩传感器 | |
GB2167565A (en) | Electrical torquemeters | |
US6518752B1 (en) | Resolver for measuring and determining angular positions or revolutions of a shaft | |
US7024946B2 (en) | Assembly for measuring movement of and a torque applied to a shaft | |
CN203560305U (zh) | 带有转矩测量的磁流体密封轴 | |
CN101907501B (zh) | 非接触相位差式扭矩传感器 | |
CN203837853U (zh) | 自补偿无刷差动式转矩传感器 | |
CN102620641A (zh) | 一种轴向位移传感器 | |
CN113358009B (zh) | 混合位置传感器 | |
CN110906958B (zh) | 一种多励磁角度的测量方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20080423 Termination date: 20100317 |