CN100368651C - 一种无尘洁净室防静电壁板 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种无尘洁净室防静电壁板，包括两彩钢板层，彩钢板内夹填充物质，彩钢板外表面涂有防静电涂层，在防静电涂层外设置有可拆卸的、经表面阳极处理的金属板层，该金属板层由多块经表面阳极处理的金属板拼接而成，金属板之间及金属板与彩钢板之间的接缝通过密封硅胶密封。由于在防静电涂层外加上金属板，保护其下的防静电涂层，而且经过表面阳极处理的金属板可以继续保持防尘防静电的特性，可广泛应用于无尘洁净室中。

Description

一种无尘洁净室防静电壁板
技术领域
本发明涉及半导体工厂无尘洁净室的壁板，尤其是涉及一种半导体工厂无尘洁净室的防静电壁板。
背景技术
无尘洁净室壁板，又称“库板”，结构为两层彩钢板内夹蜂巢状碳酸钙化的纸或岩面板、石膏板，彩钢板外表面为防静电涂层。
无尘洁净室长期运行使用中，所使用的壁板表面会因各种原因随机出现刮痕，即表面防静电涂层被破坏。刮痕一旦产生，此部位便不再具有防静电特性，通过与无尘洁净室内层流空气的不断摩擦，会产生静电并积聚，从而吸附空气中的各种尘埃颗粒，影响无尘洁净室的自净能力。
无尘洁净室运行中，因生产流程安排、产品搬送路径等因素，有些壁板的某些特定部位会特别频繁地受到碰撞，造成明显的壁板涂层划伤，以及壁板表面内陷。如果不及时处理，内陷继续加剧，直至最终彩钢板损坏，壁板内部的蜂巢纸或岩面板直接暴露在空气中，这对无尘洁净室环境将造成极大的破坏。另外，对于正在进行生产运行的无尘洁净室，也无法象传统手段一样使用会挥发出有机溶剂气味的油漆进行修补。
发明内容
本发明的目的在于提供一种无尘洁净室防静电壁板，其能够防止壁板上静电涂层被破坏，且能够保持防尘防静电特性。
本发明的目的是这样实现的：无尘洁净室防静电壁板，包括两彩钢板层，彩钢板内夹填充物质，彩钢板外表面涂有防静电涂层，其还包括在防静电涂层外设置有可拆卸的、经表面阳极处理的金属板层，所述金属板层由多块经表面阳极处理的金属板拼接而成，所述金属板之间及金属板与彩钢板之间的接缝通过密封硅胶密封。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：由于在防静电涂层外增加一可拆卸的保护其的金属板层，且该金属板层由多块金属板拼接而成，故在易被磨损的部位处可随时根据使用情况替换金属板，可以达到延长防静电壁板使用时间的目的，而且经过表面阳极处理的金属板可以继续保持防尘防静电的特性。
附图说明
附图为本发明一种无尘洁净室防静电壁板的结构示意图
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
请参阅附图所示，本发明无尘洁净室防静电壁板包括两层彩钢板1，在两层彩钢板1之间具有蜂巢状碳酸钙化的纸或岩面板、石膏板层2，彩钢板外表面为防静电涂层3，用以防止静电的干扰。无尘洁净室在长期运作过程中，所以使用的壁板表面会因各种原因随机出现刮痕4，使表面防静电涂层3受到破坏，影响壁板的防静电性能。且，因为生产流程安排、产品搬运路径等因素，有些壁板的某些特定部位会特别频繁地受到碰撞，造成明显的壁板防静电涂层3划伤，以及壁板表面内陷，形成凹陷5。为了防止上述情况影响无尘洁净室的工作，因此在壁板上容易受到擦碰的部位覆盖经过表面阳极处理后的铝板6，用以保护内部的防静电涂层3不受破坏。铝板6的具体尺寸视壁板表面损坏的实际情况和美观要求而定，一般宽度为100～120mm左右，长度为6000mm以内，厚度为3mm左右，对壁板表面损坏处进行覆盖安装，铝板6之间的接缝使用无尘洁净室专用密封硅胶7封边。另外，为了防止铝板6在边缘处部分不牢固，所以在铝板6和壁板的接缝处使用无尘洁净室专用密封硅胶7形成三角形收边。铝板6与彩钢板1之间使用粘接或自攻螺丝等各种方法，将铝板6固定于壁板上。铝板6具有可拆卸、易再次安装的特性，当长时间运行后，可使用同型号铝板6方便快捷地替换被再次损坏的铝板6。
综上所述，本发明完成了发明人的发明目的，由于在防静电涂层为增加一经表面阳极处理的铝板，可以保护其下的防静电涂层，而且经过表面阳极处理的铝板可以继续保持防尘防静电的特性。

Claims (6)

1.一种无尘洁净室防静电壁板，包括两彩钢板层，彩钢板内夹填充物质，彩钢板外表面涂有防静电涂层，其特征在于：还包括在防静电涂层外设置有可拆卸的、经表面阳极处理的金属板层，所述金属板层由多块经表面阳极处理的金属板拼接而成，所述金属板之间及金属板与彩钢板之间的接缝通过密封硅胶密封。
2.如权利要求1所述的无尘洁净室防静电壁板，其特征在于：所述金属板为铝板。
3.如权利要求1或2所述的无尘洁净室防静电壁板，其特征在于：所述金属板与彩钢板之间通过粘接连接。
4.如权利要求1或2所述的无尘洁净室防静电壁板，其特征在于：所述金属板与彩钢板之间通过自攻螺丝连接。
5.如权利要求1或2所述的无尘洁净室防静电壁板，其特征在于：所述金属板的厚度为3mm。
6.如权利要求1所述的无尘洁净室防静电壁板，其特征在于：所述彩钢板内填充物质为蜂巢状碳酸钙化的纸、石膏板。
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