CH718789A2 - Electroerosion process of an amorphous metal alloy sample. - Google Patents

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CH718789A2
CH718789A2 CH00790/22A CH7902022A CH718789A2 CH 718789 A2 CH718789 A2 CH 718789A2 CH 00790/22 A CH00790/22 A CH 00790/22A CH 7902022 A CH7902022 A CH 7902022A CH 718789 A2 CH718789 A2 CH 718789A2
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machining
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Cerutti Xavier
Gravier Sébastien
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Vulkam
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Abstract

L'invention concerne procédé d'usinage d'un échantillon (1) en alliage métallique amorphe, comprenant au moins une étape d'électroérosion de l'échantillon (1) avec une électrode produisant des décharges électriques le long d'une trajectoire de référence pour enlever de la matière de l'échantillon (1), de manière débouchante ou non, le long de la trajectoire de référence de façon à obtenir un échantillon (1) usiné et maintenu à l'état amorphe, dans lequel : l'alliage métallique amorphe possède : – un diamètre critique (Dc) inférieur à 8 millimètres, de préférence inférieur à 6 millimètres, et encore plus préférentiellement inférieur à 4mm, et/ou – une différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieure à 80°C, de préférence inférieure à 70°C, et encore plus préférentiellement inférieure à 60°C, et/ou – un quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) de la différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) et de la différence entre la température de liquidus (Tl) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieur à 0,16, de préférence inférieur à 0,14 et encore plus préférentiellement inférieur à 0,12.The invention relates to a method for machining a sample (1) of amorphous metal alloy, comprising at least one step of spark erosion of the sample (1) with an electrode producing electric discharges along a reference trajectory for removing material from the sample (1), open-ended or not, along the reference path so as to obtain a sample (1) machined and maintained in an amorphous state, in which: the alloy amorphous metal has: – a critical diameter (Dc) less than 8 millimeters, preferably less than 6 millimeters, and even more preferably less than 4 mm, and/or – a difference (ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the glass transition temperature (Tg) less than 80°C, preferably less than 70°C, and even more preferably less than 60°C, and/or – a quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) of the difference ( ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the temperature of trans vitreous ition (Tg) and the difference between the liquidus temperature (Tl) and the glass transition temperature (Tg) less than 0.16, preferably less than 0.14 and even more preferably less than 0.12.

Description

Domaine techniqueTechnical area

[0001] La présente invention se rapporte au domaine des méthodes d'usinage de microcomposants métalliques, en particulier de pièces en alliage métallique amorphe (AMA). En effet, les alliages amorphes présentent des caractéristiques mécaniques particulièrement intéressantes pour les domaines techniques impliquant des pièces de très petite taille. The present invention relates to the field of metal microcomponent machining methods, in particular amorphous metal alloy parts (AMA). Indeed, amorphous alloys have particularly interesting mechanical characteristics for technical fields involving very small parts.

TechniqueantérieurePrior technique

[0002] Il est connu d'obtenir des préformes de métal amorphe par injection dans des moules de forme spécifique. En refroidissant suffisamment vite le métal injecté, la cristallisation de l'alliage peut être évitée et une structure de type amorphe peut être obtenue. Ce type de structure d'alliage amorphe est également appelé verre métallique. [0002] It is known to obtain amorphous metal preforms by injection into molds of specific shape. By cooling the injected metal sufficiently quickly, the crystallization of the alloy can be avoided and an amorphous type structure can be obtained. This type of amorphous alloy structure is also called metallic glass.

[0003] Afin d'obtenir une pièce mécanique prête à être intégrée par exemple dans un mécanisme d'horlogerie, il est parfois nécessaire d'usiner la préforme moulée. [0003] In order to obtain a mechanical part ready to be integrated, for example, into a clockwork mechanism, it is sometimes necessary to machine the molded preform.

[0004] Dans le domaine général des alliages, en particulier des alliages cristallins, de nombreuses techniques d'usinage et/ou de mise en forme ont été développées (étampage, micro-fraisage, etc). Cependant, ces techniques ne peuvent pas être transposées aisément aux AMAs qui présentent des compositions chimiques particulières et des propriétés mécaniques généralement beaucoup plus élevées que les alliages cristallins. L'usinage est par conséquent plus complexe à maitriser (obtention des précisions et états de surface souhaités, perpendicularité des flancs, durée de vie des outils, vitesse de production compatible avec les contraintes industrielles, etc). [0004] In the general field of alloys, in particular crystalline alloys, numerous machining and/or shaping techniques have been developed (stamping, micro-milling, etc.). However, these techniques cannot be easily transposed to AMAs which have particular chemical compositions and generally much higher mechanical properties than crystalline alloys. Machining is therefore more complex to master (obtaining the desired precision and surface conditions, perpendicularity of the sides, tool life, production speed compatible with industrial constraints, etc.).

[0005] D'autre part, nombre de ces techniques provoque des échauffements thermiques au niveau des zones usinées impliquant alors une recristallisation locale de l'alliage et la perte de la structure amorphe de l'AMA au niveau des zones usinées. Ceci est d'autant plus vrai pour des AMAs de faible stabilité thermique. En effet, parmi les AMAs, certains présentent une plus faible stabilité thermique que les autres. Cette faible stabilité thermique traduit la facilité/rapidité avec laquelle la structure de l'alliage peut être affectée par une variation de température (augmentation de température au-delà de la température de transition vitreuse Tg, refroidissement trop lente, ...). Les AMAs de plus faible stabilité thermique présentent donc une capacité à évoluer vers un état cristallin plus rapide au-dessus de la température de transition vitreuse Tg. [0005] On the other hand, many of these techniques cause thermal heating at the level of the machined zones, thus involving a local recrystallization of the alloy and the loss of the amorphous structure of the AMA at the level of the machined zones. This is all the more true for AMAs of low thermal stability. Indeed, among the AMAs, some have a lower thermal stability than the others. This low thermal stability translates the ease/speed with which the structure of the alloy can be affected by a variation in temperature (increase in temperature beyond the glass transition temperature Tg, too slow cooling, etc.). AMAs with lower thermal stability therefore have an ability to evolve to a faster crystalline state above the glass transition temperature Tg.

[0006] Les procédés d'électroérosion sont adaptés à la fabrication de composants, notamment de microcomposants en alliages métalliques cristallins. L'électroérosion permet de s'affranchir des caractéristiques mécaniques des matériaux, l'usinage de matériaux durs est en effet possible, et permet d'atteindre des précisons d'usinage de l'ordre de quelques micromètres. Néanmoins son caractère thermique, les températures élevées mises en jeu et les longs temps d'usinage font a priori de l'électroérosion un mauvais candidat pour l'usinage des alliages métalliques amorphes. Comme indiqué précédemment, ces derniers et plus particulièrement encore ceux à faible stabilité thermique, sont en effet bien plus sensibles à la température que les alliages cristallins. [0006] Electroerosion processes are suitable for the manufacture of components, in particular microcomponents in crystalline metal alloys. Electroerosion makes it possible to overcome the mechanical characteristics of materials, the machining of hard materials is indeed possible, and makes it possible to achieve machining precision of the order of a few micrometers. However, its thermal nature, the high temperatures involved and the long machining times make electroerosion a priori a poor candidate for the machining of amorphous metal alloys. As indicated above, the latter and more particularly those with low thermal stability, are in fact much more sensitive to temperature than crystalline alloys.

[0007] Ainsi, la difficulté est de mener à bien ces opérations d'usinage des AMAs tout en conservant leur structure amorphe, en garantissant une qualité de l'état de surface de la pièce usinée et en maintenant un temps de cycle élevé adapté à une production industrielle. En effet, une opération d'usinage qui mènerait un échauffement excessif de la matière provoquerait une cristallisation de la zone affectée thermiquement et ferait donc perdre les propriétés avantageuses conférées par la structure amorphe de la matière. [0007] Thus, the difficulty is to carry out these machining operations of the AMAs while preserving their amorphous structure, guaranteeing a quality of the surface state of the machined part and maintaining a high cycle time adapted to industrial production. Indeed, a machining operation which would lead to excessive heating of the material would cause crystallization of the heat-affected zone and would therefore cause the advantageous properties conferred by the amorphous structure of the material to be lost.

[0008] Il existe donc un besoin de disposer d'un procédé d'usinage permettant de conserver une microstructure amorphe tout en autorisant une cadence de fabrication de niveau industriel. Une autre exigence est de pouvoir obtenir un état de surface avec une très faible rugosité et/ou une excellente perpendicularité des flancs dans la zone de découpe, afin d'exploiter pleinement les qualités intrinsèques de l'AMA. [0008] There is therefore a need to have a machining process that makes it possible to retain an amorphous microstructure while allowing an industrial-level manufacturing rate. Another requirement is to be able to obtain a surface condition with very low roughness and/or excellent perpendicularity of the flanks in the cutting zone, in order to fully exploit the intrinsic qualities of the AMA.

RésuméSummary

[0009] A cette fin, l'invention propose un procédé d'usinage d'un échantillon 1 en alliage métallique amorphe, comprenant au moins une étape d'électroérosion de l'échantillon 1 avec une électrode 2 produisant des décharges électriques le long d'une trajectoire de référence TRef pour enlever de la matière de l'échantillon 1, de manière débouchante ou non, le long de la trajectoire de référence TRef de façon à obtenir un échantillon 1 usiné et maintenu à l'état amorphe, dans lequel : l'alliage métallique amorphe possède : – un diamètre critique De inférieur à 8 millimètres, de préférence inférieur à 6 millimètres, et encore plus préférentiellement inférieur à 4mm, et/ou – une différence ΔTx entre la température de cristallisation Tx et la température de transition vitreuse Tg inférieure à 80°C, de préférence inférieure à 70°C, et encore plus préférentiellement inférieure à 60°C, et/ou – un quotient ΔTx/(Tl-Tg) de la différence ΔTx entre la température de cristallisation Tx et la température de transition vitreuse Tg et de la différence entre la température de liquidus Tl et la température de transition vitreuse Tg inférieur à 0,16, de préférence inférieur à 0,14 et encore plus préférentiellement inférieur à 0,12.[0009] To this end, the invention proposes a method for machining a sample 1 of amorphous metal alloy, comprising at least one step of spark erosion of the sample 1 with an electrode 2 producing electric discharges along a reference trajectory TRef to remove material from sample 1, open-ended or not, along the reference trajectory TRef so as to obtain a sample 1 machined and maintained in the amorphous state, in which: the amorphous metal alloy has: – a critical diameter De of less than 8 millimeters, preferably less than 6 millimeters, and even more preferably less than 4 mm, and/or – a difference ΔTx between the crystallization temperature Tx and the transition temperature vitreous Tg less than 80°C, preferably less than 70°C, and even more preferably less than 60°C, and/or – a quotient ΔTx/(Tl-Tg) of the difference ΔTx between the crystallization temperature Tx and the t glass transition temperature Tg and the difference between the liquidus temperature T1 and the glass transition temperature Tg of less than 0.16, preferably less than 0.14 and even more preferably less than 0.12.

[0010] Selon un mode de réalisation, l'électroérosion est une électroérosion par enfonçage, par balayage, à fil ou un perçage rapide avec une électrode pleine ou évidée. [0010]According to one embodiment, the EDM is an EDM by sinking, by sweeping, by wire or by rapid drilling with a solid or recessed electrode.

[0011] L'usinage peut être une découpe, un perçage, une gravure et/ou un surfaçage. [0011] Machining can be cutting, drilling, engraving and/or surfacing.

[0012] Selon un mode de réalisation le procédé d'usinage est tel que : l'usinage est une découpe, plus particulièrement une électroérosion par fil 2a, et l'énergie de décharge est inférieure à 5000µJ/mm d'épaisseur de l'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1.[0012] According to one embodiment, the machining process is such that: the machining is a cutting, more particularly an electroerosion by wire 2a, and the discharge energy is less than 5000 μJ/mm thickness of sample 1, preferably less than 3000 μJ/mm thickness of sample 1, preferably less than 1500 μJ/mm thickness of sample 1 and even more preferably less than 800µJ/mm sample thickness 1.

[0013] Avantageusement, le diamètre du fil 2a est inférieur à 200µm, préférablement inférieur à 100µm et encore plus préférablement inférieur à 75µm. Advantageously, the diameter of wire 2a is less than 200 μm, preferably less than 100 μm and even more preferably less than 75 μm.

[0014] Selon un mode de réalisation, la découpe est réalisée en plusieurs étapes d'électroérosion : au moins une étape d'électroérosion, dite „d'ébauche“, de l'échantillon 1 avec un fil 2a le long d'une trajectoire de référence TRef+n pour enlever de la matière de l'échantillon 1 le long d'une trajectoire de référence TRef+n, mise en oeuvre pour réaliser une ébauche 5 ; 51 selon une trajectoire TRef+n, n étant le nombre total d'étapes d'électroérosion, dites „d'ébauche ; une étape d'électroérosion, dite „de finition“, de l'échantillon 1 avec un fil 2a le long d'une trajectoire de référence TRef pour enlever de la matière de l'échantillon 1 le long de la trajectoire de référence TRef, la ou les trajectoires de référence TRef+n étant translatée d'une distance donnée gn de la trajectoire de référence TRef ; TRef+(n-1) qui lui est directement adjacente et qui est la plus proche de la pièce finale 4, dans la direction opposée à celle de la pièce finale 4 découpée; et les distances données (gn) entre deux trajectoires de référence directement adjacentes (TRef ; TRef+(n-1) ;TRef+n), identiques ou différentes, sont telles que les décharges électriques le long du fil (2a), enlevant de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la trajectoire de référence (TRef+(n-1) ou TRef+n), enlèvent également, au moins partiellement, de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la ou les trajectoires de référence (TRef; TRef+(n-1))) qui lui est ou lui sont directement adjacentes.[0014]According to one embodiment, the cut is made in several stages of electroerosion: at least one electroerosion step, called "roughing", of the sample 1 with a wire 2a along a reference trajectory TRef+n to remove material from the sample 1 along a reference trajectory TRef+n, implemented to produce a blank 5; 51 along a trajectory TRef+n, n being the total number of electroerosion steps, called „roughing; a so-called “finishing” electroerosion step of sample 1 with a wire 2a along a reference trajectory TRef to remove material from sample 1 along the reference trajectory TRef, the reference trajectory or trajectories TRef+n being translated by a given distance gn from the reference trajectory TRef; TRef+(n-1) which is directly adjacent to it and which is closest to the final part 4, in the direction opposite to that of the final part 4 cut; and the given distances (gn) between two directly adjacent reference trajectories (TRef; TRef+(n-1); TRef+n), identical or different, are such that the electric discharges along the wire (2a), removing material of the sample (1) to be machined on the reference trajectory (TRef+(n-1) or TRef+n), also remove, at least partially, material from the sample (1) to be machined on the reference trajectories (TRef; TRef+(n-1))) which is or are directly adjacent to it.

[0015] Avantageusement, l'étape d'électroérosion de finition est réalisée avec une énergie de décharge le long du fil 2a inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1, préférablement inférieure à 400µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 et encore plus préférentiellement inférieure à 200µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1. Advantageously, the finishing spark erosion step is carried out with a discharge energy along the wire 2a of less than 800 μJ/mm of sample thickness 1, preferably less than 400 μJ/mm of sample thickness. 1 and even more preferably less than 200 μJ/mm of thickness of sample 1.

[0016] Selon un autre mode de réalisation, l'électroérosion est une électroérosion par enfonçage ou un perçage rapide, et l'énergie de décharge est inférieure à 5000µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1 et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm<2>de surface d'échantillon. [0016] According to another embodiment, the electroerosion is electroerosion by sinking or rapid drilling, and the discharge energy is less than 5000 μJ/mm<2> of surface of sample 1, preferably less than 3000 μJ/ mm<2> of sample 1 surface, preferably less than 1500 μJ/mm<2> of sample 1 surface and even more preferably less than 800 μJ/mm<2> of sample surface.

[0017] Avantageusement, le courant de chaque décharge électrique aux bornes de l'électrode 2 est inférieur à 200 ampères. [0017] Advantageously, the current of each electrical discharge across the terminals of electrode 2 is less than 200 amps.

[0018] La tension aux bornes de l'électrode 2 est préférentiellement inférieure à 200V. [0018] The voltage across the terminals of electrode 2 is preferably less than 200V.

[0019] La durée d'impulsion durant laquelle l'échantillon 1 est soumis à une décharge électrique est avantageusement inférieure à 1000 µs, préférablement inférieure à 400 µs ou encore préférentiellement inférieure à 100 µs. The pulse duration during which the sample 1 is subjected to an electric discharge is advantageously less than 1000 μs, preferably less than 400 μs or even more preferably less than 100 μs.

[0020] L'alliage métallique amorphe à faible stabilité thermique de l'échantillon 1 à usiner comprend préférentiellement, en pourcentage atomique, plus de 40% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co, préférablement plus de 50% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co. Selon un autre mode de réalisation, cet AMA comprend, en pourcentage atomique, plus de 50% des éléments Ni et Nb, préférablement plus de 60% des éléments Ni et Nb, plus préférablement plus de 70% des éléments Ni et Nb. The amorphous metal alloy with low thermal stability of sample 1 to be machined preferably comprises, in atomic percentage, more than 40% of Ni, Zr, Cu, Ti, Fe or Co, preferably more than 50% of Ni , Zr, Cu, Ti, Fe or Co. According to another embodiment, this AMA comprises, in atomic percentage, more than 50% of the elements Ni and Nb, preferably more than 60% of the elements Ni and Nb, more preferably more 70% of the elements Ni and Nb.

[0021] Selon un mode de réalisation, le procédé d'usinage comprend au moins une étape d'électroérosion d'une première surface de l'échantillon 1 avec des décharges électriques de sorte à obtenir une deuxième surface dont la rugosité Ra est inférieure à 800 nm, préférentiellement inférieure à 600 nm, plus préférentiellement inférieure à 400 nm et encore plus préférentiellement inférieure à 300 nm. [0021] According to one embodiment, the machining method comprises at least one step of spark erosion of a first surface of the sample 1 with electric discharges so as to obtain a second surface whose roughness Ra is less than 800 nm, preferably less than 600 nm, more preferably less than 400 nm and even more preferably less than 300 nm.

[0022] Selon un mode de réalisation avantageux, le procédé d'usinage comprend au moins une étape d'électroérosion d'une première surface P1 de l'échantillon 1 de sorte à obtenir une deuxième surface P2, telle qu'en chaque point d'intersection des surfaces P1 et P2, lesdites surfaces P1 et P2 forment entre elles un angle Ad de 90° ± 1.5°, préférentiellement 90° ± 1° et encore plus préférentiellement 90° ± 0.5° entre elles. [0022] According to an advantageous embodiment, the machining method comprises at least one step of spark erosion of a first surface P1 of the sample 1 so as to obtain a second surface P2, such that at each point of intersection of surfaces P1 and P2, said surfaces P1 and P2 form between them an angle Ad of 90° ± 1.5°, preferably 90° ± 1° and even more preferably 90° ± 0.5° between them.

[0023] L'invention se rapporte également à un procédé de fabrication d'une pièce 4 en alliage métallique amorphe, comportant les étapes : fondre un mélange de métaux pour obtenir un lopin d'alliage, injecter le lopin obtenu dans un moule et refroidir l'alliage moulé avec une vitesse de refroidissement supérieure à une vitesse critique de cristallisation de l'alliage, pour obtenir un échantillon 1 d'alliage amorphe, usiner au moins une surface de l'échantillon 1 selon le procédé d'usinage décrit précédemment pour obtenir une pièce 4 en alliage amorphe selon une géométrie prédéterminée, optionnellement effectuer une étape de finition sur au moins la surface de l'échantillon 1 usinée, préférentiellement une étape de tribofinition ou un traitement chimique.The invention also relates to a method of manufacturing a part 4 of amorphous metal alloy, comprising the steps: melt a mixture of metals to obtain a piece of alloy, injecting the slug obtained into a mold and cooling the cast alloy with a cooling rate greater than a critical rate of crystallization of the alloy, to obtain a sample 1 of amorphous alloy, machining at least one surface of the sample 1 according to the machining process described above to obtain a part 4 in an amorphous alloy according to a predetermined geometry, optionally performing a finishing step on at least the machined surface of sample 1, preferably a tribofinishing step or a chemical treatment.

[0024] L'invention concerne aussi un composant mécanique en alliage métallique amorphe comportant au moins une surface usinée selon le procédé d'usinage ou selon le procédé de fabrication décrivit auparavant. The invention also relates to a mechanical component in an amorphous metal alloy comprising at least one surface machined according to the machining process or according to the manufacturing process described above.

Brève description des dessinsBrief description of the drawings

[0025] D'autres caractéristiques, détails et avantages apparaîtront à la lecture de la description détaillée ci-après et à l'analyse des dessins annexés, sur lesquels : [0025] Other characteristics, details and advantages will appear on reading the detailed description below and on analyzing the appended drawings, in which:

[0026] [Fig 1] représente une analyse par diffraction X d'un alliage métallique amorphe. [0026] [Fig 1] represents an X-ray diffraction analysis of an amorphous metal alloy.

[0027] [Fig 2] représente une analyse par diffraction X d'un alliage métallique partiellement amorphe. [0027] [Fig 2] shows an X-ray diffraction analysis of a partially amorphous metal alloy.

[0028] [Fig 3] représente une analyse par diffraction X d'un alliage métallique cristallin. [0028] [Fig 3] represents an X-ray diffraction analysis of a crystalline metal alloy.

[0029] [Fig. 4] est une vue schématique de côté d'une installation apte à mettre en oeuvre un procédé d'usinage d'un échantillon en alliage métallique amorphe, [0029] [Fig. 4] is a schematic side view of an installation capable of implementing a method for machining an amorphous metal alloy sample,

[0030] [Fig. 5] est une vue schématique de dessus illustrant un mode de réalisation de mise en oeuvre du procédé d'usinage, [0030] [Fig. 5] is a schematic top view illustrating one embodiment of the machining process,

[0031] [Fig.6] est une vue schématique de côté détaillant un mode de réalisation du procédé d'usinage, [0031] [Fig.6] is a schematic side view detailing an embodiment of the machining process,

[0032] [Fig. 7] est une vue schématique, de côté, détaillant un procédé de découpe d'un empilement d'échantillons, [0032] [Fig. 7] is a schematic side view detailing a method for cutting a stack of samples,

[0033] [Fig. 8] est une vue schématique de dessus illustrant un procédé de découpe comprenant des étapes d'électroérosion d'ébauche et une étape d'électroérosion de finition, [0033] [Fig. 8] is a schematic top view illustrating a cutting process comprising roughing EDM steps and a finishing EDM step,

[0034] [Fig. 9] est une vue schématique de côté illustrant un procédé d'usinage pour l'obtention de pièce présentant une excellente perpendicularité de flancs. [0034] [Fig. 9] is a schematic side view illustrating a machining process for obtaining a part having excellent sidewall perpendicularity.

[0035] [Fig. 10] est un diagramme représentant les résultats des essais de flexion de l'exemple 1. [0035] [Fig. 10] is a diagram representing the results of the bending tests of Example 1.

Description des modes de réalisationDescription of embodiments

[0036] Afin de faciliter la lecture des figures, les différents éléments ne sont pas nécessairement représentés à l'échelle. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes références. Certains éléments ou paramètres peuvent être indexés, c'est-à-dire désignés par exemple par premier élément ou deuxième élément, ou encore premier paramètre et second paramètre, etc. Cette indexation a pour but de différencier des éléments ou paramètres similaires, mais non identiques. Cette indexation n'implique pas une priorité d'un élément, ou d'un paramètre, par rapport à un autre et il est possible d'interchanger les dénominations. [0036] In order to facilitate reading of the figures, the various elements are not necessarily shown to scale. In these figures, identical elements bear the same references. Certain elements or parameters can be indexed, that is to say designated for example by first element or second element, or else first parameter and second parameter, etc. The purpose of this indexing is to differentiate between similar but not identical elements or parameters. This indexing does not imply a priority of an element, or of a parameter, compared to another and it is possible to interchange the denominations.

[0037] Au sens de la présente description, il convient de préciser les définitions suivantes. Within the meaning of the present description, the following definitions should be specified.

[0038] On entend par „un“ ou „une“, „au moins un“ ou „au moins une“ respectivement. [0038] The term "one" or "one", "at least one" or "at least one", respectively.

[0039] On entend par „alliage métallique amorphe“ ou „AMA“ ou „verre métallique“ des métaux ou des alliages métalliques qui ne sont pas cristallins, c'est-à-dire dont la distribution atomique est majoritairement aléatoire. Néanmoins, il est difficile d'obtenir un verre métallique amorphe à cent pour cent car il subsiste le plus souvent une fraction du matériau qui est de nature cristalline. On peut donc généraliser cette définition à des métaux ou des alliages métalliques qui sont partiellement cristallins et qui, donc, contiennent une fraction de cristaux, tant que la fraction amorphe est majoritaire. Généralement, la fraction de la phase amorphe est supérieure à 50%. On entend donc par „alliage métallique amorphe“ ou „ AMA“ ou „verre métallique“ des métaux ou des alliages métalliques dont la fraction de la phase amorphe est supérieure à 50%, préférentiellement supérieure à 65%, plus préférentiellement supérieure à 75% et plus préférentiellement encore supérieure à 80% [0039] The term "amorphous metallic alloy" or "AMA" or "metallic glass" means metals or metallic alloys which are not crystalline, that is to say whose atomic distribution is mainly random. Nevertheless, it is difficult to obtain a one hundred percent amorphous metallic glass because most often a fraction of the material remains which is crystalline in nature. This definition can therefore be generalized to metals or metal alloys which are partially crystalline and which therefore contain a fraction of crystals, as long as the amorphous fraction is predominant. Generally, the fraction of the amorphous phase is greater than 50%. The term "amorphous metallic alloy" or "AMA" or "metallic glass" is therefore understood to mean metals or metallic alloys whose fraction of the amorphous phase is greater than 50%, preferably greater than 65%, more preferably greater than 75% and more preferably still greater than 80%

[0040] On précise ici qu'une structure métallurgique est dite amorphe ou entièrement amorphe lorsqu'une analyse par diffraction des rayons X telle que décrite ci-dessous ne met pas en évidence des pics de cristallisation. It is specified here that a metallurgical structure is said to be amorphous or entirely amorphous when an X-ray diffraction analysis as described below does not reveal crystallization peaks.

[0041] On entend par „diamètre critique“ (Dc) d'un alliage métallique spécifique l'épaisseur limite maximum en deçà de laquelle l'alliage métallique présente une structure métallurgique entièrement amorphe ou au-delà de laquelle il n'est plus possible d'obtenir une structure métallurgique entièrement amorphe, lorsque l'alliage métallique est moulé depuis un état liquide et est soumis à un refroidissement rapide tel que le transfert de la chaleur à l'intérieur de l'alliage métallique soit optimal. Plus spécifiquement, le diamètre critique est déterminé par moulage successif de barreaux cylindriques (généralement de longueur supérieure à 50mm) de différents diamètres, moulées depuis l'état liquide dans les conditions suivantes : L'alliage est mis en fusion à une température de Tl + 150°C avec Tl, la température de liquidus de l'alliage (en °C). Il est moulé dans un moule en cuivre de type CuC1 et est refroidi à une température maximum d'environ vingt degrés Celsius (20°C). L'alliage est élaboré et moulé sous atmosphère inerte et de haute pureté (e.g. sous argon de qualité 6.0) ou sous vide secondaire (pression < 10-4mbar). L'alliage est moulé avec un système permettant l'application d'un différentiel de pression pour faciliter le moulage de l'alliage et assurer un contact intime entre l'alliage et les parois du moule afin d'assurer le refroidissement rapide de l'alliage. L'étape de moulage peut être réalisée sous une pression de 20 MPa. Ce système peut être mécanique (e.g. piston) ou gazeux (application d'une surpression). Après moulage, les barreaux sont coupés afin d'obtenir une tranche (section transversale du cylindre préférentiellement située vers le milieu du barreau, épaisseur comprise entre 1 et 10 mm) et analysés par diffraction des rayons X (DRX) a minima pour déterminer si les tranches présentent une structure amorphe ou partiellement cristalline. Le diamètre critique est alors déterminé comme étant le diamètre maximum pour lequel la structure est amorphe (la présence de bosses caractéristiques des AMAs est alors mise en évidence par diffraction des rayons X). Etant donné qu'il existe le plus souvent des défauts dans les structures métallurgiques, un alliage 100% amorphe est quasi impossible à obtenir et le diamètre critique peut être défini comme le diamètre au-dessus duquel une analyse par diffraction des rayons X met clairement en évidence des pics de cristallinité. Une telle évaluation du caractère amorphe d'un alliage métallique est détaillée dans l'article Cheung et al., 2007 (Cheung et al. (2007) „Thermal and mechanical properties of Cu-Zr-Al bulk metallic glasses)“ doi:10.1016/j.jallcom.2006.08.109). Elle permet de faire une analyse moyenne sur une surface et de s'affranchir des quelques défauts métallurgiques inévitables tout en analysant uniquement les cristaux de tailles significative (supérieure à quelques nanomètres) et/ou en quantité significative. Les figures 1, 2 et 3 représentent une analyse DRX telle que décrite précédemment d'un alliage métallique à l'état amorphe (figure 1), partiellement amorphe (on retrouve la bosse caractéristique des AMA mais avec la présence de pics - figure 2) et cristallin (figure 3) respectivement.[0041] The term "critical diameter" (Dc) of a specific metal alloy is understood to mean the maximum thickness limit below which the metal alloy has an entirely amorphous metallurgical structure or beyond which it is no longer possible to obtain a completely amorphous metallurgical structure, when the metal alloy is molded from a liquid state and is subjected to rapid cooling such that the transfer of heat inside the metal alloy is optimal. More specifically, the critical diameter is determined by successive molding of cylindrical bars (generally longer than 50mm) of different diameters, molded from the liquid state under the following conditions: The alloy is melted at a temperature of Tl + 150°C with Tl, the liquidus temperature of the alloy (in °C). It is molded in a CuC1 type copper mold and is cooled to a maximum temperature of approximately twenty degrees Celsius (20°C). The alloy is produced and molded under an inert, high-purity atmosphere (e.g. under argon of quality 6.0) or under a secondary vacuum (pressure < 10-4mbar). The alloy is cast with a system allowing the application of a pressure differential to facilitate the casting of the alloy and to ensure intimate contact between the alloy and the walls of the mold in order to ensure the rapid cooling of the alloy. The molding step can be carried out under a pressure of 20 MPa. This system can be mechanical (e.g. piston) or gaseous (application of an overpressure). After moulding, the bars are cut in order to obtain a slice (cross section of the cylinder preferably located towards the middle of the bar, thickness between 1 and 10 mm) and analyzed by X-ray diffraction (XRD) at a minimum to determine whether the slices exhibit an amorphous or partially crystalline structure. The critical diameter is then determined as being the maximum diameter for which the structure is amorphous (the presence of bumps characteristic of AMAs is then highlighted by X-ray diffraction). Given that there are most often defects in metallurgical structures, a 100% amorphous alloy is almost impossible to obtain and the critical diameter can be defined as the diameter above which an analysis by X-ray diffraction clearly highlights evidence of crystallinity peaks. Such an evaluation of the amorphous character of a metallic alloy is detailed in the article Cheung et al., 2007 (Cheung et al. (2007) „Thermal and mechanical properties of Cu-Zr-Al bulk metallic glasses)“ doi:10.1016 /j.jallcom.2006.08.109). It makes it possible to carry out an average analysis on a surface and to overcome the few inevitable metallurgical defects while analyzing only the crystals of significant size (greater than a few nanometers) and/or in significant quantity. Figures 1, 2 and 3 represent an XRD analysis as described previously of a metallic alloy in the amorphous state (figure 1), partially amorphous (we find the bump characteristic of AMAs but with the presence of peaks - figure 2) and crystalline (Figure 3) respectively.

[0042] On entend par „AMA à faible stabilité thermique“ un alliage métallique possédant : un diamètre critique (Dc) inférieur à 8 millimètres, de préférence inférieur à 6 millimètres, et encore plus préférentiellement inférieur à 4mm, et/ou une différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieure à 80°C, de préférence inférieure à 70°C, et encore plus préférentiellement inférieure à 60°C, et/ou un quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) de la différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) et de la différence entre la température de liquidus (Tl) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieur à 0,16, de préférence inférieur à 0,14 et encore plus préférentiellement inférieur à 0,12.[0042] “AMA with low thermal stability” means a metal alloy having: a critical diameter (Dc) less than 8 millimeters, preferably less than 6 millimeters, and even more preferably less than 4 mm, and/or a difference (ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the glass transition temperature (Tg) of less than 80°C, preferably less than 70°C, and even more preferably less than 60°C, and/or a quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) of the difference (ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the glass transition temperature (Tg) and of the difference between the liquidus temperature (Tl) and the temperature of glass transition (Tg) less than 0.16, preferably less than 0.14 and even more preferably less than 0.12.

[0043] Le diamètre critique De, la différence ΔTx=Tx-Tg entre la température de cristallisation Tx et la température de transition vitreuse Tg, ainsi que le quotient ΔTx/(Tl-Tg) sont des grandeurs qui définissent toutes les trois un critère de stabilité thermique de l'alliage métallique. Plus la valeur de chacune de ces trois grandeurs est faible, plus l'alliage est instable, autrement dit plus il est difficile de maintenir l'alliage métallique dans un état amorphe. The critical diameter De, the difference ΔTx=Tx-Tg between the crystallization temperature Tx and the glass transition temperature Tg, as well as the quotient ΔTx/(Tl-Tg) are quantities which all three define a criterion thermal stability of the metal alloy. The lower the value of each of these three quantities, the more unstable the alloy, in other words the more difficult it is to maintain the metallic alloy in an amorphous state.

[0044] On entend par „usinage“ un enlèvement de matière d'un échantillon 1. Il peut s'agir notamment d'un usinage débouchant tel qu'une découpe ou un perçage, d'un usinage non débouchant tel qu'une gravure, ou un surfaçage, par exemple pour l'obtention d'une rugosité donnée, ou encore de la réalisation de surfaces ou flancs dont l'angle formé entre eux présente une excellente précision, par exemple un angle de 90° ± 1.5°, préférentiellement de 90° ± 1° et encore plus préférentiellement 90° ± 0.5°. [0044] The term "machining" means a removal of material from a sample 1. This may in particular be a through machining such as a cutout or a drilling, a non-through machining such as an engraving , or surfacing, for example to obtain a given roughness, or even the production of surfaces or flanks whose angle formed between them has excellent precision, for example an angle of 90° ± 1.5°, preferably of 90° ± 1° and even more preferably 90° ± 0.5°.

[0045] On entend par „microcomposant“ un composant de petites dimensions, par exemple un composant dont l'une au moins des dimensions n'excède pas 2mm voire 1 mm, préférentiellement 100 µm, plus préférentiellement 60 voire 25 µm. On entend par „microcomposant mécanique“ un microcomposant apte à coopérer avec un ou plusieurs autres microcomposants. [0045] The term "microcomponent" means a component of small dimensions, for example a component of which at least one of the dimensions does not exceed 2 mm or even 1 mm, preferably 100 μm, more preferably 60 or even 25 μm. “Mechanical microcomponent” means a microcomponent capable of cooperating with one or more other microcomponents.

[0046] L'électroérosion, („electrical discharge machining“ en anglais, indiqué également sous l'acronyme de „EDM“), est un procédé d'usinage qui consiste à enlever de la matière dans une pièce en utilisant une électrode produisant des décharges électriques. Electroerosion, ("electrical discharge machining" in English, also indicated by the acronym of "EDM"), is a machining process which consists of removing material from a part using an electrode producing electrical discharges.

[0047] L'usinage par électroérosion se déroule en différentes phases : 1/ Application d'une tension entre la pièce et l'électrode ; 2/ Sous l'action du champ électrique, le diélectrique est ionisé, créant ainsi un canal conducteur entre l'électrode et la pièce ; 3/ Le passage du courant dans ce canal permet la formation d'une étincelle qui va générer une bulle de plasma et une augmentation importante de la température (claquage de l'étincelle). C'est cette décharge électrique, qui se produit de l'électrode à la pièce, qui va provoquer la fusion et la vaporisation de matière sur la pièce, mais aussi sur l'électrode ; 4/ Au moment de l'interruption du courant, la bulle de gaz implose et éjecte la matière fondue. Celle-ci se retrouve alors dans le diélectrique sous forme de microparticules et est ainsi rapidement refroidie et évacuée.A l'issue de cette décharge, un cratère est laissé sur la pièce et l'électrode (enlèvement de matière). La matière fondue lors de la décharge mais non éjectée lors de l'implosion de la bulle de gaz resolidifie sur la pièce et l'électrode. [0047] Machining by electroerosion takes place in different phases: 1/ Application of a voltage between the part and the electrode; 2/ Under the action of the electric field, the dielectric is ionized, thus creating a conductive channel between the electrode and the part; 3/ The passage of current in this channel allows the formation of a spark which will generate a plasma bubble and a significant increase in temperature (breakdown of the spark). It is this electrical discharge, which occurs from the electrode to the part, which will cause the melting and vaporization of material on the part, but also on the electrode; 4/ When the current is interrupted, the gas bubble implodes and ejects the molten material. This is then found in the dielectric in the form of microparticles and is thus quickly cooled and evacuated. At the end of this discharge, a crater is left on the part and the electrode (removal of material). The material melted during the discharge but not ejected during the implosion of the gas bubble resolidifies on the part and the electrode.

[0048] L'EDM est recommandé dans les usinages de matériaux très durs (mais impérativement conducteurs), des aciers trempés, ou encore dans les cas où la complexité de la pièce l'exige. [0048] EDM is recommended for machining very hard (but imperatively conductive) materials, hardened steels, or else in cases where the complexity of the part requires it.

[0049] Contre toute attente, les présents inventeurs ont mis en évidence que l'EDM pouvait être utilisé pour l'usinage d'échantillons en AMA, notamment en AMA à faible stabilité thermique, tout en maintenant la structure amorphe de l'alliage et ses caractéristiques mécaniques associées. Against all expectations, the present inventors have demonstrated that EDM could be used for the machining of samples in AMA, in particular in AMA with low thermal stability, while maintaining the amorphous structure of the alloy and its associated mechanical characteristics.

[0050] On a représenté schématiquement sur la figure 4 une installation d'électroérosion. L'installation comprend une enceinte 7 dans laquelle est disposée un échantillon 1, baignant dans un liquide diélectrique 3. Une électrode 2, placée en vis-à-vis de l'échantillon 1, émet des décharges électriques. La partie à usiner de l'échantillon 1 est placé en vis-à-vis du point d'émission de l'électrode 2. L'échantillon 1 peut ainsi être usiné par les décharges électriques, c'est-à-dire que les décharges électriques peuvent parvenir sur la surface à usiner de l'échantillon 1 et interagir avec la matière de l'échantillon 1. L'électrode 2 est donc mobile selon une trajectoire définie d'usinage, indiquée trajectoire de référence TRef dans le présent document. La portion de l'échantillon 1 sur laquelle les décharges électriques sont réalisées est désignée par le signe de référence 8. Schematically shown in Figure 4 an electroerosion installation. The installation comprises an enclosure 7 in which a sample 1 is placed, bathed in a dielectric liquid 3. An electrode 2, placed opposite the sample 1, emits electric discharges. The part to be machined of sample 1 is placed opposite the emission point of electrode 2. Sample 1 can thus be machined by electric discharges, that is to say that the Electric discharges can reach the surface to be machined of sample 1 and interact with the material of sample 1. Electrode 2 is therefore mobile along a defined machining trajectory, indicated as reference trajectory TRef in this document. The portion of sample 1 on which the electric discharges are carried out is designated by the reference sign 8.

[0051] L'interaction entre les décharges électriques et l'échantillon 1 permet de réaliser un enlèvement de matière dans la portion8. Un déplacement relatif de l'électrode 2 par rapport à l'échantillon 1 permet de déplacer la portion 8 et de réaliser un enlèvement de matière le long de la trajectoire de référence TRef. The interaction between the electric discharges and the sample 1 makes it possible to remove material in portion8. A relative movement of the electrode 2 with respect to the sample 1 makes it possible to move the portion 8 and to carry out a removal of material along the reference trajectory TRef.

[0052] Une unité électronique de contrôle 6 permet de contrôler les instants de déclenchement et d'interruption des décharges électriques, ainsi que les mouvements de déplacement de l'électrode 2 par rapport à l'échantillon 1. La trajectoire de référence TRef peut ainsi être contrôlée en temps réel. An electronic control unit 6 makes it possible to control the instants of triggering and interruption of the electric discharges, as well as the displacement movements of the electrode 2 with respect to the sample 1. The reference trajectory TRef can thus be monitored in real time.

[0053] En variante, l'échantillon 1 à usiner peut être mobile de façon à se déplacer par rapport à l'électrode 2. Pour cela, l'échantillon 1 à usiner est fixé à un plateau mobile selon au moins 2 axes. As a variant, the sample 1 to be machined can be mobile so as to move relative to the electrode 2. For this, the sample 1 to be machined is fixed to a mobile plate along at least 2 axes.

[0054] En variante, l'électrode 2 et l'échantillon 1 à usiner peuvent tous deux être mobiles, successivement ou concomitamment, notamment pour faciliter l'usinage de pièces complexes. As a variant, the electrode 2 and the sample 1 to be machined can both be mobile, successively or concomitantly, in particular to facilitate the machining of complex parts.

[0055] L'échantillon 1 à usiner peut présenter toute forme et la portion d'échantillon 1 à usiner peut également être de forme quelconque, débouchante ou non. The sample 1 to be machined can have any shape and the sample portion 1 to be machined can also be of any shape, emerging or not.

[0056] A titre d'exemple, dans un mode de réalisation, l'échantillon 1 à usiner est plat. Autrement dit, l'échantillon 1 à usiner est une plaque en alliage métallique amorphe. L'épaisseur de l'échantillon 1 à usiner est préférentiellement comprise entre 5 µm et 6 mm, préférentiellement entre 100 µm et 4mm. By way of example, in one embodiment, the sample 1 to be machined is flat. In other words, sample 1 to be machined is an amorphous metal alloy plate. The thickness of sample 1 to be machined is preferably between 5 μm and 6 mm, preferably between 100 μm and 4 mm.

[0057] Dans un autre mode de réalisation, l'échantillon 1 à usiner est un cylindre ou comprend une partie cylindrique et le procédé vise à aménager un axe, traversant ou non, au sein dudit cylindre ou de ladite partie cylindrique. Le diamètre du microcomposant issu du procédé d'usinage a préférentiellement un diamètre, préférentiellement un diamètre maximal, inférieur ou égal à 4 mm. In another embodiment, the sample 1 to be machined is a cylinder or comprises a cylindrical part and the method aims to arrange an axis, crossing or not, within said cylinder or said cylindrical part. The diameter of the microcomponent resulting from the machining process preferably has a diameter, preferably a maximum diameter, less than or equal to 4 mm.

[0058] L'échantillon 1 peut être un échantillon uniquement ou un empilement de plusieurs échantillons 1. Dans un mode de réalisation avantageux, il s'agit d'un empilement de plusieurs échantillons, préférentiellement d'un empilement de plus de trois, encore plus préférentiellement de plus de 8 échantillons. Ce mode de réalisation permet notamment de diminuer le temps de découpe. The sample 1 can be a sample only or a stack of several samples 1. In an advantageous embodiment, it is a stack of several samples, preferably a stack of more than three, again more preferably more than 8 samples. This embodiment makes it possible in particular to reduce the cutting time.

[0059] L'alliage métallique amorphe de l'échantillon 1 à usiner peut par exemple contenir, en pourcentage atomique, plus de 40% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co préférablement plus de 50% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co. Selon un autre mode de réalisation, l'alliage métallique amorphe de l'échantillon 1 à usiner contient, en pourcentage atomique, plus de 50% des éléments Ni et Nb, préférablement plus de 60% des éléments Ni et Nb, plus préférablement plus de 70% des éléments Ni et Nb. The amorphous metal alloy of sample 1 to be machined may for example contain, in atomic percentage, more than 40% of Ni, Zr, Cu, Ti, Fe or Co, preferably more than 50% of Ni, Zr, Cu, Ti, Fe or Co. According to another embodiment, the amorphous metal alloy of sample 1 to be machined contains, in atomic percentage, more than 50% of the elements Ni and Nb, preferably more than 60% of the elements Ni and Nb, more preferably more than 70% of the elements Ni and Nb.

[0060] Les alliages à faible stabilité thermique tels que décrits ci-dessus sont particulièrement difficiles à mettre en forme tout en conservant leur caractère amorphe. Le procédé ici décrit est donc particulièrement avantageux pour mettre en forme de tels alliages. [0060] Alloys with low thermal stability as described above are particularly difficult to shape while retaining their amorphous character. The process described here is therefore particularly advantageous for forming such alloys.

[0061] La présente invention propose un procédé d'usinage d'un échantillon 1 en alliage métallique amorphe à faible stabilité thermique à l'aide d'un laser femtoseconde, comprenant au moins une étape d'électroérosion de l'échantillon 1 avec une électrode 2 produisant des décharges électriques le long d'une trajectoire de référence TRef pour enlever de la matière de l'échantillon 1, de manière débouchante ou non, le long de la trajectoire de référence TRef de façon à obtenir un échantillon 1 usiné et maintenu à l'état amorphe. The present invention proposes a method for machining a sample 1 of an amorphous metal alloy with low thermal stability using a femtosecond laser, comprising at least one step of spark erosion of the sample 1 with a electrode 2 producing electrical discharges along a reference trajectory TRef to remove material from sample 1, open or not, along the reference trajectory TRef so as to obtain a sample 1 machined and maintained in an amorphous state.

[0062] La figure 5 illustre la notion d'échantillon 1, d'échantillon 1 usiné et/ou de pièce 4. L'échantillon 1 forme la matière première ou préforme à usiner. Après une ou plusieurs opérations d'usinage, un échantillon 1 usiné ou une pièce 4, encore appelée microcomposant, est obtenue. La pièce 4 peut être une partie détachée de l'échantillon 1, en particulier lorsque le procédé est un usinage débouchant tel qu'une découpe. Le signe 9 schématise le pourtour 9 de la pièce 4. La forme de la pièce 4 peut être quelconque. Sur l'exemple de la figure 5, la pièce 4 est entièrement comprise à l'intérieur du périmètre de l'échantillon 1. Selon un exemple non représenté, une partie du périmètre 10 de l'échantillon 1 peut faire partie de la pièce 4. Figure 5 illustrates the notion of sample 1, machined sample 1 and/or part 4. Sample 1 forms the raw material or preform to be machined. After one or more machining operations, a machined sample 1 or part 4, also called a microcomponent, is obtained. Part 4 can be a part detached from sample 1, in particular when the process is open machining such as cutting. The sign 9 schematizes the circumference 9 of the part 4. The shape of the part 4 can be arbitrary. In the example of Figure 5, part 4 is entirely within the perimeter of sample 1. According to an example not shown, part of the perimeter 10 of sample 1 may be part of part 4 .

[0063] La trajectoire de référence TRef peut définir une partie du pourtour 9 de la pièce 4. Autrement dit, le procédé d'usinage peut être mis en oeuvre afin de former uniquement une partie du pourtour 9 de la pièce 4. Le reste du pourtour 9 de la pièce 4 peut être obtenu par d'autres méthodes ou procédés de transformation-Une partie du pourtour 9 du microcomposant 4 peut aussi être formée par une portion de la périphérie 10 de l'échantillon 1, qui reste alors brut dans cette zone. The reference trajectory TRef can define a part of the perimeter 9 of the part 4. In other words, the machining process can be implemented in order to form only a part of the perimeter 9 of the part 4. The rest of the periphery 9 of part 4 can be obtained by other methods or transformation processes-A part of the periphery 9 of the microcomponent 4 can also be formed by a portion of the periphery 10 of the sample 1, which then remains raw in this area.

[0064] Selon un mode de réalisation alternatif compatible avec le mode précédent, l'échantillon usiné ou la pièce 4 peut être l'échantillon 1 auquel une partie de la matière initiale a été enlevée sans pour autant que l'enlèvement de matière ne soit débouchant. La figure 6 illustre la notion d'enlèvement non débouchant. [0064] According to an alternative embodiment compatible with the previous mode, the machined sample or the part 4 can be the sample 1 from which part of the initial material has been removed without the removal of material being emerging. Figure 6 illustrates the concept of non-opening removal.

[0065] A titre d'exemple illustré à la figure 6, l'échantillon 1 peut être un cylindre et la portion à enlever 8 telle qu'elle permette d'usiner un palier dans la pièce 4. [0065] As an example illustrated in Figure 6, sample 1 can be a cylinder and the portion to be removed 8 such that it allows a bearing to be machined in part 4.

[0066] Plus généralement, l'électroérosion peut être une électroérosion par enfonçage, une électroérosion par fil ou un perçage rapide avec une électrode cylindrique pleine ou évidée. L'électrode pleine peut notamment être un cylindre et l'électrode évidée être une électrode tubulaire. [0066] More generally, EDM can be sinking EDM, wire EDM or rapid drilling with a solid or hollow cylindrical electrode. The solid electrode can in particular be a cylinder and the hollow electrode can be a tubular electrode.

[0067] L'usinage selon le procédé peut être une découpe, un perçage, une gravure et/ou un surfaçage. On entend par surfaçage un usinage permettant d'obtenir au moins une nouvelle surface sur l'échantillon 1, celle-ci pouvant être de forme et de taille quelconque. [0067] Machining according to the method can be cutting, drilling, engraving and/or surfacing. By surfacing is meant a machining making it possible to obtain at least one new surface on the sample 1, this surface possibly being of any shape and size.

[0068] Selon un mode de réalisation de l'invention, l'usinage est une découpe, plus particulièrement une électroérosion à fil. Comme illustré à la figure 7, l'électrode 2 est donc un fil 2a que l'on vient appliquer le long d'un flanc de l'échantillon 1 ou, comme illustré sur la figure 7, le long des flancs d'au moins deux échantillons 1 empilés. Le fil 2a, traversé de décharges électriques successives, permet d'enlever de la matière des échantillons 1. Le long d'une trajectoire de référence TRef. Dans ce mode de réalisation, l'énergie de décharge des décharges électriques est inférieure à 5000µJ/mm d'épaisseur de l'échantillon 1 ou de l'épaisseur totale de l'empilement des échantillons 1 en cas d'échantillons empilés, préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 ou de l'épaisseur totale de l'empilement des échantillons 1 en cas d'échantillons empilés, préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 ou de l'épaisseur totale de l'empilement des échantillons 1 en cas d'échantillons empilés et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 ou de l'épaisseur totale de l'empilement des échantillons 1 en cas d'échantillons empilés. According to one embodiment of the invention, the machining is a cutting, more particularly a wire spark erosion. As illustrated in FIG. 7, electrode 2 is therefore a wire 2a which is applied along one side of sample 1 or, as illustrated in FIG. 7, along the sides of at least two samples 1 stacked. The wire 2a, traversed by successive electrical discharges, makes it possible to remove material from the samples 1. Along a reference trajectory TRef. In this embodiment, the discharge energy of the electrical discharges is less than 5000 μJ/mm of thickness of sample 1 or of the total thickness of the stack of samples 1 in the case of stacked samples, preferably less at 3000µJ/mm of thickness of sample 1 or of the total thickness of the stack of samples 1 in the case of stacked samples, preferably less than 1500µJ/mm of thickness of sample 1 or of the total thickness of the stack of samples 1 in the case of stacked samples and even more preferably less than 800 μJ/mm of thickness of sample 1 or of the total thickness of the stack of samples 1 in the case of stacked samples.

[0069] Avantageusement, le diamètre du fil 2a est inférieur à 200µm, préférablement inférieur à 100µm et encore plus préférablement inférieur à 75µm. Un tel diamètre permet en effet d'obtenir une qualité de surface de découpe optimisée. Advantageously, the diameter of wire 2a is less than 200 μm, preferably less than 100 μm and even more preferably less than 75 μm. Such a diameter in fact makes it possible to obtain an optimized cutting surface quality.

[0070] Avantageusement, la découpe par électroérosion par fil 2a est réalisée en plusieurs étapes d'électroérosion. Ainsi au moins une étape dite „d'ébauche“ est réalisée suivie d'une étape dite „de finition“. La ou les étapes d'électroérosion, dites „d'ébauche“, de l'échantillon 1 avec un fil 2a sont effectuées le long d'une trajectoire de référence TRef+n pour enlever de la matière de l'échantillon 1 le long d'une trajectoire de référence TRef+n, pour réaliser une ou plusieurs ébauches 5 ; 51 selon une trajectoire TRef+n, n étant le nombre total d'étapes d'électroérosion, dites „d'ébauche“. L'étape d'électroérosion, dite „de finition“, de l'échantillon 1 est réalisée le long d'une trajectoire de référence TRef pour enlever de la matière de l'échantillon 1 le long de la trajectoire de référence TRef. La ou les trajectoires de référence TRef+n sont translatées d'une distance donnée gn de la trajectoire de référence TRef ; TRef+(n-1) qui lui est directement adjacente et qui est la plus proche de la pièce finale 4, dans la direction opposée à celle de la pièce finale 4 découpée. les distances données (gn) entre deux trajectoires de référence directement adjacentes (TRef ; TRef+(n-1) -TRef+n), identiques ou différentes, sont telles que les décharges électriques le long du fil (2a), enlevant de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la trajectoire de référence (TRef+(n-1) ou TRef+n), enlèvent également, au moins partiellement, de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la ou les trajectoires de référence (TRef ; TRef+(n-1)) qui lui est ou lui sont directement adjacentes. Advantageously, cutting by wire EDM 2a is carried out in several EDM steps. Thus at least one so-called "roughing" step is carried out followed by a so-called "finishing" step. The electro-erosion step or steps, called "roughing", of sample 1 with a wire 2a are carried out along a reference trajectory TRef+n to remove material from sample 1 along d a reference trajectory TRef+n, to produce one or more blanks 5; 51 along a trajectory TRef+n, n being the total number of EDM steps, called "roughing". The so-called “finishing” spark erosion step of sample 1 is carried out along a reference trajectory TRef to remove material from sample 1 along the reference trajectory TRef. The reference trajectory or trajectories TRef+n are translated by a given distance gn from the reference trajectory TRef; TRef+(n-1) which is directly adjacent to it and which is closest to the final part 4, in the direction opposite to that of the final part 4 cut. the given distances (gn) between two directly adjacent reference trajectories (TRef; TRef+(n-1) -TRef+n), identical or different, are such that the electric discharges along the wire (2a), removing material of the sample (1) to be machined on the reference trajectory (TRef+(n-1) or TRef+n), also remove, at least partially, material from the sample (1) to be machined on the reference trajectories (TRef; TRef+(n-1)) which is or are directly adjacent to it.

[0071] Le mode de réalisation précédent est illustré à la figure 8. Le mode illustré représente une découpe par électroérosion comprenant deux étapes d'ébauche selon des trajectoires de référence TRef1 et TRef2 et une étape de finition selon la trajectoire TRef. La première étape d'ébauche selon la trajectoire de référence TRef2 permet de réaliser l'ébauche 51. La seconde étape d'ébauche selon la trajectoire de référence TRef1 permet de réaliser l'ébauche 5. L'étape de finition selon la trajectoire de référence TRef permet d'obtenir la pièce 4 finale. La trajectoire de référence TRef2 est distante de la trajectoire de référence TRef1 d'une distance donnée g2 tandis que la trajectoire de référence TRef1 est distante de la trajectoire de référence TRef d'une distance donnée g1. Les distances g1 et g2 peuvent être identiques ou différentes. Ce mode de réalisation permet d'obtenir des découpes aux trajectoires complexes avec d'excellents états de surface. The previous embodiment is illustrated in FIG. 8. The illustrated mode represents cutting by electroerosion comprising two roughing steps along reference trajectories TRef1 and TRef2 and a finishing step along trajectory TRef. The first step of roughing according to the reference path TRef2 makes it possible to produce the roughing 51. The second step of roughing according to the reference path TRef1 makes it possible to produce the roughing 5. The finishing step according to the reference path TRef makes it possible to obtain the final part 4. The reference trajectory TRef2 is distant from the reference trajectory TRef1 by a given distance g2 while the reference trajectory TRef1 is distant from the reference trajectory TRef by a given distance g1. The distances g1 and g2 can be identical or different. This embodiment makes it possible to obtain cutouts with complex trajectories with excellent surface finishes.

[0072] Avantageusement, l'étape d'électroérosion de finition est réalisée avec une énergie de décharge le long du fil 2a inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 (ou de l'épaisseur totale de l'empilement d'échantillons 1), préférablement inférieure à 400µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 (ou de l'épaisseur totale de l'empilement d'échantillons 1) et encore plus préférentiellement inférieure à 200µJ/mm d'épaisseur d'échantillon 1 (ou de l'épaisseur totale de l'empilement d'échantillons 1). Advantageously, the finishing electroerosion step is carried out with a discharge energy along the wire 2a of less than 800 μJ/mm of thickness of sample 1 (or of the total thickness of the stack of samples 1), preferably less than 400 μJ/mm of thickness of sample 1 (or of the total thickness of the stack of samples 1) and even more preferably less than 200 μJ/mm of thickness of sample 1 ( or the total thickness of the sample stack 1).

[0073] Selon un autre mode de réalisation, l'électroérosion est une électroérosion par enfonçage, par balayage ou un perçage rapide. L'énergie de décharge parcourant l'électrode est alors inférieure à 5000µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1, préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm<2>de surface d'échantillon 1 et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm<2>de surface d'échantillon. Ce mode de réalisation permet notamment de percer, graver et/ou surfacer un échantillon 1 ou percer un empilement d'échantillons 1. [0073] According to another embodiment, the EDM is an EDM by sinking, by sweeping or by rapid drilling. The discharge energy traveling through the electrode is then less than 5000µJ/mm<2> of sample surface 1, preferably less than 3000µJ/mm<2> of sample surface 1, preferably less than 1500µJ/mm<2 > of sample surface 1 and even more preferably less than 800 μJ/mm<2> of sample surface. This embodiment makes it possible in particular to pierce, engrave and/or surface a sample 1 or pierce a stack of samples 1.

[0074] Le courant de chaque décharge électrique aux bornes de l'électrode 2 est préférentiellement inférieur à 200 ampères. The current of each electrical discharge across the terminals of electrode 2 is preferably less than 200 amps.

[0075] La tension aux bornes de l'électrode 2 est avantageusement inférieure à 200V. The voltage across electrode 2 is advantageously less than 200V.

[0076] Avantageusement, la durée d'impulsion durant laquelle l'échantillon 1 est soumis à une décharge électrique est inférieure à 1000 µs, préférablement inférieure à 400 µs ou encore préférentiellement inférieure à 100 µs. Une telle durée d'impulsion est adaptée à l'AMA de l'échantillon 1 afin d'éviter tout recristallisation de l'AMA au cours de procédé d'usinage. Advantageously, the pulse duration during which sample 1 is subjected to an electric discharge is less than 1000 μs, preferably less than 400 μs or even more preferably less than 100 μs. Such a pulse duration is adapted to the AMA of sample 1 in order to avoid any recrystallization of the AMA during the machining process.

[0077] Le procédé d'usinage selon l'invention peut avantageusement comprendre ou peut être apte à réaliser un surfaçage de l'échantillon 1. L'usinage comprend alors au moins une étape d'électroérosion d'une première surface de l'échantillon 1 avec des décharges électriques de sorte à obtenir une deuxième surface dont la rugosité Ra est inférieure à 800 nm, préférentiellement inférieure à 600 nm, plus préférentiellement inférieure à 400 nm et encore plus préférentiellement inférieure à 300 nm. Une telle rugosité permet notamment d'obtenir des microcomposants présentant d'excellents états de surface, adaptés notamment aux domaines de l'horlogerie et/ou de l'implantologie, notamment de l'implantologie dentaire. The machining method according to the invention can advantageously comprise or can be able to carry out a surfacing of the sample 1. The machining then comprises at least one step of spark erosion of a first surface of the sample 1 with electrical discharges so as to obtain a second surface whose roughness Ra is less than 800 nm, preferably less than 600 nm, more preferably less than 400 nm and even more preferably less than 300 nm. Such roughness makes it possible in particular to obtain microcomponents having excellent surface states, suitable in particular for the fields of watchmaking and/or implantology, in particular dental implantology.

[0078] Selon un mode de réalisation illustré à la figure 9, le procédé d'usinage permet d'obtenir une pièce 4 dont les surfaces ou flancs présentent entre eux un angle d'une excellente précision, par exemple un angle de 90° ± 1.5°, préférentiellement de 90° ± 1° et encore plus préférentiellement 90° ± 0.5°. Selon ce mode de réalisation, le procédé d'usinage comprend au moins une étape d'électroérosion d'une première surface P1 de l'échantillon 1 de sorte à obtenir une deuxième surface P2, telle qu'en chaque point d'intersection des surfaces P1 et P2, lesdites surfaces P1 et P2 forment entre elles un angle Ad de 90° ± 1.5°, préférentiellement 90° ± 1° et encore plus préférentiellement 90° ± 0.5° entre elles. According to one embodiment illustrated in Figure 9, the machining process makes it possible to obtain a part 4 whose surfaces or flanks have between them an angle of excellent precision, for example an angle of 90° ± 1.5°, preferably 90°±1° and even more preferably 90°±0.5°. According to this embodiment, the machining method comprises at least one step of spark erosion of a first surface P1 of the sample 1 so as to obtain a second surface P2, such that at each point of intersection of the surfaces P1 and P2, said surfaces P1 and P2 form between them an angle Ad of 90° ± 1.5°, preferably 90° ± 1° and even more preferably 90° ± 0.5° between them.

[0079] L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une pièce 4 en alliage métallique amorphe, comportant les étapes : fondre un mélange de métaux pour obtenir un lopin d'alliage, injecter le lopin obtenu dans un moule et refroidir l'alliage moulé avec une vitesse de refroidissement supérieure à une vitesse critique de cristallisation de l'alliage, pour obtenir un échantillon 1 d'alliage amorphe, usiner au moins une surface de l'échantillon 1 selon le procédé d'usinage décrit précédemment pour obtenir une pièce 4 en alliage amorphe selon une géométrie prédéterminée, optionnellement effectuer une étape de finition sur au moins la surface de l'échantillon 1 usinée, préférentiellement une étape de tribofinition ou un traitement chimique, notamment un traitement de désoxydation de surface.The invention also relates to a method of manufacturing a part 4 of amorphous metal alloy, comprising the steps: melt a mixture of metals to obtain a piece of alloy, injecting the slug obtained into a mold and cooling the cast alloy with a cooling rate greater than a critical rate of crystallization of the alloy, to obtain a sample 1 of amorphous alloy, machining at least one surface of the sample 1 according to the machining process described above to obtain a part 4 in an amorphous alloy according to a predetermined geometry, optionally performing a finishing step on at least the machined surface of sample 1, preferably a tribofinishing step or a chemical treatment, in particular a surface deoxidation treatment.

[0080] L'invention concerne enfin un composant mécanique, notamment un microcomposant mécanique en AMA comportant au moins une surface usinée selon les procédés précédents. Finally, the invention relates to a mechanical component, in particular an AMA mechanical microcomponent comprising at least one surface machined according to the preceding methods.

[0081] Le composant mécanique peut par exemple être un élément d'un mécanisme d'horlogerie pour montre mécanique, tel un doigt de quantième, une roue dentée, ou encore un axe. La combinaison des propriétés mécaniques intrinsèques des alliages amorphes et la précision de la découpe réalisée par le procédé permet de fournir des composants, notamment des composants micromécaniques, particulièrement adaptés à cette application. Il peut également s'agir d'un composant pour le médical, tel qu'un implant. The mechanical component can for example be an element of a timepiece mechanism for a mechanical watch, such as a date finger, a toothed wheel, or even an axis. The combination of the intrinsic mechanical properties of amorphous alloys and the precision of the cutting produced by the process makes it possible to provide components, in particular micromechanical components, particularly suited to this application. It can also be a component for medical purposes, such as an implant.

Liste des signes de référenceList of reference signs

[0082] 1: Echantillon à usiner 2: Electrode 2a: Electrode à fil 3: Diélectrique 4. Pièce usinée 5, 51. Ebauche 6. Unité de contrôle 7. Enceinte 8. Portion irradiée 9. Contour de la pièce 10. Périphérie de l'échantillon 1 [0082] 1: Sample to be machined 2: Electrode 2a: Wire electrode 3: Dielectric 4. Machined part 5, 51. Blank 6. Control unit 7. Enclosure 8. Irradiated portion 9. Outline of the part 10. Periphery of sample 1

ExemplesExamples

Exemple 1-Conservation delastructureamorpheExample 1 - Conservation of the amorphous structure

[0083] Des échantillons en alliage Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) (% atomique) ont été découpés avec différents jeux de paramètres détaillés dans le tableau 1 pour valider le maintien de la structure amorphe de l'alliage des échantillons usinés selon le procédé de l'invention. L'alliage Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) présente une faible stabilité thermique au sens de l'invention. En effet, son diamètre critique De n'est que de 3mm, son coefficient de stabilité c'est-à-dire son quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) est de 0,07 et son ΔTx est égal à 40. [0083] Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) alloy samples (atomic %) were cut with different sets of parameters detailed in Table 1 to validate the maintenance of the amorphous structure of the alloy of the samples machined according to the process of the invention. The Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) alloy has low thermal stability within the meaning of the invention. Indeed, its critical diameter De is only 3mm, its stability coefficient, i.e. its quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) is 0.07 and its ΔTx is equal to 40.

[0084] Les échantillons ont été découpés par électroérosion à fil dans des préformes de 500µm d'épaisseur et deux montages ont été réalisés : Montage 1 : Découpe d'un seul échantillon, Montage 2 : Découpe d'un empilement de 9 échantillons.The samples were cut by wire spark erosion in preforms 500 μm thick and two assemblies were made: Assembly 1: Cutting of a single sample, Assembly 2: Cutting of a stack of 9 samples.

[0085] Le procédé d'usinage comprend une première étape d'ébauche puis deux étape de finition. La première passe dite d'ébauche permet de traverser la matière et définie la première géométrie de référence, l'intensité des paramètres d'usinage pour cette passe est donc la plus importante. Les autres passes dites de finition sont moins énergétiques permettent d'améliorer l'état de surface crée par la passe ébauche. The machining process comprises a first roughing step then two finishing steps. The first so-called roughing pass makes it possible to cross the material and defines the first reference geometry, the intensity of the machining parameters for this pass is therefore the most important. The other so-called finishing passes are less energetic and make it possible to improve the surface finish created by the roughing pass.

[0086] Le tableau 1 ci-dessous résume la plage des paramètres testés : Table 1 below summarizes the range of parameters tested:

[Tableau 1][Table 1]

[0087] Ebauche E < 5000µJ/mm E < 5000µJ/mm Ebauche E < 2000µJ/mm E < 2000µJ/mm Finition E < 200µJ/mm E < 200µJ/mm[0087] Roughing E < 5000µJ/mm E < 5000µJ/mm Roughing E < 2000µJ/mm E < 2000µJ/mm Finishing E < 200µJ/mm E < 200µJ/mm

[0088] Deux jeux de paramètres permettant d'obtenir deux niveaux de rugosités ont été définies en utilisant les passes définies dans le tableau 1 ci-dessus. Le tableau 2 ci-dessous résume les jeux de paramètres définis pour les tests de découpe. Two sets of parameters making it possible to obtain two levels of roughness have been defined using the passes defined in table 1 above. Table 2 below summarizes the sets of parameters defined for the cutting tests.

[Tableau 2][Table 2]

[0089] Jeu 1 Ebauche Ebauche Ebauche Finition - - - Jeu 2 Ebauche Ebauche Ebauche Ebauche Ebauche Ebauche Finition[0089] Set 1 Rough Rough Rough Finish - - - Set 2 Rough Rough Rough Rough Rough Rough Finish

[0090] Le tableau 3 ci-dessous résume l'état structural des échantillons après découpe. Table 3 below summarizes the structural state of the samples after cutting.

[Tableau 3][Table 3]

[0091] Amorphe Amorphe Amorphe Amorphe[0091] Amorphous Amorphous Amorphous Amorphous

[0092] Les analyses microstructurales ainsi que les analyses DRX ont bien montré une conservation de la microstructure amorphe pour tous les jeux testés. The microstructural analyzes as well as the XRD analyzes clearly showed conservation of the amorphous microstructure for all the gaps tested.

[0093] En plus des analyses microstructurales des essais mécaniques ont été menés dans le but cette fois-ci de quantifier l'influence de l'électroérosion sur les propriétés du matériau. Des barres de largeur de 500µm en alliage Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) (% atomique) ont dont été usinées par découpe EDM et par micro-tronçonneuse (moyen de découpe contrôlé qui n'affecte pas le matériau, équivalent au même échantillon issu de l'étape de coulée ou échantillon dit „as-cast“). In addition to the microstructural analyses, mechanical tests were carried out with the aim this time of quantifying the influence of electroerosion on the properties of the material. Bars 500µm wide in Ni(57-67)Nb(28-38)Zr(0-10) (atomic %) alloy were machined by EDM cutting and by micro-cutting machine (controlled cutting means which does not does not affect the material, equivalent to the same sample from the casting step or so-called „as-cast“ sample).

[0094] Les essais mécaniques réalisés sont des essais de flexion 3 points. La machine utilisée est la Shimadzu MMT-101NV-10 en mode flexion. Les paramètres de l'essais ont été les suivants : Longueur entre appuis L0=5mm Vitesse de traverse v=0,005mm/s Longueur totale échantillon l=10mm Largeur échantillon L=500µm Epaisseur échantillon e=500µmLes dimensions des échantillons sont présentées dans le tableau 4. The mechanical tests carried out are 3-point bending tests. The machine used is the Shimadzu MMT-101NV-10 in bending mode. The test parameters were as follows: Length between supports L0=5mm Crosshead speed v=0.005mm/s Total sample length l=10mm Sample width L=500µm Sample thickness e=500µm The dimensions of the samples are presented in table 4.

[Tableau 4][Table 4]

[0095] 1:Jeu 1_Montage 1 0,5 0,5 10 2:Jeu 1_Montage 2 0,5 0,5 10 3:Jeu 2_Montage 1 0,5 0,5 10 4:Jeu 2_Montage 2 0,5 0,5 10 5:As cast découpé 0,53 0,5 10[0095] 1:Game 1_Montage 1 0.5 0.5 10 2:Game 1_Montage 2 0.5 0.5 10 3:Game 2_Montage 1 0.5 0.5 10 4:Game 2_Montage 2 0.5 0.5 10 5:As cast cut out 0.53 0.5 10

[0096] Les résultats sont présentes dans la figure 10. The results are shown in figure 10.

[0097] Par comparaison on observe bien une conservation des propriétés de l'AMA avant et après découpe EDM pour tous les échantillons testés en flexion. Il n'y a pas de dispersion dans les résultats et la valeur de limite élastique en flexion est bien égale à celle obtenue pour l'échantillon as-cast. By comparison, a conservation of the properties of the AMA before and after EDM cutting is indeed observed for all the samples tested in bending. There is no dispersion in the results and the value of elastic limit in bending is indeed equal to that obtained for the as-cast sample.

[0098] De même, on observe une conservation des propriétés dans la zone plastique. Les valeurs de limite élastique et de déformation plastique sont cohérentes avec les valeurs observées sur des pièces directement moulées et pour lesquelles aucune étape de découpe ou autre traitement n'a été réalisée. Similarly, a conservation of the properties in the plastic zone is observed. The elastic limit and plastic deformation values are consistent with the values observed on directly molded parts and for which no cutting step or other treatment has been carried out.

Exemple 2-Obtention de la qualité souhaitée (dimensionnelle etgéométrique) et influence sur les cadencesExample 2- Obtaining the desired quality (dimensional and geometric) and influence on the rates

[0099] Cet exemple a pour objectif d'évaluer les états des surfaces, des arrêtes ainsi que la rugosité et l'état des flancs après découpe. En effet, pour le type d'application visé, par exemple des pièces de mouvements horlogers, un Ra faible et une bonne perpendicularité sont essentiels pour maîtriser ies contacts tribologiques et obtenir des coefficients de frottement et des taux d'usure faible, qui permettent d'optimiser les rendements des systèmes mécanique (conservation de l'énergie) et leur durée de vie This example aims to evaluate the states of the surfaces, of the edges as well as the roughness and the state of the flanks after cutting. Indeed, for the type of application targeted, for example parts of watch movements, a low Ra and good perpendicularity are essential to control the tribological contacts and to obtain coefficients of friction and low wear rates, which allow optimize the performance of mechanical systems (energy conservation) and their lifespan

[0100] Oui Les critères de qualité regroupent donc ici la rugosité des surface découpées, l'obtention de flancs droits (perpendicularité entre la zone de découpe et ies surfaces supérieures et inférieures et l'obtention de pièces non oxydées et sans redéposition de particules (bavures) [0100] Yes The quality criteria therefore include here the roughness of the cut surfaces, the obtaining of straight sides (perpendicularity between the cutting zone and the upper and lower surfaces and the obtaining of parts that are not oxidized and without redeposition of particles ( burrs)

[0101] Les analyses de qualité ont donc été réalisées dans le tableau 5. The quality analyzes were therefore carried out in table 5.

[Tableau 5][Table 5]

[0102] Conicité < 0.5° Entre 0.5° et 1° >1° Rugosité <N5 = N5 >N5 Qualité de surface(analysequalitative) Pas de Redéposition de particules et pas d'oxydation Peu de Redéposition de particules et peu d'oxydation Redéposition de particules Ou oxydation trop importantes[0102] Conicity < 0.5° Between 0.5° and 1° >1° Roughness <N5 = N5 >N5 Surface quality (qualitative analysis) No Redeposition of particles and no oxidation Little Redeposition of particles and little oxidation Redeposition excessive particles Or oxidation

[0103] Le tableau 6 ci-dessous résume les résultats obtenus après réalisation au plan d'essai: [0103] Table 6 below summarizes the results obtained after carrying out the test plan:

[Tableau 6][Table 6]

[0104] 1:Jeu 1_Montage 1, Niveau 1 Niveau 1 2:Jeu 1_Montage 2 Niveau 1 Niveau 2 3:Jeu 2_Montage 1: Niveau 1 Niveau 3 4:Jeu 2_Montage 2 Niveau 1 Niveau 3[0104] 1:Game 1_Montage 1, Level 1 Level 1 2:Game 1_Montage 2 Level 1 Level 2 3:Game 2_Montage 1: Level 1 Level 3 4:Game 2_Montage 2 Level 1 Level 3

[0105] Tous les essais ont permis d'obtenir des rugosités après usinage inférieur à N5, globalement ies états de surface sont homogènes [0105] All the tests made it possible to obtain roughnesses after machining lower than N5, overall the surface states are homogeneous

Claims (16)

1. Procédé d'usinage d'un échantillon (1) en alliagemétallique amorphe, comprenant au moins une étape d'électroérosion de l'échantillon (1) avec une électrode (2) produisant des décharges électriques le long d'une trajectoire de référence (TRef) pour enlever de la matière de l'échantillon (1), de manière débouchante ou non, le long de la trajectoire de référence (TRef) de façon à obtenir un échantillon (1) usiné et maintenu à l'état amorphe, dans lequel : l'alliage métallique amorphe possède : – un diamètre critique (Dc) inférieur à 8 millimètres, de préférence inférieur à 6 millimètres, et encore plus préférentiellement inférieur à 4mm, et/ou – une différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieure à 80°C, de préférence inférieure à 70°C, et encore plus préférentiellement inférieure à 60°C, et/ou – un quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) de la différence (ΔTx) entre la température de cristallisation (Tx) et la température de transition vitreuse (Tg) et de la différence entre la température de liquidus (Tl) et la température de transition vitreuse (Tg) inférieur à 0,16, de préférence inférieur à 0,14 et encore plus préférentiellement inférieur à 0,12.1. Method for machining a sample (1) of amorphous metal alloy, comprising at least one step of spark erosion of the sample (1) with an electrode (2) producing electric discharges along a reference trajectory (TRef) to remove material from the sample (1), open-ended or not, along the reference trajectory (TRef) so as to obtain a sample (1) machined and maintained in the amorphous state, in which : the amorphous metal alloy has: – a critical diameter (Dc) less than 8 millimeters, preferably less than 6 millimeters, and even more preferably less than 4 mm, and/or – a difference (ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the glass transition temperature (Tg) of less than 80°C, preferably less than 70°C, and even more preferably less than 60°C, and/or – a quotient (ΔTx/(Tl-Tg)) of the difference (ΔTx) between the crystallization temperature (Tx) and the glass transition temperature (Tg) and the difference between the liquidus temperature (Tl) and the temperature glass transition (Tg) less than 0.16, preferably less than 0.14 and even more preferably less than 0.12. 2. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que l'électroérosion est une électroérosion par enfonçage, par balayage, à fil ou un perçage rapide avec une électrode pleine ou évidée.2. Method according to claim 1, characterized in that the electroerosion is electroerosion by sinking, by scanning, by wire or by rapid drilling with a solid or hollow electrode. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que l'usinage est une découpe, un perçage, une gravure et/ou un surfaçage.3. Method according to claim 1 or 2 characterized in that the machining is cutting, drilling, engraving and / or surfacing. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que : – l'usinage est une découpe, plus particulièrement une électroérosion par fil (2a), et – l'énergie de décharge est inférieure à 5000µJ/mm d'épaisseur de l'échantillon (1), préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1), préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1) et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1).4. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that: – the machining is a cutting, more particularly a wire spark erosion (2a), and – the discharge energy is less than 5000µJ/mm sample thickness (1), preferably less than 3000µJ/mm sample thickness (1), preferably less than 1500µJ/mm sample thickness sample (1) and even more preferably less than 800 μJ/mm of thickness of sample (1). 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le diamètre du fil (2a) est inférieur à 200µm, préférablement inférieur à 100µm et encore plus préférablement inférieur à 75µm.5. Method according to claim 4, characterized in that the diameter of the wire (2a) is less than 200 μm, preferably less than 100 μm and even more preferably less than 75 μm. 6. Procédé selon la revendication 4 ou 5 caractérisé en ce que la découpe est réalisée en plusieurs étapes d'électroérosion : – au moins une étape d'électroérosion, dite „d'ébauche“, de l'échantillon (1) avec un fil (2a) le long d'une trajectoire de référence (TRef+n) pour enlever de la matière de l'échantillon (1) le long d'une trajectoire de référence (TRef+n), mise en oeuvre pour réaliser une ébauche (5 ; 51) selon une trajectoire (TRef+n), n étant le nombre total d'étapes d'électroérosion, dites „d'ébauche ; – une étape d'électroérosion, dite „de finition“, de l'échantillon (1) avec un fil (2a) le long d'une trajectoire de référence (TRef) pour enlever de la matière de l'échantillon (1) le long de la trajectoire de référence (TRef), – la ou les trajectoires de référence (TRef+n) étant translatée d'une distance donnée (gn) de la trajectoire de référence (TRef ; TRef+(n-1)) qui lui est directement adjacente et qui est la plus proche de la pièce finale (4), dans la direction opposée à celle de la pièce finale (4) découpée; et – les distances données (gn) entre deux trajectoires de référence directement adjacentes (TRef ; TRef+(n-1) ;TRef+n), identiques ou différentes, sont telles que les décharges électriques le long du fil (2a), enlevant de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la trajectoire de référence (TRef+(n-1) ou TRef+n), enlèvent également, au moins partiellement, de la matière de l'échantillon (1) à usiner sur la ou les trajectoires de référence (TRef; TRef+(n-1))) qui lui est ou lui sont directement adjacentes.6. Method according to claim 4 or 5 characterized in that the cutting is carried out in several stages of electroerosion: – at least one stage of electroerosion, called "roughing", of the sample (1) with a wire (2a) along a reference trajectory (TRef+n) to remove material from the sample (1) along a reference trajectory (TRef+n), implemented to produce a blank (5; 51) along a trajectory (TRef+n), n being the total number of spark erosion steps , say „draft; – an electroerosion step, called "finishing", of the sample (1) with a wire (2a) along a reference trajectory (TRef) to remove material from the sample (1) the along the reference trajectory (TRef), – the reference trajectory(s) (TRef+n) being translated by a given distance (gn) from the reference trajectory (TRef; TRef+(n-1)) which is directly adjacent to it and which is closest to the final piece (4), in the direction opposite to that of the final piece (4) cut; and – the given distances (gn) between two directly adjacent reference trajectories (TRef; TRef+(n-1); TRef+n), identical or different, are such that the electric discharges along the wire (2a), removing material of the sample (1) to be machined on the reference path (TRef+(n-1) or TRef+n), also remove, at least partially, material from the sample (1) to be machined on the the reference trajectories (TRef; TRef+(n-1))) which is or are directly adjacent to it. 7. Procédé selon la revendication 6 caractérisé en ce que l'étape d'électroérosion de finition est réalisée avec une énergie de décharge le long du fil (2a) inférieure à 800µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1), préférablement inférieure à 400µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1) et encore plus préférentiellement inférieure à 200µJ/mm d'épaisseur d'échantillon (1).7. Method according to claim 6, characterized in that the finishing electroerosion step is carried out with a discharge energy along the wire (2a) of less than 800 μJ/mm of sample thickness (1), preferably less at 400 μJ/mm of sample thickness (1) and even more preferably less than 200 μJ/mm of sample thickness (1). 8. Procédé selon les revendications 1 à 3, caractérisé en ce que : – l'électroérosion est une électroérosion par enfonçage, par balayage ou un perçage rapide, et – l'énergie de décharge est inférieure à 5000µJ/mm<2>de surface d'échantillon (1), préférentiellement inférieure à 3000µJ/mm<2>de surface d'échantillon (1), préférentiellement inférieure à 1500µJ/mm<2>de surface d'échantillon (1) et encore plus préférentiellement inférieure à 800µJ/mm<2>de surface d'échantillon.8. Method according to claims 1 to 3, characterized in that: – EDM is die-sinking, sweeping or rapid drilling, and – the discharge energy is less than 5000µJ/mm<2>of sample surface (1), preferably less than 3000µJ/mm<2>of sample surface (1), preferably less than 1500µJ/mm<2 > of sample surface (1) and even more preferably less than 800 μJ/mm<2> of sample surface. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le courant de chaque décharge électrique aux bornes de l'électrode (2) est inférieur à 200 ampères.9. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the current of each electrical discharge across the terminals of the electrode (2) is less than 200 amperes. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la tension aux bornes de l'électrode (2) est inférieure à 200V.10. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the voltage across the terminals of the electrode (2) is less than 200V. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la durée d'impulsion durant laquelle l'échantillon (1) est soumis à une décharge électrique est inférieure à 1000 µs, préférablement inférieure à 400 µs ou encore préférentiellement inférieure à 100 µs.11. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the pulse duration during which the sample (1) is subjected to an electric discharge is less than 1000 µs, preferably less than 400 µs or even preferably less at 100 µs. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'alliage métallique amorphe de l'échantillon (1) à usiner comprend, en pourcentage atomique, , plus de 40% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co préférablement plus de 50% de Ni, Zr, Cu, Ti, Fe ou Co ou dans lequel l'alliage métallique amorphe de l'échantillon (1) à usiner comprend, en pourcentage atomique, plus de 50% des éléments Ni et Nb, préférablement plus de 60% des éléments Ni et Nb, plus préférablement plus de 70% des éléments Ni et Nb.12. Method according to any one of the preceding claims, in which the amorphous metal alloy of the sample (1) to be machined comprises, in atomic percentage, more than 40% of Ni, Zr, Cu, Ti, Fe or Co preferably more than 50% of Ni, Zr, Cu, Ti, Fe or Co or in which the amorphous metal alloy of the sample (1) to be machined comprises, in atomic percentage, more than 50% of the elements Ni and Nb , preferably more than 60% of Ni and Nb elements, more preferably more than 70% of Ni and Nb elements. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'usinage comprend au moins une étape d'électroérosion d'une première surface de l'échantillon (1) avec des décharges électriques de sorte à obtenir une deuxième surface dont la rugosité Ra est inférieure à 800 nm, préférentiellement inférieure à 600 nm, plus préférentiellement inférieure à 400 nm et encore plus préférentiellement inférieure à 300 nm.13. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the machining comprises at least one step of spark erosion of a first surface of the sample (1) with electric discharges so as to obtain a second surface whose the roughness Ra is less than 800 nm, preferably less than 600 nm, more preferably less than 400 nm and even more preferably less than 300 nm. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape d'électroérosion d'une première surface P1 de l'échantillon 1 de sorte à obtenir une deuxième surface P2, telle qu'en chaque point d'intersection des surfaces P1 et P2, lesdites surfaces P1 et P2 forment entre elles un angle Ad de 90° ± 1.5°, préférentiellement 90° ± 1° et encore plus préférentiellement 90° ± 0.5° entre elles.14. Method according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises at least one step of spark erosion of a first surface P1 of the sample 1 so as to obtain a second surface P2, such that in each point of intersection of surfaces P1 and P2, said surfaces P1 and P2 form between them an angle Ad of 90° ± 1.5°, preferably 90° ± 1° and even more preferably 90° ± 0.5° between them. 15. Procédé de fabrication d'une pièce (4) en alliage métallique amorphe, comportant les étapes : – fondre un mélange de métaux pour obtenir un lopin d'alliage, – injecter le lopin obtenu dans un moule et refroidir l'alliage moulé avec une vitesse de refroidissement supérieure à une vitesse critique de cristallisation de l'alliage, pour obtenir un échantillon (1) d'alliage amorphe, – usiner au moins une surface de l'échantillon (1) selon le procédé d'usinage de l'une des revendications 1 à 14 pour obtenir une pièce (4) en alliage amorphe selon une géométrie prédéterminée, – optionnellement effectuer une étape de finition sur au moins la surface de l'échantillon (1) usinée, préférentiellement une étape de tribofinition ou un traitement chimique.15. Method for manufacturing a part (4) of amorphous metal alloy, comprising the steps: – melt a mixture of metals to obtain a piece of alloy, – inject the slug obtained into a mold and cool the cast alloy with a cooling rate greater than a critical rate of crystallization of the alloy, to obtain a sample (1) of amorphous alloy, – machining at least one surface of the sample (1) according to the machining method of one of claims 1 to 14 to obtain a part (4) of amorphous alloy according to a predetermined geometry, – optionally perform a finishing step on at least the machined surface of the sample (1), preferably a tribofinishing step or a chemical treatment. 16. Composant en alliage métallique amorphecomportant au moins une surface usinée selon le procédé d'usinage de l'une des revendications 1 à 14 ou selon le procédé de fabrication selon la revendication 1516. Amorphous metal alloy component comprising at least one surface machined according to the machining method of one of claims 1 to 14 or according to the manufacturing method according to claim 15
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