CH709195B1 - Pressure sensor with heat conducting element. - Google Patents

Pressure sensor with heat conducting element. Download PDF

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CH709195B1
CH709195B1 CH01988/14A CH19882014A CH709195B1 CH 709195 B1 CH709195 B1 CH 709195B1 CH 01988/14 A CH01988/14 A CH 01988/14A CH 19882014 A CH19882014 A CH 19882014A CH 709195 B1 CH709195 B1 CH 709195B1
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pressure sensor
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CH01988/14A
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Baumgartner Martin
Michelitsch Wolfgang
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Piezocryst Advanced Sensorics
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor (1) mit einem Sensorgehäuse (2) und einem druckseitig angeordneten Membranelement (10), das einen zentralen Membranstempel (11), eine kreisringförmige, flexible Membran (12) und einen Membranflansch (13) aufweist, wobei der Membranflansch (13) am druckseitigen Ende (3) des Sensorgehäuses (2) befestigt, vorzugsweise mit diesem verschweisst ist. Der Drucksensor weist zur besseren Wärmeabfuhr ein Wärmeleitelement (20) auf, das die Frontseite (14) des Membranflansches (13) im Wesentlichen bedeckt, dessen Aussenkante (15) umfasst und am druckseitigen Ende (3) des Sensorgehäuses (2) befestigt ist.The invention relates to a pressure sensor (1) having a sensor housing (2) and a diaphragm element (10) arranged on the pressure side, which has a central diaphragm punch (11), an annular, flexible diaphragm (12) and a diaphragm flange (13), wherein the diaphragm flange (13) attached to the pressure-side end (3) of the sensor housing (2), preferably welded thereto. For better heat dissipation, the pressure sensor has a heat-conducting element (20) which essentially covers the front side (14) of the diaphragm flange (13), whose outer edge (15) comprises and is fastened to the pressure-side end (3) of the sensor housing (2).

Description

Beschreibung [0001] Die Erfindung betrifft einen Drucksensor mit einem Sensorgehäuse und einem druckseitig angeordneten Membranelement, das einen zentralen Membranstempel, eine kreisringförmige, flexible Membran und einen Membranflansch aufweist, wobei der Membranflansch am druckseitigen Ende des Sensorgehäuses befestigt ist.Description: The invention relates to a pressure sensor having a sensor housing and a diaphragm element arranged on the pressure side, which has a central diaphragm punch, an annular, flexible diaphragm and a diaphragm flange, wherein the diaphragm flange is fastened to the pressure-side end of the sensor housing.

[0002] Sensoren für die Druckmessung in heissen Prozessen, beispielsweise eingesetzt in eine Messbohrung im Brennraum einer Brennkraftmaschine, sind extremen Wärmeströmen und Druckpulsen ausgesetzt. Diese Wärmeströme führen zu sehr hohen Temperaturen im frontseitigen Bereich des Sensors, insbesondere der Sensormembran, die zu einer Verschlechterung der Messeigenschaften bzw. zur Zerstörung der Sensormembran führen können. Es sind daher bereits unterschiedliche Massnahmen bekannt geworden, die sensible Frontpartie des Sensors, insbesondere die Sensormembran, zu schützen, wobei jedoch durch die Schutzeinrichtung das dynamische Messverhalten des Sensors möglichst ungestört bleiben soll.Sensors for pressure measurement in hot processes, for example, used in a measuring bore in the combustion chamber of an internal combustion engine are exposed to extreme heat fluxes and pressure pulses. These heat flows lead to very high temperatures in the front region of the sensor, in particular the sensor membrane, which can lead to a deterioration of the measurement properties or to the destruction of the sensor membrane. Therefore, various measures have already become known to protect the sensitive front end of the sensor, in particular the sensor membrane, but the dynamic measuring behavior of the sensor should remain as undisturbed as possible by means of the protective device.

[0003] Aus der EP 2 087 333 B1 ist ein schulterdichtender Drucksensor bekannt, dessen ringförmige Membran hinter einem druckseitigen Gehäusefortsatz angeordnet ist, der mit einem Hitzeschild ummantelt ist. Der Hitzeschild ist durch einen Spalt, der eine Wärmebarriere bildet, vom Gehäusefortsatz beabstandet und nur über seinen inneren und äusseren Rand mit dem Sensorgehäuse verbunden, vorzugsweise dicht mit diesem verschweisst. Der innere Rand befindet sich in unmittelbarer Nähe des äusseren Auflagers der flexiblen Sensormembran.From EP 2 087 333 B1 a shoulder-sealing pressure sensor is known, the annular membrane is arranged behind a pressure-side housing extension, which is sheathed with a heat shield. The heat shield is spaced from the housing extension by a gap forming a thermal barrier and connected to the sensor housing only via its inner and outer edges, preferably welded tightly thereto. The inner edge is located in the immediate vicinity of the outer support of the flexible sensor membrane.

[0004] Nachteilig ist der Wärmeeintrag aus dem Hitzeschild über seinen inneren Rand in den dünnen, flexiblen Teil der Membran, was zu einer thermomechanischen Überlastung der Sensormembran führt.A disadvantage is the heat input from the heat shield over its inner edge in the thin, flexible part of the membrane, resulting in a thermo-mechanical overload of the sensor membrane.

[0005] Durch den beabstandeten Hitzeschild wird die Oberflächentemperatur und auch die mittlere Temperatur des Hitzeschildes deutlich erhöht, was die Gefahr von Glühzündungen als Ausgangspunkt klopfender Verbrennung erhöht und zu Motorschäden führen kann.Due to the spaced heat shield, the surface temperature and the average temperature of the heat shield is significantly increased, which increases the risk of pre-ignition as a starting point knocking combustion and can lead to engine damage.

[0006] Die gasdichte Anbindung des Hitzeschildes im Bereich seines inneren Randes führt zu einer mechanischen Einkoppelung von Verformungen des Hitzeschildes direkt in den dünnen, flexiblen Bereich der Sensormembran, wodurch Messfehler generiert werden.The gas-tight connection of the heat shield in the region of its inner edge leads to a mechanical coupling of deformations of the heat shield directly into the thin, flexible region of the sensor membrane, whereby measurement errors are generated.

[0007] Aus der EP 2 024 710 B1 ist ein Membranschutz für einen Schulter- oder frontdichtenden Drucksensor bekannt, der eine zentrale Öffnung und ein Clipsystem aufweist, welches in eine Nut im Inneren des Frontbereichs des Sensors eingreift und den Membranschutz am druckseitigen Ende des Sensorgehäuses befestigt. Eine effiziente Ableitung des Wärmestromes aus kurzzeitigen Hitzestössen ist durch diese Anbindung zumindest bei der schulterdichtenden Ausführungsvariante nicht gewährleistet.From EP 2 024 710 B1 a membrane protection for a shoulder or front-sealing pressure sensor is known, which has a central opening and a clip system, which engages in a groove in the interior of the front region of the sensor and the membrane protection at the pressure-side end of the sensor housing attached. An efficient derivation of the heat flow from short-term heat bumps is not guaranteed by this connection, at least in the shoulder-sealing embodiment.

[0008] Weiter ist aus der GB 2 217 846 A ein Drucksensor bekannt, dessen Membranelement einen Flanschbereich aufweist, der mit dem druckseitigen Ende des Sensorgehäuses verschweisst ist. Ein topfförmiger Hitzeschild ist am Membranflansch befestigt, vorzugsweise angeschweisst, und bildet zum Membranelement einen frontseitigen Zwischenraum aus. Für den Druckausgleich zum frontseitigen Zwischenraum sind im Hitzeschild Öffnungen vorgesehen.Further, from GB 2 217 846 A a pressure sensor is known, the membrane element has a flange, which is welded to the pressure-side end of the sensor housing. A cup-shaped heat shield is attached to the membrane flange, preferably welded, and forms a front-side gap to the membrane element. For pressure equalization to the front gap, openings are provided in the heat shield.

[0009] Ein Drucksensor mit einem frontseitigen Membranelement, das aus einem zentralen Membranstempel, einer kreisringförmigen, flexiblen Membran und einem äusseren Membranflansch besteht, wobei der Membranflansch mit dem frontseitigen Ende des Sensorgehäuses verschweisst ist, ist beispielsweise aus der AT 509 919 B1 bekannt, der Membranflansch bildet hier eine topfförmige Aufnahme, in die ein Thermoschutzelement eingeklipst werden kann. Der Drucksensor wird frontdichtend in eine Messbohrung eingesetzt.A pressure sensor with a front membrane element, which consists of a central membrane die, an annular, flexible membrane and an outer membrane flange, wherein the membrane flange is welded to the front end of the sensor housing is known for example from AT 509 919 B1, the Membrane flange here forms a cup-shaped receptacle, in which a thermal protection element can be clipped. The pressure sensor is inserted front-sealing into a measuring bore.

[0010] Aus der AT 002 036 U1 ist ein schulterdichtender Sensor zur Druckmessung in heissen Medien bekannt, wobei eine Ausführungsvariante gemäss Fig. 1 ein topfartiges Thermoschutzelement für die Sensormembran aufweist. Die Sensormembran weist auf der dem heissen Druckmedium zugewandten Seite eine Beschichtung aus einem weichen, wärmeisolierenden Material auf, beispielsweise eine Beschichtung aus Silikonkautschuk, wobei das Thermoschutzelement in geringem Abstand zu dieser Beschichtung angeordnet ist.From AT 002 036 U1 a shoulder-sealing sensor for measuring pressure in hot media is known, wherein a variant according to FIG. 1 has a cup-like thermal protection element for the sensor membrane. The sensor membrane has on the hot pressure medium side facing a coating of a soft, heat-insulating material, for example, a coating of silicone rubber, wherein the thermal protection element is disposed at a small distance from this coating.

[0011] Aufgabe der Erfindung ist es, die sensible Frontpartie eines Drucksensors der eingangs beschriebenen Art auf eine konstruktiv einfache Weise vor den negativen Auswirkungen kurzzeitiger Hitzestösse zu schützen, wobei das Messverhalten des Drucksensors möglichst nicht beeinflusst werden soll.The object of the invention is to protect the sensitive front end of a pressure sensor of the type described above in a structurally simple manner from the negative effects of short-term heat bursts, the measurement behavior of the pressure sensor should not be influenced as possible.

[0012] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass der Drucksensor ein Wärmeleitelement aufweist, das die Frontseite des Membranflansches grossteils bedeckt, dessen Aussenkante umfasst und aussen am druckseitigen Ende des Sensorgehäuses befestigt ist. Das Wärmeleitelement kann durch Schweissen, Löten, Aufpressen oder Aufschrumpfen mit dem druckseitigen Ende des Sensorgehäuses verbunden sein.This object is achieved in that the pressure sensor has a heat conducting element, which covers the front of the diaphragm flange largely, whose outer edge comprises and outside is attached to the pressure-side end of the sensor housing. The heat-conducting element can be connected by welding, soldering, pressing or shrinking with the pressure-side end of the sensor housing.

[0013] Das erfindungsgemässe Wärmeleitelement nimmt den nur kurzzeitig nach der Zündung auftretenden, erhöhten Wärmestrom auf und leitet diesen entfernt von den kritischen Bereichen des Membranelementes in das Sensorgehäuse ab. Um die maximale Oberflächentemperatur zu begrenzen und um Glühzündungen zu vermeiden, ist ein ganzflächiger, thermischer Kontakt des Wärmeleitelementes im Bereich des Membranflansches anzustreben.The inventive heat conducting takes on only a short time after the ignition occurring, increased heat flux and dissipates it away from the critical areas of the membrane element in the sensor housing. In order to limit the maximum surface temperature and to avoid pre-ignition, a whole-area, thermal contact of the heat-conducting element in the region of the diaphragm flange is to be striven for.

[0014] Erfindungsgemäss kann das Wärmeleitelement einen ringförmigen Flanschbereich aufweisen, der den äusseren Membranflansch abdeckt, an welchen ein zylindrischer Mantelbereich anschliesst, der an der Aussenfläche des Sensorgehäuses befestigt ist.According to the invention, the heat-conducting element can have an annular flange region which covers the outer membrane flange, to which a cylindrical jacket region adjoins, which is fastened to the outer surface of the sensor housing.

[0015] Gemäss einer vorteilhaften Ausführungsvariante der Erfindung ist der ringförmige Flanschbereich des Wärmeleitelementes durch Einschnitte oder schlitzförmige Öffnungen in mehrere Abschnitte unterteilt, wobei sich die Einschnitte oder schlitzförmigen Öffnungen in einem anschliessenden Teilbereich des zylindrischen Mantelbereichs fortsetzen können.According to an advantageous embodiment of the invention, the annular flange portion of the heat-conducting element is divided by cuts or slot-shaped openings into several sections, wherein the cuts or slot-shaped openings can continue in a subsequent portion of the cylindrical shell region.

[0016] Das Wärmeleitelement reagiert zwar auf den durch einen Hitzestoss kurzzeitig erhöhten Wärmestrom an dessen Oberfläche durch sich ausbildende innere Spannungen. Um diese nicht in die kritischen Bereiche des Membranelementes einzuleiten, ist das Wärmeleitelement durch die Einschnitte bzw. die schlitzförmigen Öffnungen mechanisch weich ausgeführt. Dadurch kann der kurzzeitige Wärmestrom das Wärmeleitelement an der Oberfläche verformen, ohne negative Auswirkungen auf das Messverhalten des Sensors auszuüben.Although the heat conducting element reacts to the momentarily increased by a heat shock heat flow to the surface by forming internal stresses. In order not to introduce these into the critical regions of the membrane element, the heat-conducting element is made mechanically soft by the incisions or the slot-shaped openings. As a result, the short-term heat flow can deform the heat-conducting element on the surface without exerting negative effects on the measurement behavior of the sensor.

[0017] Die Erfindung wird im Folgenden anhand einer beispielhaften Ausführungsvariante näher erläutert. Es zeigt:The invention will be explained in more detail below with reference to an exemplary embodiment. It shows:

Fig. 1 eine Frontpartie eines erfindungsgemässen Drucksensors mit einem am Membranelement des1 shows a front part of a pressure sensor according to the invention with a membrane element of the

Sensors anliegenden Wärmeleitelement im Axialschnitt;Sensors adjacent heat-conducting in axial section;

Fig. 2 den Detailbereich A des Drucksensors gemäss Fig. 1 in einer vergrösserten Darstellung;FIG. 2 shows detail area A of the pressure sensor according to FIG. 1 in an enlarged illustration; FIG.

Fig. 3 das Wärmeleitelement gemäss Fig. 2 in einer Draufsicht;3 shows the heat-conducting element according to FIG. 2 in a plan view;

Fig. 4 das Wärmeleitelement in einer Schnittdarstellung nach Linie IV—IV in Fig. 3;4 shows the heat-conducting element in a sectional view along the line IV-IV in FIG. 3;

Fig. 5 das Wärmeleitelement gemäss Fig. 1 bis Fig. 4 in einer dreidimensionalen Darstellung; sowie zei gen5 shows the heat-conducting element according to FIGS. 1 to 4 in a three-dimensional representation; as well as zei conditions

Fig. 6 und Fig. 7 unterschiedliche Ausführungsvarianten des Wärmeleitelementes in dreidimensionalen Darstellungen.Fig. 6 and Fig. 7 different embodiments of the heat conducting element in three-dimensional representations.

[0018] Die Schnittdarstellungen gemäss Fig. 1 und Fig. 2 zeigen das druckseitige Ende eines Drucksensors 1, der in eine nur strichliert angedeutete Messbohrung 17 einer Brennkraftmaschine einsetzbar ist und dessen Membranelement 10 den kurzzeitigen, intensiven Hitzestössen der inneren Verbrennung der Brennkraftmaschine ausgesetzt ist.The sectional views according to FIG. 1 and FIG. 2 show the pressure-side end of a pressure sensor 1, which can be inserted into a measuring bore 17 of an internal combustion engine indicated only by dashed lines and whose membrane element 10 is exposed to short-term, intensive heat bursts of the internal combustion of the internal combustion engine.

[0019] Das Sensorgehäuse 2 weist eine Dichtschulter 8 auf, die bei der bestimmungsgemässen Montage des Drucksensors 1, ggf. unter Zwischenlage eines Dichtelementes 9, schulterdichtend am Absatz 16 der Messbohrung 17 zur Anlage kommt.The sensor housing 2 has a sealing shoulder 8, 17 comes at the intended installation of the pressure sensor 1, possibly with the interposition of a sealing element 9, shoulder sealing on the shoulder 16 of the measuring bore 17 to the plant.

[0020] Das Membranelement 10 des Drucksensors 1 bildet im zentralen Bereich einen Membranstempel 11 aus, welcher auf ein Druckmesselement 5, beispielsweise aus mehreren piezoelektrischen Elementen 6, einwirkt. Daran schliesst eine im Vergleich zum Membranstempel wesentlich dünnere, flexible, kreisringförmige Membran 12 an, die in einen äusseren Membranflansch 13 von zumindest doppelter Wandstärke übergeht, der mit dem Gehäuse 2 des Drucksensors 1 verschweisst ist (siehe Schweissnaht 7). Als kritische Bereiche sind insbesondere der Membranflansch 13, dessen Aus-senkante 15 und der Übergang zur flexiblen Membran 12 anzusehen.The membrane element 10 of the pressure sensor 1 forms in the central region of a diaphragm die 11, which acts on a pressure measuring element 5, for example, a plurality of piezoelectric elements 6. This is followed by a substantially thinner, compared to the membrane stamp, flexible, annular membrane 12, which merges into an outer membrane flange 13 of at least double wall thickness, which is welded to the housing 2 of the pressure sensor 1 (see weld seam 7). As critical areas are in particular the diaphragm flange 13, the Aus-senkante 15 and the transition to the flexible membrane 12 to be considered.

[0021] Im ungeschützten Fall kann sich der Membranflansch 13 durch einen Hitzestoss ausdehnen und teilweise aufstülpen, wodurch Kräfte auf die inneren Membranteile 11,12 ausgeübt werden, die zu einem Fehlsignal führen. Mit Hilfe des erfindungsgemässen Wärmeleitelementes 20, das am druckseitigen Ende des Drucksensors 1 angeordnet ist, werden diese negativen Einflüsse weitgehend vermieden.In the unprotected case, the membrane flange 13 can expand by a heat shock and partially put on, whereby forces are exerted on the inner membrane parts 11,12, which lead to a false signal. With the help of the inventive Wärmeleitelementes 20, which is arranged at the pressure-side end of the pressure sensor 1, these negative influences are largely avoided.

[0022] Das Wärmeleitelement 20 liegt fugenlos an der Frontseite 14 des Membranflansches 13 an, umfasst dessen Aus-senkante 15 sowie die Schweissnaht 7 und ist hinter der Befestigungsebene ε der Membran am druckseitigen Ende 3 an der zylindrischen Aussenfläche 4 des Gehäuses 2 befestigt. An dieser Stelle kann die vom Wärmeleitelement 20 abgeführte Wärme ohne negative Auswirkungen in das Sensorgehäuse 2 eingeleitet werden. Durch das Wärmeleitelement 20 wird die Stossbelastung des Wärmeeintrags ausgeglichen und der Wärmestrom in unkritische Bereiche des Sensorgehäuses 2 abgeführt.The heat-conducting element 20 is seamlessly against the front side 14 of the diaphragm flange 13, comprises its Aus-senkante 15 and the weld 7 and is attached behind the mounting plane ε of the diaphragm at the pressure-side end 3 on the cylindrical outer surface 4 of the housing 2. At this point, the heat dissipated by the heat-conducting element 20 heat can be introduced without negative effects in the sensor housing 2. By the heat conducting element 20, the shock load of the heat input is compensated and dissipated the heat flow in non-critical areas of the sensor housing 2.

[0023] Das Wärmeleitelement 20 weist einen ringförmigen Flanschbereich 21 auf, an welchen ein zylindrischer Mantelbereich 22 im Ouerschnitt rechtwinkelig anschliesst und an der Aussenfläche 4 des Sensorgehäuses 2 befestigt ist. Die Befestigung des Mantelbereichs 22 erfolgt durch Schweissen (siehe Schweisspunkt 18), Löten, Aufpressen oder Aufschrumpfen am druckseitigen Ende 3 des Sensorgehäuses 2.The heat-conducting element 20 has an annular flange portion 21, to which a cylindrical jacket portion 22 connects at right angles in the cross-section and is secured to the outer surface 4 of the sensor housing 2. The attachment of the jacket portion 22 by welding (see welding point 18), soldering, pressing or shrinking at the pressure end 3 of the sensor housing second

[0024] Erfindungsgemäss weist der ringförmige Flanschbereich 21 des Wärmeleitelementes 20 in radialer Richtung eine Breite auf, die im Wesentlichen der radialen Breite des Membranflansches 13 entspricht, sodass die drucksensiblen Bereiche des Membranelementes 10 durch eine zentrale Öffnung 25 des Wärmeleitelementes 20 frei zugängig bleiben.According to the invention, the annular flange portion 21 of the heat-conducting element 20 in the radial direction has a width substantially corresponding to the radial width of the diaphragm flange 13, so that the pressure-sensitive regions of the membrane element 10 remain freely accessible through a central opening 25 of the heat-conducting element 20.

[0025] Zum besseren Ausgleich thermischer Spannungen im Wärmeleitelement 20 ist der ringförmige Flanschbereich 21 des Wärmeleitelementes 20 mechanisch weich ausgeführt und durch Einschnitte oder schlitzförmige Öffnungen 23 inFor better compensation of thermal stresses in the heat-conducting element 20, the annular flange portion 21 of the heat-conducting element 20 is made mechanically soft and by cuts or slit-shaped openings 23 in

Claims (9)

mehrere Abschnitte 24 unterteilt. Im dargestellten Ausführungsbeispiel erstrecken sich die schlitzförmigen Öffnungen 23 ausgehend vom inneren Rand der zentralen Öffnung 25 radial nach aussen und können sich in einem anschliessenden Teilbereich des zylindrischen Mantelbereichs 22, beispielsweise bis zur halben Höhe des Mantelbereichs, fortsetzen (siehe Fig. 2 bis Fig. 4). [0026] Wie in den Fig. 6 und Fig. 7 dargestellt, kann der ringförmige Flanschbereich 21 und/oder der zylindrische Mantelbereich 22 des Wärmeleitelementes 20 eine Vielzahl von Bohrungen 26, Öffnungen und/oder Einschnitten 27 aufweisen, um diese Bereiche des Wärmeleitelementes mechanisch weich einzustellen und thermische Spannungen abzubauen. Die Bohrungen 26, Öffnungen oder Einschnitte 27 können beispielsweise durch Laserschneiden, vorzugsweise durch Laserstrahlschmelzschneiden oder durch Laserstrahlbrennschneiden hergestellt werden. [0027] Es ist auch möglich, den Flanschbereich 21 und/oder den zylindrischen Mantelbereich 22 des Wärmeleitelementes 20 durch Bördeln, Falten, etc. mechanisch weich auszubilden, solange gewährleistet ist, dass wesentliche Teile Membranflansches 13 abgedeckt bleiben und der Flanschbereich 21 grossteils an der Frontseite des Membranflansches 13 anliegt. [0028] Das Wärmeleitelement 20 besteht aus einer hochtemperaturbeständigen, gut wärmeleitenden und chemisch widerstandsfähigen Metalllegierung und kann wie das Membranelement 10 beispielsweise aus einer Chromstahllegierung bestehen. Patentansprüchedivided into several sections 24. In the exemplary embodiment shown, the slot-shaped openings 23 extend radially outwards starting from the inner edge of the central opening 25 and can continue in a subsequent subregion of the cylindrical jacket region 22, for example up to half the height of the jacket region (see FIGS. 2 to 4) ). As shown in FIGS. 6 and 7, the annular flange region 21 and / or the cylindrical jacket region 22 of the heat-conducting element 20 may have a multiplicity of bores 26, openings and / or recesses 27 in order to mechanically surround these regions of the heat-conducting element soft to adjust and reduce thermal stress. The bores 26, openings or notches 27 can be produced, for example, by laser cutting, preferably by laser-beam fusion cutting or by laser-beam cutting. It is also possible, the flange portion 21 and / or the cylindrical shell portion 22 of the heat-conducting element 20 by crimping, folding, etc. mechanically soft form, as long as it is ensured that essential parts membrane flange 13 remain covered and the flange portion 21 largely to the Front side of the diaphragm flange 13 is present. The heat-conducting element 20 consists of a high-temperature-resistant, good heat-conducting and chemically resistant metal alloy and, like the membrane element 10, for example, consist of a chromium steel alloy. claims 1. Drucksensor (1) mit einem Sensorgehäuse (2) und einem druckseitig angeordneten Membranelement (10), das einen zentralen Membranstempel (11), eine kreisringförmige, flexible Membran (12) und einen Membranflansch (13) aufweist, wobei der Membranflansch (13) am druckseitigen Ende (3) des Sensorgehäuses (2) befestigt, vorzugsweise mit diesem verschweisst ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (1) ein Wärmeleitelement (20) aufweist, das die Frontseite (14) des Membranflansches (13) im Wesentlichen bedeckt, dessen Aussenkante (15) umfasst und aussen am druckseitigen Ende (3) des Sensorgehäuses (2) befestigt ist.A pressure sensor (1) having a sensor housing (2) and a diaphragm element (10) arranged on the pressure side, which has a central diaphragm punch (11), an annular, flexible diaphragm (12) and a diaphragm flange (13), wherein the diaphragm flange (13 ) is fastened to the pressure-side end (3) of the sensor housing (2), preferably welded thereto, characterized in that the pressure sensor (1) has a heat-conducting element (20) which substantially covers the front side (14) of the diaphragm flange (13) whose outer edge (15) comprises and externally attached to the pressure-side end (3) of the sensor housing (2). 2. Drucksensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeleitelement (20) durch Schweissen, Löten, Aufpressen oder Aufschrumpfen mit dem druckseitigen Ende (3) des Sensorgehäuses (2) verbunden ist.2. Pressure sensor (1) according to claim 1, characterized in that the heat-conducting element (20) by welding, soldering, pressing or shrinking with the pressure-side end (3) of the sensor housing (2) is connected. 3. Drucksensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeleitelement (20) einen ringförmigen Flanschbereich (21) aufweist, an welchen ein zylindrischer Mantelbereich (22) anschliesst, der an der Aussen-fläche (4) des Sensorgehäuses (2) befestigt ist.3. Pressure sensor (1) according to claim 1 or 2, characterized in that the heat-conducting element (20) has an annular flange portion (21), to which a cylindrical jacket portion (22) adjoins, on the outer surface (4) of the sensor housing (2) is attached. 4. Drucksensor (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der ringförmige Flanschbereich (21) des Wärmeleitelementes (20) in radialer Richtung eine Breite aufweist, die im Wesentlichen der Breite des Membranflansches (13) entspricht, wobei die drucksensiblen Bereiche des Membranelementes (10) durch eine zentrale Öffnung (25) des Wärmeleitelementes (20) frei zugängig sind.4. Pressure sensor (1) according to claim 3, characterized in that the annular flange portion (21) of the heat-conducting element (20) in the radial direction has a width substantially equal to the width of the diaphragm flange (13), wherein the pressure-sensitive regions of the membrane element (10) through a central opening (25) of the heat-conducting element (20) are freely accessible. 5. Drucksensor (1) nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der ringförmige Flanschbereich (21) des Wärmeleitelementes (20) durch bevorzugt radial verlaufende Einschnitte oder schlitzförmige Öffnungen (23) in mehrere Abschnitte (24) unterteilt ist.5. Pressure sensor (1) according to claim 3 or 4, characterized in that the annular flange region (21) of the heat-conducting element (20) is divided by preferably radially extending incisions or slot-shaped openings (23) into a plurality of sections (24). 6. Drucksensor (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Einschnitte oder schlitzförmigen Öffnungen (23) des Flanschbereiches (21) in einem anschliessenden Teilbereich des zylindrischen Mantelbereichs (22) fortsetzen.6. Pressure sensor (1) according to claim 5, characterized in that the incisions or slot-shaped openings (23) of the flange region (21) continue in a subsequent subregion of the cylindrical jacket region (22). 7. Drucksensor (1) nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der ringförmige Flanschbereich (21) und/ oder der zylindrische Mantelbereich (22) des Wärmeleitelementes (20) eine Vielzahl von Öffnungen, insbesondere Bohrungen (26) und/oder Einschnitte (27), aufweisen.7. Pressure sensor (1) according to claim 3 or 4, characterized in that the annular flange portion (21) and / or the cylindrical jacket portion (22) of the heat conducting element (20) has a plurality of openings, in particular bores (26) and / or cuts (27). 8. Drucksensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeleitelement (20) aus Chromstahl besteht.8. Pressure sensor (1) according to one of claims 1 to 7, characterized in that the heat-conducting element (20) consists of chromium steel. 9. Drucksensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorgehäuse (2) eine Dichtschulter (8) aufweist, die bei der bestimmungsgemässen Montage des Drucksensors, ggf. unter Zwischenlage eines Dichtelementes (9), schulterdichtend am Absatz einer Messbohrung zur Anlage kommt.9. Pressure sensor (1) according to one of claims 1 to 8, characterized in that the sensor housing (2) has a sealing shoulder (8), which in the intended assembly of the pressure sensor, possibly with the interposition of a sealing element (9), shoulder sealing on Paragraph of a measuring bore comes to the plant.
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