CH686619A5 - Travelling carriage supported by air bearings - Google Patents

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CH686619A5
CH686619A5 CH02930/94A CH293094A CH686619A5 CH 686619 A5 CH686619 A5 CH 686619A5 CH 02930/94 A CH02930/94 A CH 02930/94A CH 293094 A CH293094 A CH 293094A CH 686619 A5 CH686619 A5 CH 686619A5
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travelling carriage
air
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CH02930/94A
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Ernst Kunz
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Kunz Maschinengeometrie
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Abstract

The travelling carriage is displaced relative to a stone or ceramics plate (7) in the longitudinal direction and supported by a number of air bearings, using underpressure and overpressure chambers (11,12,13,114;21,22,23,24), providing a narrow uniform spacing from the surface of the plate.The travelling carriage has a side guide edge (20), supported by a pivot mounting (3) for rotation about the longitudinal axis, for automatically matching the angle between the top surface and the side edge of the plate.

Description

1 1

CH 686 619 A5 CH 686 619 A5

2 2nd

Beschreibung description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen luftgelagerten Verfahrschlitten gemäss Anspruch 1. The present invention relates to an air-bearing carriage according to claim 1.

Die Auflageplatte sowie die Seitenplatte verfügen über vorzugsweise drei, resp. vier Aussparungen 14, 24, in welchen ein Unterdruck erzeugt wird. Rings um diese Aussparungen sind eine oder mehrere Luft-Austrittsöffnungen 12, 22 angebracht, welche in feine Nuten 13, 23 übergehen. Aus diesen Austrittsöffnungen wird Luft mit einem Überdruck gepresst. Durch die Unterdruck-Kammern 14, 24, wird der Verfahrschlitten an zwei ebene Flächen einer Platte angesaugt. Durch den Überdruck, welcher rings um die Unterdruck-Kammern erzeugt wird, wird der Verfahrschlitten wiederum abgehoben. Es entsteht so ein mittels Drosselventilen genau einstellbarer Luftspalt. Die optimalen Werte dieses Luftspaltes liegen bei 0.001-0.005 mm. The platen and the side plate preferably have three, respectively. four recesses 14, 24, in which a negative pressure is generated. One or more air outlet openings 12, 22, which merge into fine grooves 13, 23, are provided around these cutouts. Air with an overpressure is pressed out of these outlet openings. Through the vacuum chambers 14, 24, the carriage is sucked onto two flat surfaces of a plate. The traversing carriage is lifted again by the overpressure which is generated around the vacuum chambers. This creates an air gap that can be precisely adjusted using throttle valves. The optimal values of this air gap are 0.001-0.005 mm.

Durch die Anordnung von drei resp. vier Unterdruckpartien wird gewährleistet, dass sich die Auflageplatte nicht deformiert, wie dies der Fall sein würde, wenn z.B. nur eine Unterdruck-Kammer in der Mitte der Auflageplatte angeordnet und die Luft-Austrittsöffnungen rings um diese verteilt wären. Zudem ist die Auflageplatte 10 mit einer Drei-Punkt-Auflage optimal gegen Kippbewegungen in allen Richtungen stabil. Der Antrieb in Längsrichtung erfolgt entweder von Hand oder durch einen Elektromotor über ein Reibrad. Die Luftverteilung innerhalb des Schlittens wird durch Bohrungen und Leitungssysteme gewährleistet. Durch unterbrechen der Luftzufuhr kann der Schlitten blockiert werden. By arranging three resp. four vacuum sections ensures that the platen does not deform, as would be the case if e.g. only one vacuum chamber in the middle of the platen and the air outlet openings would be distributed around it. In addition, the support plate 10 with a three-point support is optimally stable against tilting movements in all directions. The drive in the longitudinal direction takes place either by hand or by an electric motor via a friction wheel. The air distribution within the sled is ensured by bores and pipe systems. The carriage can be blocked by interrupting the air supply.

Ein grosser Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die Seitenplatte um ihre Längsachse drehbar ist und sich so an den Winkel der ebenen Fläche zur zweiten Fläche einer Platte an-passt. Auf diese Weise wird die Austauschbarkeit gewährleistet, so dass das Gerät auf Platten mit unterschiedlichen Winkeln der ebenen Fläche zur zweiten Fläche eingesetzt werden kann. Dies wirkt sich vorteilhaft auf die Herstellung der Platten aus, da die Winkelgenauigkeit zwischen Auflagefläche und Seitenfläche vernachlässigt werden kann. A great advantage of the present invention is that the side plate is rotatable about its longitudinal axis and thus adapts to the angle of the flat surface to the second surface of a plate. This ensures interchangeability, so that the device can be used on plates with different angles of the flat surface to the second surface. This has an advantageous effect on the production of the plates, since the angular accuracy between the contact surface and the side surface can be neglected.

Dadurch, dass die Seitenplatte, wie im Ausführungsbeispiel gem. Fig 1, auf vier Auflageflächen aufliegt, und im Zentrum zwischen den oberen und unteren beiden Auflagen der Drehpunkt ist, wirkt sich eine Unebenheit der seitlichen Führungsfläche weniger stark auf die Geradlinigkeit in der Messebene aus. Die Genauigkeit resp. Geradlinigkeit der Schlitten-Verfahrbewegung wird also auf diese Weise wesentlich erhöht. The fact that the side plate, as in the embodiment according to Fig. 1, rests on four contact surfaces, and the fulcrum is in the center between the upper and lower two supports, an unevenness of the lateral guide surface has less of an effect on the straightness in the measuring plane. The accuracy resp. The straightness of the carriage movement is thus significantly increased.

Der Verfahrschlitten eignet sich unter anderem zur Messung von Länge, Geradheit, Rechtwinkligkeit und Parallelität in der Qualitätskontrolle. The traversing slide is suitable, among other things, for measuring length, straightness, perpendicularity and parallelism in quality control.

Anstelle der Seitenfläche der Platte 7 zur seitlichen Führung kann ein Lineal 8 mit zwei Auflagestücken 9 eingesetzt werden. Hierbei wird die Auflageplatte 10, wie im obigen Beispiel, auf der ebenen Fläche der Platte 7 aufgelegt. Die Seitenplatte 20 wird in diesem Fall umgekehrt auf der gegenüberliegenden Seite, mit der gleichen Halterung 4 und Lagerung 3, montiert. Der Vorteil auch hier, Instead of the side surface of the plate 7 for lateral guidance, a ruler 8 with two support pieces 9 can be used. Here, the support plate 10, as in the example above, is placed on the flat surface of the plate 7. In this case, the side plate 20 is mounted upside down on the opposite side, with the same holder 4 and bearing 3. The advantage here, too

dass die Winkel des Lineals zur ebenen Fläche der Platte unterschiedlich sein können. that the angle of the ruler to the flat surface of the plate can be different.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Beispielen gezeigt. Die Darstellungen sind der Einfachheit halber schematisch gezeichnet und sind nicht Massstabgetreu. The invention is shown below by means of examples. The representations are drawn schematically for the sake of simplicity and are not to scale.

Fig. 1: Explosionsartig gezeichnete Darstellung. Der Verfahrschlitten ist in diesem Beispiel zur besseren Veranschaulichung umgekehrt gezeichnet. Fig. 1: Exploded illustration. In this example, the traversing slide is drawn in reverse for better illustration.

Fig. 2: Verfahrschlitten zusammen mit einer Platte. Hierbei dient die Seitenfläche der Platte 7 als seitliche Führung. Fig. 2: carriage together with a plate. Here, the side surface of the plate 7 serves as a lateral guide.

Fig. 3: Verfahrschlitten zusammen mit einem Lineal 8 auf der Platte. Hierbei dient die Seitenfläche des Lineals als seitliche Führung. Das Lineal kann bei dieser Anordnung entweder bloss mit seinem Eigengewicht auf zwei Auflagestücken 9 aufliegen, fest montiert sein, oder mittels Unterdruck angesaugt werden. Fig. 3: carriage together with a ruler 8 on the plate. The side surface of the ruler serves as a lateral guide. In this arrangement, the ruler can either rest with its own weight on two support pieces 9, be fixed, or be sucked in by means of a vacuum.

Fig. 4: Verfahrschlitten zusammen mit einem Lineal auf der Platte. Hierbei dient die Seitenfläche des Lineals als seitliche Führung. Um Platz einzusparen, wird der Verfahrschlitten hierbei unter dem Lineal, welches an den äusseren beiden Enden aufliegt, angeordnet. Das Lineal kann bei dieser Anordnung entweder bloss mit seinem Eigengewicht auf zwei Auflagestücken 9 aufliegen, fest montiert sein, oder mittels Unterdruck angesaugt werden. Fig. 4: carriage together with a ruler on the plate. The side surface of the ruler serves as a lateral guide. In order to save space, the carriage is arranged under the ruler, which rests on the outer two ends. In this arrangement, the ruler can either rest with its own weight on two support pieces 9, be fixed, or be sucked in by means of a vacuum.

Claims (3)

PatentansprücheClaims 1. Luftgelagerter Verfahrschlitten, welcher auf einer ebenen Fläche (7) aufliegend und an einer zweiten Fläche (7/8), seitlich geführt, verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Auflageplatte (10) über eine Halterung (4) mit einer Lagerung (3) eine Seitenplatte (20) montiert ist und diese durch die Lagerung (3) um deren Längsachse drehbar, gleichzeitig aber quer zur Längsbewegung spielfrei ist; im Weiteren die Auflageplatte (10) mindestens drei, die Seitenplatte (20) mindestens zwei erhöhte Auflageflächen (15/25) aufweist, welche rings um die wiederum zurückgesetzten Aussparungen (14/24) mit einer Ansaugöffnung (11/21) angeordnet sind, und diese Auflageflächen (15/25) mit jeweils einer ringsum verlaufenden Nute (13/23), mit mindestens einer Austrittsöffnung (12/22) versehen sind.1. Air-bearing carriage, which rests on a flat surface (7) and is laterally guided on a second surface (7/8), characterized in that on a support plate (10) via a holder (4) with a bearing (3) a side plate (20) is mounted and the bearing (3) rotates it about its longitudinal axis, but at the same time it is free of play transversely to the longitudinal movement; Furthermore, the support plate (10) has at least three, the side plate (20) at least two raised support surfaces (15/25), which are arranged around the recessed recesses (14/24) with a suction opening (11/21), and these contact surfaces (15/25) are each provided with a groove (13/23) running all around, with at least one outlet opening (12/22). 2. Luftgelagerter Verfahrschlitten gem. Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (4) mit der Seitenplatte (20) in die der Auflageflächen (15) der Auflageplatte (10) entgegengesetzte Richtung angebracht ist und die Auflageflächen (25) der Seitenplatte (20) nach aussen, resp. von der Auflageplatte weg, angebracht ist.2. Air bearing carriage according to Claim 1, characterized in that the holder (4) with the side plate (20) is attached in the opposite direction to the support surfaces (15) of the support plate (10) and the support surfaces (25) of the side plate (20) to the outside, respectively. away from the platen. 3. Luftgelagerter Verfahrschlitten gem. Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (4) mit der Seitenplatte (20) in die der Auflageflächen (15) der Auflageplatte (10) entgegengesetzte Richtung angebracht ist und die Auflageflächen (25) der Seitenplatte (20) nach innen, resp. in Richtung der Auflageplatte, angebracht ist.3.Air-mounted carriage according to Claim 1, characterized in that the holder (4) with the side plate (20) is attached in the opposite direction to the support surfaces (15) of the support plate (10) and the support surfaces (25) of the side plate (20) inwards, respectively. towards the platen. 55 1010th 1515 2020th 2525th 3030th 3535 4040 4545 5050 5555 6060 6565 22nd
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2714325A2 (en) * 2011-05-31 2014-04-09 Korea Institute Of Machinery & Materials Actively compensated stage having 5-dof motion error compensation and motion error compensating method thereof

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10111359A1 (en) * 2001-03-08 2002-09-26 Logos Innovationen Gmbh Lift (elevator) for transportation between floors has gas supply unit to form gas bearing for sliding element
DE102004012204B3 (en) * 2004-03-12 2005-05-25 Siemens Ag Air bearing comprises stationary L-section rail and L-section slide, one wall of stationary rail swiveling to allow accurate adjustment of its orientation
DE102005050108B4 (en) * 2005-10-18 2009-04-09 Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Air bearing and method for adjusting a bearing gap

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2714325A2 (en) * 2011-05-31 2014-04-09 Korea Institute Of Machinery & Materials Actively compensated stage having 5-dof motion error compensation and motion error compensating method thereof
EP2714325A4 (en) * 2011-05-31 2014-11-12 Korea Mach & Materials Inst Actively compensated stage having 5-dof motion error compensation and motion error compensating method thereof
US9079279B2 (en) 2011-05-31 2015-07-14 Korea Institute Of Machinery & Materials Actively compensated stage having 5-DOF motion error compensation and motion error compensating method thereof

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