CH674420A5

CH674420A5 -

Info

Publication number: CH674420A5
Application number: CH486786A
Authority: CH
Inventors: Patrick Lederrey
Original assignee: Wild Leitz Ag
Priority date: 1986-12-06
Filing date: 1986-12-06
Publication date: 1990-05-31
Also published as: DE3712179A1

Description

BESCHREIBUNG Die Erfindung betrifft eine Fassung für optische Linsen eines Linsensystems innerhalb eines Fassungskörpers, gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. DESCRIPTION The invention relates to a holder for optical lenses of a lens system within a holder body, according to the preamble of claim 1.

Linsenfassungen in Linsensystemen, wie z. B. in Objektiven, haben die Aufgabe, die einzelnen Linsen in einer bestimmten Distanz zueinander, in der korrekten axialen Position und in der korrekten Neigung, das heisst koaxial zur gemeinsamen Systemachse, zu halten. Abweichungen jeder Linse bezüglich dieser drei Hauptkriterien haben unerwünschte Systemfehler zur Folge. Dabei wirken sich Fehler der einzelnen Linsen nicht gleich stark aus. Bestimmte Linsen sind an Systemfehlern stärker beteiligt als andere. In besonderem Mass machen sich Justierfehler in hochpräzisen Linsensystemen mit einer Vielzahl von Einzellinsen bemerkbar. Solche Systeme verlangen z. B. eine axiale Ausrichtung einzelner Linsen in der Grössenordnung von 0,5 bis 3,0 |im. Diese Werte lassen sich bei Verwendung von herkömmlichen Fassungen nur noch mit beträchtlichem Justieraufwand von besonders geschultem Personal beherrschen. Lens frames in lens systems, such as. B. in lenses, have the task of holding the individual lenses at a certain distance from each other, in the correct axial position and in the correct inclination, that is, coaxial to the common system axis. Deviations of each lens in relation to these three main criteria result in undesirable system errors. Errors in the individual lenses do not have the same effect. Certain lenses are more involved in system failures than others. Adjustment errors are particularly noticeable in high-precision lens systems with a large number of individual lenses. Such systems require e.g. B. an axial alignment of individual lenses in the order of 0.5 to 3.0 | im. When using conventional frames, these values can only be mastered by specially trained personnel with considerable adjustment effort.

Unter der Voraussetzung, dass die Einzellinsen des Systems hinsichtlich ihrer optischen Werte im Rahmen vorgegebener Fertigungstoleranzen liegen, sind bei der Justage des Gesamtsystems im wesentlichen die Fehlereinflüsse des fertigungsbedingten mechanischen Grundspiels zu berücksichtigen. Provided that the individual lenses of the system are within the given manufacturing tolerances with regard to their optical values, the error influences of the manufacturing-related basic mechanical game have to be taken into account when adjusting the overall system.

Dieses setzt sich aus der gesamten Masstoleranz der Linsenaufnahme im Fassungskörper und dem Linsenaussendurchmes-ser, ferner aus der Formtreue dieser Teile sowie aus der Messunsicherheit bei der Erfassung ihrer Masse zusammen, ergänzt schliesslich durch die Dilatationen dieser Teile unter Tempera-tureinfluss. Beispielsweise übt der Reinigungsvorgang der Einzellinsen mit einer Reinigungsflüssigkeit wegen der entstehenden Verdunstungskälte bereits ëinen erheblichen Temperaturein-fluss aus, der aber wiederum je nach Glassorte oder Oberflächenqualität der Linsen verschieden gross ist. This is made up of the overall dimensional tolerance of the lens holder in the mount body and the lens outer diameter, the shape accuracy of these parts and the measurement uncertainty when recording their mass, supplemented by the dilatation of these parts under the influence of temperature. For example, the cleaning process of the individual lenses with a cleaning liquid already exerts a considerable influence of temperature due to the evaporation cold which arises, but this in turn varies in size depending on the type of glass or surface quality of the lenses.

Der Justiervorgang grösserer Linsensysteme wird ganz erheblich dadurch erschwert, dass bei Korrektur einer Linse häufig auch benachbarte Linsen aus ihrer Halterung vorübergehend entfernt oder verschoben werden müssen und diese anschliessend nicht mehr reproduzierbar positioniert werden können. Dadurch wird nicht selten der Gesamtfehler des Systems vergrös-sert anstatt verkleinert, so dass der letzte Justierschritt wiederholt werden muss, oder - sofern dies überhaupt möglich ist -durch Justierung anderer Linsen kompensiert werden muss. The adjustment process of larger lens systems is made considerably more difficult by the fact that when a lens is corrected, neighboring lenses often have to be temporarily removed or moved from their holder and these can then no longer be positioned in a reproducible manner. This not infrequently increases the overall error of the system instead of reducing it, so that the last adjustment step must be repeated or - if this is possible at all - must be compensated for by adjusting other lenses.

Es sind bereits Lösungsansätze zur Beherrschung der Probleme bekannt, wie sie bei der Fassung von Linsensystemen auftreten. Die bekannten Lösungen betreffen jedoch immernur Teilprobleme, ohne die Gesamtheit der Fehlerquellen, insbesondere bei den oben genannten äusserst strengen Masstoleranzen, zu berücksichtigen. Dadurch können zwar singuläre Verbesserungen hinsichtlich einzelner Systemparameter erreicht werden, nicht jedoch eine systematische Fehlerkompensation an hochpräzisen, aus einer Vielzahl von Linsen zusammengesetzten Systemen. There are already known approaches to mastering the problems that occur when mounting lens systems. However, the known solutions only relate to partial problems without taking into account the entirety of the sources of error, in particular in the case of the extremely strict dimensional tolerances mentioned above. Although this can achieve singular improvements in terms of individual system parameters, it does not allow systematic error compensation on high-precision systems composed of a large number of lenses.

So ist aus der GB-PS 1528 084 eine federnde Lagerung der Einzellinsen in axialer Richtung bekannt. Dabei werden die Linsen spielfrei an eine Auflage im Fassungskörper gepresst, wobei auf der Gegenseite der Auflage, in axialer Richtung gesehen, ein Federring vorzugsweise an einzelnen Punkten der Linsenfläche angreift und damit den Linsenkörper gegen die Auflage drückt. Sind die Linsen einmal im Fassungskörper montiert, lassen sie sich anschliessend nicht mehr fein-justieren, wie dies für hochpräzise Systeme erforderlich ist. From GB-PS 1528 084 a resilient mounting of the individual lenses in the axial direction is known. The lenses are pressed without play against a support in the frame body, a spring ring acting on the opposite side of the support, viewed in the axial direction, preferably at individual points on the lens surface and thus pressing the lens body against the support. Once the lenses have been mounted in the frame, they can no longer be fine-tuned, as is required for high-precision systems.

Andererseits ist aus FR-OL 2 428 852 eine Fassung mit einem Federring bekannt, der an der Peripherie des Linsenkörpers angreift und den Linsenkörper axial bezüglich des Fassungskörpers zentrieren soll. Damit soll ein Achsenversatz zwischen der optischen Achse der Linse und der mechanischen System-Achse aufgefangen werden. Auch dieser Vorschlag genügt nicht zur reproduzierbaren Beseitigung von Systemfehlern, die sich durch fertigungsbedingte Toleranzen der Einzellinsen einstellen, insbesondere bei den oben genannten hohen Genauigkeitsanforderungen. On the other hand, a frame with a spring ring is known from FR-OL 2 428 852, which acts on the periphery of the lens body and is intended to center the lens body axially with respect to the frame body. This is intended to compensate for an axis offset between the optical axis of the lens and the mechanical system axis. This proposal, too, is not sufficient for the reproducible elimination of system errors which arise due to manufacturing-related tolerances of the individual lenses, in particular in the case of the high accuracy requirements mentioned above.

2 2nd

5 5

10 10th

15 15

20 20th

25 25th

30 30th

35 35

40 40

45 45

50 50

55 55

60 60

65 65

3 674 420 3,674,420

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fassung für diametral ergänzen. Dabei zeigt Fig. 1 ein von aussen an den ein optisches Linsensystem dahingehend zu verbessern, dass eine Tubus 1 angesetztes einstellbares Federelement 6, welches auf systematische und reproduzierbare Korrektur von fertigungsbe- die Peripherie einer zu justierenden Linse 2 einwirkt. Entspre- It is an object of the present invention to supplement a version for diametrical. 1 shows from the outside to improve an optical lens system in such a way that a tube 1 has an adjustable spring element 6 which acts on systematic and reproducible correction of the periphery of a lens 2 to be adjusted. Correspond-

dingten Toleranzen mit vertretbarem Aufwand ermöglicht wird, chend zeigt Fig. 2 auf der diametral gegenüberliegenden Seite der so dass sich das Linsensystem systematisch auf optimale Abbil- 5 Linse 2 einen Mikrometeransatz 7, mit welchem sich die Linse 2 dungseigenschaften justieren lässt, ohne dass sich bei der Korrek- gegen den Federdruck des Federelements 6 längs der der Koordi- 2, on the diametrically opposite side of the lens system, so that the lens system can be systematically adjusted to an optimum 5 lens 2 with which the lens 2 can be adjusted without the need for the correction against the spring pressure of the spring element 6 along that of the coordinate

tur einer Linse der Gesamtfehler des Systems dadurch vergrös- natenachse verschieben lässt. For a lens, the overall error of the system can thereby shift the axis of magnification.

sern kann, dass benachbarte Linsen aus ihrer Halterung vorüber- Im einzelnen enthält das Federelement 6 eine Stellschraube, gehend entfernt oder verschoben werden müssen und danach z. B. eine Rändelschraube 10, welche über ein Feingewinde 11 in nicht mehr reproduzierbar positioniert werden können. Ausser- io einem Federgehäuse 12 geführt ist. Das Federgehäuse ist am dem soll durch die Art der Linsenfassung das Auftreten von Tubus 1 abnehmbar befestigt, im Beispiel über zwei zur Tubusmechanischen Spannungen am Linsenkörper besser ausgeschal- achse konzentrische Ringpartien 13 und 14. Im Inneren des tet werden als mit bekannten Fassungstypen. Federgehäuses ist die Stellschraube mit einem Führungsdorn 15 can learn that neighboring lenses from their holder over. In detail, the spring element 6 contains a set screw, must be removed or moved and then z. B. a knurled screw 10, which can be positioned in a no longer reproducible via a fine thread 11. Except io a spring housing 12 is guided. The spring housing is detachably attached to the appearance of tube 1 by the type of lens mount, in the example by means of two ring parts 13 and 14, which are better stripped-off to the tube mechanical stresses on the lens body, inside the tet than with known frame types. The spring housing is the set screw with a guide pin 15

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die im Patentan- versehen, auf welchem eine Feder 16 geführt ist. Die Feder 161" bt sprach 1 definierten Merkmale gelöst. 15 eine bezüglich der Stellschraube axiale Druckkraft auf einenKol- According to the invention, this object is provided by the patent on which a spring 16 is guided. The spring 161 "bt spoke 1 defined characteristics solved. 15 an axial pressure force with respect to the adjusting screw on a

Durch diese Massnahmen wird eine überraschend zuverläs- ben 17 aus. Der Kolben ist in dem Federgehäuse 12 geführt. These measures result in a surprisingly reliable 17. The piston is guided in the spring housing 12.

sige und zweckmässige Justiermöglichkeit derjenigen Einzellin- Durch eine Öffnung 18 im Federgehäuse 12 wirkt die Spitze des sen des Systems erreicht, welche die optischen Eigenschaften des Kolbens 17 auf einen Stellstift 19, welcher direkt an der Periphe- Sige and expedient adjustment possibility of those single-cell through an opening 18 in the spring housing 12 acts the top of the sen reaches the system, which the optical properties of the piston 17 on a set pin 19, which is directly on the peripheral

Systems entscheidend beeinflussen. Durch Trennung von Halte- rie der Linse 2 anliegt. Der Stellstift 19 ist in einer Hilfsschraube rangs- und Justierfunktion an der gleichen Vorrichtung wird die 20 20 axial beweglich im Tubus 1 geführt. System. By separating the holder from the lens 2. The setting pin 19 is in an auxiliary screw ranking and adjustment function on the same device, the 20 20 is axially movable in the tube 1.

Formtreue der einzelnen Linsen erhalten, so dass sich mecha- Auf der diametral gegenüberliegenden Seite des Tubus 1 ist nisch oder thermisch bedingte Formänderungen der Einzellinsen gemäss Fig. 2 koaxial zum Stellstift 19 ein zweiter Stellstift 21 Preserve the shape of the individual lenses, so that there is a second setting pin 21 coaxially to the setting pin 19 on the diametrically opposite side of the tube 1

in Grenzen halten bzw. präzis kalkulierbar sind, insbesondere vorgesehen, welcher ebenfalls an der Peripherie des Linsenkör- keep within limits or are precisely calculable, in particular provided, which is also on the periphery of the lens body.

wenn das Material der Fassungselemente hinsichtlich seines pers 2 anliegt. Auch dieser zweite Stellstift 21 ist in einer zweiten temperaturbedingten Ausdehnungsverhaltens auf das Linsenma-25 Hilfsschraube 22 im Tubus 1 geführt. Ferner sind auch auf dieser terial abgestimmt ist. Trotzdem ist eine sehr genaue Justierung Seite an den Ringpartien 13 und 14 Mittel zum lösbaren Ansetzen des Linsensystems auf einfache Weise möglich, so dass sich eines Zusatzelementes vorgesehen. Anstelle des Federgehäuses if the material of the frame elements is applied with regard to its pers 2. This second actuating pin 21 is also guided in a second temperature-dependent expansion behavior onto the lens-25 auxiliary screw 22 in the tube 1. Furthermore, this material is also coordinated. Nevertheless, a very precise adjustment on the ring portions 13 and 14 means for releasably attaching the lens system is possible in a simple manner, so that an additional element is provided. Instead of the spring case

Restfehler der optischen Abbildung des Linsensystems, wie z.B. 12 mit dem Federelement 6 ist auf dieser Seite ein Mikrometeran- Residual errors in the optical imaging of the lens system, such as 12 with the spring element 6 is a micrometer on this side

Achsenastigmatismus oder Bildfeldwölbung, praktisch vollstän- satz 23 vorgesehen, welcher an der Übergangsstelle zum zweiten dig kompensieren lassen. 30 Stellstift 21 ähnlich ausgebildet ist wie das Federelement 6. Axis astigmatism or field curvature, practically complete set 23 is provided, which can be compensated at the transition point to the second dig. 30 adjusting pin 21 is formed similarly to the spring element 6.

Im folgenden wird die Erfindung anhand bevorzugter Aus- Mit Hilfe des Mikrometeransatzes 23 lässt sich der Linsenkör-führungsbeispiele mit Hilfe der Zeichnungen näher erläutert. per 2 gegen die Vorspannkraft des Federelementes 6 genau in die Es zeigen: gewünschte Position bringen. Der Linsenkörper kann unter dem Fig. 1 einen teilweisen Schnitt durch die Vorrichtung mit Einfluss des Mikrometeransatzes 23 einerseits und dem Federangesetztem, zur Justiereinrichtung gehörenden Federelement; 35 element andererseits die gewünschte Bewegung parallel zur In the following, the invention will be explained on the basis of preferred embodiments. per 2 against the biasing force of the spring element 6 exactly in the It show: bring the desired position. 1, the lens body can be a partial section through the device with the influence of the micrometer tip 23 on the one hand and the spring attached spring element belonging to the adjusting device; 35 element, on the other hand, the desired movement parallel to

Fig. 2 einen Schnitt, der die radial gegenüberliegende Seite Achse der Stellstifte 19 und 21 durchführen. Der Mikrometerander Vorrichtung mit einer angesetzten Einstellschraube zeigt, satz 23 wird z. B. aufgrund vorgegebener Korrekturwerte ver- Fig. 2 shows a section that the radially opposite side axis of the adjusting pins 19 and 21 perform. The micrometer other device with a set screw shows, set 23 is z. B. due to predetermined correction values

Fig. 3 den entsprechenden Schnitt mit der Darstellung einer stellt. Die tatsächliche Position des Linsenkörpers wird mit lösbaren Fixierbacke, und einem Lineargeber 9 überwacht, der durch die Rändelschraube Fig. 4 den Schnitt A-A nach Fig. 3. 40 10 hindurch, die am Kolben 17 anliegt. Diese z.B. in X-Richtung Die in den Figuren gezeigte Fassung weist als wesentliches vorgenommene Korrektur kann anschliessend durch eine entElement einen stabilen Tubus 1 auf, der als eigentliche mechani- sprechende Korrektur in Y-Richtung ergänzt werden, so dass sehe Basis dient. In dem Tubus 1 sind die zum System gehören- eine vollständige Korrektur der Linsenposition innerhalb der X-den Linsen 2,3, und 4 auf die später näher beschriebene Weise Y-Ebene möglich ist.Nach Durchführung der Korrekturbewe-eingesetzt. Einzelne ausgewählte Linsen werden durch eine in 45 gungen wird die endgültige Positionierung des Linsenkörpers den Tubus integrierte bzw. an diesen angesetzte Hilfsvorrichtung durch Betätigen einer im folgenden näher beschriebenen Fixier-in ihrer Linsenebene fein ausgerichtet und anschliessend fixiert. Vorrichtung fixiert. Danach können die an den Tubus 1 angesetz-Das Ausrichten oder Justieren und das Fixieren sind dabei ten Hilfsmittel, nämlich die Federelemente 6 und die Mikrome-innerhalb der Vorrichtung und damit von ihrer Funktion her teransätze 23 entfernt werden. Fig. 3 shows the corresponding section with the representation of a. The actual position of the lens body is monitored with a releasable fixing jaw and a linear encoder 9, which through the knurled screw FIG. 4 shows the section A-A according to FIG. 3. 40 10, which bears against the piston 17. These e.g. in the X direction The version shown in the figures has the essential correction that can then be carried out by means of an element, a stable tube 1, which is supplemented as the actual mechanical-speaking correction in the Y direction, so that the base serves. In the tube 1, those belonging to the system are possible - a complete correction of the lens position within the X - the lenses 2, 3, and 4 is possible in the manner described in more detail later. The Y-plane is used after the correction has been carried out. Individual selected lenses are finely aligned and then fixed in place by an auxiliary device that is integrated into or attached to the tube by actuating a fixing device, which is described in more detail below. Device fixed. Thereafter, the attaching to the tube 1 — the alignment or adjustment and the fixing are th aids, namely the spring elements 6 and the micrometre — within the device and thus their approaches 23 are removed from their function.

voneinander getrennt. so Eine zur Fixation geeignete Vorrichtung wird beispielsweise separated from each other. For example, a device suitable for fixation

Beim Justieren greift eine koordinatenorientierte Feinein- anhand von Fig. 3 beschrieben. An mehreren, im Beispiel drei, When adjusting, a coordinate-oriented fine action is described with reference to FIG. 3. On several, three in the example,

Stellvorrichtung unter Vorspannung an der Linsenperipherie an. ausgewählten Bereichen des Tubus-Umfangs sind lösbare Actuator under tension on the lens periphery. selected areas of the tube circumference are detachable

Durch definiertes Feinverschieben des Linsenkörpers gegenüber Klemmbacken 30 angebracht, welche den Linsenkörper 2 ela- By means of a defined fine displacement of the lens body relative to the clamping jaws 30, which elapses the lens body 2

dem Tubus, beispielsweise in der X- und Y-Achse eines in der stisch gegen die Tubuswand pressen und damit reibschlüssig the tube, for example in the X and Y axes, press one against the tube wall and thus frictionally

Linsenebene liegenden karthesischen Koordinatensystems, wer- 55 fixieren. Diese Fixierung erfolgt durch definierten Druck auf die den optische Fehler dieser Linse auf das System minimiert. Nach Planfläche des Linsenkörpers 2, und nicht durch Druck auf die Cartesian coordinate system lying on the lens plane, will fix 55. This fixation takes place by means of defined pressure which minimizes the optical error of this lens on the system. According to the flat surface of the lens body 2, and not by pressure on the

Beendigung dieses Justiervorganges wird die Linse in der korri- Peripherie des Linsenkörpers, wie bei dem zuvor beschriebenen gierten Position fixiert. Die Fixierung erfolgt durch elastisches Justiervorgang. Completion of this adjustment process, the lens is fixed in the corri-periphery of the lens body, as in the previously described yawed position. The fixation is done by elastic adjustment.

Anpressen des Linsenkörpers an den Tubus, und zwar durch In einer inneren Aussparung 31 des Tubus 1 ist ein Auflage-Anpressdruck, der auf die Linsenflächen gerichtet is t, also 60 ring 32 eingesetzt, an den der Linsenkörper 2 anzuliegen kommt, senkrecht zur Verstellrichtung beim Justieren verläuft. Vorzugs- Von der anderen Seite des Linsenkörpers her stossen die Klemmweise wird der Linsenkörper nur an wenigen, z. B. an drei Stellen backen 30 mit aufgesetzten elastischen Pufferkörpern 33 gegen mit Hilfe von Fixierbacken elastisch gehalten. den Linsenkörper 2 und pressen ihn so gegen den Auflagering 32 Pressing the lens body onto the tube, namely by in an inner recess 31 of the tube 1, a contact pressure, which is directed onto the lens surfaces, ie 60 ring 32 is used, against which the lens body 2 comes to lie, perpendicular to the direction of adjustment Adjustment runs. Preferred - from the other side of the lens body push the clamping way, the lens body is only on a few, z. B. bake in three places 30 with attached elastic buffer bodies 33 against elastic with the help of fixing jaws. the lens body 2 and press it against the support ring 32

Einzelheiten eines bevorzugten Ausführungsbeispiels werden am Tubus 1. Die Pufferkörper bestehen z. B. aus Neopren. Details of a preferred embodiment are shown on the tube 1. The buffer body consists, for. B. made of neoprene.

im folgenden erläutert. Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Justierein- 65 Erreicht wird diese Befestigung mit Hilfe einer Führung, z. B. explained below. 1 and 2 show a Justierein- 65 This attachment is achieved with the help of a guide, z. B.

richtungfür eine Koordinatenachse, z. B. für die X-Achse eines einer Gleitführung 34, welche zwischen den Ringpartien 13 und rechtwinkligen zweidimensionalen Koordinatensystems. Die 14 am Tubus verläuft. Entlang dieser Gleitführung 34 kann die beiden Figuren stellen zwei Halbschnitte dar, die einander Klemmbacke 30 mit Hilfe einer Stellschraube 35 parallel zur direction for a coordinate axis, e.g. B. for the X-axis of a sliding guide 34, which between the ring portions 13 and right-angled two-dimensional coordinate system. The 14 runs on the tube. Along this sliding guide 34, the two figures represent two half-cuts, the clamping jaw 30 mutually parallel with the aid of an adjusting screw 35

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Achse des Objektivs bewegt werden, bis die Pufferkörper 33 den Derartig gefasste Objektive haben Querbeschleunigungen von Linsenkörper 2 mit der gewünschten Spannkraft elastisch gegen 20 g vollkommen schadlos überstanden. Sie eignen sich daher den Auflagering 32 am Tubus 1 pressen. Soll die Linse später unter anderem vorzüglich für den Einsatz in Flug- oder Satelli- Axis of the lens can be moved until the buffer body 33 of the lens thus assembled have withstood the lateral accelerations of the lens body 2 with the desired clamping force against 20 g in a completely harmless manner. They are therefore suitable to press the support ring 32 on the tube 1. If the lens is later to be used, among other things, for use in flight or satellite

zwecks Restfehlerkompensation nachjustiert werden, so ist diese tenbeobachtungsgeräten, insbesondere aber auch für Projek-Fixierung jederzeit lösbar. Als Positioniersicherung wird nach s tionsoptiken der Mikrolitographie. readjusted for the purpose of residual error compensation, these ten observation devices, but in particular also for project fixation, can be released at any time. Microlitography optics are used to secure the positioning.

erfolgreicher Endprüfung anstelle der Hilfsschrauben 20 und 22 Die am Beispiel eines einzigen Linsenkörpers beschriebene eine geeignete Sicherungsschraube direkt an die Linsenperiphe- Justier- und Fixiereinrichtung wird bei grösseren Linsensystemen rie leicht angestellt und versiegelt. mit Vorteil an mehreren, und zwar an denjenigen Linsen des successful final inspection instead of the auxiliary screws 20 and 22 The example of a single lens body describes a suitable locking screw directly to the lens periphery adjusting and fixing device is easily adjusted and sealed with larger lens systems. with advantage on several, namely on those lenses of the

Die beschriebene Fixierung und Sicherung ist aussergewöhn- Systems bzw. des Objektivs vorgesehen, welche die Gesamteilich wirkungsvoll, wobei die Position des Linsenkörpers bezüg- io genschaften des Systems besonders empfindlich beeinflussen. The fixation and securing described is provided for the exceptional system or the lens, which has an overall effective effect, the position of the lens body being particularly sensitive to the properties of the system.

lieh der X-Y-Koordinaten im Submikronbereich beibehalten Andere Linsen werden direkt im Tubus bzw. Fassungskörper wird. Die Formtreue der auf diese Weise fixierten Linse wird im fixiert. Lent the X-Y coordinates in the submicron range maintained. Other lenses are placed directly in the tube or frame body. The shape of the lens fixed in this way is fixed in the.

Gegensatz zu vielen anderen Fassungsmethoden auch bei extrem Vorteilhaft bei der Montage und bei der anschliessenden hohen Genauigkeitsansprüchen beibehalten, insbesondere wenn Justierung ist die lösbare Fixierung der verstellbaren Linsen, so das Material der Fassungselemente hinsichtlich seines tempera- 15 dass nicht an sich einwandfrei justierte Linsen aus ihrer Fassung turbedingten Ausdehnungsverhaltens auf das Linsenmaterial herausgenommen werden müssen, um an die zu verstellende abgestimmt ist. Als besonders geeignet haben sich Nickel-Eisen- Linse heranzukommen, wodurch dann häufig neue Systemfehler Legierungen für den Tubus bzw. Fassungskörper 1 erwiesen. durch die später wieder eingesetzten Linsen entstanden sind. Contrary to many other frame methods even with extremely advantageous during assembly and with the subsequent high accuracy requirements, especially when adjustment is the releasable fixation of the adjustable lenses, so the material of the frame elements with regard to its temperature-15 that not properly adjusted lenses from their Version of expansion behavior due to the door must be removed from the lens material in order to match the one to be adjusted. Nickel-iron lenses have been found to be particularly suitable, as a result of which new alloy system alloys for the tube or frame body 1 often prove. caused by the lenses that were used again later.

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1 Blatt Zeichnungen 1 sheet of drawings

Claims

674 420 PATENT CLAIMS

1. Holder for optical lenses of a lens system within a holder body, lenses being held in the holder body under elastic prestress, characterized in that the holder at least in the area of a lens of the lens system with a coordinate-oriented adjusting device (21, 23, 19, 19) that acts on the lens periphery. 6) is provided, which acts elastically on the periphery of the lens body, and that releasable fixing devices (30, 32, 33, 34, 35) for pressing the lens onto the frame body (1) while exerting an elastic contact pressure on the flat surface of the lens ( 2) are provided.

2. Socket according to claim 1, characterized in that the coordinate-oriented adjusting device (21, 23, 19, 6) consists of a spring element (6) which can be releasably attached to the frame body (1) and which can be displaced radially with respect to the lens body (2) Coupling element (19) is connected to the periphery of the lens body, and that on the diametrically opposite side a fine adjustment device (21, 23) is also provided which acts on the periphery of the lens body and which counteracts the spring element.

3. Socket according to claim 2, characterized in that the coupling element is designed as an adjusting pin (19) which is axially movably guided in a sleeve-like auxiliary screw (20) on the socket body (1).

4. Socket according to claim 3, characterized in that the fine adjustment device (21, 23) engages via a second adjusting pin (21) on the periphery of the lens body (2), the axis of the adjusting pin extending radially with respect to the lens body (2), and that the second adjusting pin is guided in a second sleeve-like auxiliary screw (22) on the socket body (1).

5. Socket according to claim 2, characterized in that the spring element (6) and the fine adjustment device (23) are attached to common fastening parts (13, 14) provided along the circumference of the socket body (1).

6. Socket according to claim ^, characterized in that the releasable fixing devices (30, 32-35) are also attached to the fastening parts (13, 14).

7. Socket according to claim 5 or 6, characterized in that the fastening parts (13, 14) are annular, which form an integral component with a tubular socket body (1).

8. Socket according to claim 1, characterized in that the releasable fixing devices (30, 32, 33, 34, 35) consist of a plurality of clamping jaws (30) distributed along the lens circumference, which are adjustable parallel to the optical axis of the lens system.

9. Socket according to claim 8, characterized in that the clamping jaws (30) are provided with elastic buffer bodies (33) which bear frictionally against the flat surface of the lens body (2).

10. Socket according to claim 1, characterized in that the frame body consists of a material whose temperature-related expansion behavior largely corresponds to that of the lens glasses used, at least the finely adjustable lenses (2).