CH550672A - Verfahren zur herstellung von druckelementen unter verwendung eines chemischen photowiderstandsaetzsystems. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von druckelementen unter verwendung eines chemischen photowiderstandsaetzsystems.

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CH550672A
CH550672A CH1007471A CH1007471A CH550672A CH 550672 A CH550672 A CH 550672A CH 1007471 A CH1007471 A CH 1007471A CH 1007471 A CH1007471 A CH 1007471A CH 550672 A CH550672 A CH 550672A
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0035Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface

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