CH544286A - Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät und nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät und nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät

Info

Publication number
CH544286A
CH544286A CH189372A CH189372A CH544286A CH 544286 A CH544286 A CH 544286A CH 189372 A CH189372 A CH 189372A CH 189372 A CH189372 A CH 189372A CH 544286 A CH544286 A CH 544286A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
measuring
ceramic
measuring device
lapping
cermet
Prior art date
Application number
CH189372A
Other languages
English (en)
Inventor
Kaempe Anders
Vingsbo Olof
Original Assignee
Johansson Ab C E
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from SE2133/71A external-priority patent/SE344420B/xx
Priority claimed from SE01171/72A external-priority patent/SE353041B/xx
Application filed by Johansson Ab C E filed Critical Johansson Ab C E
Publication of CH544286A publication Critical patent/CH544286A/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/30Bars, blocks, or strips in which the distance between a pair of faces is fixed, although it may be preadjustable, e.g. end measure, feeler strip
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00Coating starting from inorganic powder

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Dental Tools And Instruments Or Auxiliary Dental Instruments (AREA)

Description


  
 



   Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät, insbesondere an einem Parallelendmass, sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät.



   Die Messoberflächen von sehr genauen Messgeräten, wie z.B. Parallelendmassen, sind leicht zerkratzbar; schon bei der Herstellung solcher genauer Messoberflächen besteht die Tendenz, dass lediglich einige dieser Oberflächen genügend glatt sind, während die anderen Kratzer aufweisen, so dass solche Werkstücke dann ausgeschieden oder in ein niedrigeres Qualitätsniveau eingereiht werden müssen. Die Anwendung der vorliegenden Erfindung gestattet es jedoch, ausgeschiedene Werkstücke wieder zu verwenden, indem man ihnen einen wesentlich höheren Grad von Kratzfestigkeit verleiht, wobei die Erfindung auch bei solchen Werkstücken anwendbar ist. die bereits eine genügend glatte Oberfläche besitzen, so dass alle auf diese Art und Weise hergestellten Messgeräte dieselbe hohe Kratzfestigkeit aufweisen.



   Messoberflächen von Messgeräten hoher Genauigkeit, wie Parallelendmassen, Anreissplatten, Messtischen und Messpitzen benötigen sehr glatte Oberflächen; in manchen Fällen wird dabei verlangt, dass die Rauhigkeitsprofiltiefe einen Betrag von 0,02   IFt    nicht übersteigt. Vielfach werden solche Objekte aus gehärtetem Stahl hergestellt. Um den Bedingungen bezüglich Profiltiefe und ausserordentlich kleinen Messtoleranzen zu genügen, sowie um während der Endbearbeitung eine möglichst ebene Messoberfläche zu erhalten, wird das Läppverfahren angewendet. Dabei wird ein feinkörniges Schmirgelpulver (Poliermaterial), vorzugsweise aus harten keramischen Materialien, Aluminiumoxyd, Siliciumkarbid oder Diamant verwendet. Die während des Läppens auftretenden Bedingungen, z.B.



  bezüglich des Oberflächendruckes, des Schmiermittels, des Härteunterschiedes zwischen dem Arbeits- und dem zu bearbeitenden Material sowie des Vorschubes führt zum Zerkratzen einer grossen Anzahl von Messoberflächen der Werkstücke während der Endbearbeitung. Dieses Zerkratzen, das sowohl auf Abnützung infolge Schleifens als auch infolge Haftreibung zurückzuführen ist, führt dazu, dass ein grosser Teil der Werkstücke, in gewissen Fällen bis zu 60%, ausgeschieden oder in ein niedrigeres Qualitätsniveau eingestuft werden muss.



   Man hat schon versucht, diese Nachteile dadurch zu vermeiden, dass man die für die Messgeräte vorgesehenen Werkstücke vollständig aus keramischen oder Cermet-Materialien, wie z.B. harten Karbiden (Wolfram- oder Chromkarbid), herstellte. Dadurch konnten Bearbeitungskratzer vermieden werden. Die Verwendung solcher Materialien für die Herstellung von Messgeräten, wie Parallelendmassen, führt jedoch zu beträchtlichen Nachteilen, primär deswegen, weil der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient von Cermet- oder Keramikmaterial drastisch von demjenigen von Stahl abweicht.

  Da Mess geräte, wie Parallelendmasse, im wesentlichen zur Kontrolle von aus Stahl hergestellten Gegenständen dienen, und da damit gerechnet werden muss, dass solche Messungen bei verschiedenen Temperaturen durchgeführt werden, ist es von entscheidender Bedeutung, dass der lineare Wärmeausdeh nungskoeffizient des Messgerätematerials mit demjenigen von
Stahl übereinstimmt.



   Dies wird durch das erfindungsgemässe Verfahren erreicht, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens eine
Endfläche des Messgerätegrundkörpers zur Bildung der Mess oberfläche mit einer Keramik- oder Cermetschicht überzogen wird.



   Wenn eine Endfläche eines Messgerätes, wie z.B. eines
Parallelendmasses, mit verhältnismässig dünnen keramischen oder Cermetschichten aus einem oder mehreren Karbiden,
Nitriden und/oder Boriden von Metallen aus den Gruppen 3 bis 6 des periodischen Systems der Elemente, insbesondere aus Titan- oder Wolframkarbid hergestellt wird, zeigte es sich, dass das Zerkratzen der Endfläche während der Endbearbeitung durch Läppen vermieden werden kann, wobei die übrigen Bedingungen unverändert bleiben. Es ist somit auch möglich, Stahl als Material für die Messgeräte zu verwenden, so dass der weiter oben erwähnte Vorteil bezüglich des Wärmeausdehnungskoeffizienten von Stahl erreicht wird.



   Bei der Durchführung dieses Verfahrens hat es sich als sehr vorteilhaft erwiesen, vor dem Überziehen der Endfläche mit keramischen oder Cermetmaterial diese Endfläche durch einen vorangehenden Verfahrensschritt, wie Schleifen oder Vorläppen, auf ein Niveau von 2 bis 5   F    unterhalb des gewünschten Endmasses abzutragen. Die auf diese Weise erhaltene Endfläche wird anschliessend zweckmässig durch bekannte Verfahren mit einer harten keramischen oder Cermetschicht, wie z.B.



  Titankarbid, mit einer Dicke von 3 bis 10   11    überzogen, so dass sie das gewünschte Endmass leicht überschreitet. Hierauf erfolgt die Schlussbearbeitung der Oberfläche dieser Keramikoder Cermetschicht mittels Läppen oder Polieren in einem oder mehrerep Schritten, bis das Endmass dieser Oberfläche erreicht ist.



   Eine vorteilhafte Abwandlung des Verfahrens stellt das Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche auf einem Messgerät, insbesondere einem Parallelendmass, dar, gemäss welchem die Oberfläche vor dem Aufbringen der Keramikoder Cermetschicht mittels Schleifen, Läppen oder anderer Methoden geglättet wird, worauf sie anschliessend auf bekanntem Wege mittels einer Keramik- oder Cermetschicht mit einer Dicke von 0,02 bis 3   p    überzogen wird. Es hat sich ergeben, dass eine derart dünne Keramik- oder Cermetschicht der Endfläche einen genügenden Widerstand beim Transport und bei der Verwendung verleiht, wobei auch der Korrosionswiderstand und die Adhäsionseigenschaften durchaus zufriedenstellend sind.



   PATENTANSPRUCH 1
Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät, insbesondere an einem Parallelendmass, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Endfläche des Messgerätegrundkörpers zur Bildung der Messoberfläche mit einer Keramik- oder Cermetschicht überzogen wird.



   UNTERANSPRÜCHE
1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche, bevor sie mit der Schicht überzogen wird, durch Schleifen oder Vorläppen auf ein Niveau unterhalb des Endmasses der Messoberfläche abgetragen und hierauf mit der Schicht auf ein geringes Übermass über das genannte Endmass überzogen wird, worauf diese Schicht auf das Endmass geläppt wird.



   2. Verfahren nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtragen der Endfläche auf 2-5   R    unterhalb, und das Überziehen auf 3-10 oberhalb des Endmasses durchgeführt wird.

 

   3. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche vorerst abgetragen und durch Schleifen, Polieren oder Läppen geglättet wird, worauf eine Keramik- oder Cermetschicht von 0,02-0,3   ist    aufgetragen wird.



   4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche vorerst abgetragen und durch Schleifen, Polieren oder Läppen geglättet wird, worauf eine Keramik- oder Cermetschicht von 0,02-0,3   F    ohne anschliessendes Läppen derselben aufgetragen wird.



      PATENTANSPRUCH II   
Nach dem Verfahren gemäss Patentanspruch I hergestelltes
Messgerät. 

**WARNUNG** Ende DESC Feld konnte Anfang CLMS uberlappen**.



   

Claims (1)

  1. **WARNUNG** Anfang CLMS Feld konnte Ende DESC uberlappen **.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät, insbesondere an einem Parallelendmass, sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät.
    Die Messoberflächen von sehr genauen Messgeräten, wie z.B. Parallelendmassen, sind leicht zerkratzbar; schon bei der Herstellung solcher genauer Messoberflächen besteht die Tendenz, dass lediglich einige dieser Oberflächen genügend glatt sind, während die anderen Kratzer aufweisen, so dass solche Werkstücke dann ausgeschieden oder in ein niedrigeres Qualitätsniveau eingereiht werden müssen. Die Anwendung der vorliegenden Erfindung gestattet es jedoch, ausgeschiedene Werkstücke wieder zu verwenden, indem man ihnen einen wesentlich höheren Grad von Kratzfestigkeit verleiht, wobei die Erfindung auch bei solchen Werkstücken anwendbar ist. die bereits eine genügend glatte Oberfläche besitzen, so dass alle auf diese Art und Weise hergestellten Messgeräte dieselbe hohe Kratzfestigkeit aufweisen.
    Messoberflächen von Messgeräten hoher Genauigkeit, wie Parallelendmassen, Anreissplatten, Messtischen und Messpitzen benötigen sehr glatte Oberflächen; in manchen Fällen wird dabei verlangt, dass die Rauhigkeitsprofiltiefe einen Betrag von 0,02 IFt nicht übersteigt. Vielfach werden solche Objekte aus gehärtetem Stahl hergestellt. Um den Bedingungen bezüglich Profiltiefe und ausserordentlich kleinen Messtoleranzen zu genügen, sowie um während der Endbearbeitung eine möglichst ebene Messoberfläche zu erhalten, wird das Läppverfahren angewendet. Dabei wird ein feinkörniges Schmirgelpulver (Poliermaterial), vorzugsweise aus harten keramischen Materialien, Aluminiumoxyd, Siliciumkarbid oder Diamant verwendet. Die während des Läppens auftretenden Bedingungen, z.B.
    bezüglich des Oberflächendruckes, des Schmiermittels, des Härteunterschiedes zwischen dem Arbeits- und dem zu bearbeitenden Material sowie des Vorschubes führt zum Zerkratzen einer grossen Anzahl von Messoberflächen der Werkstücke während der Endbearbeitung. Dieses Zerkratzen, das sowohl auf Abnützung infolge Schleifens als auch infolge Haftreibung zurückzuführen ist, führt dazu, dass ein grosser Teil der Werkstücke, in gewissen Fällen bis zu 60%, ausgeschieden oder in ein niedrigeres Qualitätsniveau eingestuft werden muss.
    Man hat schon versucht, diese Nachteile dadurch zu vermeiden, dass man die für die Messgeräte vorgesehenen Werkstücke vollständig aus keramischen oder Cermet-Materialien, wie z.B. harten Karbiden (Wolfram- oder Chromkarbid), herstellte. Dadurch konnten Bearbeitungskratzer vermieden werden. Die Verwendung solcher Materialien für die Herstellung von Messgeräten, wie Parallelendmassen, führt jedoch zu beträchtlichen Nachteilen, primär deswegen, weil der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient von Cermet- oder Keramikmaterial drastisch von demjenigen von Stahl abweicht.
    Da Mess geräte, wie Parallelendmasse, im wesentlichen zur Kontrolle von aus Stahl hergestellten Gegenständen dienen, und da damit gerechnet werden muss, dass solche Messungen bei verschiedenen Temperaturen durchgeführt werden, ist es von entscheidender Bedeutung, dass der lineare Wärmeausdeh nungskoeffizient des Messgerätematerials mit demjenigen von Stahl übereinstimmt.
    Dies wird durch das erfindungsgemässe Verfahren erreicht, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens eine Endfläche des Messgerätegrundkörpers zur Bildung der Mess oberfläche mit einer Keramik- oder Cermetschicht überzogen wird.
    Wenn eine Endfläche eines Messgerätes, wie z.B. eines Parallelendmasses, mit verhältnismässig dünnen keramischen oder Cermetschichten aus einem oder mehreren Karbiden, Nitriden und/oder Boriden von Metallen aus den Gruppen 3 bis 6 des periodischen Systems der Elemente, insbesondere aus Titan- oder Wolframkarbid hergestellt wird, zeigte es sich, dass das Zerkratzen der Endfläche während der Endbearbeitung durch Läppen vermieden werden kann, wobei die übrigen Bedingungen unverändert bleiben. Es ist somit auch möglich, Stahl als Material für die Messgeräte zu verwenden, so dass der weiter oben erwähnte Vorteil bezüglich des Wärmeausdehnungskoeffizienten von Stahl erreicht wird.
    Bei der Durchführung dieses Verfahrens hat es sich als sehr vorteilhaft erwiesen, vor dem Überziehen der Endfläche mit keramischen oder Cermetmaterial diese Endfläche durch einen vorangehenden Verfahrensschritt, wie Schleifen oder Vorläppen, auf ein Niveau von 2 bis 5 F unterhalb des gewünschten Endmasses abzutragen. Die auf diese Weise erhaltene Endfläche wird anschliessend zweckmässig durch bekannte Verfahren mit einer harten keramischen oder Cermetschicht, wie z.B.
    Titankarbid, mit einer Dicke von 3 bis 10 11 überzogen, so dass sie das gewünschte Endmass leicht überschreitet. Hierauf erfolgt die Schlussbearbeitung der Oberfläche dieser Keramikoder Cermetschicht mittels Läppen oder Polieren in einem oder mehrerep Schritten, bis das Endmass dieser Oberfläche erreicht ist.
    Eine vorteilhafte Abwandlung des Verfahrens stellt das Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche auf einem Messgerät, insbesondere einem Parallelendmass, dar, gemäss welchem die Oberfläche vor dem Aufbringen der Keramikoder Cermetschicht mittels Schleifen, Läppen oder anderer Methoden geglättet wird, worauf sie anschliessend auf bekanntem Wege mittels einer Keramik- oder Cermetschicht mit einer Dicke von 0,02 bis 3 p überzogen wird. Es hat sich ergeben, dass eine derart dünne Keramik- oder Cermetschicht der Endfläche einen genügenden Widerstand beim Transport und bei der Verwendung verleiht, wobei auch der Korrosionswiderstand und die Adhäsionseigenschaften durchaus zufriedenstellend sind.
    PATENTANSPRUCH 1 Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät, insbesondere an einem Parallelendmass, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Endfläche des Messgerätegrundkörpers zur Bildung der Messoberfläche mit einer Keramik- oder Cermetschicht überzogen wird.
    UNTERANSPRÜCHE 1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche, bevor sie mit der Schicht überzogen wird, durch Schleifen oder Vorläppen auf ein Niveau unterhalb des Endmasses der Messoberfläche abgetragen und hierauf mit der Schicht auf ein geringes Übermass über das genannte Endmass überzogen wird, worauf diese Schicht auf das Endmass geläppt wird.
    2. Verfahren nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtragen der Endfläche auf 2-5 R unterhalb, und das Überziehen auf 3-10 oberhalb des Endmasses durchgeführt wird.
    3. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche vorerst abgetragen und durch Schleifen, Polieren oder Läppen geglättet wird, worauf eine Keramik- oder Cermetschicht von 0,02-0,3 ist aufgetragen wird.
    4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Endfläche vorerst abgetragen und durch Schleifen, Polieren oder Läppen geglättet wird, worauf eine Keramik- oder Cermetschicht von 0,02-0,3 F ohne anschliessendes Läppen derselben aufgetragen wird.
    PATENTANSPRUCH II Nach dem Verfahren gemäss Patentanspruch I hergestelltes Messgerät.
    UNTERANSPRÜCHE 5. Messgerät nach Patentanspruch II, insbesondere Parallelendmass, gekennzeichnet durch zwei einander gegenüberliegende Endflächen.
    6. Messgerät nach Unteranspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Endflächen die Oberfläche einer Keramik- oder Cermetschicht von weniger als 3 ti Dicke ist.
    7. Messgerät nach Unteranspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Endflächen die Oberfläche einer Keramik- oder Cermetschicht von weniger als 111 Dicke ist.
    8. Messgerät nach Unteranspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Endflächen die Oberfläche einer Keramik- oder Cermetschicht von weniger als 0,1 y Dicke ist.
CH189372A 1971-02-19 1972-02-10 Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät und nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät CH544286A (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE2133/71A SE344420B (de) 1971-02-19 1971-02-19
SE01171/72A SE353041B (de) 1972-02-02 1972-02-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH544286A true CH544286A (de) 1973-11-15

Family

ID=26654231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH189372A CH544286A (de) 1971-02-19 1972-02-10 Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät und nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät

Country Status (4)

Country Link
CH (1) CH544286A (de)
DE (1) DE2207745A1 (de)
FR (1) FR2125522B1 (de)
GB (1) GB1366989A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3046848A1 (de) * 1980-12-12 1982-07-08 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster mit taststift und antastformkoerper

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3135585A1 (de) * 1981-09-09 1983-03-24 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München "messwerkzeug"
JP3645726B2 (ja) * 1999-01-14 2005-05-11 株式会社ミツトヨ ゲージブロック

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3046848A1 (de) * 1980-12-12 1982-07-08 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster mit taststift und antastformkoerper

Also Published As

Publication number Publication date
GB1366989A (en) 1974-09-18
DE2207745A1 (de) 1972-09-14
FR2125522A1 (de) 1972-09-29
FR2125522B1 (de) 1976-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0004033B1 (de) Verfahren zur Vergleichmässigung des Polierabtrages von Scheiben beim Polieren
EP1150792B1 (de) Verfahren zum herstellen eines zerspanungswerkzeugs sowie zerspanungswerkzeug
DE69219585T2 (de) Verfahren zum Bearbeiten von Silicon-Nitrid-Keramik und Produkten aus derselben Keramik
DE69630832T2 (de) Verfahren zur Herstellung von diamantbeschichteten Schneideinsätzen
DE602005001091T2 (de) Schneideinsatz
DE2425275A1 (de) Verfahren zur formgebung von halbleiterwerkstuecken
EP0916450A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Polieren von Halbleiterscheiben
DE112011100870T5 (de) Beschichteter keramischer Schneideeinsatz und Verfahren zur Herstellung desselben
DE102019207719A1 (de) Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von Werkstücken während einer Anzahl von Abtrennvorgängen mittels einer Drahtsäge und Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium
DE102004014466A1 (de) Hartfilm
CH544286A (de) Verfahren zur Herstellung einer Messoberfläche an einem Messgerät und nach diesem Verfahren hergestelltes Messgerät
DE3789298T2 (de) Verfahren zur steuerung des fliesswiderstandes bei der herstellung einer flüssigkeitsdüse.
CH645451A5 (de) Messplatten- oder gleitbahnelement.
EP0285996A1 (de) Keramikkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2007501B2 (de) Verfahren zur herstellung eines pressstempels fuer spiralnutlagerscheiben
DE112017000281T5 (de) Doppelseiten-Polierverfahren und Doppelseiten-Poliervorrichtung
DE10001171B4 (de) Endmaß
DE4430570C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Kohlenstoffsubstrates
DE1170218B (de) Verfahren zur Herstellung von UEberzuegen aus harten Carbiden auf Werkzeugen und Maschinenteilen
EP0924029A1 (de) Verfahren zum Erzielen eines möglichst linearen Verschleissverhaltens und Werkzeug mit möglichst linearem Verschleissverhalten
DE68921529T2 (de) Beschichtungsvorrichtung.
DE1571616A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Graphit-Bindemittel-Schleifscheiben
DE60304579T2 (de) Verfahren zum abschliessenden Polieren
RU2058400C1 (ru) Способ поверхностной упрочняющей обработки
DE69207107T2 (de) Verfahren zum Polieren von Komponenten der Mikroelektronik

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased