CH510131A - Procédé de nitruration de pièces métalliques par ionisation et appareillage pour sa mise en oeuvre - Google Patents

Procédé de nitruration de pièces métalliques par ionisation et appareillage pour sa mise en oeuvre

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CH510131A
CH510131A CH1925469A CH1925469A CH510131A CH 510131 A CH510131 A CH 510131A CH 1925469 A CH1925469 A CH 1925469A CH 1925469 A CH1925469 A CH 1925469A CH 510131 A CH510131 A CH 510131A
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    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

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