CH470084A - Symmetrical thyristor - Google Patents

Symmetrical thyristor

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CH470084A
CH470084A CH254367A CH254367A CH470084A CH 470084 A CH470084 A CH 470084A CH 254367 A CH254367 A CH 254367A CH 254367 A CH254367 A CH 254367A CH 470084 A CH470084 A CH 470084A
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CH
Switzerland
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zones
face
control zone
bridged
conductive
Prior art date
Application number
CH254367A
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German (de)
Inventor
Nikolaevich Dumanevich Anatoly
Alexeevich Evseey Jury
Stefanovna Vasilenko Valentina
Maximovich Tuchkevic Valadimir
Evgenievich Chelnokov Valentin
Original Assignee
Mordovsky Ni Elektrotekhniches
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L29/00Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof  ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70Bipolar devices
    • H01L29/74Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
    • H01L29/747Bidirectional devices, e.g. triacs

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Description

  

      Symmetrischer        Thyristor       Die vorliegende Erfindung betrifft einen symmetri  schen     Thyristor    mit einem mehrere     übereinanderliegende     Schichten verschiedenen     Leitfähigkeitstyps    umfassenden  Halbleiterkörper, dessen beide Stirnflächen je zwei durch  eine Kontaktschicht überbrückte Zonen von zueinander  entgegengesetztem     Leitfähigkeitstyp    aufweisen, wobei  eine Stirnfläche eine nicht von der Kontaktschicht be  deckte Steuerzone besitzt.

   Solche     Thyristoren    finden ins  besondere bei statischen Stromrichtern, und zwar bei       Gleichrichteranlagen    mit kontaktloser Regelung und Um  kehrung der Stromrichtung an der Gleichstromseite, bei  regelbaren elektrischen Antrieben, bei umkehrbaren       Wechselstromrichtern    usw. Anwendung.  



  Bekannt sind als     Fünfschichtenelemente    ausgebildete  symmetrische     Thyristoren,    bei denen die     Emitterüber-          gänge    der oberen und unteren Schicht als Tunnelüber  gänge oder überbrückt (Verbindung der oberen bzw.  unteren p- und     n-leitenden    Zonen mit den Stromabneh  mern) ausgeführt sind. Die Beeinflussung des negativen  und positiven Zweiges der     Strom-Spannungs-Kennlinie     erfolgt bei solchen Elementen entweder mittels zwei  Steuerelektroden, die an den äusseren     n-leitenden    Zonen  (dünnen Basiszonen) angeschlossen sind, oder mittels  einer Steuerelektrode, die an der dicken Basis angeschlos  sen ist.

   Bei Steuerung mit zwei Elektroden fliesst der       Steuerstromimpuls    von der Steuerzone zur Kathode. Bei  Steuerung mit einer Elektrode fliesst der     Steuerstromim-          puls    von der Steuerzone zur Anode. In beiden Fällen  sind zwei Steuerschaltungen erforderlich, und zwar für  jede Stromrichtung eine Schaltung.  



  Diese Notwendigkeit, stets zwei Steuerschaltungen  einzusetzen, ist der Hauptnachteil der bekannten sym  metrischen     Thyristoren.     



  Zweck der Erfindung ist ein symmetrischer     Thy-          ristor    mit hohem Wirkungsgrad, der diese Nachteile nicht  aufweist und der sich ausserdem mit verhältnismässig  niedrigem Aufwand     an    wertvollem Grundwerkstoff auch  für hohe Nennströme herstellen lässt.

      Der erfindungsgemässe symmetrische     Thyristor    ist  dadurch     gekennzeichnet,    dass Teile der überbrückten Zo  nen     übereinanderliegen    und die Steuerzone auf der einen  Stirnfläche derart angeordnet ist, dass ihre     Orthogonal-          projektion    auf die andere Stirnfläche die Grenze zwi  schen den beiden überbrückten Zonen der anderen  Stirnfläche mindestens teilweise überdeckt.  



       Ausführungsbeispiele    des Erfindungsgegenstandes       sind    in der beiliegenden     Zeichnung    dargestellt; es zeigt:       Fig.    1 die Zonenanordnung eines mit Stromimpulsen  einer Polarität steuerbaren     symmetrischen        Thyristors    im  Schnitt,       Fig.    2 die obere Stirnfläche des symmetrischen       Thyristors    nach     Fig.    1 (Starkstromelektroden sind nicht  gezeigt),       Fig.    3 die untere Stirnfläche des symmetrischen       Thyristors    nach     Fig.    1 (die Elektroden sind nicht ge  zeigt),

         Fig.    4 die obere Stirnfläche eines symmetrischen,  mit Stromimpulsen beliebiger Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit n- und     p-leitenden    überbrückten Zonen und  einer Steuerzone, die kreisförmig ausgebildet sind (Stark  stromelektroden sind nicht gezeigt),       Fig.    5 die untere Stirnfläche eines symmetrischen,  mit Stromimpulsen     beliebiger    Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit n- und     p-leitenden    überbrückten Zonen und  einer kreisförmig ausgebildeten Steuerzone (Starkstrom  elektroden sind nicht gezeigt),

         Fig.    6 die obere Stirnfläche eines symmetrischen,  mit Stromimpulsen beliebiger Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit einer aus zwei     aneinanderliegenden    flächen  gleichen p- und     n-leitenden    Sektoren bestehenden Steuer  zone (Starkstromelektroden sind nicht gezeigt),       Fig.    7 die untere Stirnfläche eines symmetrischen,

    mit Stromimpulsen beliebiger Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit einer aus zwei     aneinanderliegenden    flächen  gleichen p- und     n-leitenden    Sektoren bestehenden Steuer  zone (Starkstromelektroden sind nicht gezeigt),           Fig.    8 die Anordnung der Zonen verschiedener Leit  fähigkeit des symmetrischen     Thyristors        im    Schnitt       VIII-VIII    der     Fig.    6 und 7,       Fig.    9 die obere Stirnfläche eines symmetrischen,

    mit Stromimpulsen beliebiger Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit einer aus vier     flächengleichen        aneinanderlie-          genden    p- und     n-leitenden    Sektoren bestehenden Steuer  zone (Starkstromelektroden sind nicht gezeigt),       Fig.    10 die Anordnung der Zonen verschiedener  Leitfähigkeit des symmetrischen     Thyristors    im Schnitt       X-X    der     Fig.    9,       Fig.    11 die untere Stirnfläche des symmetrischen,

    mit Steuerimpulsen beliebiger Polarität steuerbaren     Thy-          ristors    mit einer aus vier flächengleichen     aneinanderlie-          genden    p- und     n-leitenden    Zonen bestehenden Steuer  zone (Starkstromelektroden sind nicht gezeigt) und       Fig.    12 die Anordnung der Zonen verschiedener  Leitfähigkeit des symmetrischen     Thyristors    im Schnitt       XII-XII    der     Fig.    9.  



  Der mit einpoligen Stromimpulsen gesteuerte     Thy-          ristor    stellt eine vielschichtige Struktur 1     (Fig.    1) mit  der     Leitfähigkeitsfolge        npnpn    dar.  



  Der Grundkörper des     Thyristors    ist ein     n-leitendes          einkristallines        Siliziumplättchen    1 mit einem spezifi  schen Widerstand von etwa 40     Ohm/cm    und einer Dif  fusionslänge von etwa 0,3 mm, in dem durch Dotierung  mit     Akzeptormaterial    und     Kontradotierung    mit     Dona-          tormaterial    eine aus Zonen mit verschiedener Leitfähig  keit bestehende Struktur erzeugt ist.

   Die ursprüngliche       n-leitende        Siliziumschicht    2     (Fig.    1) befindet sich     in     der Mitte des Plättchens. Sie bildet     mit    den anliegenden       p-leitenden    Schichten 3, 4 die     pn-Übergänge    5, 6, die  von den Stirnflächen des Plättchens aus gemessen,     in     einer Tiefe von 70<B>...</B> 80     ,um    liegen. Jede     Stirnfläche     des Plättchens 1 weist neben einer     p-leitenden    Zone  eine     n-leitende    Zone 7 bzw. 8 auf.

   Die     n-leitenden    Zo  nen bilden zusammen mit den     darunterliegenden        p-lei-          tenden    Schichten 3, 4 die     pn-Übergänge    9, 10 in einer  Tiefe von etwa 10-15, um. Die Kontaktschichten 11, 12  sind bei diesem Halbleiterelement auf die p- und     n-lei-          tenden    Zonen 3, 7 bzw. 4, 8 aufgebracht. Die ver  schieden leitfähigen Zonen sind auf den Stirnflächen des  Plättchens so angeordnet, dass bei einer     orthogonalen     Projektion die Zonen mit entgegengesetzter Leitfähigkeit  einander überdecken.

   So wird beispielsweise die     p-lei-          tende    Zone 4 von der     n-leitenden    Zone 7 und die       n-leitende    Zone 8 von der     p-leitenden    Zone 3 über  deckt, wobei bei dem in     Fig.    1 gezeigten     Thyristor    die  Grenzen 13' zwischen den Zonen 3, 7 und 4, 8 mit  entgegengesetzter Leitfähigkeit in der Symmetrieebene  13 des Plättchens 1 liegen. Die Steuerzone 14 ist in  einer der Stirnflächen gebildet, wobei die Steuerzone 14  und das an sie anschliessende Gebiet eine Ausnahme  von der genannten  Überdeckung  darstellt.

   Hier über  deckt die in der oberen Stirnfläche befindliche     n-lei-          tende    Zone 7     (Fig.    1) in einem kleinen Bereich die  ebenfalls     n-leitende    Zone 8 in der unteren Stirnfläche.  



  Der Mittelpunkt der kreisförmigen Steuerzone 14  liegt auf der Symmetrieebene 13, welche auch, wie er  wähnt, die Grenze zwischen den Zonen 3, 7     (Fig.    2)  mit entgegengesetzter Leitfähigkeit bildet. Die Kontakt  schichten 11, 12 tragen Starkstromelektroden 15, 16. Die  Steuerzone 14     ist    durch eine Kontaktschicht 17 mit  einem     Nickelkontaktstück    18 verbunden.  



  Die Wirkungsweise des beschriebenen symmetrischen       Thyristors,    der mit einpoligen Stromimpulsen gesteuert  wird, ist folgende. Wird die Starkstromelektrode 15         (Fig.    1) an den Pluspol und die Starkstromelektrode 16  an den Minuspol einer Stromquelle angeschlossen, so  wirkt der     pn-Übergang    sperrend und der Strom fliesst  im     Durchlasszustand    des     Thyristors    über die linke     (Fig.1)          Hälfte    des Elementes 1.

   Ist die Spannungsquelle     in    den  Steuerstromkreis derart eingeschaltet, dass die Steuerzone  14 am Pluspol und die Starkstromelektrode 15 am Mi  nuspol liegen, so wird der     pn-Übergang    9 leitend und       injiziert    Elektronen in die Schicht 2, wobei die Wirkung  dieser     Ladungsträgerinjektion    so ist, als ob an die  Schicht 2 eine Steuerelektrode angeschlossen wäre.  



  Bei     Umpolung    der Spannung an den Starkstrom  elektroden fliesst der Strom über die rechte     (Fig.    1)  Hälfte des Elementes 1 und der Steuermechanismus des  symmetrischen     Thyristors    ist der gleiche wie beim übli  chen     Thyristor.     



  Ein symmetrischer     Thyristor,    der mit     Steuerimpul-          sen    beliebiger Polarität gesteuert wird, weist eine Struk  tur mit der     Leitfähigkeitsfolge        npnpn        (Fig.    8, 10, 12)  auf.

   In dem nicht an die Steuerzone anschliessenden  Gebiet der in     Fig.    8 linken Hälfte des Halbleiterele  mentes besteht die Struktur aus     übereinanderliegenden     Schichten 19, 20, 21, 22 mit der     Leitfähigkeitsfolge          npnp.    Die rechte     Hälfte    enthält die Schichten 20, 21,  22, 23 mit der     Leitfähigkeitsfolge        pnpn.    Die auf der  oberen Stirnfläche des Elementes liegenden Zonen 22,  23 sind symmetrisch zur Symmetrieebene 13 und flä  chengleich. Auf der Symmetrieebene 13, die auch die  Grenze zwischen den 22, 23 und 19, 20 bildet, ist die  Steuerzone angeordnet.

   Sie hat einen kreisrunden Quer  schnitt, der in vier gleiche Sektoren 25, 26, 27, 28  mit der     Leitfähigkeitsfolge        npnp    unterteilt ist. Jeder Sek  tor wird von Zonen umgeben, die ihm gegenüber ent  gegengesetzte Leitfähigkeit besitzen. So schliessen bei  spielsweise an den     p-leitenden    Sektor 26 die     n-leitenden     Sektoren 25, 27 der Steuerzone und ein Teil der Zone  23 mit     n-Leitfähigkeit    an.  



  Die auf der unteren Stirnfläche des Elementes lie  gende Zone der     p-leitenden    Schicht 20     (Fig.    11) und  die     n-leitende    Zone 19 sind symmetrisch zur Grenzlinie  gestaltet und besitzen gleiche Flächen.  



  Der beschriebene symmetrische     Thyristor    kann mit  Stromimpulsen beliebiger Polarität gesteuert werden und  wirkt wie folgt. Liegt die Starkstromelektrode 15       (Fig.    12) am Minuspol und die Elektrode 16 am Plus  pol, so wirkt der     np-Übergang    29 sperrend, und der  Strom     fliesst        im        Durchlasszustand    des     Thyristors    über  die rechte     Hälfte    des Elementes     (Fig.    8). Dabei liegt  die     p-leitende    Zone 30     (Fig.    9) auf negativem Potential.

    Ist die Spannungsquelle im Steuerstromkreis derart ein  geschaltet, dass das Kontaktstück 18 der Steuerzone       (Fig.    12) am Minuspol und die Starkstromelektrode 15  am Pluspol     liegt,    so injiziert der Sektor 25     (Fig.    9) der  Steuerzone mit dem rechten Rand des     pn-Überganges    31       (Fig.    12) bei einem bestimmten Steuerstrom Elektronen       in    die Basisschicht 21.

       In    diesem Falle erfolgt die Um  schaltung des     Thyristors    in den     Durchlasszustand    zu  nächst über die Steuerzone     (Fig.    9) und     pflanzt    sich  dann auf den     Hauptemitter    fort.  



  Bei     Umpolung    der     Spannung    im Steuerstromkreis  werden die Elektronen vom     linken    Rand des     pn-Über-          ganges    32     (Fig.    10) injiziert. Der Steuermechanismus     ist     der gleiche wie bei     üblichen    steuerbaren Halbleiterven  tilen.

   Liegt die Steuerzone am Minuspol und die Stark  stromelektrode 15 am Pluspol, so wirkt der     pn-Über-          gang    32 sperrend und der Strom fliesst im     Durchlass-          zustand    des Elementes durch die linke Hälfte des Ele-           mentes.    Wird die     Spannungsquelle    im Steuerstromkreis so  angeschlossen, dass das Kontaktstück 18 der Steuerzone  auf negativem Potential und die Starkstromelektrode 15  auf positivem Potential liegt, so injiziert der     n-leitende     Sektor 27     (Fig.    9)

   über den linken Rand des     pn-Über-          ganges    31     (Fig.    12) Elektronen in die Basiszone 21.  Diese Elektronen verhalten sich so, als ob an dieser  Zone eine Steuerelektrode angeschlossen wäre. Bei     Um-          polung    der Spannung im Steuerstromkreis übernimmt  diese Aufgabe die     n-leitende    Zone 33     (Fig.    9), d. h.  der     pn-Übergang    34     (Fig.    10) injiziert vom rechten Rand  Elektronen in die Basiszone 21. In diesem Falle muss  unter der Zone 33 eine     Fünfschichtenstruktur    realisiert  werden.  



  Wie die     Fig.    4 und 5 zeigen, kann bei einem sym  metrischen     Thyristor    für mit Steuerstrom beliebiger Po  larität die Steuerzone auch in Form von konzentrischen  Ringen ausgebildet werden. In diesem Falle besteht die  die obere     Stirnfläche    bildende Kombination der über  brückten p- und     n-leitenden    Zonen aus den flächen  gleichen Zonen der     n-leitenden    kreisrunden Zone 35 und  der     p-leitenden    ringförmigen Zone 36.

   Zwischen diesen  Zonen befindet sich die Steuerzone in Form von     n-lei-          tenden    Ringzonen 37 und 38, welche voneinander durch  eine     p-leitende    Ringzone 39 getrennt sind. Auf der un  teren     Stirnfläche    befinden sich eine kreisförmige     p-lei-          tende    Zone 40 und eine kreisringförmige     n-leitende     Zone 41     (Fig.    5). Diese Zonen sind überdeckt und  flächengleich. Bei Projektion der     Stirnflächen    kommen  die Zonen mit entgegengesetzter Leitfähigkeit zur Über  deckung.  



  Die     Fig.    6 und 7 zeigen einen mit Stromimpulsen  beliebiger Polarität steuerbaren symmetrischen     Thyristor     mit     einer    Steuerzone, deren beide Hälften entgegenge  setzte Leitfähigkeit besitzen. Dabei besteht die obere  Kombination der überbrückten Zonen aus einer     p-lei-          tenden    Zone 22     (Fig.    6) und einer     n-leitenden    Zone  23, die symmetrisch zum Durchmesser des Zellenquer  schnitts liegen und gleiche Flächen aufweisen. Die  Steuerzone 24 befindet sich auf der Grenze zwischen  den Zonen.

   Sie setzt sich aus zwei     aneinanderliegenden     flächengleichen     Sektorzonen    42, 43 mit entgegengesetz  ter Leitfähigkeit zusammen, wobei jede der Zonen 42,  43 von den Zellenzonen 22, 23 entgegengesetzter Pola  rität umgeben wird.  



  Die untere Kombination der überbrückten Zonen des  symmetrischen     Thyristors        (Fig.    7) mit der in zwei Hälf  ten geteilten Steuerzone besteht aus der     p-leitenden    Zone  20 und der     n-leitenden    Zone 19.

   Diese Zonen 19 und  20 sind auf der Stirnfläche so angeordnet, dass bei       orthogonaler    Projektion bei den überbrückten Zonen  19, 20, 22, 23 die Zonen 19, 22 bzw. 20, 23 mit  entgegengesetzter Leitfähigkeit zur Überdeckung kom  men und bei der Steuerzone 24 die eine Hälfte der       p-leitenden    Zone 42 und der     n-leitenden    Zone 43       (Fig.    6) von einem entsprechenden Bereich der     n-lei-          tenden    Zone 19     (Fig.    7) und die andere Hälfte der  n- und     p-leitenden    Zonen 43, 42     (Fig.    6)

   der Steuer  zone von einem entsprechenden Bereich der     p-leitenden     Zone 20 überdeckt ist. Diese wird dadurch erreicht,  dass die Zonen 19, 20 im Bereich unterhalb der Steuer  zone wie gezeigt     ineinandergreifen.     



  Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Herstel  lung von     Hochleistungsthyristoren    für Nennströme bis  500 A und darüber, bei denen der negative und po-         sitive    Zweig der     Strom-Spannungs-Kennlinie    durch     ein-          und/oder    zweipolige Stromimpulse beeinflusst werden  kann. Bei Anwendung von zweipoligen Steuerimpulsen  bzw. Steuerimpulsen beliebiger Polarität erfolgt die  Steuerung bei den beiden Stromrichtungen durch Ströme  gleicher Grössenordnung.  



  Die Erfindung     ermöglicht    weiter eine beträchtliche  Herabsetzung des Aufwandes an kostspieligem Grund  werkstoff bei Herstellung von     Thyristoren.  



      Symmetrical thyristor The present invention relates to a symmetrical thyristor with a semiconductor body comprising several superimposed layers of different conductivity types, the two end faces of which each have two zones of opposite conductivity type bridged by a contact layer, one end face having a control zone not covered by the contact layer.

   Such thyristors are found in particular in static converters, namely in rectifier systems with contactless control and reversal of the current direction on the direct current side, in controllable electrical drives, in reversible AC converters, etc. application.



  Symmetrical thyristors designed as five-layer elements are known, in which the emitter junctions of the upper and lower layers are designed as tunnel junctions or bridged (connection of the upper and lower p- and n-conductive zones with the current collectors). The negative and positive branches of the current-voltage characteristic are influenced in such elements either by means of two control electrodes that are connected to the outer n-conductive zones (thin base zones), or by means of a control electrode that is connected to the thick base .

   When controlling with two electrodes, the control current pulse flows from the control zone to the cathode. When controlling with an electrode, the control current pulse flows from the control zone to the anode. In both cases two control circuits are required, one circuit for each current direction.



  This need to always use two control circuits is the main disadvantage of the known symmetrical thyristors.



  The purpose of the invention is a symmetrical thyristor with a high degree of efficiency, which does not have these disadvantages and which, moreover, can be produced with a relatively low cost of valuable base material, even for high rated currents.

      The symmetrical thyristor according to the invention is characterized in that parts of the bridged zones lie one above the other and the control zone is arranged on one end face in such a way that its orthogonal projection onto the other end face at least partially covers the boundary between the two bridged zones of the other end face.



       Embodiments of the subject matter of the invention are shown in the accompanying drawing; It shows: FIG. 1 the zone arrangement of a symmetrical thyristor controllable with current pulses of one polarity in section, FIG. 2 the upper end face of the symmetrical thyristor according to FIG. 1 (high current electrodes are not shown), FIG. 3 the lower end face of the symmetrical thyristor according to FIG . 1 (the electrodes are not shown),

         4 shows the upper end face of a symmetrical thyristor, controllable with current pulses of any polarity, with n- and p-conducting bridged zones and a control zone which are circular (high-current electrodes are not shown), FIG. 5 shows the lower end face of a symmetrical one , with current pulses of any polarity controllable thyristor with n- and p-conducting bridged zones and a circular control zone (high current electrodes are not shown),

         6 shows the upper end face of a symmetrical thyristor, controllable with current pulses of any polarity, with a control zone consisting of two adjacent surfaces of the same p- and n-conductive sectors (high-current electrodes are not shown), FIG. 7 shows the lower end face of a symmetrical,

    with current pulses of any polarity controllable thyristor with a control zone consisting of two adjacent areas of the same p- and n-conducting sectors (high-current electrodes are not shown), Fig. 8 the arrangement of the zones of different conductivity of the symmetrical thyristor in section VIII-VIII 6 and 7, FIG. 9 shows the upper end face of a symmetrical,

    thyristor controllable with current pulses of any polarity with a control zone consisting of four p- and n-conducting sectors of the same area (high current electrodes are not shown), FIG. 10 shows the arrangement of the zones of different conductivity of the symmetrical thyristor in section XX of FIG 9, 11 the lower end face of the symmetrical,

    thyristor controllable with control pulses of any polarity with a control zone consisting of four adjacent p- and n-conducting zones of the same area (high-current electrodes are not shown) and FIG. 12 shows the arrangement of the zones of different conductivity of the symmetrical thyristor in section XII-XII of FIG. 9.



  The thyristor controlled with single-pole current pulses represents a multi-layer structure 1 (Fig. 1) with the conductivity sequence npnpn.



  The main body of the thyristor is an n-conductive single-crystalline silicon wafer 1 with a specific resistance of about 40 ohms / cm and a diffusion length of about 0.3 mm, in which one of zones is formed by doping with acceptor material and counter-doping with donor material different conductivity existing structure is generated.

   The original n-conducting silicon layer 2 (Fig. 1) is located in the center of the plate. Together with the adjacent p-conductive layers 3, 4, it forms the pn junctions 5, 6, which, measured from the end faces of the plate, lie at a depth of 70 μm... 80 μm. Each end face of the plate 1 has, in addition to a p-conductive zone, an n-conductive zone 7 or 8.

   The n-conducting zones, together with the p-conducting layers 3, 4 below, form the pn junctions 9, 10 at a depth of approximately 10-15 μm. In this semiconductor element, the contact layers 11, 12 are applied to the p- and n-conducting zones 3, 7 and 4, 8, respectively. The different conductive zones are arranged on the end faces of the plate in such a way that in an orthogonal projection the zones with opposite conductivity overlap one another.

   For example, the p-conducting zone 4 is covered by the n-conducting zone 7 and the n-conducting zone 8 is covered by the p-conducting zone 3, the boundaries 13 'between the thyristor shown in FIG Zones 3, 7 and 4, 8 with opposite conductivity lie in the plane of symmetry 13 of the plate 1. The control zone 14 is formed in one of the end faces, the control zone 14 and the area adjoining it being an exception to the aforementioned overlap.

   Here the n-conductive zone 7 located in the upper end face (FIG. 1) covers in a small area the likewise n-conductive zone 8 in the lower end face.



  The center of the circular control zone 14 lies on the plane of symmetry 13 which, as he mentioned, also forms the boundary between the zones 3, 7 (FIG. 2) with opposite conductivity. The contact layers 11, 12 carry high-voltage electrodes 15, 16. The control zone 14 is connected to a nickel contact piece 18 by a contact layer 17.



  The mode of operation of the described symmetrical thyristor, which is controlled with single-pole current pulses, is as follows. If the high current electrode 15 (Fig. 1) is connected to the positive pole and the high current electrode 16 to the negative pole of a power source, the pn junction has a blocking effect and the current flows through the left (Fig. 1) half of the element 1 when the thyristor is on .

   If the voltage source is switched on in the control circuit in such a way that the control zone 14 is connected to the positive pole and the high-voltage electrode 15 is connected to the negative pole, the pn junction 9 becomes conductive and injects electrons into the layer 2, the effect of this charge carrier injection being as if a control electrode would be connected to layer 2.



  When reversing the polarity of the voltage on the high-voltage electrodes, the current flows through the right (Fig. 1) half of the element 1 and the control mechanism of the symmetrical thyristor is the same as the usual thyristor.



  A symmetrical thyristor that is controlled with control pulses of any polarity has a structure with the conductivity sequence npnpn (FIGS. 8, 10, 12).

   In the area of the left half of the semiconductor element in FIG. 8 that does not adjoin the control zone, the structure consists of superimposed layers 19, 20, 21, 22 with the conductivity sequence npnp. The right half contains the layers 20, 21, 22, 23 with the conductivity sequence pnpn. The lying on the upper end face of the element zones 22, 23 are symmetrical to the plane of symmetry 13 and surface equal. The control zone is arranged on the plane of symmetry 13, which also forms the boundary between FIGS. 22, 23 and 19, 20.

   It has a circular cross-section, which is divided into four equal sectors 25, 26, 27, 28 with the conductivity sequence npnp. Each sector is surrounded by zones that have opposite conductivity to it. For example, the p-conductive sector 26 is followed by the n-conductive sectors 25, 27 of the control zone and part of the zone 23 with n-conductivity.



  The lying on the lower end face of the element zone of the p-conductive layer 20 (FIG. 11) and the n-conductive zone 19 are designed symmetrically to the boundary line and have the same areas.



  The symmetrical thyristor described can be controlled with current pulses of any polarity and works as follows. If the high current electrode 15 (FIG. 12) is on the negative pole and the electrode 16 is on the positive pole, the np junction 29 has a blocking effect and the current flows through the right half of the element when the thyristor is on (FIG. 8). The p-conductive zone 30 (FIG. 9) is at negative potential.

    If the voltage source in the control circuit is switched on in such a way that the contact piece 18 of the control zone (Fig. 12) is on the negative pole and the high-voltage electrode 15 is on the positive pole, the sector 25 (Fig. 9) injects the control zone with the right edge of the pn junction 31 (FIG. 12) electrons into the base layer 21 at a certain control current.

       In this case, the thyristor is switched to the on-state first via the control zone (FIG. 9) and then propagates to the main emitter.



  If the polarity of the voltage in the control circuit is reversed, the electrons are injected from the left edge of the pn junction 32 (FIG. 10). The control mechanism is the same as that of conventional controllable semiconductor valves.

   If the control zone is at the negative pole and the high current electrode 15 is at the positive pole, the pn junction 32 has a blocking effect and the current flows through the left half of the element when the element is on. If the voltage source in the control circuit is connected in such a way that the contact piece 18 of the control zone is at negative potential and the high-voltage electrode 15 is at positive potential, the n-conducting sector 27 injects (Fig. 9)

   Electrons into the base zone 21 via the left edge of the pn junction 31 (FIG. 12). These electrons behave as if a control electrode were connected to this zone. If the polarity of the voltage in the control circuit is reversed, this task is taken over by the n-conductive zone 33 (FIG. 9), i. H. the pn junction 34 (FIG. 10) injects electrons from the right edge into the base zone 21. In this case, a five-layer structure must be implemented below the zone 33.



  As FIGS. 4 and 5 show, the control zone can also be designed in the form of concentric rings with a symmetrical thyristor for control current of any polarity. In this case, the combination of the bridged p- and n-conductive zones forming the upper end face consists of the areas of the same area of the n-conductive circular zone 35 and the p-conductive annular zone 36.

   The control zone is located between these zones in the form of n-conducting ring zones 37 and 38, which are separated from one another by a p-conducting ring zone 39. On the lower end face there is a circular p-conductive zone 40 and an annular n-conductive zone 41 (FIG. 5). These zones are covered and have the same area. When the front surfaces are projected, the zones with opposite conductivity come to cover.



  6 and 7 show a controllable with current pulses of any polarity symmetrical thyristor with a control zone, the two halves of which have opposite set conductivity. The upper combination of the bridged zones consists of a p-conductive zone 22 (FIG. 6) and an n-conductive zone 23, which are symmetrical to the diameter of the cell cross-section and have the same areas. The control zone 24 is located on the boundary between the zones.

   It is composed of two adjacent sector zones 42, 43 of the same area with opposite conductivity, each of the zones 42, 43 being surrounded by the cell zones 22, 23 of opposite polarity.



  The lower combination of the bridged zones of the symmetrical thyristor (FIG. 7) with the control zone divided into two halves consists of the p-conducting zone 20 and the n-conducting zone 19.

   These zones 19 and 20 are arranged on the end face in such a way that in the case of orthogonal projection in the bridged zones 19, 20, 22, 23 the zones 19, 22 and 20, 23 with opposite conductivity come to overlap and in the control zone 24 the one half of the p-conductive zone 42 and the n-conductive zone 43 (FIG. 6) from a corresponding area of the n-conductive zone 19 (FIG. 7) and the other half of the n-conductive and p-conductive zones 43 , 42 (Fig. 6)

   the control zone is covered by a corresponding area of the p-conductive zone 20. This is achieved in that the zones 19, 20 interlock in the area below the control zone as shown.



  The present invention enables the production of high-power thyristors for rated currents up to 500 A and above, in which the negative and positive branch of the current-voltage characteristic can be influenced by one-pole and / or two-pole current pulses. If two-pole control pulses or control pulses of any polarity are used, the two current directions are controlled by currents of the same order of magnitude.



  The invention also enables a considerable reduction in the cost of costly basic material in the manufacture of thyristors.

 

Claims (1)

PATENTANSPRUCH Symmetrischer Thyristor mit einem mehrere über einanderliegende Schichten verschiedenen Leitfähigkeits- typs umfassenden Halbleiterkörper, dessen beide Stirn flächen je zwei durch eine Kontaktschicht überbrückte Zonen von zueinander entgegengesetztem Leitfähigkeits- typ aufweisen, wobei eine Stirnfläche eine nicht von der Kontaktschicht bedeckte Steuerzone besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass Teile der überbrückten Zonen (3, 8; PATENT CLAIM Symmetrical thyristor with a semiconductor body comprising several superimposed layers of different conductivity types, the two end faces of which each have two zones of opposite conductivity type bridged by a contact layer, one end face having a control zone not covered by the contact layer, characterized in that that parts of the bridged zones (3, 8; 4, 7) übereinanderliegen und die Steuerzone (14) auf der einen Stirnfläche derart angeordnet ist, dass ihre Orthogonalprojektion auf die andere Stirnfläche die Grenze (13') zwischen den beiden überbrückten Zonen (4, 8) der anderen Stirnfläche mindestens teilweise über deckt. UNTERANSPRÜCHE 1. Symmetrischer Thyristor nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die Grenzen (13, 13') zwi schen den überbrückten Zonen (3, 7 und 4, 8) auf den Stirnflächen des Halbleiterkörpers (1) in dessen Sym metrieebene liegen. 2. 4, 7) lie one above the other and the control zone (14) is arranged on one end face in such a way that its orthogonal projection onto the other end face at least partially covers the boundary (13 ') between the two bridged zones (4, 8) of the other end face. SUBClaims 1. Symmetrical thyristor according to claim, characterized in that the boundaries (13, 13 ') between the bridged zones (3, 7 and 4, 8) on the end faces of the semiconductor body (1) lie in its plane of symmetry. 2. Symmetrischer Thyristor nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenzen der über brückten n- und p-leitenden Zonen (35, 36 bzw. 40, 41) auf den Stirnflächen des Halbleiterkörpers sowie die Begrenzungen der aus n- und p-leitenden Bereichen (37, 38, 39) bestehenden Steuerzone konzentrische Kreise sind, wobei die n- und p-leitenden Bereiche (35, 36) der die Steuerzone tragenden Stirnfläche flächengleich sind. 3. Symmetrical thyristor according to claim, characterized in that the boundaries of the bridged n- and p-conductive zones (35, 36 or 40, 41) on the end faces of the semiconductor body and the boundaries of the n- and p-conductive areas (37 , 38, 39) existing control zone are concentric circles, the n- and p-conductive areas (35, 36) of the front surface carrying the control zone being the same area. 3. Symmetrischer Thyristor nach Patentanspruch und Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerzone (14) einheitlichen Leitfähigkeitstyp besitzt (Fig. 2). 4. Symmetrischer Thyristor nach Patentanspruch und Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerzone zwei aneinanderliegende, flächengleiche halb kreisförmige Bereiche (42, 43) mit n- und p-Leitfähigkeit umfasst, Symmetrical thyristor according to claim and dependent claim 1, characterized in that the control zone (14) has a uniform conductivity type (Fig. 2). 4. Symmetrical thyristor according to claim and dependent claim 1, characterized in that the control zone comprises two adjacent, equal-area semicircular areas (42, 43) with n- and p-conductivity, wobei die Orthogonalprojektionen der Bereiche auf die andere Stirnfläche von den flächengleichen n- und p-leitenden überbrückten Zonen (19, 20) der an deren Stirnfläche überdeckt werden (Fig. 7). 5. wherein the orthogonal projections of the regions on the other end face are covered by the n- and p-conducting bridged zones (19, 20) of the same area on the end face thereof (FIG. 7). 5. Symmetrischer Thyristor nach Unteransprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerzone vier aneinanderliegende, flächengleiche, kreissektorför- mige Bereiche (25, 26, 27) (28) mit n- und p-Leitfähig- keit umfasst, wobei die Orthogonalprojektionen der p- leitenden Bereiche (26, 28) und der n-leitenden Be reiche (25, 27) auf die andere Stirnfläche von den über brückten n- und p-leitenden Zonen (19, 20) Symmetrical thyristor according to dependent claims 1 and 2, characterized in that the control zone comprises four contiguous, equal-area, circular sector-shaped areas (25, 26, 27) (28) with n and p conductivity, the orthogonal projections of the p- conductive areas (26, 28) and the n-conductive areas (25, 27) on the other end face of the bridged n- and p-conductive zones (19, 20) der anderen Stirnfläche paarweise überdeckt werden (Fig. 9, 11). the other end face are covered in pairs (Fig. 9, 11).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2169904A1 (en) * 1971-12-29 1973-09-14 Transistor Ag

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