CH469508A - Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbleiterkörpern und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbleiterkörpern und Vorrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
- Publication number
- CH469508A CH469508A CH1355066A CH1355066A CH469508A CH 469508 A CH469508 A CH 469508A CH 1355066 A CH1355066 A CH 1355066A CH 1355066 A CH1355066 A CH 1355066A CH 469508 A CH469508 A CH 469508A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- carrying
- heat treatment
- semiconductor bodies
- bodies
- semiconductor
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
- C30B31/06—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion material in the gaseous state
- C30B31/10—Reaction chambers; Selection of materials therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES0099632 | 1965-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH469508A true CH469508A (de) | 1969-03-15 |
Family
ID=7522418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH1355066A CH469508A (de) | 1965-09-24 | 1966-09-20 | Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbleiterkörpern und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| BE (1) | BE687102A (en)) |
| CH (1) | CH469508A (en)) |
| DE (1) | DE1521479A1 (en)) |
| NL (1) | NL6613032A (en)) |
| SE (1) | SE328555B (en)) |
-
1965
- 1965-09-24 DE DE19651521479 patent/DE1521479A1/de active Pending
-
1966
- 1966-09-08 SE SE1209366A patent/SE328555B/xx unknown
- 1966-09-15 NL NL6613032A patent/NL6613032A/xx unknown
- 1966-09-19 BE BE687102D patent/BE687102A/xx unknown
- 1966-09-20 CH CH1355066A patent/CH469508A/de unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE328555B (en)) | 1970-09-21 |
| NL6613032A (en)) | 1967-03-28 |
| BE687102A (en)) | 1967-03-20 |
| DE1521479A1 (de) | 1970-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AT259403B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken | |
| CH466819A (de) | Verfahren zur Abwasseraufbereitung, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und Anwendung des Verfahrens | |
| CH457348A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Flächenmaterialien | |
| AT324953B (de) | Verfahren zum kontinuierlichen herstellen von gruppen aus gleichen gegenständen und vorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
| AT248358B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Klassieren von Feststoffen | |
| CH480480A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von einheitlichen Nonwovens | |
| CH416066A (de) | Verfahren zur Herstellung von Behältern und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH542662A (de) | Beschichtungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| AT287038B (de) | Verfahren und vorrichtung zur thermischen behandlung von schienen | |
| CH459106A (de) | Verfahren zur Müllverarbeitung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH495694A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Wärmebehandlung von Bodenprodukten | |
| AT267101B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Flachglas | |
| CH462868A (de) | Verfahren zur Instandsetzung von Verkehrsflächen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| AT254091B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur biologischen Behandlung von Flüssigkeiten | |
| AT262187B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von hülsenartigen Waffelkörpern (Waffelhülsen) | |
| CH479712A (de) | Verfahren zur Wärmebehandlung von scheibenförmigen Halbleiterkörpern und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH543489A (de) | Verfahren zum kontinuierlichen Sulfonieren von organischen Stoffen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH473220A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dispersen Systemen | |
| CH452126A (de) | Verfahren zur Herstellung von Flachglas und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH501370A (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Wärmebehandlung von Nahrungsmitteln | |
| AT281720B (de) | Verfahren zur Herstellung von Waffeln und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| AT248708B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung von sehr reinem Calcium | |
| CH469508A (de) | Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbleiterkörpern und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
| CH460226A (de) | Verfahren zur Verbrennung von Abfall und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH423645A (de) | Verfahren zur Sanierung von Gewässern und Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens |