CH415934A - Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben - Google Patents

Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben

Info

Publication number
CH415934A
CH415934A CH450264A CH450264A CH415934A CH 415934 A CH415934 A CH 415934A CH 450264 A CH450264 A CH 450264A CH 450264 A CH450264 A CH 450264A CH 415934 A CH415934 A CH 415934A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
operating
same
high vacuum
vacuum generation
propellant pump
Prior art date
Application number
CH450264A
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Dipl Phys Baechler
Georg Dr Noeller Hans
Original Assignee
Nachfolger Leybolds E
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nachfolger Leybolds E filed Critical Nachfolger Leybolds E
Publication of CH415934A publication Critical patent/CH415934A/de

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
CH450264A 1963-05-31 1964-04-09 Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben CH415934A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEL0045001 1963-05-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH415934A true CH415934A (de) 1966-06-30

Family

ID=7270930

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH450264A CH415934A (de) 1963-05-31 1964-04-09 Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben

Country Status (3)

Country Link
US (1) US3273787A (de)
CH (1) CH415934A (de)
GB (1) GB1030816A (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3342405A (en) * 1964-10-17 1967-09-19 Leybold Holding Ag Diffusion vacuum pump apparatus
US3317122A (en) * 1965-07-06 1967-05-02 Leybold Holding Ag Vacuum pump apparatus
DE102014212644A1 (de) * 2014-06-30 2015-12-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Diffusionspumpe

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2630266A (en) * 1951-04-13 1953-03-03 Nat Res Corp High-vacuum device

Also Published As

Publication number Publication date
US3273787A (en) 1966-09-20
GB1030816A (en) 1966-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH407338A (de) Verfahren zum Kontaktieren von Halbleiterbauelementen
AT277179B (de) Verfahren zum Verflüssigen von Gas
AT244825B (de) Verfahren zum Zerschneiden halbplastischer Körper
AT251650B (de) Zusammengesetzte Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
CH428104A (de) Verfahren zum Desinfizieren sowie Einrichtung zum Ausführen des Verfahrens
CH419747A (de) Verfahren zum Abdichten von Rohrleitungen
CH407361A (de) Verfahren zum Betrieb einer Funkenerosionsmaschine und Funkenerosionsmaschine zur Ausübung des Verfahrens
CH437381A (de) Kältemaschine und Verfahren zu ihrem Betrieb
CH433513A (de) Elektrisches Entladungsgefäss und Verfahren zu seinem Betrieb
CH415934A (de) Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben
CH423075A (de) Verfahren zum Betrieb eines gekapselten Gebläses
CH440324A (de) Uberkritischer Dampferzeuger mit Zwanglauf und Verfahren zum Betrieb des Dampferzeugers
AT268379B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen dotierten Halbleitermaterials
CH513565A (de) Plasmagenerator und Verfahren zu dessen Betrieb
CH444828A (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
CH429008A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzielen sehr niedriger Drücke
AT270042B (de) Verfahren zum Herstellen von Netzen
CH450883A (de) Verfahren zum Schützen von Nahrungsmitteln
CH427857A (de) Turbinenkraftanlage und Verfahren zu deren Betrieb
CH417939A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen von gepressten Formkörpern
FI47569C (fi) Menetelmä tulenkestävän patjan valmistamiseksi ja laite menetelmän tot euttamiseksi.
IL22180A (en) 19-nor-delta4,9,11-pregnatiene-3,20-dione and process for preparing it
NL142406B (nl) Werkwijze ter bereiding van ethylmercaptan en diethylsulfide.
CH413117A (de) Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
GB1038901A (en) Apparatus and method for testing, for example, pumps