CH408433A - Verfahren und Einrichtung zur optischen Prüfung dünner Schichten - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur optischen Prüfung dünner SchichtenInfo
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS58362 | 1962-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH408433A true CH408433A (de) | 1966-02-28 |
Family
ID=5338164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH90263A CH408433A (de) | 1962-01-29 | 1963-01-24 | Verfahren und Einrichtung zur optischen Prüfung dünner Schichten |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH408433A (de) |
| GB (1) | GB990211A (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2412729C3 (de) * | 1974-03-16 | 1982-04-29 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und Anordnung zur Regelung der Verdampfungsrate und des Schichtaufbaus bei der Erzeugung optisch wirksamer Dünnschichten |
-
1963
- 1963-01-24 CH CH90263A patent/CH408433A/de unknown
- 1963-01-28 GB GB350263A patent/GB990211A/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB990211A (en) | 1965-04-28 |
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