CH379047A - Verfahren zum Betrieb einer Getter- oder Getter-Ionenpumpe - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer Getter- oder Getter-Ionenpumpe

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CH379047A
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getter
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ion pump
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getter ion
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CH940160A
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Kienel Gerhard Dr Dipl-Phys
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Heraeus Gmbh W C
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
CH940160A 1959-08-20 1960-08-19 Verfahren zum Betrieb einer Getter- oder Getter-Ionenpumpe CH379047A (de)

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DE1201945B (de) * 1962-06-08 1965-09-30 Heraeus Gmbh W C Zerstaeubungs-Vakuumpumpe
EP1983548A1 (de) * 2007-04-20 2008-10-22 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Emitterkammer, Ladungsträgerteilchenstrahlvorrichtung und Bedienungsverfahren

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