CH366821A - Verfahren zur Verbesserung der Benetzung der Verdampfungsflächen von Dünnschichtverdampfern und Dünnschichtverdampfer zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Verbesserung der Benetzung der Verdampfungsflächen von Dünnschichtverdampfern und Dünnschichtverdampfer zur Durchführung des Verfahrens

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CH366821A
CH366821A CH7040659A CH7040659A CH366821A CH 366821 A CH366821 A CH 366821A CH 7040659 A CH7040659 A CH 7040659A CH 7040659 A CH7040659 A CH 7040659A CH 366821 A CH366821 A CH 366821A
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Thaddaeus Dr Kraus
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Balzers Hochvakuum
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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