CH231686A - Process for creating reflection-reducing layers. - Google Patents

Process for creating reflection-reducing layers.

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CH231686A
CH231686A CH231686DA CH231686A CH 231686 A CH231686 A CH 231686A CH 231686D A CH231686D A CH 231686DA CH 231686 A CH231686 A CH 231686A
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CH
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substances
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German (de)
Inventor
Gmbh Ernst Leitz
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Gmbh Ernst Leitz
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  

  Verfahren zum Erzeugen reflexmindernder Schichten.    Es ist bekannt, dass durch Aufbringen  einer Schicht entsprechender     Dicke    und mit  entsprechendem Brechungsindex die Reflexion  von Glas- und ähnlichen Oberflächen stark  herabgesetzt werden kann. Bei einer inhomo  genen Schicht kaun der mittlere Brechungs  index der Schicht, wie bekannt, auch grösser  als der der Unterlage sein, wenn der Bre  chungsindex der Schicht an ihrer Grenze mit  der Unterlage grösser als der Brechungsindex  der Schicht an ihrer Grenze mit der Luft ist.  



  Nach vorliegender Erfindung wird eine  reflexmindernde umhomogene Schicht auf  einer Oberfläche dadurch erzeugt, dass zwei  Substanzen zeit verschiedenem Brechungs  index miteinander verdampft werden, und die  Verdampfung so geleitet wird, dass die Sub  stanz mit höherem Brechungsindex von der  Oberfläche aus mit abnehmendem Mischungs  anteil und die Substanz mit niedrigerem  Brechungsindex mit zunehmendem Mischungs  anteil aufgebracht werden.    Bei einer     Ausführungsform    des Verfah  rens gemäss der     Erfindung    verwendet man  zwei Substanzen, von denen die eine einen  höheren Brechungsindex und niedrigeren Ver  dampfungspunkt, die andere einen niedrige  ren Brechungsindex und einen höheren Ver  dampfungspunkt haben.  



  Beginnt man durch allmähliches Steigern  der Temperatur des Trägers der Substanzen,  z. B. eines Behälters, diese Substanzen zu  verdampfen, so wird zuerst die Substanz mit  dem hohen Brechungsindex und der niedrigen  Verdampfungstemperatur verdampfen und  sieh auf der zu belegenden Fläche     nieder-          schlagen.        Beim        Steigern,    der     Temperatur        wird     in immer stärkerem Masse     die    andere Sub  stanz mit zur     Verdampfung    kommen,

       bis     schliesslich zuletzt nur Substanz mit niedri  gem     Brechungsindex    verdampft     und    sich       niederschlägt.    Auf -diese     Weise        wird    zum       Beispiel    bei     Verwendung    der     weiter        unten     genannten     Substanzen    eine     Schicht,    erzeugt,      die sich kontinuierlich vom hohen zum nied  rigen Brechungsindex ändert, und zwar ohne  dass eine solche Änderung, wie dies bisher  geschehen ist, durch entsprechend verlaufende  Porosität erkauft werden müsste.

   Sie ist  deshalb besonders haltbar.  



  Wegen seines hohen Verdampfungspunk  tes von 2200  C und niederen Brechungs  index von 1,55 eignet sieh als Aussensubstanz  besonders Quarz und wegen des hohen Bre  chungsindex von 2,35 und niedrigen Ver  dampfungspunktes von 1200  C Zinksulfid  als Innensubstanz.  



  Bei einer andern Ausführungsform des  Verfahrens gemäss der Erfindung werden die  beiden Substanzen in einem kleinen schiff  chenartigen Träger, der auf elektrischen  Webe erhitzt wird, so gelagert, da-ss sich die  eine Substanz zuerst erhitzt     und    somit zuerst  stärker verdampft, und dass die vom Träger  ausgehende Erhitzung erst dann an die zweite  Substanz stärker herankommt. Dabei kann  man zwei Substanzen verwenden, welche an  nähernd die gleiche Verdampfungstemperatur  von rund 2200  haben, zum Beispiel     Magne-          siumfluorid    mit n = 1,45 und Titan-Sulfid  mit n = 2,30.  



  Die Substanzen könnten in den oben er  wähnten Träger getrennt gelagert, und  Wärme leicht abführende Körper an dem  Träger im Bereich der zweiten Substanz an  gebracht werden, so dass der Träiger in der  Nähe der ersten Substanz früher die Ver  dampfungstemperatur entwickelt als in der  Nähe der zweiten Substanz.  



  Eine weitere Möglichkeit besteht darin,  dass man aus den zu verdampfenden Sub  stanzen Folien herstellt und aus denselben  Stücke in zweckentsprechender Form schnei  det. Die Folie, deren Stoff zuerst in grösserer  Menge verdampfen soll, erhält in ihrem mitt  leren Teil eine breite Form, da die grösste  Wärmeentwieklung auch an dieser Stelle des  schiffchenförmigen Trägers entsteht. der zum  Beispiel aus schwer schmelzbaren Metallen  bestehen kann. Die andere Folie enthält an  dergleichen Stelle die stärkste Einschnürung,    da ja deren Stoff zunächst nur in ganz ge  ringer Menge, und grösstenteils erst am  Schluss verdampfen soll.  



  Durch die beschriebenen Ausführungs  formen wird erreicht, dass auf der bedampften  Glasflache zuerst eine Schicht einer hoch  brechenden Substanz entsteht, die allmählich  abnimmt, und in die sieh in gleichem Masse  stetig zunehmend die andere Substanz mit  niedrigerem Brechungsindex einlagert. Es  wird also ein kontinuierlicher Übergang von  der einen fast reinen Substanz über eine Zwi  schenschicht, wo beide Substanzen etwa  gleichmässig stark vorhanden sind, zu der  fast reinen andern Schicht erzielt.



  Process for creating reflection-reducing layers. It is known that the reflection of glass and similar surfaces can be greatly reduced by applying a layer of suitable thickness and with a corresponding refractive index. In the case of an inhomogeneous layer, the mean refractive index of the layer can, as is known, also be greater than that of the substrate if the refractive index of the layer at its boundary with the substrate is greater than the refractive index of the layer at its boundary with air.



  According to the present invention, a reflection-reducing, nonhomogeneous layer is produced on a surface in that two substances with different refractive indices are evaporated together, and the evaporation is conducted in such a way that the substance with a higher refractive index from the surface with a decreasing proportion of the mixture and the substance can be applied with a lower refractive index with increasing proportion of the mixture. In one embodiment of the method according to the invention, two substances are used, one of which has a higher refractive index and lower evaporation point, the other a lower refractive index and a higher evaporation point.



  If one begins by gradually increasing the temperature of the carrier of the substances, e.g. B. a container to evaporate these substances, the substance with the high refractive index and the low evaporation temperature will first evaporate and be reflected on the surface to be covered. When the temperature rises, the other substance will evaporate to an ever greater extent,

       until finally only substance with a low refractive index evaporates and precipitates. In this way, for example, when the substances mentioned below are used, a layer is produced which continuously changes from the high to the low refractive index, without such a change, as has happened so far, being bought at the expense of correspondingly progressing porosity would have to.

   It is therefore particularly durable.



  Because of its high evaporation point of 2200 C and low refractive index of 1.55, quartz is particularly suitable as an outer substance and zinc sulfide as the inner substance because of its high refractive index of 2.35 and low evaporation point of 1200 C.



  In another embodiment of the method according to the invention, the two substances are stored in a small ship-like carrier, which is heated on electric webs, in such a way that one substance is heated first and thus first evaporates more strongly, and that from the carrier outgoing heating only then comes closer to the second substance. Two substances can be used, which have approximately the same evaporation temperature of around 2200, for example magnesium fluoride with n = 1.45 and titanium sulfide with n = 2.30.



  The substances could be stored separately in the above-mentioned carrier, and heat-dissipating bodies could be brought to the carrier in the region of the second substance so that the carrier in the vicinity of the first substance develops the vaporization temperature earlier than in the vicinity of the second Substance.



  Another possibility is to produce foils from the substances to be vaporized and to cut them in an appropriate form from the same pieces. The film, the substance of which should first evaporate in large quantities, is given a broad shape in its central part, since the greatest heat development occurs at this point on the boat-shaped carrier. which can consist of metals that are difficult to melt, for example. The other film contains the strongest constriction at the same point, since its material should initially only evaporate in a very small amount and for the most part only at the end.



  Through the described execution forms it is achieved that on the vapor-coated glass surface first a layer of a highly refractive substance is created, which gradually decreases, and in which the other substance with a lower refractive index is increasingly embedded in the same amount. There is thus a continuous transition from one almost pure substance via an intermediate layer, where both substances are approximately equally strong, to the almost pure other layer.

 

Claims (1)

PATENTANSPRUCH: Verfahren zum Erzeugen einer reflex mindernden irrhomogenen Schicht auf einer Oberfläche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Substanzen mit verschiedenem Bre- chungsindex miteinander verdampft werden, und die Verdampfung so geleitet wird, dass die Substanz mit höherem Brechungsindex von der Oberfläche aus mit abnehmendem Mischungsanteil und die Substanz mit niedri gerem Brechungsindex mit zunehmendem Mi- schungrsanteil aufgebracht wird. <B>UNTERANSPRÜCHE:</B> 1. PATENT CLAIM: A method for producing a reflex-reducing, irrhomogeneous layer on a surface, characterized in that two substances with different refractive indices are evaporated together, and the evaporation is conducted in such a way that the substance with a higher refractive index starts from the surface with a decreasing mixture proportion and the substance with a lower refractive index is applied with an increasing proportion of the mixture. <B> SUBClaims: </B> 1. Verfahren nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die eine Substanz mit höherem Brechungsindex vor der Sub stanz mit niedrigerem Brechungsindex der Er hitzung unterworfen wird. 2. Verfahren nach Patentanspruch, da@- durch gekennzeichnet, dass man zwei Sub stanzen verwendet, welche mindestens an# nähernd die gleiche Verdampfungstemperatui haben. 3. Verfahren nach Patentanspruch, da. Method according to claim, characterized in that the one substance with a higher refractive index is subjected to heating before the substance with a lower refractive index. 2. The method according to claim, since @ - characterized in that two substances are used which at least have approximately the same evaporation temperature. 3. The method according to claim, there. durch gekennzeichnet, dass man zwei Sub stanzen verwendet, von denen die. mit höherer: Brechungsindex einen niedrigeren Verdamp fungspunkt und die andere mit niedrigeren Brechungsindex einen höheren Verda.mpfungs punht hat. 4. characterized in that two substances are used, of which the. with a higher refractive index has a lower vaporization point and the other with a lower refractive index has a higher vaporization point. 4th Verfahren nach Patentanspruch und Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass man die beiden Substanzen auf einem schiffchenartigen Träger derart lagert, dass sich die eine Substanz zuerst erhitzt und so mit zuerst stärker verdampft als die andere Substanz, und dass die vom Träger aus gehende Erhitzung erst dann an die zweite Substanz stärker herankommt. A method according to claim and dependent claim 1, characterized in that the two substances are stored on a boat-like carrier in such a way that one substance is heated first and thus first evaporates more strongly than the other substance, and that the heating emanating from the carrier only then comes closer to the second substance.
CH231686D 1942-01-31 1942-11-03 Process for creating reflection-reducing layers. CH231686A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102022207068A1 (en) 2022-07-11 2024-01-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Lens for a microlithographic projection exposure system designed for operation in a DUV, as well as a method and arrangement for forming an anti-reflective layer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102022207068A1 (en) 2022-07-11 2024-01-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Lens for a microlithographic projection exposure system designed for operation in a DUV, as well as a method and arrangement for forming an anti-reflective layer

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