CA2181801A1 - Detecteur universel de gas pour spectrographe de masse microusine a semiconducteurs - Google Patents
Detecteur universel de gas pour spectrographe de masse microusine a semiconducteursInfo
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Abstract
Un spectrographe de masse à semiconducteurs comporte une entrée, un dispositif d'ionisation de gaz, un filtre de masse ainsi qu'un réseau de détecteurs, l'ensemble se trouvant à l'intérieur d'une cavité dans un substrat à semiconducteurs. Le dispositif d'ionisation de gaz peut être un émetteur d'électrons à semiconducteurs, pourvu d'un dispositif optique à ions, réalisé au moyen d'électrodes installées sur des cloisons à ouvertures dans la cavité, formant des compartiments par lesquels le vide est fait au moyen d'une pompe différentielle. Le filtre de masse est, de préférence, un filtre de Wien dont le champ magnétique est produit par un aimant permanent se trouvant en dehors du substrat ou par un film magnétique placé sur les parois de la cavité. Le réseau de détecteurs, qui est un réseau linéaire orienté dans le plan de dispersion du filtre de masse, comporte des électrodes convergeant à l'extrémité de la cavité faisant office de cages de Faraday par lesquelles passe une charge destinée aux générateurs de signaux tels que des dispositifs à couplage de charge formés dans le substrat mais extérieurs à la cavité.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA002181801A CA2181801A1 (fr) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | Detecteur universel de gas pour spectrographe de masse microusine a semiconducteurs |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA002181801A CA2181801A1 (fr) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | Detecteur universel de gas pour spectrographe de masse microusine a semiconducteurs |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA2181801A1 true CA2181801A1 (fr) | 1996-05-23 |
Family
ID=4158646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CA002181801A Abandoned CA2181801A1 (fr) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | Detecteur universel de gas pour spectrographe de masse microusine a semiconducteurs |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CA (1) | CA2181801A1 (fr) |
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1994
- 1994-11-22 CA CA002181801A patent/CA2181801A1/fr not_active Abandoned
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FZDE | Discontinued |