BR112018003774A2 - aparelho de feixe de elétrons com espaço de ar ajustável - Google Patents

aparelho de feixe de elétrons com espaço de ar ajustável

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BR112018003774A2
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electrons
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beam apparatus
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BR112018003774A
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Maguire Edward
J Rangwalla Imtiaz
Alexy Rich
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Energy Sciences Inc
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    • G—PHYSICS
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Abstract

a presente invenção refere-se a um aparelho de processamento de feixe de elétrons para tratar um substrato. o aparelho tem uma montagem de geração de feixe de elétrons alojada em uma câmara que inclui um filamento para gerar uma pluralidade de elétrons mediante aquecimento. o aparelho também pode ter uma montagem de suporte de folha metálica que é configurada para direcionar a pluralidade de elétrons através de uma folha metálica fina para fora da câmara. o aparelho pode ter, ainda, uma montagem de processamento que é configurada para passar o substrato pela folha metálica fina de modo que a pluralidade de elétrons penetre no substrato e cause uma reação química. uma distância de um espaço de ar entre a folha metálica fina e o substrato pode ser ajustável.
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