BG111724A - Устройство за йонно гетерно изпомпване - Google Patents

Abstract

Устройството за йонно-гетерно изпомпване намира приложение при фундаментални и приложни изследвания в областта на физиката, физико-химията, космическите изследвания, както и при производствени технологии в нано- и микроелектрониката, медицината, вакуумната металургия, електронно-лъчевите технологии. Устройството за йонно-гетерно изпомпване се състои от охлаждаем цилиндричен корпус с водна риза, в обема на който се намира долния формиращ електрод, изпълнен във формата на фуния, над него са разположени на разстояние един над друг пръстеновиден източник на електрони и цилиндричен анод сублиматор, като електромагнита обхваща външно охлаждаемия корпус. Катода-източник на електрони е галванично изолиран от формиращия електрод. Цилиндричният анод-сублиматор е с диаметър на основата до 11 mm и височина от 10 до 60 mm и е разположен над катода - зигзагообразен източник на електрони с диаметър до 38 mm. Формиращият електрод представлява фуниевидно тяло. Той е дистанциран от основата на анода сублиматор на разстояние от 20 до 40 mm, а до катода е до 13 mm. При стартови налягания по-малки от 5.10-1 Ра в обема на корпуса, йонният ток към стените му е пропорционален на налягането в обема на устройството. Предимства на устройството за йонно-гетерно изпомпване са, че то е с голяма надеждност и висока скорост на йонно изпомпване, бърз и сигурен с възможност на автоматизирането му старт и оптимизиране разхода на гетерен материал. 4 претенции, 2 фигури