BE867577A - Dispositif d'etancheite pour la chambre a vide mobile d'une machine a faisceau de particules chargees - Google Patents

Dispositif d'etancheite pour la chambre a vide mobile d'une machine a faisceau de particules chargees

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vacuum chamber
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
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BE188120A 1977-05-27 1978-05-29 Dispositif d'etancheite pour la chambre a vide mobile d'une machine a faisceau de particules chargees BE867577A (fr)

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