BE762681A - Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. - Google Patents
Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon.Info
- Publication number
- BE762681A BE762681A BE762681A BE762681A BE762681A BE 762681 A BE762681 A BE 762681A BE 762681 A BE762681 A BE 762681A BE 762681 A BE762681 A BE 762681A BE 762681 A BE762681 A BE 762681A
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- vaporizing
- metal coating
- elongated substrate
- electronic gun
- gun
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 title 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
BE762681A BE762681A (nl) | 1971-02-09 | 1971-02-09 | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. |
NL727201042A NL151138B (nl) | 1971-02-09 | 1972-01-26 | Opdampingsinrichting. |
IT48043/72A IT948377B (it) | 1971-02-09 | 1972-01-31 | Dispositivo di vaporizzazione per applicare uno strato metallico su un sostrato oblungo |
DE19722204467 DE2204467A1 (de) | 1971-02-09 | 1972-01-31 | Vorrichtung zum Aufdampfen einer Oberflächenmetallschicht oder eines Metallüberzuges auf eine langgestreckte Unterlage mit Hilfe wenigstens einer Elektronenkanone |
US00223215A US3777704A (en) | 1971-02-09 | 1972-02-03 | Apparatus for vaporizing metal on a substratum |
FR7203739A FR2124467B1 (xx) | 1971-02-09 | 1972-02-04 | |
LU64738D LU64738A1 (xx) | 1971-02-09 | 1972-02-07 | |
JP47013666A JPS5019519B1 (xx) | 1971-02-09 | 1972-02-09 | |
GB611572A GB1344432A (en) | 1971-02-09 | 1972-02-09 | Apparatus for vaporizing metal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
BE762681A BE762681A (nl) | 1971-02-09 | 1971-02-09 | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
BE762681A true BE762681A (nl) | 1971-07-16 |
Family
ID=3857695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
BE762681A BE762681A (nl) | 1971-02-09 | 1971-02-09 | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3777704A (xx) |
JP (1) | JPS5019519B1 (xx) |
BE (1) | BE762681A (xx) |
DE (1) | DE2204467A1 (xx) |
FR (1) | FR2124467B1 (xx) |
GB (1) | GB1344432A (xx) |
IT (1) | IT948377B (xx) |
LU (1) | LU64738A1 (xx) |
NL (1) | NL151138B (xx) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4153005A (en) * | 1977-07-06 | 1979-05-08 | United Technologies Corporation | Multiple electron beam vacuum vapor deposition apparatus |
US4815309A (en) * | 1986-03-18 | 1989-03-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing an electrical conductor |
DE3634598C2 (de) * | 1986-10-10 | 1994-06-16 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zum reaktiven Aufdampfen von Metallverbindungen |
DE68925580T2 (de) * | 1989-04-14 | 1996-09-19 | Katayama Tokushu Kogyo Kk | Verfahren zur Herstellung einer porösen metallischen Folie |
JPH089774B2 (ja) * | 1990-06-25 | 1996-01-31 | 三菱電機株式会社 | 薄膜形成装置 |
AT400040B (de) * | 1993-06-02 | 1995-09-25 | Andritz Patentverwaltung | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von metallsubstraten, insbesondere stahl- oder aluminiumbblechen in bandform |
DE102013104086B3 (de) * | 2013-04-23 | 2014-10-23 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Elektronenstrahl-Verdampfungsanordnung und Verfahren zum Elektronenstrahl-Verdampfen |
DE102013107454B4 (de) * | 2013-07-15 | 2020-02-06 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Elektronenstrahlprozessanordnung, mobile Auswertevorrichtung, Verfahren zum Betreiben eines Elektronenstrahlverdampfers; und Verfahren zum Kalibrieren einer Elektronenstrahlprozessanordnung |
JP7058499B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2022-04-22 | 住友化学株式会社 | 蒸着源、電子ビーム真空蒸着装置及び電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3046936A (en) * | 1958-06-04 | 1962-07-31 | Nat Res Corp | Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof |
US3432335A (en) * | 1966-03-15 | 1969-03-11 | Lokomotivbau Elektrotech | Cyclically moving electron beam for uniform vapor deposited coating |
US3502499A (en) * | 1967-05-22 | 1970-03-24 | Texas Instruments Inc | Cladding method and apparatus |
US3576670A (en) * | 1969-02-19 | 1971-04-27 | Gulf Energy & Environ Systems | Method for making a superconducting material |
-
1971
- 1971-02-09 BE BE762681A patent/BE762681A/nl unknown
-
1972
- 1972-01-26 NL NL727201042A patent/NL151138B/xx unknown
- 1972-01-31 DE DE19722204467 patent/DE2204467A1/de active Pending
- 1972-01-31 IT IT48043/72A patent/IT948377B/it active
- 1972-02-03 US US00223215A patent/US3777704A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-02-04 FR FR7203739A patent/FR2124467B1/fr not_active Expired
- 1972-02-07 LU LU64738D patent/LU64738A1/xx unknown
- 1972-02-09 GB GB611572A patent/GB1344432A/en not_active Expired
- 1972-02-09 JP JP47013666A patent/JPS5019519B1/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
LU64738A1 (xx) | 1972-07-03 |
DE2204467A1 (de) | 1972-09-14 |
JPS5019519B1 (xx) | 1975-07-08 |
FR2124467A1 (xx) | 1972-09-22 |
FR2124467B1 (xx) | 1977-04-01 |
GB1344432A (en) | 1974-01-23 |
IT948377B (it) | 1973-05-30 |
NL7201042A (xx) | 1972-08-11 |
NL151138B (nl) | 1976-10-15 |
US3777704A (en) | 1973-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL176902C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een metaalpatroon op een microporeus hydrofiel oppervlak van een isolerende ondergrond. | |
NL7602264A (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een metaalbe- kleding op een metaalsubstraat. | |
NL178088B (nl) | Werkwijze voor het vormen van een hoogglanzende bekleding op een substraat. | |
NL7713596A (nl) | Stelsel voor het besturen van een electronen- kanon. | |
NL171130B (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een metallieke verflaag op een metaaloppervlak, alsmede de volgens deze werkwijze verkregen metalen voorwerpen. | |
NL165777C (nl) | Werkwijze voor het lakken van substraten met eencomponent-laksystemen. | |
NL7502735A (nl) | Hechtmiddel voor het aanbrengen van een bekle- dingslaag op metaal. | |
NL7504583A (nl) | Werkwijze voor het vormen van hechtende, tegen oplosmiddelen bestand zijnde bekledingen op metaalsubstraten. | |
NL7702923A (nl) | Werkwijze voor het vormen van een polyfenyleen- sulfideharsbekleding op het oppervlak van een metaalsubstraat. | |
NL7607030A (nl) | Ponskaartencamera met inrichting voor het be- sproeien van de belichte film. | |
NL7700641A (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding voor halfgeleidersubstraten. | |
NL148956B (nl) | Werkwijze voor het met een elektrische stroom aanbrengen van een bekledingslaag op een metalen substraat. | |
NL167515C (nl) | Inrichting voor het repareren van de bekleding van een oven. | |
BE762681A (nl) | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. | |
NL169904C (nl) | Werkwijze voor het bekleden van een metalen voorwerp. | |
NL139567B (nl) | Werkwijze voor het vormen van een fosfaatbekledingslaag op een opeenvolging van ijzerhoudende metaaloppervlakken. | |
NL162148C (nl) | Werkwijze voor het bekleden van een niobiumhoudende onderlaag met een metaallaag. | |
NL173386C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een metaaloxydebekleding op een ondergrond. | |
NL7504277A (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een spectraal- -selectieve bekleding op een plaat. | |
NL143070B (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van naast elkaar gelegen, door een tussenruimte van elkaar gescheiden metaaldelen op een ondergrond en voorwerp, in het bijzonder halfgeleiderinrichting, vervaardigd met toepassing van deze werkwijze. | |
NL168252C (nl) | Werkwijze voor het uitvoeren van een oppervlaktebehandeling op een velvormig substraat. | |
NL7612483A (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een metal- lisering op een substraat. | |
NL147957B (nl) | Inrichting voor het elektrostatisch aanbrengen van een bedekkingslaag op voorwerpen. | |
NL167866C (nl) | Inrichting voor het met een laag bekleden van metalen buizen. | |
NL162420C (nl) | Werkwijze voor het bekleden van een geleidend substraat. |