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熱物理蒸着源
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真空中で材料を蒸発する方法および装置
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1984-11-16
Procede et appareillage pour le revetement d'un substrat avec une matiere transformee electriquement en phase gazeuse
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Cellule pour épitaxie par jets moléculaires et procédé associé
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Dispositif pour l'emission d'electrons muni d'un corps emetteur d'electrons comportant une couche en un materiau reducteur du potentiel de sortie et procede permettant d'appliquer une telle couche en un materiau reducteur du potentiel de sortie
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