H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
H01J37/02—Details
H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
Unite de deviation munie d'un ensemble d'aimants permanents servant a engendrer un champ multipolaire statique pour la simulation d'une modulation du champ de deviation dynamique et tube a rayons cathodiques comportant une telle unite de deviation
Magnetische vorrichtung, insbesondere fuer elektronzyklotronresonanzionenquellen, die die erzeugung geschlossener oberflaechen mit konstanter magnetfeldstaerke b und beliebiger groesse ermoeglichen