BE1023207B1

BE1023207B1 - Method for controlling a gas supply to a vacuum pump

Info

Publication number: BE1023207B1
Application number: BE2015/5074A
Authority: BE
Inventors: Joeri COECKELBERGS
Original assignee: Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap
Priority date: 2015-01-15
Filing date: 2015-02-11
Publication date: 2016-12-21
Also published as: BE1023207A1

Abstract

Werkwijze om de temperatuur te regelen van een compressor- of vacuümelement (1), waarbij de werkwijze de stap omvat van het voorzien van een drukregelklep (4) aan een instroomkanaal (9) dat in verbinding staat met het vacuümelement (1), welke klep (4) de druk regelt binen het vacuümelement (1) door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal (8) en het vacuümelement (1) stroomt, aan te passen in functie van de drukwaarde binnen het vacuümelement (1), waarin de werkwijze de stappen omvat van: - het starten van het vacuümelement (1) en het starten van een pre-purge cyclus door het inlaatkanaal (2) van het vacuümelement (1) aan te sluiten op een toevoer van een purge gas gedurende een vooraf geselecteerd tijdsinterval; - het aansluiten van het instroomkanaal (9) op een proceskanaal (8); en - het afkoppelen van het inlaatkanaal (2) van het proceskanaal (8) en het starten van een post-purge cyclus waarin een gasdebiet wordt geregeld aan het inlaatkanaal (2), om een ingestelde temperatuur te behouden binnen het vacuümelement (1) gedurende een tijdsinterval.A method of controlling the temperature of a compressor or vacuum element (1), the method comprising the step of providing a pressure control valve (4) on an inflow channel (9) in communication with the vacuum element (1), which valve (4) regulates the pressure within the vacuum element (1) by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel (8) and the vacuum element (1) in function of the pressure value within the vacuum element (1), in which the method comprises steps of: - starting the vacuum element (1) and starting a pre-purge cycle by connecting the inlet channel (2) of the vacuum element (1) to a supply of a purge gas for a preselected time interval; - connecting the inflow channel (9) to a process channel (8); and - disconnecting the inlet channel (2) from the process channel (8) and starting a post-purge cycle in which a gas flow rate is controlled at the inlet channel (2), to maintain a set temperature within the vacuum element (1) for a time interval.

Description

Werkwijze voor het regelen van een gastoevoer naar een vacuümpomp.Method for controlling a gas supply to a vacuum pump.

Deze uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het regelen van de temperatuur aan het uitlaatkanaal van een vacuümelement, waarbij de werkwijze de stap omvat van het voorzien van een drukregelklep aan een inlaatkanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met een vacuümelement en het aanpassen van het volume fluïdum dat tussen het inlaatkanaal en het vacuümelement stroomt in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement en een ingestelde drukwaarde.This invention relates to a method for controlling the temperature at the outlet channel of a vacuum element, the method comprising the step of providing a pressure control valve on an inlet channel in direct communication with a vacuum element and adjusting the volume of fluid which flows between the inlet channel and the vacuum element as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element and a set pressure value.

De verschillende types toepassingen waarin vacuümpompen vandaag worden gebruikt, roepen een reeks vragen op betreffende de duurzaamheid en onderhoudsprocessen. Ongeacht of de vacuümpompen worden aangesloten op een voedingsproductielijn, verschillende machine- of componentenproductielijnen, of binnen een chemische fabriek, is een aanzienlijk probleem dat niet kan worden vermeden dat de omgeving waarin ze werken contaminanten genereert zoals gasdampen of andere vloeistoffen. Het is bekend dat dergelijke contaminanten een hoog corrosief effect hebben op de samenstellende elementen van de vacuümpompen en dat ze, als ze gedurende meerdere werkingscycli binnen het systeem worden gehouden, aanzienlijke schade veroorzaken aan onderdelen zoals de rotors, de behuizing of de buisstructuur.The different types of applications in which vacuum pumps are used today raise a series of questions regarding sustainability and maintenance processes. Regardless of whether the vacuum pumps are connected to a food production line, different machine or component production lines, or within a chemical plant, a significant problem that cannot be avoided is that the environment in which they operate generates contaminants such as gas vapors or other liquids. It is known that such contaminants have a high corrosive effect on the components of the vacuum pumps and that, if they are kept within the system for several operating cycles, they cause considerable damage to components such as the rotors, the housing or the tube structure.

Een ander aanzienlijk risico wanneer er contaminanten voorhanden zijn in de vacuümpomp is dat ze de kwaliteit van de afdichtingsolie verminderen en die zelfs oplossen, wat efficiëntie van het pompelement aantast.Another significant risk when contaminants are present in the vacuum pump is that they reduce the quality of the sealing oil and even dissolve it, which affects the efficiency of the pump element.

Bekende systemen zoals het systeem ingevoerd door Edwards LTD in GB 2,500,610 voeren een inert gas, een purge gas genoemd, toe wanneer het systeem detecteert dat een ruw procesgas uit een proceskamer wordt uitgestoten, dat wordt afgevoerd via een vacuümpomp. Het volume purge gas kan worden verkleind of geminimaliseerd wanneer het systeem detecteert dat een relatief inert gas door de pomp vloeit, of wanneer de pomp in inactief is.Known systems such as the system introduced by Edwards LTD in GB 2,500,610 supply an inert gas, referred to as a purge gas, when the system detects that a raw process gas is discharged from a process chamber that is discharged via a vacuum pump. The volume of purge gas can be reduced or minimized when the system detects that a relatively inert gas is flowing through the pump, or when the pump is inactive.

Een dergelijk systeem zorgt ervoor dat er een purge gas blijft door stromen tot het gehalte contaminanten aan de uitlaat van de pomp relatief klein is, wat betekent dat sommige contaminanten binnen het systeem zouden kunnen blijven. Dit zou een nadeel kunnen worden wanneer de vacuümpomp wordt aangesloten op een proceskanaal dat hoog-corrosieve contaminanten genereert.Such a system ensures that a purge of gas continues to flow until the contaminants content at the pump outlet is relatively small, which means that some contaminants could remain within the system. This could become a disadvantage if the vacuum pump is connected to a process channel that generates highly corrosive contaminants.

Een verder nadeel van een dergelijk systeem is het feit dat het volume purge gas wordt toegepast terwijl de vacuümpomp in werking is, wat niet alleen de drukwaarde aan het inlaatkanaal van de vacuümpomp en bijgevolg aan de proceslijn zal veranderen, maar er ook zou kunnen toe leiden dat de pomp langere tijd op een hogere capaciteit werkt.A further drawback of such a system is the fact that the purge gas volume is applied while the vacuum pump is in operation, which will not only change the pressure value at the inlet channel of the vacuum pump and consequently at the process line, but could also lead to it that the pump runs at a higher capacity for a longer period of time.

Een andere beperking van een dergelijk systeem is dat het niet verhindert dat er waterdampen in het systeem terechtkomen. Het is bekend dat waterdampen een schadelijk corrosief effect kunnen hebben.Another limitation of such a system is that it does not prevent water vapors from entering the system. It is known that water vapors can have a harmful corrosive effect.

Rekening houdend met het voorgaande, is het een doel van de huidige uitvinding om een vacuümpomp te voorzien die de efficiëntie van het vacuümelement verhoogt en het risico beperkt dat er schade optreedt te wijten aan corrosieve dampen van verschillende gassen of verschillende vloeistoffen die erin komen.Taking into account the foregoing, it is an object of the present invention to provide a vacuum pump that increases the efficiency of the vacuum element and reduces the risk of damage due to corrosive vapors of different gases or different liquids entering it.

Een ander doel van de huidige uitvinding is condensaat van de vacuümpomp te elimineren en de afdichtingsolie binnen de vereiste kwaliteitsparameters te houden. Bovendien verkleint de huidige uitvinding het risico aanzienlijk dat er condensaat ontstaat binnen in het vacuümelement tijdens de werking.Another object of the present invention is to eliminate condensate from the vacuum pump and to keep the seal oil within the required quality parameters. Moreover, the present invention considerably reduces the risk of condensate forming inside the vacuum element during operation.

De huidige uitvinding voorziet een werkwijze en een systeem die het tijdsinterval waarin een vacuümpomp binnen werkingsparameters wordt gebracht, verkorten en de efficiëntie van het algemene systeem verhogen.The present invention provides a method and a system that shortens the time interval in which a vacuum pump is brought within operating parameters and increases the efficiency of the general system.

De huidige uitvinding biedt een oplossing aan minstens één van de hierboven genoemde problemen door een werkwijze aan te reiken voor het regelen van de temperatuur aan een uitlaatkanaal van een vacuümelement, waarbij de werkwijze de stap omvat van het voorzien van een drukregelklep aan een inlaatkanaal, waarbij het inlaatkanaal in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement, waarbij de klep de druk regelt binnen het vacuümelement door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal en het vacuümelement stroomt aan te passen in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement en een ingestelde drukwaarde, waarin de werkwijze verder de stappen omvat van: het starten van het vacuümelement en het starten van een pre-purge cyclus door het inlaatkanaal van het vacuümelement aan te sluiten op een toevoer van een purge gas gedurende een vooraf geselecteerd tijdsinterval; - het vervolgens aansluiten van het inlaatkanaal op een proceskanaal; en - het afkoppelen van het inlaatkanaal van het proceskanaal en het starten van een post-purge cyclus waarin een gasdebiet wordt geregeld aan het inlaatkanaal, om een ingestelde temperatuur te behouden binnen het vacuümelement gedurende een geselecteerd tijdsinterval. Eén van de voordelen van de werkwijze volgens de huidige uitvinding bestaat erin dat, door een pre-purge cyclus toe te passen, de vacuümpomp wordt vrijgemaakt van contaminanten zoals waterdamp of opgeloste gassen vóór ze wordt aangesloten op het proceskanaa.1. Bijgevolg wort het risico van schade te wijten aan de corrosieve effecten van dergelijke contaminanten aanzienlijk verkleind.The present invention provides a solution to at least one of the aforementioned problems by providing a method for controlling the temperature at an outlet channel of a vacuum element, the method comprising the step of providing a pressure control valve at an inlet channel, wherein the inlet channel is in direct communication with the vacuum element, the valve controlling the pressure within the vacuum element by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel and the vacuum element as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element and a set pressure value, wherein the method further comprises the steps of: starting the vacuum element and starting a pre-purge cycle by connecting the inlet channel of the vacuum element to a supply of a purge gas during a preselected time interval; - subsequently connecting the inlet channel to a process channel; and - disconnecting the inlet channel from the process channel and starting a post-purge cycle in which a gas flow is controlled at the inlet channel, in order to maintain a set temperature within the vacuum element for a selected time interval. One of the advantages of the method according to the present invention is that, by applying a pre-purge cycle, the vacuum pump is released from contaminants such as water vapor or dissolved gases before it is connected to the process channel. Consequently, the risk of damage due to the corrosive effects of such contaminants is considerably reduced.

Omdat tijdens de pre-purge cyclus het vacuümelement niet is aangesloten op het proceskanaal, wordt warmte gegenereerd door de compressie van gas en de wrijving die ontstaat tussen de minstens één rotor, de afdichtingsolie die voorhanden is op de minstens één rotor en de behuizing van het vacuümelement, waardoor de afdichtingsolie een relatief hoge temperatuur bereikt zodanig dat, ook als er condensaat of gassen in de vacuümporap komen, de afdichtingsolie niet wordt opgelost of beschadigd en de hoge efficiëntie en betrouwbaarheid van de vacuümpomp worden behouden.Because the vacuum element is not connected to the process channel during the pre-purge cycle, heat is generated by the compression of gas and the friction that occurs between the at least one rotor, the sealing oil that is available on the at least one rotor and the housing of the vacuum element, whereby the sealing oil reaches a relatively high temperature such that, even if condensate or gases enter the vacuum porap, the sealing oil is not dissolved or damaged and the high efficiency and reliability of the vacuum pump are maintained.

Omdat de afdichtingsolie op een relatief hoge temperatuur wordt gebracht, wordt de vacuümpomp voorbereid op potentieel schadelijke contaminanten die in de vacuümpomp zouden kunnen terechtkomen tijdens de werking.Because the sealing oil is brought to a relatively high temperature, the vacuum pump is prepared for potentially harmful contaminants that could end up in the vacuum pump during operation.

Omdat de werkwijze een dergelijke opeenvolging van stappen volgt, wordt de vacuümpomp niet alleen vrij gemaakt van potentiële contaminanten en klaargemaakt voor werking maar wordt ze ook binnen bedrijfsparameters gehouden gedurende een geselecteerd tijdsinterval nadat het inlaatkanaal is afgekoppeld van het proceskanaal.Because the method follows such a sequence of steps, the vacuum pump is not only released from potential contaminants and prepared for operation, but is also kept within operating parameters for a selected time interval after the inlet channel is disconnected from the process channel.

Bij voorkeur omvat de werkwijze verder de stap van het aanpassen van de snelheid van het vacuümelement tijdens de post-purge cyclus zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal tussen een vooraf bepaalde maximum- en minimumwaarde wordt gehouden.Preferably, the method further comprises the step of adjusting the speed of the vacuum element during the post-purge cycle such that the temperature measured at the outlet channel is kept between a predetermined maximum and minimum value.

Door de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal van het vacuümelement binnen een geselecteerd interval te houden, wordt het risico van condensaatvorming binnen de vacuümpomp verder verkleind. Bijgevolg wordt, door het geselecteerde temperatuurinterval aan te passen afhankelijk van de chemische samenstelling van het fluïdum dat door de vacuümpomp stroomt, verzekerd dat de dampen in een gasvormige toestand worden gehouden.By keeping the temperature measured at the outlet channel of the vacuum element within a selected interval, the risk of condensate forming within the vacuum pump is further reduced. Consequently, by adjusting the selected temperature interval depending on the chemical composition of the fluid flowing through the vacuum pump, it is ensured that the vapors are kept in a gaseous state.

Tegelijkertijd wordt de vacuümpomp naar een nominale werksnelheid en bedrijfstemperatuur gebracht vóór ze wordt aangesloten op het proceskanaal, waardoor de efficiëntie van de vacuümpomp toeneemt. Zodra de vacuümpomp is aangesloten op het proceskanaal, zal ze beginnen werken bij een hoog rendement, waardoor vertragingen die gepaard gaan met het initialiseren van het systeem worden geëlimineerd.At the same time, the vacuum pump is brought to a nominal operating speed and operating temperature before it is connected to the process channel, thereby increasing the efficiency of the vacuum pump. Once the vacuum pump is connected to the process channel, it will start working at a high efficiency, eliminating delays associated with system initialization.

De huidige uitvinding is verder gericht op een regelaar voor het regelen van de toevoer van een purge gas aan een inlaatkanaal van een vacuümelement, waarbij de regelaar omvat : een snelheidsregelaar voor het meten en aanpassen van het toerental van minstens één rotor van het vacuümelement; een drukregelklep die geconfigureerd is om te worden gemonteerd op een inlaatkanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement, waarbij de klep de druk regelt binnen het vacuümelement door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal en het vacuümelement stroomt aan te passen in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement en een ingestelde drukwaarde; waarbij de regelaar verder omvat: middelen om het inlaatkanaal aan te sluiten op een toevoer van een purge gas gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval nadat het vacuümelement is gestart; middelen om het proceskanaal aan te sluiten op het inlaatkanaal van het vacuümelement; en middelen om het inlaatkanaal aan te sluiten op een toevoer van een purge gas nadat het inlaatkanaal is afgekoppeld van het proceskanaal en om de snelheid van het vacuümelement aan te passen gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval.The present invention is further directed to a controller for controlling the supply of a purge gas to an inlet channel of a vacuum element, the controller comprising: a speed controller for measuring and adjusting the speed of at least one rotor of the vacuum element; a pressure control valve configured to be mounted on an inlet channel in direct communication with the vacuum element, the valve controlling the pressure within the vacuum element by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel and the vacuum element as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element and a set pressure value; the controller further comprising: means for connecting the inlet channel to a purge gas supply for a predetermined time interval after the vacuum element has been started; means for connecting the process channel to the inlet channel of the vacuum element; and means for connecting the inlet channel to a purge gas supply after the inlet channel has been disconnected from the process channel and for adjusting the speed of the vacuum element during a predetermined time interval.

Bij voorkeur is de regelaar geconfigureerd om de start/stop-functie van een koelsysteem te regelen in functie van de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal.The controller is preferably configured to control the start / stop function of a cooling system in function of the temperature measured at the outlet channel.

De huidige uitvinding is verder gericht op een vacuümpomp die omvat: een vacuümelement met een inlaatkanaai en een uitlaatkanaal voor een fluïdumstroom; een temperatuursensor geconfigureerd om te worden gemonteerd op een uitlaatkanaal van het vacuümelement; een drukregelklep voorzien op een inlaatkanaal, waarbij het inlaatkanaal in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement, waarbij de klep geconfigureerd is om de druk te regelen binnen het vacuümelement door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal en het vacuümelement stroomt aan te passen in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement en een ingestelde drukwaarde; waarbij de vacuümpomp volgens de huidige uitvinding verder een regelaar zoals hierboven beschreven, omvat die geconfigureerd is om data te ontvangen van de temperatuursensor via een datakanaal en om de snelheid van het vacuümelement aan te passen nadat het inlaatkanaal is afgekoppeld van het proceskanaal, zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal tussen een vooraf bepaalde maximum- en een minimumwaarde wordt gehouden.The present invention is further directed to a vacuum pump comprising: a vacuum element with an inlet channel and an outlet channel for a fluid flow; a temperature sensor configured to be mounted on an outlet channel of the vacuum element; a pressure control valve provided on an inlet channel, the inlet channel being in direct communication with the vacuum element, the valve being configured to control the pressure within the vacuum element by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel and the vacuum element as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element and a set pressure value; wherein the vacuum pump according to the present invention further comprises a controller as described above, which is configured to receive data from the temperature sensor via a data channel and to adjust the speed of the vacuum element after the inlet channel is disconnected from the process channel such that the temperature measured at the outlet channel is kept between a predetermined maximum and a minimum value.

Door een tijdsinterval te selecteren waarin een pre-purge cyclus wordt behouden, krijgt de vacuümpomp voldoende tijd voor een volledige voorbereiding vóór de start van het proces: de vacuümpomp wordt niet alleen vrijgemaakt van potentieel schadelijke contaminanten uit een vorige werking, maar het tijdsinterval zal ook lang genoeg zijn om de afdichtingsolie van de minstens één rotor van het vacuümelement te verwarmen, waardoor het risico van condensaat binnen de vacuümpomp tijdens de werking wordt geëlimineerd.By selecting a time interval in which a pre-purge cycle is maintained, the vacuum pump is given sufficient time for a complete preparation before the start of the process: the vacuum pump is not only released from potentially harmful contaminants from a previous operation, but the time interval will also be long enough to heat the sealing oil of the at least one rotor of the vacuum element, thereby eliminating the risk of condensate within the vacuum pump during operation.

De vacuümpomp volgens de huidige uitvinding omvat bij voorkeur verder een elektromagnetische klep voor een gasballastpomp, waarbij de elektromagnetische klep wordt gemonteerd op een kanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement.The vacuum pump according to the present invention preferably further comprises an electromagnetic valve for a gas ballast pump, the electromagnetic valve being mounted on a channel in direct connection with the vacuum element.

Om de fluïdumstroom en de efficiëntie van de purge cyclus te verhogen, kan de elektromagnetische klep in een open positie worden gebracht tijdens de purge cyclus, waardoor contaminanten veel sneller worden geëlimineerd. Omdat de fluïdumstroom toeneemt, neemt ook het stroomverbruik toe, wat helpt om het tijdsinterval waarin de afdichtingsolie op een hoge temperatuur wordt gebracht, te verkorten.To increase fluid flow and efficiency of the purge cycle, the electromagnetic valve can be moved to an open position during the purge cycle, eliminating contaminants much faster. As the fluid flow increases, the power consumption also increases, which helps to shorten the time interval in which the sealing oil is brought to a high temperature.

Een dergelijk gedrag laat de vacuümpomp volgens de huidige uitvinding toe om betrouwbaar te werken, daar de tijdsintervallen waarin de vacuümpomp niet wordt gebruikt op een productielijn worden verkleind. Bijgevolg wordt niet alleen de kwaliteit van het vacuümproces op een erg hoog niveau gehouden maar ook de snelheid en kwaliteit van het eindproduct of proces waarvoor een dergelijke vacuümpomp wordt gebruikt.Such behavior allows the vacuum pump according to the present invention to operate reliably, since the time intervals in which the vacuum pump is not used on a production line are reduced. Consequently, not only the quality of the vacuum process is kept at a very high level, but also the speed and quality of the end product or process for which such a vacuum pump is used.

De huidige uitvinding is ook gericht op het gebruik van een regelaar zoals hierboven beschreven, in een vacuümpomp, om de temperatuur aan het uitlaatkanaal van het vacuümelement tussen geselecteerde waarden te houden door de snelheid van het vacuümelement tijdens een post-purge cyclus en/of een manuele purge cyclus aan te passen.The present invention is also directed to the use of a controller as described above, in a vacuum pump, to keep the temperature at the outlet channel of the vacuum element between selected values by the speed of the vacuum element during a post-purge cycle and / or a adjust manual purge cycle.

De huidige uitvinding is verder gericht op een vacuümpomp die is voorzien van een drukregelklep en/of een regelaar volgens de huidige uitvinding.The present invention is further directed to a vacuum pump provided with a pressure control valve and / or a controller according to the present invention.

Met het inzicht de kenmerken van de uitvinding beter aan te tonen, wordt hierna, als voorbeeld zonder enig beperkend karakter, een voorkeurdragende werkwijze en configuratie van een systeem volgens de huidige uitvinding beschreven met verwijzing naar de bijgaande tekeningen, waarin :With the insight to better demonstrate the features of the invention, a preferred method and configuration of a system according to the present invention is described below as an example without any limiting character with reference to the accompanying drawings, in which:

Figuur 1 een vacuümpomp voorstelt volgens een uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding;Figure 1 represents a vacuum pump according to an embodiment of the present invention;

Figuur 2 een drukregelklep voorstelt volgens een uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding; en Figuur 3 een drukregelklep voorstelt volgens een andere uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding.Figure 2 represents a pressure control valve according to an embodiment of the present invention; and Figure 3 represents a pressure control valve according to another embodiment of the present invention.

Figuur 1 is een schematische weergave van een vacuümpomp volgens de huidige uitvinding, waarbij de vacuümpomp omvat: een vacuümelement 1 met een inlaatkanaal 2 en een uitlaatkanaal 3 voor een fluïdumstroom, dat voorzien is van een drukregelklep 4 die geconfigureerd is om te worden gemonteerd op een inlaatkanaal 2 dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1, Waarbij de klep 4 geconfigureerd is om de druk te regelen binnen het vacuümelement 1 door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal 8 en het vacuümelement 1 stroomt aan te passen in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement 1 en een ingestelde drukwaarde.Figure 1 is a schematic representation of a vacuum pump according to the present invention, wherein the vacuum pump comprises: a vacuum element 1 with an inlet channel 2 and an outlet channel 3 for a fluid flow, which is provided with a pressure control valve 4 configured to be mounted on a inlet channel 2 in direct communication with the vacuum element 1, wherein the valve 4 is configured to control the pressure within the vacuum element 1 by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel 8 and the vacuum element 1 as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element 1 and a set pressure value.

De werkwijze volgens de huidige uitvinding omvat bij voorkeur de stap van het starten van een pre-purge cyclus nadat het vacuümelement 1 is gestart, door het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 aan te sluiten op een toevoer van een purge gas gedurende een vooraf geselecteerd tijdsinterval.The method according to the present invention preferably comprises the step of starting a pre-purge cycle after the vacuum element 1 has been started, by connecting the inlet channel 2 of the vacuum element 1 to a supply of a purge gas during a preselected time interval .

Na het vooraf geselecteerde tijdsinterval wordt het inlaatkanaal 2 aangesloten op een proceskanaal 8 en wordt de werking van de vacuümpomp geregeld door een drukregelaar (niet afgebeeld). Bijgevolg wordt de snelheid van de motor aangepast volgens de gevraagde parameters ter hoogte van het proceskanaal 8, zoals: de fluïdumstroom, temperatuur en/of druk.After the preselected time interval, the inlet channel 2 is connected to a process channel 8 and the operation of the vacuum pump is controlled by a pressure controller (not shown). Consequently, the speed of the motor is adjusted according to the requested parameters at the process channel 8, such as: the fluid flow, temperature and / or pressure.

Wanneer de gevraagde parameters bereikt zijn, wordt het inlaatkanaal 2 afgekoppeld van het proceskanaal 8 en wordt het vacuümelement 1 bij voorkeur aangesloten op een post-purge cyclus, tijdens de welke een gasstroom wordt geregeld aan het inlaatkanaal 2, om een ingestelde temperatuur te houden binnen het vacuümelement 1 gedurende een geselecteerd tijdsinterval.When the requested parameters are reached, the inlet channel 2 is disconnected from the process channel 8 and the vacuum element 1 is preferably connected to a post-purge cycle, during which a gas flow is controlled on the inlet channel 2, to maintain a set temperature within the vacuum element 1 during a selected time interval.

Wanneer het inlaatkanaal 2 is afgekoppeld van het proceskanaal 8, kan het inlaatkanaal bijvoorbeeld worden aangesloten op een fluïdumtoevoer (niet afgebeeld) zoals bijvoorbeeld een regelklep of een kleppensysteem (niet afgebeeld). Een dergelijke aansluiting kan een vereiste temperatuur binnen het vacuümelement 1 aanhouden gedurende een geselecteerd tijdsinterval.When the inlet channel 2 is disconnected from the process channel 8, the inlet channel can for instance be connected to a fluid supply (not shown) such as for example a control valve or a valve system (not shown). Such a connection can maintain a required temperature within the vacuum element 1 for a selected time interval.

Bij voorkeur wordt, wanneer het inlaatkanaal 2 wordt afgekoppeld van het proceskanaal 8, de drukregelklep 4 in een gesloten positie gebracht.Preferably, when the inlet channel 2 is disconnected from the process channel 8, the pressure control valve 4 is brought into a closed position.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding wordt de snelheid van het vacuümelement 1 aangepast tijdens de post-purge cyclus zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 tussen een vooraf bepaalde maximum- en minimumwaarde wordt gehouden.In a preferred embodiment of the present invention, the speed of the vacuum element 1 is adjusted during the post-purge cycle such that the temperature measured at the outlet channel 3 is kept between a predetermined maximum and minimum value.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding omvat de vacuümpomp verder een temperatuursensor 6 die voorzien is op het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1. De vacuümpomp volgens de huidige uitvinding kan verder worden aangesloten op een extern proces (niet afgebeeld) via het proceskanaal 8.In a preferred embodiment of the present invention, the vacuum pump further comprises a temperature sensor 6 provided on the outlet channel 3 of the vacuum element 1. The vacuum pump of the present invention can further be connected to an external process (not shown) via the process channel 8.

Bij voorkeur wordt de snelheid van het vacuümelement 1 aangepast op basis van metingen door de temperatuursensor 6.The speed of the vacuum element 1 is preferably adjusted on the basis of measurements by the temperature sensor 6.

Bij voorkeur wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verlaagd wanneer de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 stijgt boven de geselecteerde maximumtemperatuur, Tmax, en/of wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verhoogd als de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 lager is dan de geselecteerde minimumtemperatuur, Tmin.Preferably, the speed of the vacuum element 1 is lowered when the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 rises above the selected maximum temperature, Tmax, and / or the speed of the vacuum element 1 is increased as the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 is lower than the selected minimum temperature, Tmin.

Bij voorkeur wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verhoogd als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 lager is dan 100°C, bij voorkeur lager dan 98°C, meer bij voorkeur wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verhoogd als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 een waarde van bijvoorbeeld ongeveer 97,5°C bereikt.The speed of the vacuum element 1 is preferably increased if the temperature measured at the outlet channel 3 is lower than 100 ° C, preferably lower than 98 ° C, more preferably the speed of the vacuum element 1 is increased if the temperature measured at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 reaches a value of, for example, about 97.5 ° C.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de temperatuur waarbij de snelheid van het vacuümelement 1 wordt verhoogd, gekozen is afhankelijk van de omgevingsomstandigheden. Bijgevolg kan de temperatuur ook lager zijn dan 97,5°C, of lager dan 95°C, of zelfs lager dan 60°C.In the context of the present invention, it must be assumed that the temperature at which the speed of the vacuum element 1 is increased is selected depending on the ambient conditions. Consequently, the temperature can also be lower than 97.5 ° C, or lower than 95 ° C, or even lower than 60 ° C.

Anderzijds wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verlaagd wanneer de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 stijgt boven 100°C, meer bij voorkeur hoger is dan 101°C, meest bij voorkeur wordt de snelheid van het vacuümelement 1 verlaagd als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 een waarde bereikt van bijvoorbeeld ongeveer 102,5°C.On the other hand, the speed of the vacuum element 1 is lowered when the temperature measured at the outlet channel 3 rises above 100 ° C, more preferably higher than 101 ° C, most preferably the speed of the vacuum element 1 is lowered when the temperature measured at the outlet channel 3 reaches a value of, for example, approximately 102.5 ° C.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de temperatuur waarbij de snelheid van het vacuümelement 1 wordt verlaagd, gekozen is afhankelijk van de omgevingsomstandigheden. Bijgevolg kan de temperatuur ook hoger zijn dan 102,5°C, zoals meer dan 105°C.In the context of the present invention, it should be assumed that the temperature at which the speed of the vacuum element 1 is lowered is selected depending on the ambient conditions. Consequently, the temperature can also be higher than 102.5 ° C, such as more than 105 ° C.

Bij voorkeur omvat het inlaatkanaal 2 een leiding die een fluïdumstroom tussen het vacuümelement 1 en het proceskanaal 8 toelaat.Preferably, the inlet channel 2 comprises a conduit that allows a fluid flow between the vacuum element 1 and the process channel 8.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de vacuümpomp kan worden geselecteerd uit een groep omvattende: een enkeltraps vacuümpomp, een dubbeltraps vacuümpomp, een klauwenpomp, een slakkenhuisvacuümpomp, een turbovacuümpomp, een schroefvacuümpomp, een schottenvacuümpomp, enz. Elk van de vermelde types vacuümpompen kan olievrij of oliegeïnjecteerd zijn.In the context of the present invention, it is to be assumed that the vacuum pump can be selected from a group comprising: a single-stage vacuum pump, a double-stage vacuum pump, a claw pump, a volute vacuum pump, a turbo vacuum pump, a screw vacuum pump, a vane vacuum pump, etc. Any of the stated types of vacuum pumps can be oil-free or oil-injected.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat een vacuümelement 1 minstens een rotor behuisd binnen een kamer omvat. Gemakshalve wordt hierna de rotatiesnelheid van de minstens één rotor van het vacuümelement 1 de snelheid van het vacuümelement 1 genoemd.In the context of the present invention, it is to be assumed that a vacuum element 1 comprises at least one rotor housed within a chamber. For the sake of convenience, the rotational speed of the at least one rotor of the vacuum element 1 is hereinafter referred to as the speed of the vacuum element 1.

De werkwijze volgens de huidige uitvinding omvat bij voorkeur de stap van het onderwerpen van het vacuümelement 1 aan een pre-purge cyclus nadat het vacuümelement 1 is gestart, door het inlaatkanaal 2 aan te sluiten op een purge gasstroom en de stroom actief te houden gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval.The method according to the present invention preferably comprises the step of subjecting the vacuum element 1 to a pre-purge cycle after the vacuum element 1 has been started, by connecting the inlet channel 2 to a purge gas stream and keeping the stream active during a predetermined time interval.

Op die manier worden de contaminanten die vermoedelijk voorhanden zijn binnen het buizensysteem of binnen het vacuümelement 1, geëlimineerd. Vóór het vacuümelement 1 wordt gestart, verkeert de afdichtingsolie die voorhanden is tussen de rotors en de kamer waarin ze behuisd zijn, in een relatief hoog-viskeuze toestand. Wanneer de rotors beginnen te draaien, ontstaat er wrijving tussen de rotors, de afdichtingsolie en de kamer, waardoor warmte wordt gegenereerd die de afdichtingsolie helpt een hoge temperatuur te bereiken en minder viskeus te worden. Bovendien wordt er door de compressie van gas nog meer warmte gegenereerd.In this way, the contaminants that are probably available within the pipe system or within the vacuum element 1 are eliminated. Before the vacuum element 1 is started, the sealing oil that is available between the rotors and the chamber in which they are housed is in a relatively highly viscous state. As the rotors begin to rotate, friction occurs between the rotors, the seal oil and the chamber, generating heat that helps the seal oil reach a high temperature and become less viscous. Moreover, even more heat is generated by the compression of gas.

Na het vooraf bepaalde tijdsinterval wordt het vacuümelement 1 op een nominale werkingstemperatuur en druk gebracht, wordt het vrijgemaakt van contaminanten en heeft de afdichtingsolie een relatief hoge temperatuur. Bijgevolg wordt tijdens de pre-purge cyclus het vacuümelement voorbereid op de aansluiting op het proceskanaal 8. ïn een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding zal., wanneer het vacuümelement 1 onderworpen wordt aan een pre-purge cyclus, het systeem werken tegen een relatief hoge snelheid gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval om een vooraf ingestelde temperatuur te bereiken.After the predetermined time interval, the vacuum element 1 is brought to a nominal operating temperature and pressure, it is released from contaminants and the sealing oil has a relatively high temperature. Consequently, during the pre-purge cycle, the vacuum element is prepared for connection to the process channel 8. In a preferred embodiment of the present invention, when the vacuum element 1 is subjected to a pre-purge cycle, the system will operate at a relatively high speed during a predetermined time interval to reach a preset temperature.

Dat vooraf bepaalde tijdsinterval kan worden gekozen bijvoorbeeld tussen 1 en 20 minuten, afhankelijk van de vereisten van elk proces.That predetermined time interval can be chosen, for example between 1 and 20 minutes, depending on the requirements of each process.

De vooraf ingestelde temperatuur kan worden geselecteerd tussen 60 - 100°C, zo kan de vooraf ingestelde temperatuur bijvoorbeeld 80°C zijn.The preset temperature can be selected between 60 - 100 ° C, for example, the preset temperature can be 80 ° C.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding omvat de werkwijze verder de stap van het verlagen van de snelheid van het vacuümelement 1 tot een vooraf bepaalde werksnelheid, vóór het inlaatkanaal 2 wordt aangesloten op het proceskanaal 8. Omdat, tijdens de pre-purge cyclus, het vacuümelement 1 tegen hoge snelheid werkt, en omdat in de meeste gevallen, onmiddellijk vóór het vacuümelement 1 wordt aangesloten op het proceskanaal 8, de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 hoger is dan de drukwaarde binnen het vacuümelement 1, zorgt deze stap ervoor dat de motor die het vacuümelement 1 aandrijft niet wordt overbelast of geen grote oscillaties ondervindt die een invloed zouden hebben op het motorgedrag en de levensduur van de motor zouden verkorten.In a preferred embodiment of the present invention, the method further comprises the step of reducing the speed of the vacuum element 1 to a predetermined operating speed, before the inlet channel 2 is connected to the process channel 8. Because, during the pre-purge cycle, the vacuum element 1 operates at high speed, and because in most cases, immediately before the vacuum element 1 is connected to the process channel 8, the pressure value within the process channel 8 is higher than the pressure value within the vacuum element 1, this step ensures that the motor which drives the vacuum element 1 is not overloaded or does not experience large oscillations which would have an influence on the motor behavior and shorten the life of the motor.

Nadat het vacuümelement 1 is aangesloten op het proceskanaal 8, gaat het vacuümelement 1 in een zogenoemde modulerende stand en wordt de werking van de vacuümpomp geregeld door de drukregelaar. In een dergelijke stand wordt de temperatuur ter hoogte van het vacuümelement 1 tussen een minimum- en een maximumwaarde gehouden door een aan/uit-koelsysteem (niet afgebeeld). Bijgevolg wordt, als de temperatuur van het vacuümelement 1 stijgt boven een maximumwaarde, het koelsysteem geactiveerd en zal dit de temperatuur van het vacuümelement 1 beginnen te beïnvloeden. Wanneer de temperatuur van het vacuümelement 1 een minimumwaarde bereikt, wordt het koelsysteem gestopt.After the vacuum element 1 is connected to the process channel 8, the vacuum element 1 goes into a so-called modulating position and the operation of the vacuum pump is controlled by the pressure regulator. In such a position the temperature at the level of the vacuum element 1 is kept between a minimum and a maximum value by an on / off cooling system (not shown). Consequently, if the temperature of the vacuum element 1 rises above a maximum value, the cooling system is activated and this will begin to influence the temperature of the vacuum element 1. When the temperature of the vacuum element 1 reaches a minimum value, the cooling system is stopped.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding wordt, eens een gewenste drukwaarde aan het inlaatkanaal 2 is bereikt, de drukregelklep 4 in een gesloten positie gebracht en zal er geen fluïdum van het externe proces in het vacuümelement 1 stromen. In deze fase wordt het inlaatkanaal 2 afgekoppeld van het proceskanaal 8 en wordt bij voorkeur aangesloten op een purge gasstroom, de post-purge cyclus genoemd.In a preferred embodiment according to the present invention, once a desired pressure value at the inlet channel 2 is reached, the pressure control valve 4 is brought into a closed position and no fluid from the external process will flow into the vacuum element 1. In this phase, the inlet channel 2 is disconnected from the process channel 8 and is preferably connected to a purge gas stream, called the post-purge cycle.

Tijdens de post-purge cyclus worden de data afkomstig van een temperatuursensor 6 die is gemonteerd op het uitlaatkanaal 3 gebruikt om de snelheid van de rotor(s) aan te passen zodanig dat de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 tussen een minimum- en een maximumwaarde wordt gehouden en bijgevolg nominale functionele parameters worden behouden.During the post-purge cycle, the data from a temperature sensor 6 mounted on the outlet channel 3 is used to adjust the speed of the rotor (s) such that the temperature at the outlet channel 3 is between a minimum and a maximum value and therefore nominal functional parameters are retained.

Bijgevolg worden contaminanten die eventueel in het systeem zijn terechtgekomen tijdens de werking zoals water of verschillende gassen, geëlimineerd.Consequently, contaminants that may have entered the system during operation such as water or various gases are eliminated.

Door de ingestelde temperatuur binnen het vacuümelement 1 gedurende een geselecteerd tijdsinterval te behouden, wordt het vacuümelement 1 in nominale werkingsparameters gehouden zodanig dat het onmiddellijk kan worden aangesloten op het externe proces, indien nodig. Als gevolg hiervan worden de betrouwbaarheid en het reactievermogen van het systeem verhoogd.By maintaining the set temperature within the vacuum element 1 for a selected time interval, the vacuum element 1 is kept in nominal operating parameters such that it can be immediately connected to the external process if necessary. As a result, the reliability and responsiveness of the system are increased.

Bij voorkeur worden, tijdens de post-purge cyclus, de snelheid en temperatuur binnen het vacuümelement 1 binnen nominale parameters gehouden zodanig dat, als de drukwaarde stijgt aan het proceskanaal 8 en het vacuümelement 1 moet worden aangesloten op het externe proces, het vacuümelement 1 onmiddellijk de druk aan het proceskanaal 8 met een hoog rendement zal beïnvloeden, waardoor ongewenste wachttijden worden geëlimineerd en de efficiëntie van het vacuümelement 1 wordt verhoogd.Preferably, during the post-purge cycle, the speed and temperature within the vacuum element 1 are kept within nominal parameters such that if the pressure value rises on the process channel 8 and the vacuum element 1 is to be connected to the external process, the vacuum element 1 is immediately will influence the pressure on the process channel 8 with a high efficiency, whereby unwanted waiting times are eliminated and the efficiency of the vacuum element 1 is increased.

Bij voorkeur wordt tijdens de post-purge cyclus de temperatuur binnen het vacuümelement 1 tussen 60 - 100°C gehouden, meer bij voorkeur wordt de temperatuur op ongeveer 100°C gehouden. Bijgevolg zal het systeem, wanneer het een temperatuur van 105°C, meer bij voorkeur van ongeveer 103°C aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 meet, de snelheid van het vacuümelement 1 verlagen.Preferably during the post-purge cycle the temperature within the vacuum element 1 is kept between 60-100 ° C, more preferably the temperature is kept at approximately 100 ° C. Consequently, when it measures a temperature of 105 ° C, more preferably of about 103 ° C at the outlet channel 3 of the vacuum element 1, it will decrease the speed of the vacuum element 1.

Anderzijds zal het systeem, wanneer het een temperatuur van 95°C, meer bij voorkeur van ongeveer 98°C aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 meet, de snelheid van het vacuümelement 1 verhogen.On the other hand, when it measures a temperature of 95 ° C, more preferably of about 98 ° C at the outlet channel 3 of the vacuum element 1, it will increase the speed of the vacuum element 1.

Omdat het systeem dergelijke temperaturen aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 aanhoudt gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval, past het systeem volgens de huidige uitvinding een energie-efficiënte werkwijze toe om waterdampen die eventueel in het vacuümelement 1 zijn terechtgekomen, te verwijderen.Because the system maintains such temperatures at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 for a predetermined time interval, the system according to the present invention uses an energy efficient method to remove water vapors which may have ended up in the vacuum element 1.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding houdt de drukregelklep 4 het drukniveau van het inlaatkanaal 2 op een relatief constante waarde van ongeveer 400 mbar wanneer de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 hoger is dan 400 mbar.In a preferred embodiment of the present invention, the pressure control valve 4 maintains the pressure level of the inlet channel 2 at a relatively constant value of about 400 mbar when the pressure value within the process channel 8 is higher than 400 mbar.

Bij voorkeur staat de drukregelklep 4 in een gesloten positie wanneer de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 hoger is dan 400 mbar.The pressure control valve 4 is preferably in a closed position when the pressure value within the process channel 8 is higher than 400 mbar.

Wanneer de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 de waarde bereikt van 400 mbar of lager, wordt de drukregelklep 4 bij voorkeur geopend, en zal de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 ongeveer dezelfde waarde hebben als binnen in het vacuümelement 1.When the pressure value within the process channel 8 reaches the value of 400 mbar or lower, the pressure control valve 4 is preferably opened, and the pressure value within the process channel 8 will have approximately the same value as inside the vacuum element 1.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de waarde van 400 mbar kan worden gewijzigd afhankelijk van het proces waarop de vacuümpomp is aangesloten. Een dergelijke waarde kan bijvoorbeeld om het even welke geselecteerde waarde binnen het interval zijn, zonder daarbij beperkt te zijn tot: 200-800 mbar.In the context of the present invention, it is to be assumed that the value of 400 mbar can be changed depending on the process to which the vacuum pump is connected. Such a value can, for example, be any selected value within the interval, without being limited to: 200-800 mbar.

Bij voorkeur zal, eens de drukregelklep 4 in een open positie is gebracht, een toerentalgeregelde aandrijfeenheid (niet afgedeeld), die deel uitmaakt van de motor die de vacuümpomp aandrijft, de drukwaarde binnen het vacuümelement 1 en het proceskanaal 8 dienovereenkomstig aanpassen.Preferably, once the pressure control valve 4 is brought into an open position, a speed-controlled drive unit (not separated), which is part of the motor that drives the vacuum pump, will adjust the pressure value within the vacuum element 1 and the process channel 8 accordingly.

Voor een grotere efficiëntie omvat de werkwijze verder de stap van het houden van de drukregelklep 4 in een gesloten positie tijdens de pre-purge cyclus en/of de post-purge cyclus zodanig dat er geen fluïdum uit het vacuümelement 1 naar het proceskanaal 8 lekt.For greater efficiency, the method further comprises the step of keeping the pressure control valve 4 in a closed position during the pre-purge cycle and / or the post-purge cycle such that no fluid leaks from the vacuum element 1 to the process channel 8.

Bij voorkeur omvat de drukregelklep 4 (Figuur 2 of Figuur 3) een behuizing V5 die een eerste kamer V6 en een tweede kamer V7 begrenst die van elkaar worden gescheiden door een wand V8. De eerste kamer V6 omvat een beweegbaar element V9 dat een eerste holte V6a en een tweede holte V6b definieert die fluïdumdicht van elkaar zijn afgedicht. De eerste holte V6a omvat een inlaatkanaal V10 verbonden met een eerste toevoer van een fluïdum, en een middel om een kracht uit te oefenen op het beweegbare element V9.Preferably, the pressure control valve 4 (Figure 2 or Figure 3) comprises a housing V5 defining a first chamber V6 and a second chamber V7 that are separated from each other by a wall V8. The first chamber V6 comprises a movable member V9 defining a first cavity V6a and a second cavity V6b that are fluid-tightly sealed from each other. The first cavity V6a comprises an inlet channel V10 connected to a first supply of a fluid, and a means for exerting a force on the movable element V9.

Bij voorkeur werkt de wand V8 als een scheiding tussen de tweede kamer V7 en de tweede holte V6b van de eerste kamer V6.Preferably, the wall V8 acts as a partition between the second chamber V7 and the second cavity V6b of the first chamber V6.

De behuizing V5 kan bijvoorbeeld een deksel V5a omvatten.The housing V5 may, for example, comprise a cover V5a.

In dit geval maar niet noodzakelijkerwijs, is het inlaatkanaal V10 voorzien in het midden op het deksel V5a tegenover de tweede holte V6b.In this case, but not necessarily, the inlet channel V10 is provided in the center of the cover V5a opposite the second cavity V6b.

De tweede kamer V7 staat in directe communicatie met een proceskanaal 8 van een toevoer van een fluïdum en omvat verder een kleplichaam Vil met een distaai uiteinde Vila dat zich uitstrekt in de eerste holte V6a van de eerste kamer V6 en een proximaal uiteinde Vllb, waarbij het kleplichaam Vil verplaatsbaar is tussen een initiële, gesloten positie waarin het proximale uiteinde Vllb tegen een zitting V12 geduwd is en een tweede, geopende positie, waarin een fluïdum stroomt tussen het proceskanaal 8 en het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.The second chamber V7 is in direct communication with a process channel 8 of a fluid supply and further comprises a valve body Vil with a distal end Vila extending into the first cavity V6a of the first chamber V6 and a proximal end V11b, the valve body Vil is movable between an initial, closed position in which the proximal end V11b is pushed against a seat V12 and a second, open position, in which a fluid flows between the process channel 8 and the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de behuizing V5 kan zijn gemaakt uit één integraal deel of verschillende aparte delen.In the context of the present invention, it is to be assumed that the housing V5 can be made of one integral part or different separate parts.

Het kleplichaam Vil is verschuifbaar gemonteerd in de wand V8 zodanig dat een fluïdumstroom tussen de tweede kamer V7 en de tweede holte V6b van de eerste kamer V6 wordt vermeden.The valve body Vil is slidably mounted in the wall V8 such that a fluid flow between the second chamber V7 and the second cavity V6b of the first chamber V6 is avoided.

Bij voorkeur vormt de zitting Vil een opening naar het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.The seat Vil preferably forms an opening to the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding is het kleplichaam Vil gemonteerd binnen een geleiding V13, in dit geval in de vorm van een pijpvormig element, bestaande uit een afdichting V14 en een bus V15 gemonteerd ter hoogte van de geleiding V13 om het risico te elimineren dat er restfluïdum stroomt tussen de tweede holte V6b van de eerste kamer V6 en de tweede kamer V7.In a preferred embodiment according to the present invention, the valve body Vil is mounted within a guide V13, in this case in the form of a tubular element, consisting of a seal V14 and a bush V15 mounted at the guide V13 to eliminate the risk that residual fluid flows between the second cavity V6b of the first chamber V6 and the second chamber V7.

Bij voorkeur omvat het kleplichaam Vil een fluïdumkanaal V16 dat zich uitstrekt door het kleplichaam Vil waardoor een fluïdumstroom tussen de eerste holte V6a en het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 mogelijk is.Preferably, the valve body V1 comprises a fluid channel V16 extending through the valve body V1, whereby a fluid flow between the first cavity V6a and the inlet channel 2 of the vacuum element 1 is possible.

Bijgevolg zal de druk binnen de eerste holte V6a dezelfde waarde hebben als de drukwaarde van het fluïdum aan het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.Consequently, the pressure within the first cavity V6a will have the same value as the pressure value of the fluid at the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

Het beweegbare element V9 kan bijvoorbeeld de vorm hebben van een membraan, of een zuiger, of een metalen plaat.The movable element V9 may, for example, be in the form of a membrane, or a piston, or a metal plate.

Bij voorkeur kunnen de middel voor het uitoefenen van een kracht op het beweegbare element V9 de vorm hebben van: een veer, een zuiger of een metalen plaat zoals een staalplaat waarvoor het uitoefenen van een kracht op het beweegbare element V9 tot de intrinsieke materiaaleigenschappen behoort. De kracht die wordt gegenereerd op het beweegbare element V9 kan ofwel een drukkracht ofwel een trekkracht zijn.The means for exerting a force on the movable element V9 can be in the form of: a spring, a piston or a metal plate such as a steel plate for which the exertion of a force on the movable element V9 belongs to the intrinsic material properties. The force generated on the movable element V9 can be either a compressive force or a pulling force.

Bij voorkeur omvatten de middelen om een kracht uit te oefenen op het beweegbare element V9 een veer V17 gepositioneerd in de eerste holte V6a die duwt op het beweegbare element V9.Preferably, the means for exerting a force on the movable element V9 comprises a spring V17 positioned in the first cavity V6a which pushes on the movable element V9.

De veer V17 kan bijvoorbeeld centraal in de holte V6a van de eerste kamer V6 zijn gepositioneerd en op een centraal gepositioneerd oppervlak op het beweegbare element V9 duwen.The spring V17 may, for example, be positioned centrally in the cavity V6a of the first chamber V6 and push on the movable element V9 on a centrally positioned surface.

Bij voorkeur omvat de behuizing V5 een kraag V18 rond het inlaatkanaal V10 om de veer V17 te positioneren en ze op een stabiele centrale positie te houden. Het inlaatkanaal VIO kan concentrisch gepositioneerd zijn ten opzichte van de kraag V18.Preferably, the housing V5 comprises a collar V18 around the inlet channel V10 to position the spring V17 and to keep it in a stable central position. The inlet channel V10 can be concentrically positioned with respect to the collar V18.

In een andere uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding kan het inlaatkanaal V10 gepositioneerd zijn op de laterale zijde van het deksel V5a.In another embodiment of the present invention, the inlet channel V10 may be positioned on the lateral side of the cover V5a.

Bij voorkeur genereert de veer V17 in een initiële, gesloten positie een kracht F3 van minder dan 3000N (Newton) , meer bij voorkeur genereert de veer V17 een kracht Fx van minder dan 2000N, nog meer bij voorkeur, genereert de veer V17 een kracht Fi van 1000N of minder.Preferably, the spring V17 generates a force F3 of less than 3000N (Newton) in an initial, closed position, more preferably the spring V17 generates a force Fx of less than 2000N, even more preferably, the spring V17 generates a force Fi of 1000N or less.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm genereert de veer V17 in een initiële, gesloten positie een kracht F1 in het bereik van 500 - 2000N.In a preferred embodiment, the spring V17, in an initial, closed position, generates a force F1 in the range of 500 - 2000 N.

Bij voorkeur heeft het proximale uiteinde Vllb dat tegen de zitting V12 duwt, in dit voorbeeld, de vorm van een afgeknotte kegel met afgeronde randen waarbij de basis met de grootste diameter aan het einde tegenover de tweede kamer V7 ligt en de basis met de kleinste diameter aan het einde tegenover het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 ligt.Preferably, the proximal end V11b that pushes the seat V12 is, in this example, in the form of a truncated cone with rounded edges with the base with the largest diameter at the end facing the second chamber V7 and the base with the smallest diameter lies opposite the inlet channel 2 of the vacuum element 1 at the end.

Bij voorkeur heeft het proximale uiteinde Vllb een holle holte V19 op het einde tegenover het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.Preferably, the proximal end V11b has a hollow cavity V19 at the end opposite the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

De inlaatklep 4 omvat bij voorkeur twee geleidingselementen V20 en V21 om het beweegbare element V9 te geleiden: waarbij het eerste geleidingselement V20 gepositioneerd is in de tweede holte V6b van de eerste kamer V6 tussen het beweegbare element V9 en de wand V8 die de eerste kamer V6 scheidt van de tweede kamer V7, en waarbij het tweede geleidingselement V21 gepositioneerd is in de eerste holte V6a van de eerste kamer V6, tussen het beweegbare element V9 en de veer V17.The inlet valve 4 preferably comprises two guide elements V20 and V21 to guide the movable element V9: wherein the first guide element V20 is positioned in the second cavity V6b of the first chamber V6 between the movable element V9 and the wall V8 which houses the first chamber V6 separates from the second chamber V7, and wherein the second guide element V21 is positioned in the first cavity V6a of the first chamber V6, between the movable element V9 and the spring V17.

Het beweegbare element V9 kan de vorm hebben van een zuiger of een metalen plaat. Bij voorkeur is het beweegbare element V9 een membraan bevestigd in de behuizing V5 van de eerste kamer V6. ïn een andere uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding heeft het eerste geleidingselement V2Û de vorm van een cilindrisch blok met een holle groef aan de zijde tegenover de wand V8 om de geleider V13 in te ontvangen.The movable member V9 may be in the form of a piston or a metal plate. The movable element V9 is preferably a membrane mounted in the housing V5 of the first chamber V6. In another embodiment of the present invention, the first guide element V2Û is in the form of a cylindrical block with a hollow groove on the side opposite the wall V8 to receive the conductor V13.

In een andere uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding heeft het eerste geleide-element V20 de vorm van een schijf met een gat erin om het kleplichaam Vil te ontvangen.In another embodiment of the present invention, the first guide element V20 is in the form of a disk with a hole in it to receive the valve body V1.

Het tweede geleide-element V21 kan de vorm hebben van een schijf waartegen, aan één zijde de veer V17 rust, met een gat in om het kleplichaam Vil te ontvangen.The second guide element V21 may be in the form of a disc against which the spring V17 rests on one side, with a hole in which to receive the valve body Vil.

Bij voorkeur omvat het geleide-element V21 een rand rondom die zich uitstrekt naar het deksel V5a.Preferably, the guide element V21 comprises an all-around edge which extends to the cover V5a.

Bij voorkeur omvat de tweede holte V6b van de eerste kamer V6 verder een inlaatkanaal V22 dat de tweede holte V6b dusdanig verbindt met een toevoer van een eerste fluïdum bij een druk P: dat een fluïdumstroom mogelijk is.Preferably, the second cavity V6b of the first chamber V6 further comprises an inlet channel V22 which connects the second cavity V6b to a supply of a first fluid at a pressure P: that a fluid flow is possible.

Voor het ontwerpgemak is het eerste fluïdum bij voorkeur lucht en is Pi bij voorkeur de atmosfeerdruk.For ease of design, the first fluid is preferably air and P 1 is preferably atmospheric pressure.

Om het volume fluïdum te regelen dat door het inlaatkanaal V10 van de eerste holte V6a van de eerste kamer V6 en door het kleplichaam Vil naar het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 stroomt, omvat het inlaatkanaal V10 van de eerste holte V6a van de eerste kamer V6 verder middelen om de eerste holte V6s af te dichten van de fluïdumstroom bij druk Pi.To control the volume of fluid flowing through the inlet channel V10 of the first cavity V6a of the first chamber V6 and through the valve body Vil to the inlet channel 2 of the vacuum element 1, the inlet channel V10 of the first cavity V6a of the first chamber V6 comprises further means for sealing the first cavity V6s from the fluid flow at pressure Pi.

Bij voorkeur maar zonder enige beperking, omvatten de middelen om de eerste holte V6a af te dichten van de fluïdumstroom een klep 9.Preferably but without limitation, the means for sealing the first cavity V6a from the fluid flow comprises a valve 9.

In een uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding wordt, wanneer het vacuümelement 1 onderworpen wordt aan een purge cyclus, de drukregelklep 4 in een gesloten positie gehouden. Eens het vacuümelement 1 verbonden is met een extern proces, zal de drukregelklep 4 het volume fluïdum regelen dat tussen het proceskanaal 8 en het vacuümelement 1 stroomt zoals hieronder wordt toegelicht.In an embodiment according to the present invention, when the vacuum element 1 is subjected to a purge cycle, the pressure control valve 4 is held in a closed position. Once the vacuum element 1 is connected to an external process, the pressure control valve 4 will control the volume of fluid flowing between the process channel 8 and the vacuum element 1 as explained below.

Als de druk aan het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement Peiement i lager is dan een ingestelde minimumwaarde, schuift het kieplichaam Vil tegen de kracht in die wordt gegenereerd door de veer V17 in de richting van de eerste kamer V6, waarbij het proximale uiteinde Vllb van het kieplichaam Vil opgetild wordt van de zitting V12) en een fluïdum tussen het proceskanaal 8 en het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 kan stromen.If the pressure on the inlet channel 2 of the vacuum element Peiement i is lower than a set minimum value, the tipping body Vil slides against the force generated by the spring V17 in the direction of the first chamber V6, the proximal end V11b of the valve body Vil is lifted from the seat V12) and a fluid can flow between the process channel 8 and the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

Wanneer de druk aan het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 een waarde bereikt die hoog genoeg is, het drukverschil tussen de eerste holte V6a en de tweede holte V6b van de eerste kamer V6 klein genoeg om het proximale uiteinde Vllb van het kieplichaam Vil toe te laten zich te verplaatsen naar de zitting V12 en het f luïdumdebiet te verminderen. Als de druk binnen het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 nog altijd te hoog is, wordt het proximale uiteinde Vllb van het kieplichaam Vil verplaatst tot het tegen de zitting V12 duwt, waardoor de fluïdumstroom tussen het proceskanaal 8 en het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1 volledig wordt gestopt.When the pressure at the inlet channel 2 of the vacuum element 1 reaches a value high enough, the pressure difference between the first cavity V6a and the second cavity V6b of the first chamber V6 is small enough to allow the proximal end Vllb of the tipping body Vil to move to the seat V12 and reduce the fluid flow. If the pressure within the inlet channel 2 of the vacuum element 1 is still too high, the proximal end V11b of the tipping body Vil is displaced until it pushes against the seat V12, whereby the fluid flow between the process channel 8 and the inlet channel 2 of the vacuum element 1 completely stopped.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding wordt de drukwaarde waarbij het proximale uiteinde Vllb van het kieplichaam Vil zich optilt van de zitting V12 en/of tegen de zitting V12 wordt geduwd, aangepast in functie van de applicatie waarop de vacuümpomp is aangesloten.In a preferred embodiment of the present invention, the pressure value at which the proximal end V11b of the tipping body V1 lifts from the seat V12 and / or is pushed against the seat V12 is adjusted according to the application to which the vacuum pump is connected.

Bij voorkeur, wanneer Peiement hoger is dan een minimum ingestelde waarde, duwt het proximale uiteinde Vllb tegen de zitting V12 en stroomt er een fluïdumdebiet door het fluïdumkanaal V16. Wanneer Pej.ement gelijk is aan of kleiner is dan de minimum ingestelde waarde, gaat de klep 9 dicht en stroomt er geen fluïdum door het fluïdumkanaal V16, waarbij de drukregelklep 4 in modulerende stand gaat. De druk P element en de drukwaarde binnen het proceskanaal 8 wordt beïnvloed in een dergelijke stand door de variabele sne1heidsaandrijving of omvormer, die deel uitmaakt van de aandrijfmiddelen van de vacuümpomp.Preferably, when Peiement is higher than a minimum set value, the proximal end V11b pushes against the seat V12 and a fluid flow flows through the fluid channel V16. When Pej.ement is equal to or less than the minimum set value, the valve 9 closes and no fluid flows through the fluid channel V16, the pressure control valve 4 going into the modulating position. The pressure P element and the pressure value within the process channel 8 is influenced in such a position by the variable speed drive or transducer, which forms part of the drive means of the vacuum pump.

Bij voorkeur kunnen de aandrijfmiddelen 4 een verbrandingsmotor zijn of een elektrische motor, een turbine zoals een waterturbine of een stoomturbine, of dergeli j ke.Preferably the drive means 4 can be a combustion engine or an electric motor, a turbine such as a water turbine or a steam turbine, or the like.

De aandrijfmiddelen kunnen direct aangedreven zijn of kunnen worden aangedreven door een intermediair transmissiesysteem zoals een koppeling of een tandwielkast.The drive means may be directly driven or may be driven by an intermediate transmission system such as a clutch or a gearbox.

Daar de vacuümpomp volgens de huidige uitvinding een drukregelklep 4 gebruikt zoals hierboven beschreven, kan een permanente fluïdumstroom doorheen het kleplichaam V8 worden behouden tijdens de purge cycli, waardoor het volume fluïdum dat door het vacuümelement 1 stroomt, toeneemt en de betrouwbaarheid van dergelijke purge cycli verhoogt. Bijgevolg kunnen de tijdsintervallen die voorzien zijn voor het doorvoeren van de purge cyclus worden verkort.Since the vacuum pump according to the present invention uses a pressure control valve 4 as described above, a permanent fluid flow through the valve body V8 can be maintained during the purge cycles, whereby the volume of fluid flowing through the vacuum element 1 increases and the reliability of such purge cycles is increased. . Consequently, the time intervals provided for carrying out the purge cycle can be shortened.

Bij voorkeur, maar niet noodzakelijk, is de drukregelklep 4 van een type zoals beschreven in octrooiaanvrage BE 2015/5072, die hierin in haar geheel bij verwijzing is opgenomen.Preferably, but not necessarily, the pressure control valve 4 is of a type as described in patent application BE 2015/5072, which is incorporated herein by reference in its entirety.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat andere types kleppen met een andere structuur ook kunnen worden gebruikt.In the context of the present invention, it is to be assumed that other types of valves with a different structure can also be used.

Nadat het vacuümelement 1 is aangesloten op het externe proces, houdt de drukregelklep 4 de druk op een relatief constante waarde en past de regelaar volgens de huidige uitvinding de snelheid van de minstens één rotor binnen het vacuümelement 1 aan zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 tussen een minimum en een maximum wordt gehouden.After the vacuum element 1 is connected to the external process, the pressure control valve 4 keeps the pressure at a relatively constant value and the controller according to the present invention adjusts the speed of the at least one rotor within the vacuum element 1 such that the temperature measured at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 is kept between a minimum and a maximum.

Bijgevolg wordt, als de temperatuur binnen het vacuümelement 1 op een voldoende hoge waarde wordt gehouden, het risico van condensaatvorming binnen het vacuümelement 1 geëlimineerd.Consequently, if the temperature within the vacuum element 1 is kept at a sufficiently high value, the risk of condensate forming within the vacuum element 1 is eliminated.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding wordt, wanneer het vacuümelement 1 aangesloten is op het externe proces, de klep 9 in een gesloten positie gebracht, zodat het vacuümelement 1 de druk ter hoogte van het externe proces beïnvloedt bij een maximum rendement.In a preferred embodiment according to the present invention, when the vacuum element 1 is connected to the external process, the valve 9 is brought into a closed position, so that the vacuum element 1 influences the pressure at the level of the external process at a maximum efficiency.

Als, na het vooraf bepaalde tijdsinterval dat is ingesteld voor de pre-purge cyclus, de temperatuur van de afdichtingsolie niet de waarde bereikt die verzekert dat er geen condensaatvorming ontstaat binnen het vacuümelement 1 tijdens de werking, zou het systeem een alarmsignaal kunnen genereren om de gebruiker te informeren over een dergelijk risico.If, after the predetermined time interval set for the pre-purge cycle, the temperature of the sealing oil does not reach the value that ensures that condensation does not form within the vacuum element 1 during operation, the system could generate an alarm signal to inform the user about such a risk.

Bij voorkeur omvat de werkwijze volgens de huidige uitvinding verder de stap van het voorzien van een elektromagnetische klep 5 voor gasballast, waarbij de elektromagnetische klep 5 is gemonteerd op een kanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1.The method according to the present invention preferably further comprises the step of providing an electromagnetic valve 5 for gas ballast, wherein the electromagnetic valve 5 is mounted on a channel which is in direct connection with the vacuum element 1.

Bij voorkeur regelt de elektromagnetische klep het debiet van een gas dat wordt gebruikt om gasvormige onzuiverheden uit de vacuümpomp te verwijderen. Dat gas kan worden geselecteerd uit een groep omvattende: omgevingslucht, stikstof, helium, xenon, andere gassen of elke combinatie daarvan.Preferably, the electromagnetic valve controls the flow rate of a gas used to remove gaseous impurities from the vacuum pump. That gas can be selected from a group comprising: ambient air, nitrogen, helium, xenon, other gases or any combination thereof.

Bij voorkeur is de elektromagnetische klep 5 geopend voor de duur van een purge cyclus om een efficiëntere afvoer van de contaminanten te verzekeren.Preferably, the electromagnetic valve 5 is open for the duration of a purge cycle to ensure a more efficient discharge of the contaminants.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding omvat de werkwijze verder de stap van het manueel starten van een purge cyclus.In a preferred embodiment of the present invention, the method further comprises the step of manually starting a purge cycle.

Tijdens de manuele purge cyclus wordt de drukregelklep 4 bij voorkeur in een gesloten positie gebracht.During the manual purge cycle, the pressure control valve 4 is preferably brought into a closed position.

De stap van het manueel starten van een purge cyclus kan worden gevolgd op elk moment dat een gebruiker van een vacuümpomp volgens de huidige uitvinding dit wenst. Bij voorkeur kan, eens het vacuümelement 1 gedurende een minimum tijdsinterval niet hoeft te zijn aangesloten op het proceskanaal 8, het vacuümelement 1 worden aangesloten op een manueel gestarte purge cyclus en vrijgemaakt van eventuele fluïda, waardoor de vacuümpomp in een zogenoemde droge positie wordt gebracht.The step of manually starting a purge cycle can be followed at any time desired by a user of a vacuum pump according to the present invention. Preferably, once the vacuum element 1 does not have to be connected to the process channel 8 for a minimum time interval, the vacuum element 1 can be connected to a manually started purge cycle and released from any fluids, whereby the vacuum pump is brought into a so-called dry position.

Bij voorkeur kan de duur van een purge cyclus, hetzij pre-purge, post-purge hetzij een manueel gestarte purge cyclus, worden geselecteerd door de gebruiker afhankelijk van het proces waarop de pomp is aangesloten.Preferably, the duration of a purge cycle, either pre-purge, post-purge or a manually started purge cycle, can be selected by the user depending on the process to which the pump is connected.

Bij voorkeur, maar zonder enige beperking worden de duur van de manuele purge cyclus en de temperatuur die wordt aangehouden aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 op dezelfde manier gekozen als voor een post-purge cyclus. Bovendien wordt de snelheid van het vacuümelement 1 op dezelfde manier geregeld als tijdens een post-purge cyclus.Preferably, but without limitation, the duration of the manual purge cycle and the temperature maintained at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 are selected in the same manner as for a post-purge cycle. Moreover, the speed of the vacuum element 1 is controlled in the same way as during a post-purge cycle.

Bij voorkeur zal, tijdens een pre-purge cyclus, het systeem op maximumsnelheid werken tot een gewenste temperatuur is bereikt, en houdt tijdens een post-purge cyclus het systeem bij voorkeur een ingestelde temperatuur aan binnen het vacuümelement 1 door de snelheid te variëren.Preferably, during a pre-purge cycle, the system will operate at maximum speed until a desired temperature is reached, and during a post-purge cycle, the system preferably maintains a set temperature within the vacuum element 1 by varying the speed.

De huidige uitvinding is verder gericht op een regelaar voor het regelen van de toevoer van een purge gas aan een inlaatkanaal 2 van een vacuümelement 1.The present invention is further directed to a controller for controlling the supply of a purge gas to an inlet channel 2 of a vacuum element 1.

Bij voorkeur omvat de regelaar een snelheidsregelaar voor het meten en aanpassen van het toerental van minstens één rotor van het vacuümelement 1 en een drukregelklep 4 die geconfigureerd is om te worden gemonteerd op het inlaatkanaal 2 dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1, waarbij de klep 4 de druk regelt binnen het vacuümelement 1 door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal 8 en het vacuümelement 1 stroomt aan te passen in functie van het drukverschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement 1 en een ingestelde drukwaarde. De regelaar volgens de huidige uitvinding omvat verder middelen om het inlaatkanaal 2 aan te sluiten op een toevoer van een purge gas gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval nadat het vacuümelement 1 is gestart, middelen om het proceskanaal 8 aan te sluiten op het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1, en middelen om het inlaatkanaal 2 aan te sluiten op een toevoer van een purge gas nadat het inlaatkanaal 2 is afgekoppeld van het proceskanaal 8 en om de snelheid van het vacuümelement 1 gedurende een vooraf bepaald tijdsinterval aan te passen.Preferably, the controller comprises a speed controller for measuring and adjusting the speed of at least one rotor of the vacuum element 1 and a pressure control valve 4 configured to be mounted on the inlet channel 2 in direct connection with the vacuum element 1, the valve 4 controls the pressure within the vacuum element 1 by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel 8 and the vacuum element 1 as a function of the pressure difference between the pressure value within the vacuum element 1 and a set pressure value. The controller according to the present invention further comprises means for connecting the inlet channel 2 to a purge gas supply during a predetermined time interval after the vacuum element 1 has been started, means for connecting the process channel 8 to the inlet channel 2 of the vacuum element 1, and means for connecting the inlet channel 2 to a purge gas supply after the inlet channel 2 has been disconnected from the process channel 8 and for adjusting the speed of the vacuum element 1 during a predetermined time interval.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat de regelaar een elektronische module is die een toestand van minstens één component van de vacuümpomp kan wijzigen en bij voorkeur een gebruikersinterface heeft. De gebruikersinterface kan omvatten: minstens een opdrachtknop, een schakelaar, een aanraakscherm, of een combinatie daarvan.In the context of the present invention, it is to be assumed that the controller is an electronic module that can change a state of at least one component of the vacuum pump and preferably has a user interface. The user interface can include: at least one command button, a switch, a touch screen, or a combination thereof.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat wanneer wordt gespecificeerd dat de regelaar {niet afgebeeld) de toestand van een component beïnvloedt op een bepaalde manier zoals bijvoorbeeld, maar niet beperkt tot: de snelheid verhoogt of verlaagt van minstens één rotor van het vacuümelement 1, of de elektromagnetische klep 5 in een open positie brengt, of het inlaatkanaal 2 aansluit op een stroom van purge gas, de regelaar dan een signaal genereert, bijvoorbeeld een elektrisch signaal, dat de toestand van die component verandert.In the context of the present invention, it is to be assumed that when specifying that the controller (not shown) influences the condition of a component in a certain way such as, for example, but not limited to: the speed increases or decreases for at least one rotor of the vacuum element 1, or brings the electromagnetic valve 5 to an open position, or the inlet channel 2 connects to a purge gas stream, the controller then generates a signal, for example an electrical signal, that changes the condition of that component.

Bij voorkeur omvatten de middelen om het inlaatkanaal 2 aan te sluiten op een toevoer van een purge gas middelen om een elektrisch signaal te genereren dat het kanaal tussen de toevoer van een purge gas en het inlaatkanaal 2 opent. Het elektrische signaal kan bijvoorbeeld een klep die is gemonteerd op het kanaal openen of kan een schakelaar activeren die het verloop van een fluïdum door het kanaal stuurt, of dergelijke. Hetzelfde geldt bij de bespreking van de middelen om het proceskanaal 8 aan te sluiten op een inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.Preferably, the means for connecting the inlet channel 2 to a supply of a purge gas comprises means for generating an electrical signal which opens the channel between the supply of a purge gas and the inlet channel 2. For example, the electrical signal can open a valve mounted on the channel or can activate a switch that controls the course of a fluid through the channel, or the like. The same applies to the discussion of the means for connecting the process channel 8 to an inlet channel 2 of the vacuum element 1.

Bij voorkeur omvatten de middelen om het inlaatkanaal 2 aan te sluiten op een toevoer van een purge gas een klep 9. Bij voorkeur is de klep 9 een elektromagnetische klep die verder een filter omvat en het purge gas is bij voorkeur omgevingslucht.Preferably, the means for connecting the inlet channel 2 to a supply of a purge gas comprises a valve 9. Preferably, the valve 9 is an electromagnetic valve which further comprises a filter and the purge gas is preferably ambient air.

Bij voorkeur is de klep 9 aangesloten op een toevoer van een purge gas via een mondstuk (niet afgebeeld).The valve 9 is preferably connected to a purge gas supply via a nozzle (not shown).

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding heeft het mondstuk van klep 9 een diameter die veel groter is dan die van het mondstuk ter hoogte van het distale uiteinde Vila van de drukregelklep 4. Daardoor wordt, wanneer de klep 9 geopend is, een fluïdumstroom behouden vanaf de klep 9, door de drukregelklep 4 en in het inlaatkanaal 2 van het vacuümelement 1.In a preferred embodiment of the present invention, the nozzle of valve 9 has a diameter that is much larger than that of the nozzle at the distal end Vila of the pressure control valve 4. As a result, when the valve 9 is opened, a fluid flow is retained from the valve 9, through the pressure control valve 4 and into the inlet channel 2 of the vacuum element 1.

Bij voorkeur omvat de regelaar volgens de huidige uitvinding verder een temperatuursensor 6 die geconfigureerd is om te worden gemonteerd op een uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1. Waarbij de temperatuursensor 6 is aangesloten op de regelaar via een datakanaal en meetdata naar de regelaar stuurt.Preferably, the controller according to the present invention further comprises a temperature sensor 6 configured to be mounted on an outlet channel 3 of the vacuum element 1. The temperature sensor 6 is connected to the controller via a data channel and sends measurement data to the controller.

In het kader van de huidige uitvinding dient ervan te worden uitgegaan dat het datakanaal een draadgebonden of een draadloos datakanaal kan zijn.In the context of the present invention, it is to be assumed that the data channel can be a wired or wireless data channel.

In het kader van de huidige uitvinding kunnen de middelen om de snelheid van het vacuümelement 1 aan te passen bijvoorbeeld een signaal zijn dat wordt gegenereerd door de regelaar op een datakanaal tussen de snelheidsregelaar en de regelaar kan een tweestandenschakelaar of een Potentiometer zijn die wordt beïnvloed door een signaal gegenereerd door de regelaar. In een ander voorbeeld kan de regelaar geïntegreerd zijn in de elektronische module van de motor die de vacuümpomp aandrijft en de middelen om de snelheid van het vacuümelement 1 aan te passen kunnen een elektrisch signaal omvatten dat naar de snelheidsregelaar wordt gestuurd.In the context of the present invention, the means for adjusting the speed of the vacuum element 1 may be, for example, a signal generated by the controller on a data channel between the speed controller and the controller may be a two-position switch or a potentiometer affected by a signal generated by the controller. In another example, the controller may be integrated into the electronic module of the motor that drives the vacuum pump, and the means for adjusting the speed of the vacuum element 1 may include an electrical signal that is sent to the speed controller.

De snelheidsregelaar om het toerental van minstens één rotor van het vacuümelement 1 te meten en aan te passen is bij voorkeur verbonden met de regelaar via een datakanaal.The speed controller for measuring and adjusting the speed of at least one rotor of the vacuum element 1 is preferably connected to the controller via a data channel.

De regelaar kan een deel zijn van de vacuümpomp of kan een extern element zijn dat via een datakanaal met de vacuümpomp is verbonden.The controller can be a part of the vacuum pump or can be an external element connected to the vacuum pump via a data channel.

Als de regelaar geen deel uitmaakt van de vacuümpomp, kunnen de temperatuursensor 6 en de snelheidsregelaar ofwel een datakanaal opzetten met een centraal communicatie-element gemonteerd ter hoogte van de vacuümpomp, of een datakanaal opzetten rechtstreeks met de temperatuursensor 6 en de snelheidsregelaar.If the controller is not part of the vacuum pump, the temperature sensor 6 and the speed controller can either set up a data channel with a central communication element mounted at the level of the vacuum pump, or set up a data channel directly with the temperature sensor 6 and the speed controller.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding houdt de regelaar de temperatuur die wordt gemeten aan het uitlaatkanaal 3 binnen het geselecteerde interval tijdens de post-purge cyclus of manuele purge cyclus door de snelheid van het vacuümelement 1 te verlagen als de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 hoger is dan een geselecteerde maximumtemperatuur, Tma:i en/of door de snelheid van het vacuümelement 1 te verhogen als de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 lager is dan een geselecteerde minimumtemperatuur, Tmin.In a preferred embodiment of the present invention, the controller maintains the temperature measured at the outlet channel 3 within the selected interval during the post-purge cycle or manual purge cycle by lowering the speed of the vacuum element 1 as the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 is higher than a selected maximum temperature, Tma: i and / or by increasing the speed of the vacuum element 1 if the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 is lower than a selected minimum temperature, Tmin.

Bij voorkeur verhoogt de regelaar de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 lager is dan 100°C, bij voorkeur lager dan 98°C, meer bij voorkeur verhoogt de regelaar de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 een waarde van ongeveer 97,5°C bereikt.Preferably, the controller increases the speed of the vacuum element 1 if the temperature measured at the outlet channel 3 is lower than 100 ° C, preferably lower than 98 ° C, more preferably the controller increases the speed of the vacuum element 1 as the temperature measured at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 reaches a value of approximately 97.5 ° C.

Anderzijds verlaagt de regelaar de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 hoger is dan 100°C, meer bij voorkeur lager dan 101°C, meest bij voorkeur verlaagt de regelaar de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 een waarde van ongeveer 102,5°C bereikt.On the other hand, the controller lowers the speed of the vacuum element 1 if the temperature measured at the outlet channel 3 is higher than 100 ° C, more preferably lower than 101 ° C, most preferably the controller lowers the speed of the vacuum element 1 as the temperature measured at the outlet channel 3 reaches a value of approximately 102.5 ° C.

Bijgevolg blijven, bij de hierboven genoemde temperatuurwaarden en gezien de waarden voor lozing in de atmosfeer zoals atmosfeerdruk, temperatuur en relatieve vochtigheid de gebruikelijke waarden zijn, de waterdampen in gasvormige toestand, en kan er zich geen condensaat vormen binnen het vacuümelement 1.Consequently, at the above-mentioned temperature values and given that the values for discharge into the atmosphere such as atmospheric pressure, temperature and relative humidity are the usual values, the water vapors remain in a gaseous state and no condensate can form within the vacuum element 1.

De huidige uitvinding is verder gericht op een vacuümpomp die omvat: een vacuümelement 1 met een inlaatkanaal 2 en een uitlaatkanaal 3 voor een fluïdumstroom, een temperatuursensor 6 geconfigureerd om te worden gemonteerd op een uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 en een drukregelklep 4 voorzien aan het inlaatkanaal 2, waarbij het inlaatkanaal 2 in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1, waarbij de klep 4 geconfigureerd is om de druk te regelen binnen het vacuümelement 1 door het volume fluïdum dat tussen een proceskanaal 8 en het vacuümelement 1 stroomt aan te passen in functie van het verschil tussen de drukwaarde binnen het vacuümelement 1 en een ingestelde drukwaarde. De vacuümpomp omvat verder bij voorkeur een regelaar zoals hierboven beschreven die geconfigureerd is om data te ontvangen van de temperatuursensor 6 via een datakanaal en om de snelheid van het va cuüme lerne nt 1 aan te passen nadat het inlaatkanaal 2 is afgekoppeld van het proceskanaal 8, zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 tussen een vooraf bepaalde maximum- en een minimumwaarde wordt gehouden.The present invention is further directed to a vacuum pump comprising: a vacuum element 1 with an inlet channel 2 and an outlet channel 3 for a fluid flow, a temperature sensor 6 configured to be mounted on an outlet channel 3 of the vacuum element 1 and a pressure control valve 4 provided on the inlet channel 2, wherein the inlet channel 2 is in direct communication with the vacuum element 1, the valve 4 being configured to control the pressure within the vacuum element 1 by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel 8 and the vacuum element 1 in function of the difference between the pressure value within the vacuum element 1 and a set pressure value. The vacuum pump further preferably comprises a controller as described above which is configured to receive data from the temperature sensor 6 via a data channel and to adjust the speed of the vacuum nt 1 after the inlet channel 2 has been disconnected from the process channel 8, such that the temperature measured at the outlet channel 3 is kept between a predetermined maximum and a minimum value.

Bij voorkeur kan de vacuümpomp verder aangesloten worden op een extern proces (niet afgedeeld), via het proceskanaal 8.Preferably, the vacuum pump can be further connected to an external process (not subdivided) via the process channel 8.

Om het systeem efficiënter te reinigen tijdens een purge cyclus, omvat de vacuümpomp verder een elektromagnetische klep 5 voor gasballast, waarbij de elektromagnetische klep 5 gemonteerd is op een kanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1.In order to clean the system more efficiently during a purge cycle, the vacuum pump further comprises an electromagnetic valve 5 for gas ballast, the electromagnetic valve 5 being mounted on a channel that is in direct connection with the vacuum element 1.

Bij voorkeur verhoogt de regelaar de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 boven een geselecteerde maximumtemperatuur, Tmax stijgt en/of verlaagt de snelheid van het vacuümelement 1 als de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 lager is dan een geselecteerde minimumtemperatuur, Tmin.Preferably, the controller increases the speed of the vacuum element 1 if the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 rises above a selected maximum temperature, Tmax rises and / or decreases the speed of the vacuum element 1 as the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 is lower than a selected minimum temperature, Tmin.

Bij voorkeur is Tmin lager dan 100°C, meer bij voorkeur is Tmin lager dan 98°C en meest bij voorkeur is Tmin ongeveer 97,5°C, en/of is Tmax hoger dan 100°C, meer bij voorkeur, is Tmax hoger dan 101°C en meest bij voorkeur is Tmax ongeveer 102,5°C.Preferably, Tmin is less than 100 ° C, more preferably, Tmin is less than 98 ° C and most preferably, Tmin is about 97.5 ° C, and / or Tmax is higher than 100 ° C, more preferably, Tmax is higher than 101 ° C and most preferably Tmax is about 102.5 ° C.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding start een post~purge cyclus, nadat het vacuümelement 1 is afgekoppeld van het externe proces. Een dergelijke cyclus reinigt de vacuümpomp niet alleen, maar houdt die ook op werkingstemperatuur gedurende een geselecteerd tijdsinterval. Daarom zal, als de vacuümpomp binnen het geselecteerde tijdsinterval niet hoeft te worden gebruikt, ze toch onmiddellijk kunnen worden aangesloten op het externe proces zonder enige risico's dat contaminanten achterblijven in de vacuümpomp.In a preferred embodiment of the present invention, a post-purge cycle starts after the vacuum element 1 has been disconnected from the external process. Such a cycle not only cleans the vacuum pump, but also maintains it at operating temperature for a selected time interval. Therefore, if the vacuum pump does not have to be used within the selected time interval, it will nevertheless be able to connect directly to the external process without any risk of contaminants remaining in the vacuum pump.

Indien nodig kan de regelaar een signaal genereren om een purge cyclus te starten om de vacuümpomp te reinigen.If necessary, the controller can generate a signal to start a purge cycle to clean the vacuum pump.

Bij voorkeur omvat de regelaar verder middelen om een purge cyclus manueel te starten.Preferably, the controller further comprises means for manually starting a purge cycle.

Bijgevolg kan een gebruiker een purge cyclus manueel starten door een knop of schakelaar ter hoogte van de regelaar te activeren.Consequently, a user can manually start a purge cycle by activating a button or switch at the level of the controller.

In een voorkeurdragende uitvoeringsvorm volgens de huidige uitvinding omvat de vacuümpomp ook een inlaatfilter 7, die de onzuiverheden in vaste vorm afkomstig van het proceskanaal 8 elimineert.In a preferred embodiment of the present invention, the vacuum pump also comprises an inlet filter 7, which eliminates the impurities in solid form from the process channel 8.

Bij voorkeur verhoogt of verlaagt, wanneer het vacuümelement 1 is aangesloten op een post-purge cyclus of een manuele purge cyclus, de regelaar de snelheid van de rotors zodanig dat de temperatuur gemeten aan het uitlaatkanaal 3 binnen een geselecteerd interval wordt gehouden. De regelaar kan de snelheid van de rotors verlagen tot het vacuümelement 1 stopt en kan de snelheid van de rotors ook verhogen tot een maximum toegelaten waarde is bereikt. Bovendien kan, eens het vacuümelement 1 volledig gestopt is, de regelaar het ook opnieuw starten.Preferably, when the vacuum element 1 is connected to a post-purge cycle or a manual purge cycle, the controller increases the speed of the rotors such that the temperature measured at the outlet channel 3 is kept within a selected interval. The controller can reduce the speed of the rotors until the vacuum element 1 stops and can also increase the speed of the rotors until a maximum permitted value is reached. In addition, once the vacuum element 1 has stopped completely, the controller can also restart it.

De regelaar regelt de werking van een koelsysteem (niet afgebeeld) voor een temperatuurregeling van het vacuümelement 1. Bijgevolg genereert, als de temperatuur van het vacuümelement 1 snel stijgt, de regelaar een signaal naar het koelsysteem, dat de temperatuur van het vacuümelement 1 zal beginnen te beïnvloeden.The controller controls the operation of a cooling system (not shown) for temperature control of the vacuum element 1. Consequently, if the temperature of the vacuum element 1 rises rapidly, the controller generates a signal to the cooling system that the temperature of the vacuum element 1 will begin to influence.

Bij voorkeur wordt een elektromagnetische klep 5 voor gasballast voorzien aan een kanaal dat in rechtstreekse verbinding staat met het vacuümelement 1. Bij voorkeur brengt de regelaar de elektromagnetische klep 5 in een open positie voor de duur van de purge cyclus om de efficiëntie van het reinigingsproces te verhogen.Preferably, an electromagnetic valve 5 for gas ballast is provided on a channel that is in direct communication with the vacuum element 1. Preferably, the controller brings the electromagnetic valve 5 into an open position for the duration of the purge cycle to improve the efficiency of the cleaning process. to increase.

De huidige uitvinding is ook gericht op het gebruik van een regelaar volgens de huidige uitvinding in een vacuümpomp, om de temperatuur aan het uitlaatkanaal 3 van het vacuümelement 1 tussen geselecteerde waarden te houden door de snelheid van het vacuümelement 1 tijdens een post-purge cyclus en/of een manuele purge cyclus aan te passen.The present invention is also directed to the use of a controller according to the present invention in a vacuum pump, to keep the temperature at the outlet channel 3 of the vacuum element 1 between selected values by the speed of the vacuum element 1 during a post-purge cycle and / or adjust a manual purge cycle.

De huidige uitvinding is ook gericht op een vacuümpomp die is voorzien van een drukregelklep 4 en een regelaar volgens de huidige uitvinding. FIG. 1 omvat andere samenstellende elementen die niet zijn vermeld in de huidige beschrijving. Dergelijke elementen zijn opgenomen voor een goede werking van de vacuümpomp en mogen niet worden beschouwd als beperkende kenmerken.The present invention is also directed to a vacuum pump provided with a pressure control valve 4 and a controller according to the present invention. FIG. 1 includes other component elements that are not mentioned in the present description. Such elements are included for proper operation of the vacuum pump and should not be considered as limiting features.

De huidige uitvinding is geenszins beperkt tot de als voorbeeld beschreven en in de figuren weergegeven uitvoeringsvorm, doch een dergelijke werkwijze kan worden verwezenlijkt in allerlei varianten zonder buiten het kader van de uitvinding te treden.The present invention is by no means limited to the embodiment described by way of example and shown in the figures, but such a method can be realized in all kinds of variants without departing from the scope of the invention.

Claims

Conclusions.

A method for controlling the temperature at an outlet channel (3) of a vacuum element (1), the method comprising the step of: - providing a pressure control valve (4) on an inlet channel (2), the inlet channel (2) is in direct communication with the vacuum element (1), the valve (4) regulating the pressure within the vacuum element (1) by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel (8) and the vacuum element (1) as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element (1) and a set pressure value; characterized in that the method further comprises the steps of: - starting the vacuum element (1) and starting a pre-purge cycle by connecting the inlet channel (2) of the vacuum element (1) to a supply of a purge gas during a preselected time interval; - subsequently connecting the inlet channel {2} to a process channel (8); and - disconnecting the inlet channel (2) from the process channel (8) and starting a post-purge cycle in which a gas flow is controlled at the inlet channel (2), in order to maintain a set temperature within the vacuum element (1) for a selected time interval.

The method of claim 1, further comprising a step of adjusting the speed of the vacuum element (1) such that the temperature measured at the outlet channel (3) is kept between a predetermined maximum and minimum value.

The method according to claim 1, characterized in that the speed of the vacuum element is reduced if the temperature at the outlet channel (3) of the vacuum element (1) is higher than the selected maximum temperature, Tmax, and / or the speed of the vacuum element (1) is increased if the temperature at the outlet channel (3) of the vacuum element (1) is lower than the selected minimum temperature, Tmin.

The method according to claim 3, characterized in that Tmin is less than 100 ° C, more preferably Tmin is less than 98 ° C and most preferably Tmin is about 97.5 ° C.

The method according to claim 3, characterized in that Tma}: is higher than 100 ° C, more preferably Tmax is higher than 101 ° C and most preferably Tmax is approximately 102.5 ° C.

The method of claim 1, further comprising the step of providing an electromagnetic valve {5} for gas ballast, wherein the electromagnetic valve (5) is mounted on a channel that is in direct communication with the vacuum element (1).

The method according to claim 6, characterized in that the electromagnetic valve (5) is open for the duration of a purge cycle.

The method of claim 1, further comprising the step of manually starting a purge cycle.

A controller for controlling the supply of a purge gas to an inlet channel (2) of a vacuum element (1), the controller comprising: ~ a speed controller for measuring and adjusting the speed of at least one rotor of the vacuum element (1); - a pressure control valve (4) configured to be mounted on the inlet channel (2) in direct communication with the vacuum element (1), the valve (4) regulating the pressure within the vacuum element (1) through the volume of fluid that flows between a process channel (8) and the vacuum element (1) to be adjusted as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element (1) and a set pressure value; characterized in that the controller further comprises: - means for connecting the inlet channel (2) to a supply of a purge gas during a predetermined time interval after the vacuum element (1) has started; - means for connecting the process channel (8) to the inlet channel (2) of the vacuum element (1); and - means for connecting the inlet channel (2) to a purge gas supply after the inlet channel (2) is disconnected from the process channel (8) and for adjusting the speed of the vacuum element (1) for a predetermined time interval.

The controller according to claim 9, characterized in that the means for connecting the inlet channel (2) to a supply of a purge gas comprises a valve (9).

The controller of claim 9, further comprising a temperature sensor (6} configured to be mounted on an outlet channel (3) of the vacuum element (1).

A vacuum pump comprising: - a vacuum element (1) with an inlet channel (2) and an outlet channel (3) for a fluid flow; - a temperature sensor (6) configured to be mounted on an outlet channel (3) of the vacuum element (1); - a pressure control valve (4} provided on an inlet channel (2), the inlet channel (2) being in direct connection with the vacuum element (1), the valve (4) being configured to control the pressure within the vacuum element (1) by adjusting the volume of fluid flowing between a process channel (8) and the vacuum element (1) as a function of the difference between the pressure value within the vacuum element (1} and a set pressure value; characterized in that the vacuum pump (1) furthermore controller as claimed in claim 9, which is configured to receive data from the temperature sensor (6) via a data channel and to adjust the speed of the vacuum element (1) after the inlet channel (2) is disconnected from the process channel (8), such that the temperature measured at the outlet channel (3) is kept between a predetermined maximum and a minimum value.

The vacuum pump according to claim 12, further comprising an electromagnetic valve (5) for gas ballast, wherein the electromagnetic valve (5) is mounted on a channel that is directly connected to the vacuum element (1).

The vacuum pump according to claim 12, characterized in that the controller increases the speed of the vacuum element (1) if the temperature at the outlet channel (3) of the vacuum element (1) rises above a selected maximum temperature, Tmax and / or the speed of the vacuum element (1) decreases if the temperature at the outlet channel (3) of the vacuum element (1) is lower than a selected minimum temperature, Tmin.

The vacuum pump according to claim 14, characterized in that Train is lower than 100 ° C, more preferably Tmin is lower than 98 ° C and most preferably Tmin is approximately 97.5 ° C.

The vacuum pump according to claim 14, characterized in that Tmax is higher than 100 ° C, more preferably Tmax is higher than 101 ° C and most preferably Tmax is approximately 102.5 ° C.

The vacuum pump according to claim 12, characterized in that the controller can generate a signal for starting a purge cycle to clean the vacuum pump.

The vacuum pump according to claim 12, characterized in that the controller further comprises means for manually starting a purge cycle.

The vacuum pump according to claim 18, characterized in that the means for manually starting a purge cycle can take the form of a button or switch at the level of the controller.

A use of a controller according to claim 9 in a vacuum pump to keep the temperature at the outlet channel (3) of the vacuum element (1) between selected values by the speed of the vacuum element (1) during a post-purge cycle and / or adjust a manual purge cycle.

A vacuum pump provided with a pressure control valve (4) and a controller according to any of claims 9 to 11.