ATE94223T1 - Vorrichtung fuer die zufuehrung von quecksilber auf gleichbleibender hoehe in eine verdampfungszelle fuer epitaxie. - Google Patents

Vorrichtung fuer die zufuehrung von quecksilber auf gleichbleibender hoehe in eine verdampfungszelle fuer epitaxie.

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ATE94223T1
ATE94223T1 AT89905130T AT89905130T ATE94223T1 AT E94223 T1 ATE94223 T1 AT E94223T1 AT 89905130 T AT89905130 T AT 89905130T AT 89905130 T AT89905130 T AT 89905130T AT E94223 T1 ATE94223 T1 AT E94223T1
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AT
Austria
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epitaxy
consistent level
vaporization cell
feeding mercury
mercury
Prior art date
Application number
AT89905130T
Other languages
English (en)
Inventor
Andre Barski
Pierre Bouchaib
Michel Herbin
Christian Lansade
Alain Leclerc
Original Assignee
Riber Sa
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AT89905130T 1988-04-15 1989-04-14 Vorrichtung fuer die zufuehrung von quecksilber auf gleichbleibender hoehe in eine verdampfungszelle fuer epitaxie. ATE94223T1 (de)

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FR8805044A FR2630259B1 (fr) 1988-04-15 1988-04-15 Dispositif d'evaporation du mercure sous vide a un niveau constant pour cellule destinee a la croissance epitaxiale de semi-conducteurs
PCT/FR1989/000171 WO1989009847A1 (fr) 1988-04-15 1989-04-14 Dispositif d'alimentation a niveau constant d'une cellule d'evaporation de mercure pour epitaxie
EP89905130A EP0409897B1 (de) 1988-04-15 1989-04-14 Vorrichtung für die zuführung von quecksilber auf gleichbleibender höhe in eine verdampfungszelle für epitaxie

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