ATE76199T1 - Verfahren zur herstellung von mikrosensoren mit integrierter signalverarbeitung. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von mikrosensoren mit integrierter signalverarbeitung.

Info

Publication number
ATE76199T1
ATE76199T1 AT88907108T AT88907108T ATE76199T1 AT E76199 T1 ATE76199 T1 AT E76199T1 AT 88907108 T AT88907108 T AT 88907108T AT 88907108 T AT88907108 T AT 88907108T AT E76199 T1 ATE76199 T1 AT E76199T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
microsensors
manufacturing
signal processing
integrated signal
integrated
Prior art date
Application number
AT88907108T
Other languages
English (en)
Inventor
Wolfgang Ehrfeld
Friedrich Goetz
Werner Schelb
Dirk Schmidt
Original Assignee
Kernforschungsz Karlsruhe
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE3727142A external-priority patent/DE3727142C2/de
Application filed by Kernforschungsz Karlsruhe filed Critical Kernforschungsz Karlsruhe
Application granted granted Critical
Publication of ATE76199T1 publication Critical patent/ATE76199T1/de

Links

AT88907108T 1987-08-14 1988-08-08 Verfahren zur herstellung von mikrosensoren mit integrierter signalverarbeitung. ATE76199T1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3727142A DE3727142C2 (de) 1987-08-14 1987-08-14 Verfahren zur Herstellung von Mikrosensoren mit integrierter Signalverarbeitung
EP88907108A EP0371069B1 (de) 1987-08-14 1988-08-08 Verfahren zur herstellung von mikrosensoren mit integrierter signalverarbeitung
PCT/DE1988/000488 WO1989001632A1 (en) 1987-08-14 1988-08-08 Process for manufacturing microsensors with integrated signal processing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE76199T1 true ATE76199T1 (de) 1992-05-15

Family

ID=27196345

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT88907108T ATE76199T1 (de) 1987-08-14 1988-08-08 Verfahren zur herstellung von mikrosensoren mit integrierter signalverarbeitung.

Country Status (1)

Country Link
AT (1) ATE76199T1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE58908126D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Organopolysilanen.
DE68914379D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Sinterkörpern.
DE3850061D1 (de) Verfahren zur absatzweisen Acetalherstellung.
DE3850551D1 (de) Verfahren zur spanabhebenden Bearbeitung.
DE3850285D1 (de) Verfahren zur Herstellung von dünnen supraleitenden Schichten.
DE3881058D1 (de) Verfahren zur mesophase-peche-herstellung.
DE3889290T3 (de) Verfahren zur Herstellung von Polyketonen.
DE68921565D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Phosphoren.
DE68915676D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Linsen.
DE69015391D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Kunststoffteilchen.
DE68916130D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Block-copolyamid.
DE68921655D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Mustern.
DE58908451D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Organochlorsilanen.
DE68922360D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Metall-Polyimid-Verbundwerkstoffen.
DE69019788D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Organohalogensilanen.
DE58907777D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Caprolactam.
DE68918050D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Windschutzscheiben.
DE58908205D1 (de) Verfahren zur Herstellung von opaken Chinacridonen.
DE68916760D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Gamma-Lactonen.
DE58907409D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Caprolactam.
DE3881091D1 (de) Verfahren zur herstellung von phosphatidsaeurederivaten.
ATE86619T1 (de) Verfahren zur herstellung von nitroethenderivaten.
DE58906122D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Phenylethanolen.
DE58904105D1 (de) Verfahren zur herstellung von hexafluorpropen.
DE3889068D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Polyketonen.

Legal Events

Date Code Title Description
REN Ceased due to non-payment of the annual fee