ATE75861T1 - Vorrichtung zur genauen positionierung eines objektes entlang einer achse. - Google Patents

Vorrichtung zur genauen positionierung eines objektes entlang einer achse.

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ATE75861T1
ATE75861T1 AT88402229T AT88402229T ATE75861T1 AT E75861 T1 ATE75861 T1 AT E75861T1 AT 88402229 T AT88402229 T AT 88402229T AT 88402229 T AT88402229 T AT 88402229T AT E75861 T1 ATE75861 T1 AT E75861T1
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AT
Austria
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axis
acquisition
displacement
controlling
reference signal
Prior art date
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AT88402229T
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Laurent Berger
Original Assignee
Micro Controle
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface

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ATE75861T1 true ATE75861T1 (de) 1992-05-15

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