ATE57791T1 - Verfahren und vorrichtung zum zuenden eines lichtbogens bei vermindertem umgebungsdruck. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum zuenden eines lichtbogens bei vermindertem umgebungsdruck.

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ATE57791T1
ATE57791T1 AT87201272T AT87201272T ATE57791T1 AT E57791 T1 ATE57791 T1 AT E57791T1 AT 87201272 T AT87201272 T AT 87201272T AT 87201272 T AT87201272 T AT 87201272T AT E57791 T1 ATE57791 T1 AT E57791T1
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arc
stopping
ambient pressure
reduced ambient
pressure
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AT87201272T
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Boudewijn J A M Buil
Original Assignee
Hauzer Holding
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/48—Generating plasma using an arc

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AT87201272T 1986-07-11 1987-07-02 Verfahren und vorrichtung zum zuenden eines lichtbogens bei vermindertem umgebungsdruck. ATE57791T1 (de)

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