ATE55487T1 - Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung. - Google Patents

Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung.

Info

Publication number
ATE55487T1
ATE55487T1 AT86901332T AT86901332T ATE55487T1 AT E55487 T1 ATE55487 T1 AT E55487T1 AT 86901332 T AT86901332 T AT 86901332T AT 86901332 T AT86901332 T AT 86901332T AT E55487 T1 ATE55487 T1 AT E55487T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
low
order form
optical determination
form defects
defects
Prior art date
Application number
AT86901332T
Other languages
English (en)
Inventor
Norbert Rau
Gerd Huebner
Wolfgang Staiger
Rainer Brodmann
Oskar Gerstorfer
Original Assignee
Rodenstock Optik G
Daimler Benz Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19853503858 external-priority patent/DE3503858A1/de
Application filed by Rodenstock Optik G, Daimler Benz Ag filed Critical Rodenstock Optik G
Application granted granted Critical
Publication of ATE55487T1 publication Critical patent/ATE55487T1/de

Links

AT86901332T 1985-02-05 1986-02-05 Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung. ATE55487T1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853503858 DE3503858A1 (de) 1985-02-05 1985-02-05 Vorrichtung zur ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung
EP86901332A EP0210263B1 (de) 1985-02-05 1986-02-05 Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung
PCT/DE1986/000037 WO1986004676A2 (en) 1985-02-05 1986-02-05 Device for optical determination of low-order errors in shape

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE55487T1 true ATE55487T1 (de) 1990-08-15

Family

ID=25829135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT86901332T ATE55487T1 (de) 1985-02-05 1986-02-05 Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung.

Country Status (1)

Country Link
AT (1) ATE55487T1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3788909D1 (de) Vorrichtung zur optischen Modulation.
DE3871783D1 (de) Vorrichtung zur dynamischen lichtstreuung.
DE3767131D1 (de) Apparat zur oberflaechenueberpruefung oder -abstandsmessung.
DE69428381T2 (de) System zur Inspection von optischen Bauelementen
DE3851609T2 (de) Gerät zur Inspektion von Walzzeichen.
DE69025425T2 (de) Gerät zur Herstellung von optischen Scheiben
DE3485175D1 (de) Geraet zur optischen aufzeichnung von informationen.
DE69005069T2 (de) Vorrichtung zur Feststellung des Vorhandenseins von fremden Stoffen.
DE3884456D1 (de) Vorrichtung zur detektion und richtungsbestimmung von licht.
DE3686100D1 (de) Apparat zur pruefung von objekten.
DE3675979D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen spannungsmessung.
DE3677862D1 (de) Vorrichtung zur herzunterstuetzung.
DE3770506D1 (de) Einrichtung und verfahren zur optischen identifizierung von objekten.
DE3581325D1 (de) Apparat zur messung der abmessungen von teilchen.
DE3686662D1 (de) Anordnungen und verfahren zur bearbeitung von optischen korrelatorspeichergeraeten.
DE3673281D1 (de) Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung.
DE3575784D1 (de) Vorrichtung zur messung der groessenverteilung von teilchen.
DE3683437D1 (de) Vorrichtung zur messung des optischen vermoegens.
DE3671829D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen praesentation von brillenfassungen.
DE69029278D1 (de) Vorrichtung zur Herstellung von optischen Platten
DE68916576T2 (de) Vorrichtung zur Messung der Kennzeichen der optischen Frequenzmodulation.
ATA129185A (de) Vorrichtung zur vermessung von rundholz
ATE55487T1 (de) Vorrichtung zur optischen ermittlung von gestaltsfehlern niedriger ordnung.
DE68907437T2 (de) Verfahren zur Messung von Verunreinigungen.
DE58904230D1 (de) Vorrichtung zur messung von unregelmaessigkeiten von faeden.