ATE528656T1 - Aufbau eines magnetfeld-gradientensensors und verfahren zur seiner herstellung in der integrationstechnik - Google Patents

Aufbau eines magnetfeld-gradientensensors und verfahren zur seiner herstellung in der integrationstechnik

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ATE528656T1
ATE528656T1 AT09742096T AT09742096T ATE528656T1 AT E528656 T1 ATE528656 T1 AT E528656T1 AT 09742096 T AT09742096 T AT 09742096T AT 09742096 T AT09742096 T AT 09742096T AT E528656 T1 ATE528656 T1 AT E528656T1
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Jean-Baptiste Albertini
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011116545A1 (de) 2011-10-21 2013-04-25 Micronas Gmbh Integrierte Magnetfeldmessvorrichtung
KR20150065679A (ko) * 2012-10-04 2015-06-15 아이치 세이꼬 가부시키 가이샤 마그네토 임피던스 소자 및 그 제조 방법
US10309992B2 (en) 2013-08-30 2019-06-04 Honeywell International Inc. Stray magnetic field rejection for in-hole current-measurement systems
DE102014008173B4 (de) 2014-06-10 2022-08-11 Tdk-Micronas Gmbh Magnetfeldmessvorrichtung
DE102015209286A1 (de) * 2015-05-21 2016-11-24 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Anordnung und Verfahren zum Messen einer Kraft oder eines Momentes mit mindestens zwei beabstandeten Magnetfeldsensoren
US11525701B2 (en) 2018-01-22 2022-12-13 Melexis Technologies Sa Inductive position sensor
EP3514502B1 (de) * 2018-01-22 2021-07-14 Melexis Technologies SA Induktiver positionssensor
EP3514559B1 (de) * 2018-01-22 2021-08-25 Melexis Technologies SA Sensorpaket
CN109855521B (zh) * 2019-01-04 2020-08-04 清华大学深圳研究生院 霍尔探头有效测量位置的测定方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3829768A (en) * 1973-09-04 1974-08-13 Us Navy Superconducting gradiometer for measuring first and second derivatives of a magnetic field
CH650357A5 (de) * 1981-03-26 1985-07-15 Landis & Gyr Ag Magnetkernloser messwandler zum potentialfreien messen eines messstromes.
FR2670015B1 (fr) 1990-12-03 1993-03-19 Merlin Gerin Dispositif de mesure de l'intensite d'un courant dans un conducteur.
WO1994029733A1 (de) 1993-06-16 1994-12-22 Franz Winkler Verfahren zur kontaktlosen bestimmung elektrischer messgrössen
DE4436876A1 (de) * 1994-10-15 1996-04-18 Lust Antriebstechnik Gmbh Sensorchip
US5767668A (en) * 1996-01-18 1998-06-16 Case Western Reserve University Remote current sensor
GB9704911D0 (en) * 1997-03-10 1997-04-30 Secr Defence A magnetic gradiometer
DE19722834B4 (de) * 1997-05-30 2014-03-27 Sensitec Gmbh Magnetoresistives Gradiometer in Form einer Wheatstone-Brücke zur Messung von Magnetfeldgradienten sowie dessen Verwendung
FI108165B (fi) 2000-05-05 2001-11-30 Enermet Oy Virtamuunnin vaihtovirran mittaamiseksi
JP2001324518A (ja) 2000-05-16 2001-11-22 Hokkaido Denki Hoan Kyokai 非接触型電流計
WO2003044541A1 (en) 2001-11-19 2003-05-30 Chk Wireless Technologies Australia Pty Ltd Method and apparatus for determining a current in a conductor
DE10213941A1 (de) * 2002-03-28 2003-10-30 Bosch Gmbh Robert Sensorelement und Gradiometeranordnung, deren Verwendung zum Messen von Magnetfeldgradienten und Verfahren hierzu
FR2860594B1 (fr) 2003-10-06 2005-12-23 Commissariat Energie Atomique Magnetometre a circuit magnetique ouvert et son procede de realisation.
DE102006021774B4 (de) * 2005-06-23 2014-04-03 Siemens Aktiengesellschaft Stromsensor zur galvanisch getrennten Strommessung
DE102006034579A1 (de) * 2006-07-26 2008-01-31 Siemens Ag Stromerfassungsvorrichtung und Verfahren zur Stromerfassung

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EP2274632A1 (de) 2011-01-19
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WO2009135878A1 (fr) 2009-11-12

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