ATE52342T1 - Auf silizium integrierter geber fuer mechanische groessen und dessen herstellungsverfahren. - Google Patents

Auf silizium integrierter geber fuer mechanische groessen und dessen herstellungsverfahren.

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ATE52342T1
ATE52342T1 AT87903879T AT87903879T ATE52342T1 AT E52342 T1 ATE52342 T1 AT E52342T1 AT 87903879 T AT87903879 T AT 87903879T AT 87903879 T AT87903879 T AT 87903879T AT E52342 T1 ATE52342 T1 AT E52342T1
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AT
Austria
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silicon
manufacturing process
transmitter integrated
mechanical quantities
quantities
Prior art date
Application number
AT87903879T
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English (en)
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Pierre Andre
Francois Baillieu
Jean-Pierre Brosselard
Alfred Permuy
Francois-Xavier Pirot
Serge Spirkovitch
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Metravib Sa
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