ATE458384T1 - Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür - Google Patents

Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür

Info

Publication number
ATE458384T1
ATE458384T1 AT00420172T AT00420172T ATE458384T1 AT E458384 T1 ATE458384 T1 AT E458384T1 AT 00420172 T AT00420172 T AT 00420172T AT 00420172 T AT00420172 T AT 00420172T AT E458384 T1 ATE458384 T1 AT E458384T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
generating
plasma
working surface
target surface
device therefor
Prior art date
Application number
AT00420172T
Other languages
English (en)
Inventor
Thierry Lagarde
Jacques Pelletier
Original Assignee
St Plasmas
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by St Plasmas filed Critical St Plasmas
Application granted granted Critical
Publication of ATE458384T1 publication Critical patent/ATE458384T1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32192—Microwave generated discharge
    • H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
    • H01J37/3222—Antennas
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3266—Magnetic control means
    • H01J37/32678—Electron cyclotron resonance
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
AT00420172T 1999-08-04 2000-08-02 Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür ATE458384T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9910291A FR2797372B1 (fr) 1999-08-04 1999-08-04 Procede de production de plasmas elementaires en vue de creer un plasma uniforme pour une surface d'utilisation et dispositif de production d'un tel plasma

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE458384T1 true ATE458384T1 (de) 2010-03-15

Family

ID=9548996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT00420172T ATE458384T1 (de) 1999-08-04 2000-08-02 Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6407359B1 (de)
EP (1) EP1075168B1 (de)
JP (1) JP2001102200A (de)
AT (1) ATE458384T1 (de)
DE (1) DE60043831D1 (de)
ES (1) ES2339323T3 (de)
FR (1) FR2797372B1 (de)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2833452B1 (fr) 2001-12-07 2004-03-12 Centre Nat Rech Scient Source d'electrons
EP1361437A1 (de) * 2002-05-07 2003-11-12 Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) Ein neuer biologischer Tumormarker und Methoden für die Detektion des krebsartigen oder nicht krebsartigen Phenotyps von Zellen
US7465362B2 (en) * 2002-05-08 2008-12-16 Btu International, Inc. Plasma-assisted nitrogen surface-treatment
AU2002325215A1 (en) * 2002-05-08 2003-11-11 Leonhard Kurz Gmbh And Co. Kg Method of decorating large plastic 3d objects
BR0309810A (pt) * 2002-05-08 2007-04-10 Dana Corp sistemas e método de tratamento da exaustão de motor e veìculo móvel
US7494904B2 (en) * 2002-05-08 2009-02-24 Btu International, Inc. Plasma-assisted doping
US7498066B2 (en) * 2002-05-08 2009-03-03 Btu International Inc. Plasma-assisted enhanced coating
US20060062930A1 (en) * 2002-05-08 2006-03-23 Devendra Kumar Plasma-assisted carburizing
US7560657B2 (en) * 2002-05-08 2009-07-14 Btu International Inc. Plasma-assisted processing in a manufacturing line
FR2840451B1 (fr) * 2002-06-04 2004-08-13 Centre Nat Rech Scient Dispositif de production d'une nappe de plasma
GB0517334D0 (en) * 2005-08-24 2005-10-05 Dow Corning Method and apparatus for creating a plasma
FR2895208B1 (fr) * 2005-12-16 2008-06-27 Metal Process Sarl Procede de production de plasma par decharge capacitive associe a un plasma annexe a decharge distribuee, et systeme de mise en oeuvre associe
FR2904178B1 (fr) 2006-07-21 2008-11-07 Centre Nat Rech Scient Dispositif et procede de production et/ou de confinement d'un plasma
DE102006037144B4 (de) * 2006-08-09 2010-05-20 Roth & Rau Ag ECR-Plasmaquelle
EP1919264A1 (de) * 2006-11-02 2008-05-07 Dow Corning Corporation Vorrichtung zur Herstellung eines Films durch Abscheidung von einem Plasma
EP1918414A1 (de) 2006-11-02 2008-05-07 Dow Corning Corporation Verfahren zur Bildung eines Films aus amorphen Materialen mit gradiertem Bandabstand durch Elektronzyklotronresonanz
EP1918967B1 (de) * 2006-11-02 2013-12-25 Dow Corning Corporation Verfahren zur Herstellung einer Schicht durch Abscheidung aus einem Plasma
EP1918965A1 (de) * 2006-11-02 2008-05-07 Dow Corning Corporation Verfahren und Apparat zur Erzeugung eines Films durch Abscheidung aus einem Plasma
EP1923483A1 (de) 2006-11-02 2008-05-21 Dow Corning Corporation Abscheidung von amorphen Siliziumschichten durch Elektronzyclotron-Wellenresonanz
EP1918966A1 (de) 2006-11-02 2008-05-07 Dow Corning Corporation Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit gradiertem Bandabstand durch Abscheidung eines amorphen Stoffes aus einem Plasma
EP1921178A1 (de) * 2006-11-02 2008-05-14 Dow Corning Corporation Verfahren zur Bildung eines Films aus amorphen Materialen durch Elektronzyklotronresonanz
EP1976346A1 (de) * 2007-03-30 2008-10-01 Ecole Polytechnique Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas
FR2922358B1 (fr) 2007-10-16 2013-02-01 Hydromecanique & Frottement Procede de traitement de surface d'au moins une piece au moyen de sources elementaires de plasma par resonance cyclotronique electronique
FR2938150B1 (fr) 2008-10-30 2010-12-17 Centre Nat Rech Scient Dispositif et procede de production et/ou de confinement d'un plasma
FR2993429B1 (fr) 2012-07-11 2016-08-05 Centre Nat De La Rech Scient (Cnrs) Applicateur micro-onde coaxial pour la production de plasma
FR2995493B1 (fr) 2012-09-11 2014-08-22 Hydromecanique & Frottement Dispositif pour generer un plasma presentant une etendue importante le long d'un axe par resonnance cyclotronique electronique rce a partir d'un milieu gazeux
EP2784175A1 (de) * 2013-03-28 2014-10-01 NeoCoat SA Ausrüstung zur Diamantaufbringung in der Dampfphase
FR3019708B1 (fr) 2014-04-04 2016-05-06 Hydromecanique & Frottement Procede et dispositif pour generer un plasma excite par une energie micro-onde dans le domaine de la resonnance cyclonique electronique (rce), pour realiser un traitement de surface ou revetement autour d'un element filiforme.

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2480552A1 (fr) * 1980-04-10 1981-10-16 Anvar Generateur de plasmaŸ
US5111111A (en) * 1990-09-27 1992-05-05 Consortium For Surface Processing, Inc. Method and apparatus for coupling a microwave source in an electron cyclotron resonance system
DE9102438U1 (de) * 1991-03-01 1992-06-25 Roehm Gmbh, 6100 Darmstadt, De
JPH05314918A (ja) * 1992-05-13 1993-11-26 Nissin Electric Co Ltd イオン源用マイクロ波アンテナ
FR2702119B1 (fr) * 1993-02-25 1995-07-13 Metal Process Dispositif d'excitation d'un plasma à la résonance cyclotronique électronique par l'intermédiaire d'un applicateur filaire d'un champ micro-onde et d'un champ magnétique statique.
DE4403125A1 (de) * 1994-02-02 1995-08-03 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur Plasmaerzeugung
FR2726729B1 (fr) * 1994-11-04 1997-01-31 Metal Process Dispositif de production d'un plasma permettant une dissociation entre les zones de propagation et d'absorption des micro-ondes
DE19600223A1 (de) * 1996-01-05 1997-07-17 Ralf Dr Dipl Phys Spitzl Vorrichtung zur Erzeugung von Plasmen mittels Mikrowellen
US5770143A (en) * 1996-07-03 1998-06-23 Board Of Trustees Operating Michigan State University Method for liquid thermosetting resin molding using radiofrequency wave heating

Also Published As

Publication number Publication date
EP1075168B1 (de) 2010-02-17
FR2797372B1 (fr) 2002-10-25
EP1075168A1 (de) 2001-02-07
JP2001102200A (ja) 2001-04-13
US6407359B1 (en) 2002-06-18
ES2339323T3 (es) 2010-05-19
FR2797372A1 (fr) 2001-02-09
DE60043831D1 (de) 2010-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE458384T1 (de) Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür
EP0346738B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur PCVD-Innenbeschichtung metallischer Rohre mittels eines Mikrowellenplasmas
ATE555710T1 (de) Gerät für die elektromagnetische navigation einer chirurgischen sonde in der nähe eines metallischen gegenstands
BR9608565A (pt) Aparelho de pulverização de plasma acionado por microondas e processo de pulvirização
ATE254192T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur sequentiellen plasmabehandlung
ATE536086T1 (de) Verfahren zur erzeugung von plasma mit hilfe eines plasmakatalysators
WO2000052732A3 (en) Active species control with time-modulated plasma
CA2385802A1 (en) Method and apparatus for producing single-wall carbon nanotubes
ATE345406T1 (de) Kohlenstofffasermaterial, verfahren und vorrichtung zu dessen herstellung und vorrichtung zur ablagerungsverhinderung von diesem material
ATE518409T1 (de) Vorrichtung und prozess zum erzeugen, beschleunigen und ausbreiten von strahlen von elektronen und plasma
ATE342821T1 (de) Instrumententräger
GR920300130T1 (en) Method for polymerization of epoxide compounds.
KR20070050852A (ko) 자외선 경화형 수지의 경화 방법, 플랫 패널의 제조 방법,및 자외선 조사 장치
DE69812830D1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines ausgedehnten Induktionsplasmas für Plasmabehandlungen
ATE429523T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum mikroplasmaspritzbeschichten eines teils einer verdichterschaufel eines düsentriebwerkes
ATE337799T1 (de) Verfahren zur plasmasterilisation von dielektrischen gegenständen mit hohlen teilen
DE69310801D1 (de) Plasmabearbeitungsgerät zur Erzeugung eines uniformen bandförmigen plasmas
ATE300629T1 (de) Verfahren zur innenbeschichtung von kapillaren und deren verwendung
PL345680A1 (en) Apparatus for irradiating with an electron beam
EP1026796A3 (de) Laservorrichtung, Belichtungsapparat unter Verwendung derselben und Herstellungsverfahren
ATE73177T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum metallisieren von folienoberflaechen.
DE60112171D1 (de) Verfahren zur Behandlung eines eine SO3-Komponente enthaltenden Gases mit Na2CO3
DE59303920D1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas mittels Kathodenzerstäubung und Mikrowelleneinstrahlung
DE69130094D1 (de) Einrichtung zum Erzeugen eines Plasmas
ATE447049T1 (de) Verfahren zum mikroplasmaspritzbeschichten eines teil einer gasturbinenleitschaufel eines düsentriebwerkes

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties