ATE400402T1 - Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von mikrostrukturen - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von mikrostrukturen

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ATE400402T1
ATE400402T1 AT06026120T AT06026120T ATE400402T1 AT E400402 T1 ATE400402 T1 AT E400402T1 AT 06026120 T AT06026120 T AT 06026120T AT 06026120 T AT06026120 T AT 06026120T AT E400402 T1 ATE400402 T1 AT E400402T1
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AT
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drive
tool
workpiece
fast
microstructures
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Schott Ag
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
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