ATE37629T1 - Geraet zur plasmabearbeitung von plaettchenfoermigen objekten. - Google Patents

Geraet zur plasmabearbeitung von plaettchenfoermigen objekten.

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ATE37629T1
ATE37629T1 AT84902592T AT84902592T ATE37629T1 AT E37629 T1 ATE37629 T1 AT E37629T1 AT 84902592 T AT84902592 T AT 84902592T AT 84902592 T AT84902592 T AT 84902592T AT E37629 T1 ATE37629 T1 AT E37629T1
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AT
Austria
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plate
plasma processing
shaped objects
objects
shaped
Prior art date
Application number
AT84902592T
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Pierre Parrens
Original Assignee
Nextral
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FR8311183A FR2550044B1 (fr) 1983-07-05 1983-07-05 Appareil de traitement par plasma de substrats en forme de plaquettes
EP84902592A EP0148898B1 (de) 1983-07-05 1984-07-05 Gerät zur plasmabearbeitung von plättchenförmigen objekten
PCT/FR1984/000167 WO1985000466A1 (fr) 1983-07-05 1984-07-05 Appareil de traitement par plasma de substrats en forme de plaquettes

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