ATE37618T1 - Verfahren zum herstellen von masshaltigen strukturen mit hohem aspektverhaeltnis im 1 millimikron-bereich und darunter fuer die mikroelektronik und anwendung dieses verfahrens zur herstellung einer roentgenabsorbermaske. - Google Patents

Verfahren zum herstellen von masshaltigen strukturen mit hohem aspektverhaeltnis im 1 millimikron-bereich und darunter fuer die mikroelektronik und anwendung dieses verfahrens zur herstellung einer roentgenabsorbermaske.

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ATE37618T1
ATE37618T1 AT84108688T AT84108688T ATE37618T1 AT E37618 T1 ATE37618 T1 AT E37618T1 AT 84108688 T AT84108688 T AT 84108688T AT 84108688 T AT84108688 T AT 84108688T AT E37618 T1 ATE37618 T1 AT E37618T1
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Brigitte Dipl Schneider-Gmelch
Joseph Dr Rer Nat Dipl Mathuni
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Siemens Ag
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