ATE30773T1 - Verfahren und vorrichtung zur messung von streifendistanzkenngroessen eines planaren systems von kontraststreifen. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur messung von streifendistanzkenngroessen eines planaren systems von kontraststreifen.

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ATE30773T1
ATE30773T1 AT84400833T AT84400833T ATE30773T1 AT E30773 T1 ATE30773 T1 AT E30773T1 AT 84400833 T AT84400833 T AT 84400833T AT 84400833 T AT84400833 T AT 84400833T AT E30773 T1 ATE30773 T1 AT E30773T1
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AT
Austria
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pattern
measurement
point
distance characteristics
planar system
Prior art date
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AT84400833T
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Georges Stephan Blot
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France Etat
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré

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AT84400833T 1983-05-05 1984-04-25 Verfahren und vorrichtung zur messung von streifendistanzkenngroessen eines planaren systems von kontraststreifen. ATE30773T1 (de)

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