ATE29602T1 - Entschichtungsmittel und verfahren zum entschichten einer photoresistschicht. - Google Patents

Entschichtungsmittel und verfahren zum entschichten einer photoresistschicht.

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ATE29602T1
ATE29602T1 AT82108781T AT82108781T ATE29602T1 AT E29602 T1 ATE29602 T1 AT E29602T1 AT 82108781 T AT82108781 T AT 82108781T AT 82108781 T AT82108781 T AT 82108781T AT E29602 T1 ATE29602 T1 AT E29602T1
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AT
Austria
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decoating
agent
photoresist coating
photoresist
coating
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Application number
AT82108781T
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English (en)
Inventor
Irl Eugene Ward Jr
Lisa Gail Hallquist
Thomas Joseph Hurley
Original Assignee
Baker Chem Co J T
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US06/408,052 US4428871A (en) 1981-09-23 1982-08-17 Stripping compositions and methods of stripping resists
EP82108781A EP0075329B1 (de) 1981-09-23 1982-09-22 Entschichtungsmittel und Verfahren zum Entschichten einer Photoresistschicht

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ATE29602T1 true ATE29602T1 (de) 1987-09-15

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